專利名稱：一種生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以及方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及信息服務領域，特別涉及一種生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以及方法。
技術(shù)背景在制作一半導體器件時，從最初的晶圓開始，需要經(jīng)過清洗、拋光、氧化、 氣相沉積和離子注入等多道工序，故在整個制造過程中，需用到清洗設備、拋 光設備、氧化設備和氣相沉積設備等多臺設備，設備在運行過程中，其參數(shù)只 有在生產(chǎn)現(xiàn)場才能觀察到，而不在生產(chǎn)現(xiàn)場的人員要得知現(xiàn)場的生產(chǎn)信息只有 通過打電話問現(xiàn)場人員或親自到制作現(xiàn)場去觀察，如此將影響生產(chǎn)信息的及時 獲得，以致于不在現(xiàn)場的決策人員或計劃人員無法根據(jù)制造現(xiàn)場的實際狀況而 作出及時的決策，另外進入生產(chǎn)現(xiàn)場獲取生產(chǎn)信息，'也會對生產(chǎn)的順利進行產(chǎn) 生不利影響。如此將會影響生產(chǎn)效率，并浪費人力。如此，如何提供一種生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以使不在生產(chǎn)現(xiàn)場的人員也可及時 得知生產(chǎn)現(xiàn)場的狀況，已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種生產(chǎn)信息^Il務系統(tǒng)以及方法，通過所述系統(tǒng)以 及方法可極大的方便用戶獲得生產(chǎn)信息。本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的 一種生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)，用于依據(jù)用戶的需 求為其發(fā)送生產(chǎn)現(xiàn)場的生產(chǎn)信息，該生產(chǎn)現(xiàn)場至少:沒置有一具有用于發(fā)送信息 的發(fā)送模塊的生產(chǎn)設備，該生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)包括至少一客戶端、 一服務器和 一與該客戶端、服務器和該生產(chǎn)設備相連的網(wǎng)絡系統(tǒng)，該客戶端用于供用戶設 定生產(chǎn)信息服務標準并將所設定的服務標準經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)發(fā)送至服務器，該生 產(chǎn)設備通過發(fā)送模塊經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)發(fā)送生產(chǎn)信息至該服務器，該服務器依據(jù)所 設定的服務標準處理生產(chǎn)設備發(fā)送至服務器的生產(chǎn)信息，并將該處理后的生產(chǎn)信息經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)發(fā)送至客戶端。在上述的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)中，該客戶端包括一設定模塊以及一客戶端收 發(fā)模塊，其中，該設定模塊用于供用戶依需求設定生產(chǎn)信息服務標準，該客戶息。- \ 、'.、'、 。' 。。'、"、、在上述的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)中，該服務器包括一服務器收發(fā)模塊和一處理 模塊，其中，該服務器收發(fā)模塊用于收發(fā)信息，該處理模塊用于將服務器收發(fā) 模塊所接收到生產(chǎn)信息依據(jù)客戶端所設定的標準運行一生產(chǎn)信息處理程序以得 到用戶所需的生產(chǎn)信息。 '本發(fā)明還提供一種用于上述生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)的生產(chǎn)信息服務方法，該方法包括以下步驟(l)用戶在客戶端設定生產(chǎn)信息服務標準；(2)將所設定的 生產(chǎn)信息服務標準發(fā)送至服務器；(3)生產(chǎn)設備將生產(chǎn)信息發(fā)送至服務器；(4) 服務器依據(jù)所設定的服務標準將生產(chǎn)信息進行一處理程序以得出用戶所需的生 產(chǎn)信息；(5)將用戶所需的生產(chǎn)信息發(fā)送至客戶端。與現(xiàn)有技術(shù)中只有詢問現(xiàn)場人員或去生產(chǎn)現(xiàn)場才能獲知生產(chǎn)現(xiàn)場的生產(chǎn)信 息相比，本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以及方法中，用戶可在客戶端依需求設置 生產(chǎn)信息服務標準，服務器依照用戶設定的服務標準對生產(chǎn)設備發(fā)送到服務器 的生產(chǎn)信息進行處理以得出用戶所需的生產(chǎn)信息，襲后將該處理后的生產(chǎn)信息 發(fā)送至客戶端，如此用戶即可根據(jù)需要快速便利的獲得生產(chǎn)信息。


