專利名稱：硅基電容式麥克風(fēng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
硅基電容式麥克風(fēng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種麥克風(fēng)，尤其涉及一種硅基電容式麥克風(fēng)。背景技術(shù)：
隨著無(wú)線通訊的發(fā)展，全球移動(dòng)電話用戶越來(lái)越多，用戶對(duì)移動(dòng)電 話的要求已不僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其 是目前移動(dòng)多媒體技術(shù)的發(fā)展，移動(dòng)電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動(dòng)電 話的麥克風(fēng)作為移動(dòng)電話的語(yǔ)音拾取裝置，其設(shè)計(jì)好壞直接影響通話質(zhì) 量。
目前應(yīng)用較多且性能較好的麥克風(fēng)是微電機(jī)系統(tǒng)麥克風(fēng)
(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 簡(jiǎn)稱MEMS),其封裝 體積比傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)小。MEMS麥克風(fēng)是基于硅基半導(dǎo)體材料制 成，故又稱硅基麥克風(fēng)。近幾年，硅基MEMS麥克風(fēng)已取得了很大的 進(jìn)步。
如圖3所示，為相關(guān)結(jié)構(gòu)的MEMS硅基麥克風(fēng)1的立體示意圖， 其包括支撐層10和振膜11，振膜11包括振動(dòng)主體110和與振動(dòng)主體及 支撐層相連的連接部111。該類麥克風(fēng)振膜在振動(dòng)時(shí)，由于振膜通過連 接部支撐在支撐層上，振動(dòng)主體的邊緣偏離的幅度會(huì)比較大，從而導(dǎo)致 產(chǎn)品阻尼大幅度下降、靈敏度降低。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型需解決的技術(shù)問題是克服上述的不足，提供一種靈敏度 得到改善的硅基電容式麥克風(fēng)。
根據(jù)上述需解決的技術(shù)問題，設(shè)計(jì)了一種硅基電容式麥克風(fēng)，包括 背極板、內(nèi)部設(shè)有空腔的支撐層、與背極板相對(duì)的振膜，振膜包括振動(dòng) 主體和與振動(dòng)主體相連的連接部，振膜通過連接部支撐在支撐層上，所述硅基電容式麥克風(fēng)還包括一擋蓋，所述擋蓋包括定位于振膜連接部上 的固持部和與固持部相連且凸出固持部、位于振動(dòng)主體邊緣之上的擋 塊。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述擋蓋的橫截面呈"「"狀。 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述擋蓋與振動(dòng)主體形狀相匹配。。 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述擋蓋為圓環(huán)狀。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述連接部突出圓形振動(dòng)主體邊緣。 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述連接部呈"十"字形支撐在支撐層上。
本實(shí)用新型設(shè)有的擋蓋的擋塊能對(duì)振膜的振動(dòng)主體邊緣進(jìn)行限位， 防止振動(dòng)主體邊緣振幅過大，克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，有利于提高產(chǎn)品 的靈敏度。

圖l是本實(shí)用新型硅基電容式麥克風(fēng)的立體示意圖2是圖1中B-B方向的剖視示意圖3是相關(guān)結(jié)構(gòu)硅基電容式麥克風(fēng)的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一 步說明。
如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型硅基電容式麥克風(fēng)2包括支撐層20、 背極板21、與背極板相對(duì)的振膜22、擋蓋23。支撐層覆蓋在內(nèi)部設(shè)有 空腔的基底24上，相應(yīng)地，支撐層內(nèi)也形成空腔。背極板21收容于基 底24的空腔內(nèi)，其上設(shè)有聲孔210。背極板21與振膜相對(duì)，和振膜22 之間間隔支撐層20。
本實(shí)施方式振膜22包括圓形振動(dòng)主體220和與振動(dòng)主體相連、并 突出圓形振動(dòng)主體的連接部221。該連接部數(shù)量為四個(gè)，呈"十，，字形均 等分布在振動(dòng)主體的邊緣。振動(dòng)主體通過連接部與支撐層相連而支撐在 支撐層上。本實(shí)用新型振膜的連接部不限于四個(gè)或圖中的形狀。
本實(shí)施方式擋蓋23與振動(dòng)主體的形狀匹配，為圓環(huán)狀，其橫截面呈"r"狀，包括固持部231和與固持部相連且凸出固持部的擋塊230。 固持部231固定定位于連接部221上，可使連接部穩(wěn)定地與支撐層相連。 擋塊230位于振動(dòng)主體邊緣之上，相對(duì)振動(dòng)主體邊纟彖間隔一定所需的距 離，它能對(duì)振動(dòng)主體邊緣進(jìn)行限位，防止振動(dòng)主體邊緣振幅過大，克服 了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提高了產(chǎn)品的靈敏度。
本實(shí)用新型硅基電容式麥克風(fēng)的振動(dòng)主體可相對(duì)背極板上下振動(dòng) 并與背極板形成電容效應(yīng)。當(dāng)聲音氣流傳遞到振膜上時(shí)，振動(dòng)主體上下 振動(dòng)以產(chǎn)生位移，改變電容器的電容量，電容量的改變使電容器的輸出 端產(chǎn)生相應(yīng)的交變電場(chǎng)，形成與聲波信號(hào)對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，從而完成聲電 轉(zhuǎn)換的功能。
以上所述的僅是本實(shí)用新型的實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng) 域的普通技術(shù)人員來(lái)說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可 以做出改進(jìn)，但這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1、一種硅基電容式麥克風(fēng)，包括背極板、內(nèi)部設(shè)有空腔的支撐層、與背極板相對(duì)的振膜，振膜包括振動(dòng)主體和與振動(dòng)主體相連的連接部，振膜通過連接部支撐在支撐層上，其特征在于所述硅基電容式麥克風(fēng)還包括一擋蓋，所述擋蓋包括定位于振膜連接部上的固持部和與固持部相連且凸出固持部、位于振動(dòng)主體邊緣之上的擋塊。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于所述 擋蓋的橫截面呈"「"狀。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于所述 擋蓋與振動(dòng)主體形狀相匹配。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于所述 擋蓋為圓環(huán)狀。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于所述 連接部突出圓形振動(dòng)主體邊緣。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于所述 連接部呈"十"字形支撐在支撐層上。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種硅基電容式麥克風(fēng)，包括背極板、內(nèi)部設(shè)有空腔的支撐層、與背極板相對(duì)的振膜，振膜包括振動(dòng)主體和與振動(dòng)主體相連的連接部，振膜通過連接部支撐在支撐層上，所述硅基電容式麥克風(fēng)還包括一擋蓋，所述擋蓋包括定位于振膜連接部上的固持部和與固持部相連且凸出固持部、位于振動(dòng)主體邊緣之上的擋塊。該擋塊能對(duì)振膜的振動(dòng)主體邊緣進(jìn)行限位，防止振動(dòng)主體邊緣振幅過大，克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，有利于提高產(chǎn)品的靈敏度。
文檔編號(hào)H04R19/00GK201355867SQ20082023572
公開日2009年12月2日 申請(qǐng)日期2008年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月26日
發(fā)明者孟珍奎, 睿 張, 舟 葛 申請(qǐng)人:瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司;瑞聲聲學(xué)科技(常州)有限公司