專利名稱：Mems麥克風的制作方法
技術領域：
MEMS麥克風
技術領域：
本實用新型涉及一種麥克風，尤其涉及一種MEMS麥克風。背景技術：
隨著無線通訊的發(fā)展，全球移動電話用戶越來越多，用戶對移動電 話的要求已不僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其 是目前移動多媒體技術的發(fā)展，移動電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動電 話的麥克風作為移動電話的語音拾取裝置，其設計好壞直接影響通話質(zhì)量。
而目前應用較多且性能較好的麥克風是MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System Microphone )麥克風。J(口圖1所示， 相關技術的MEMS麥克風100，包括電路板14，、覆蓋于電路板14，的 上蓋20，、由電路板14，和上蓋20，共同形成的腔體15，和收容于腔體15， 內(nèi)并分別置于電路板14，上的換能器12，和控制電路16，，其中，電路板 14'設有第一聲腔18'，上蓋20，設有入聲孔21，。
相關技術的MEMS麥克風100，，聲音從入聲孔21，直接進入腔體15，， 該第一聲腔18，的體積有限，導致MEMS麥克風100，的靈敏度不高、頻響 特性也不理想，另外，相關技術的MEMS麥克風100，，針對換能器12， 也沒有防塵保護的作用。
因此，有必要提供一種新的MEMS麥克風以克服上述缺陷。
實用新型內(nèi)容
本實用新型要解決的技術問題在于提供一種靈敏度高、頻響特性好 的MEMS麥克風。
本實用新型通過這樣的技術方案解決上述的技術問題 一種MEMS麥克風，其包括電路板、覆蓋于電路板的具有收容腔 的上蓋和分別置于電路板上的換能器和控制電路，換能器設有第一聲 腔，其中，所述MEMS麥克風還設有聲音隔離板，該聲音隔離板將收容 腔分成兩個部分，即進聲腔和后腔，所述換能器和控制電路收容于后腔 內(nèi)，上蓋設有位于進聲腔的入聲孔，電路板設有連接進聲腔的第一進聲孔、連接換能器的第一聲腔的第二進聲孔和與第一、第二進聲孔相通的 進聲通道。
與現(xiàn)有技術相比較，本實用新型具有以下優(yōu)點外部聲源通過入聲 孔進入進聲腔后，再通過第一進聲孔、進聲通道和第二進聲孔傳入換能 器；同時，上蓋設有聲音隔離板，該聲音隔離板將上蓋隔離出一個較大 的后腔，此結構的MEMS麥克風靈敏度較高和頻響特性較理想。另外， 本實用新型的MEM S麥克風對換能器具有防塵保護的作用。

圖1為相關技術MEMS麥克風的剖視示意圖。
圖2為本實用新型MEMS麥克風的剖視示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖詳細說明本實用新型的具體結構。
本實用新型MEMS麥克風100，主要用于手機上，接收聲信號并將 聲信號轉(zhuǎn)化為電信號。
請參圖2所示，本實用新型MEMS麥克風100,主要包括電路板l、 覆蓋于電路板l的上蓋(未標號)和分別置于電路板1上的換能器3和控 制電路4。
上蓋設有底壁21、自底壁21延伸的側(cè)壁22、由底壁21和側(cè)壁22共同 形成的收容腔(未標號)和自底壁21延伸至電路板1的聲音隔離板23。 所述聲音隔離板23將收容腔分成兩個部分，即進聲腔24和后腔25，應實 際需要，該聲音隔離板23可隨意調(diào)整后腔25的尺寸。上蓋的底壁21還設 有供外部聲源進入進聲腔24的入聲孔26。
電路板l設有第一線路層ll、第二線路層13和夾在第一線路層11和 第二線路層13間的中間線路層12，其中，第一線路層11設有與進聲腔24 相通的第一進聲孔14和與后腔25相通的第二進聲孔15;中間線路層12 設有進聲通道16。所述進聲通道16與第一進聲孔14和第二進聲孔15相 通。
換能器3置于電路板1的第一線路層11上并同時收容于后腔25內(nèi)，其 設有第一聲腔31,該第一聲腔31可通過第二進聲孔15與進聲通道16貫通?？刂齐娐?置于電路板1的第一線路層11上并同時收容于后腔25內(nèi)。 外部聲源通過入聲孔26進入進聲腔24后，再通過第一進聲孔14、進 聲通道16和第二進聲孔15傳入換能器3;同時，上蓋設有聲音隔離板23, 該聲音隔離板23將上蓋的收容腔隔離出 一個較大的后腔25 ，此結構的 MEMS麥克風100靈敏度較高和頻響特性較理想。另外，本實用新型的 MEMS麥克風100對換能器3具有防塵保護的作用。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施方式，本實用新型的保護范圍 并不以上述實施方式為限，但凡本領域普通技術人員根據(jù)本實用新型所 揭示內(nèi)容所作的等效修飾或變化，皆應納入權利要求書中記載的保護范 圍內(nèi)。
權利要求1. 一種MEMS麥克風，其包括電路板、覆蓋于電路板的具有收容腔的上蓋和分別置于電路板上的換能器和控制電路，換能器設有第一聲腔，其特征在于所述MEMS麥克風還設有聲音隔離板，該聲音隔離板將收容腔分成兩個部分，即進聲腔和后腔，所述換能器和控制電路收容于后腔內(nèi)，上蓋設有位于進聲腔的入聲孔，電路板設有連接進聲腔的第一進聲孔、連接換能器的第一聲腔的第二進聲孔和與第一、第二進聲孔相通的進聲通道。
2.如權利要求1所述的mems麥克風，其特征在于所述電路板 包括第 一線路層、第二線路層和夾在第 一線路層和第二線路層間的中間 線路層，所述第一、第二進聲孔設于第一線路層，進聲通道設于中間線 路層。
3.如權利要求1或2所述的mems麥克風，其特征在于所述上蓋一、f 士 dr故j:一 A A" ，:t At>丄A E* dii 》士 A 1, A扭ms s々J_c;隊々j w丑々w &j /w王&'it w、j 'w:s ， 〃i ， i用內(nèi)脈曰肌^e:;^t/if 土 ^Ci塔取。
專利摘要一種MEMS麥克風，其包括電路板、覆蓋于電路板的具有收容腔的上蓋和分別置于電路板上的換能器和控制電路，換能器設有第一聲腔，其中，所述MEMS麥克風還設有聲音隔離板，該聲音隔離板將收容腔分成兩個部分，即進聲腔和后腔，所述換能器和控制電路收容于后腔內(nèi)，上蓋設有位于進聲腔的入聲孔，電路板設有連接進聲腔的第一進聲孔、連接換能器的第一聲腔的第二進聲孔和與第一、第二進聲孔相通的進聲通道。此結構的MEMS麥克風靈敏度較高和頻響特性理想。另外，對換能器具有防塵保護的作用。
文檔編號H04R19/04GK201274566SQ200820212178
公開日2009年7月15日 申請日期2008年9月26日 優(yōu)先權日2008年9月26日
發(fā)明者明 劉, 吳志江, 凱 王 申請人:瑞聲聲學科技(深圳)有限公司