本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以及方法由以下的實施例及附圖給出。 圖1為本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)的實施例的組成結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)的實施例的方框圖； 圖3為本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務方法的流程圖。
具體實施方式
以下將對本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以及方法作進一步的詳細描述。 參見圖1和圖2,本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)1用于依據(jù)用戶的需求為其發(fā)送生產(chǎn)現(xiàn)場的生產(chǎn)信息，所述生產(chǎn)現(xiàn)場設置有三臺生產(chǎn)設備20、 21、 22，所述 生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)1包括三個客戶端10、 11和12、服務器13和網(wǎng)絡系統(tǒng)14， 其中，所述生產(chǎn)設備20、 21、 22分別具有發(fā)送模塊i00、 210和220，所述生產(chǎn) 設備20、 21.和22分別通過發(fā)送模塊200、 210和220將其生產(chǎn)信息發(fā)送至服務 器13。在本發(fā)明其他實施例中，生產(chǎn)設備由生產(chǎn)現(xiàn)場的實際狀況決定，客戶端的 數(shù)量由需獲得生產(chǎn)信息服務的人員的數(shù)量決定，且生產(chǎn)設備和客戶端的數(shù)量均 可依據(jù)實際狀況進行增減。以下將對本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)1的上述構(gòu)件進行詳述。所述客戶端10、 11和12用于供用戶設定生產(chǎn)信息服務標準并將所設定的 服務標準經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)14發(fā)送至服務器13，所迷客戶端IO、 11和12分別包括 設定模塊IOO、 IIO和120和客戶端收發(fā)模塊101、 lil和121，其中，所述設定 模塊IOO、 110和120用于供用戶依需求設定生產(chǎn)信息服務標準，所述客戶端收 發(fā)模塊101、 111和121用于將所設定的標準發(fā)送至服務器13和接收服務器13 所發(fā)送的生產(chǎn)信息。所述服務器13依據(jù)所設定的服務標準處理生產(chǎn)設備20、 21和22發(fā)送至服 務器13的生產(chǎn)信息，并將所述處理后的生產(chǎn)信息經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)14發(fā)送至客戶 端10、 11和12。所述服務器13包括服務器收發(fā)模塊130和處理模塊131,其 中，所述服務器收發(fā)模塊130用于收發(fā)信息，所述處理模塊131用于將服務器 收發(fā)模塊130所接收到生產(chǎn)信息依據(jù)客戶端所設定的標準運行一生產(chǎn)信息處理 程序以得到用戶所需的信息。 '為進一步說明本發(fā)明的原理和功效，以下以所述生產(chǎn)設備20、 21和22分 別為離子注入設備、刻蝕機和氧化爐為例、以用戶所需知道信息為離子注入設 備、刻蝕機和氧化爐的產(chǎn)量和異常頻率為例進行說明，離子注入設備、刻蝕機 和氧化爐實時的將其生產(chǎn)信息包括產(chǎn)量、生產(chǎn)參數(shù)和設備異常記錄經(jīng)由網(wǎng)絡系 統(tǒng)14發(fā)送至服務器13，用戶在客戶端IO處通過設定模塊IOO設定信息服務標 準(即離子注入設備、刻蝕機和氧化爐的產(chǎn)量和異常頻率)，然后客戶端收發(fā) 模塊101將用戶所設定的服務標準經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)14發(fā)送至服務器13,服務器 n的服務器收發(fā)模塊130接收所述服務標準，處理舉塊131依據(jù)所述服務標準對服務器收發(fā)模塊130所接收到的離子注入設備、刻蝕機和氧化爐的生產(chǎn)信息 進行處理并得出用戶所需信息(即離子注入設備、刻蝕機和氧化爐的產(chǎn)量和異 常頻率)，之后通過服務器收發(fā)模塊130將用戶所需的信息經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)14傳 送到客戶端10。參見圖3,本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務方法首先進行步驟S30,用戶在客戶端依需求設定生產(chǎn)信息服務標準。接著繼續(xù)步驟S31,將所設定的生產(chǎn)信息服務標準發(fā)送至服務器。接著繼續(xù)步驟S32，生產(chǎn)設備將生產(chǎn)信息發(fā)送至服務器。接著繼續(xù)步驟S33,服務器依據(jù)所設定的服務標準將生產(chǎn)信息進行一處理程序以得出用戶所需的生產(chǎn)信息。接著繼續(xù)步驟S34,將用戶所需的生產(chǎn)信息發(fā)送至客戶端。綜上所述，在本發(fā)明中，用戶可在客戶端依需求-i殳置生產(chǎn)信息服務標準，服務器依照用戶設定的服務標準對生產(chǎn)設備發(fā)送到服務器的生產(chǎn)信息進行處理并得出用戶所需的生產(chǎn)信息，最后將所述處理后的生產(chǎn)信息發(fā)送至客戶端，如此用戶即可根據(jù)需要快速便利的獲得生產(chǎn)信息。
權(quán)利要求
1、一種生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)，用于依據(jù)用戶的需求為其發(fā)送生產(chǎn)現(xiàn)場的生產(chǎn)信息，該生產(chǎn)現(xiàn)場至少設置有一具有用于發(fā)送信息的發(fā)送模塊的生產(chǎn)設備，其特征在于，該生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)包括至少一客戶端、一服務器和一與該客戶端、服務器和該生產(chǎn)設備相連的網(wǎng)絡系統(tǒng)，該客戶端用于供用戶設定生產(chǎn)信息服務標準并將所設定的服務標準經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)發(fā)送至服務器，該生產(chǎn)設備通過發(fā)送模塊且經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)發(fā)送生產(chǎn)信息至該服務器，該服務器依據(jù)所設定的服務標準處理生產(chǎn)設備發(fā)送至服務器的生產(chǎn)信息，并將該處理后的生產(chǎn)信息經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)發(fā)送至客戶端。
2、 如權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)，其特征在于，該客戶端包括一 設定模塊以及一客戶端收發(fā)模塊，其中，該設定模塊用于供用戶依需求設定生 產(chǎn)信息服務標準，該客戶端收發(fā)模塊用于將所設定的服務標準發(fā)送至服務器以 及接收服務器所發(fā)送的生產(chǎn)信息。
3、 如權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)，其特征在于，該服務器包括一 服務器收發(fā)模塊和一處理模塊，其中，該服務器收發(fā)模塊用于收發(fā)信息，該處 理模塊用于將服務器收發(fā)模塊所接收到生產(chǎn)信息依據(jù)客戶端所設定的服務標準 運行一生產(chǎn)信息處理程序以得到用戶所需的生產(chǎn)信息。
4、 一種用于如權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)的生產(chǎn)信息服務方法， 其特征在于，該方法包括以下步驟(l)用戶在客戶端依需求設定生產(chǎn)信息服務 標準；(2 )將所設定的生產(chǎn)信息服務標準發(fā)送至服'務器；(3 )生產(chǎn)設備將生 產(chǎn)信息發(fā)送至服務器；(4 )服務器依據(jù)所設定的服務標準將生產(chǎn)信息進行一處 理程序以得出用戶所需的生產(chǎn)信息；(5 )將用戶所需的生產(chǎn)信息發(fā)送至客戶端。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以及方法。現(xiàn)有技術(shù)中只有詢問現(xiàn)場人員或去生產(chǎn)現(xiàn)場才能獲知生產(chǎn)現(xiàn)場的生產(chǎn)信息。本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以及方法，用于依據(jù)用戶的需求為其發(fā)送生產(chǎn)現(xiàn)場的生產(chǎn)信息，該生產(chǎn)現(xiàn)場至少設置有一具有用于發(fā)送信息的發(fā)送模塊的生產(chǎn)設備，該服務系統(tǒng)包括客戶端、服務器和與客戶端、服務器和生產(chǎn)設備相連的網(wǎng)絡系統(tǒng)，該客戶端用于供用戶設定生產(chǎn)信息服務標準并將所設定的服務標準經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)發(fā)送至服務器，該生產(chǎn)設備發(fā)送生產(chǎn)信息至該服務器，該服務器依據(jù)所設定的服務標準處理生產(chǎn)設備發(fā)送至服務器的生產(chǎn)信息，并將處理后的生產(chǎn)信息經(jīng)由網(wǎng)絡系統(tǒng)發(fā)送至客戶端。采用本發(fā)明的生產(chǎn)信息服務系統(tǒng)以及方法可大大方便用戶。
文檔編號H04L12/54GK101330430SQ20071004241
公開日2008年12月24日 申請日期2007年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月22日
發(fā)明者蔡容斌, 鐘瑾瑾, 顧嘯嵐 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司