專利名稱：遠距光譜儀的連接結構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是關于一種遠距光譜儀的連接技術，特別是關于一種能夠將安裝于反應室 內(nèi)的通用串行總線(universal serial bus, USB)接口的光譜儀連接到光學模塊控制器的 遠距光譜儀的連接結構，以將光譜儀產(chǎn)生的數(shù)據(jù)穩(wěn)定地傳輸至光學模塊控制器。
背景技術：
一般來說，當多個光譜儀應用于需要大尺寸設備的制程(如液晶顯示器生產(chǎn)線) 中所使用的單個EPD控制器時，為了減少連接反應室觀察端口(chamber view port)至EPD 控制器的光纖的長度，光譜儀安裝于反應室觀察端口附近。然而，光譜儀是通過RS-232或者USB接口方法傳輸數(shù)據(jù)。特別地，由于USB接口 方法使用有效長度約為5米的電纜，當與EPD控制器間隔10至15米的光譜儀連接至一般 USB電纜時，當從安裝在反應室觀察端口的光譜儀傳輸數(shù)據(jù)時可能發(fā)生通信錯誤。為了解決數(shù)據(jù)通信錯誤，USB信號應被放大使得數(shù)據(jù)可在沒有噪聲的情況下傳輸 到遠距離。但是，由于公知技術中尚未揭示此類技術特征，因此提供本發(fā)明以解決上述問 題。

發(fā)明內(nèi)容
技術問題為解決上述及/或其它問題，本發(fā)明的一方面提供一種遠距光譜儀的連接結構， 其能夠通過USB服務器將EPD控制器連接至以USB接口形式安裝于反應室內(nèi)的遠距光譜 儀，以克服由USB電纜的有效長度產(chǎn)生的限制并且將光譜儀產(chǎn)生的數(shù)據(jù)穩(wěn)定地傳輸至EPD 控制器。技術方案本發(fā)明的上述和/或其它方面可以藉由提供如下遠距光譜儀的連接結構來實現(xiàn)， 該遠距光譜儀的連接結構包括鄰近設置于大尺寸制造設備內(nèi)的反應室觀察端口安裝且連 接至單個EPD控制器的多個光譜儀，其特征在于此多個光譜儀分別連接至設置于多個通道 的多個USB設備服務器(USB device servers，UDQ，設置于各通道的各UDS連接至單個交 換集線器(switching hub)，并且交換集線器連接至EPD控制器。此外，為了通過具有獨立IP地址的TCP/IP通信將光譜儀的數(shù)據(jù)傳輸至EPD控制 器，UDS可藉由USB電纜連接至光譜儀以及藉由UTP(LAN)電纜連接至交換集線器，并且交 換集線器可藉由UTP(LAN)電纜連接至EPD控制器。進一步地，EPD控制器可包括USB 2LAN轉換器，或者PCI Express Giga LAN。有益效果根據(jù)本發(fā)明，遠距光譜儀的連接結構能夠通過USB服務器將EPD控制器連接至以 USB接口形式安裝在反應室中的遠距光譜儀，以克服由USB電纜的有效長度產(chǎn)生的限制并 且將光譜儀產(chǎn)生的數(shù)據(jù)穩(wěn)定地傳輸至EPD控制器，藉此提高對制程反應室發(fā)射的等離子發(fā)射的監(jiān)測效率。


為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例， 并配合所附圖式詳細說明如下。圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的遠距光譜儀的連接結構的方塊圖?！爸饕栒f明”10:EPD 控制器20 :USB 電纜30 :UTP(LAN)電纜40:交換集線器Bl 光譜儀CHl CHn :USB設備服務器
具體實施例方式將參照附圖詳細描述本發(fā)明的示范性實施例，其范例繪示于附圖中。圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的遠距光譜儀的連接結構的方塊圖。參照圖1，根據(jù)本發(fā)明實施例的遠距光譜儀的連接結構配置為將鄰近設置于大尺 寸制造設備內(nèi)的反應室觀察端口的多個光譜儀Bi、B2、…、連接至單個EPD控制器10， 藉此在沒有損耗的情況下傳輸多個光譜儀Bi、B2、-,Bn的數(shù)據(jù)至EPD控制器10。為此，多個光譜儀Β1、Β2、...、&ι與多個UDS CHI、CH2、...、CHn是1 1匹配，并 且分別藉由USB電纜20連接。同時，分別連接至光譜儀Bi、B2、...、&ι的各自通道的UDS CHl、CH2、...、CHn，通 過UTP (LAN)電纜30連接至單個交換集線器40，而交換集線器40連接至包括USB 2 LAN轉 換器或者PCI Express Giga LAN的EPD控制器10。結果，UDS CH1、CH2、…、CHn通過USB電纜20接收從光譜儀Bi、B2、...、&ι傳輸 的數(shù)據(jù)，然后通過UTP (LAN)電纜30傳輸數(shù)據(jù)至交換集線器40。因此，交換集線器40能夠 根據(jù)選擇性交換操作，通過UTP (LAN)電纜30迅速地傳輸EPD控制器10所接收到的數(shù)據(jù)。這時，具有各自獨立IP地址的UDS，通過TCP/IP通信與光譜儀Bi、B2、…、&ι進
行通信。當光譜儀B1、B2、-,Bn的數(shù)據(jù)通過TCP/IP通信傳輸至交換集線器40后，可以根 據(jù)交換集線器40的交換操作，在沒有損耗的情況下快速地傳輸EPD控制器10所需的光譜 儀B1、B2、…、&ι的數(shù)據(jù)。上述描述是關于本發(fā)明的示范性實施例，意圖是示意性的，且不應解釋為限制本 發(fā)明。本發(fā)明的許多替換、潤飾及變化是本領域技術人員顯而易見的。
權利要求
1.一種遠距光譜儀的連接結構，包括鄰近設置于大尺寸制造設備內(nèi)的反應室觀察端 口并連接至單個EPD控制器的多個光譜儀，其特征在于所述多個光譜儀分別連接至設置于 多個通道的多個USB設備服務器(USD)，設置于各所述通道的各所述USB設備服務器(USD) 連接至單個交換集線器，并且所述交換集線器連接至所述EPD控制器。
2.如權利要求1所述的遠距光譜儀的連接結構，其中，為了通過具有獨立IP地址的 TCP/IP通信傳輸所述光譜儀的數(shù)據(jù)至所述EPD控制器，所述USB設備服務器藉由USB電纜連接至所述光譜儀，并藉由UTP(LAN)電纜連接至所 述交換集線器，并且所述交換集線器藉由UTP(LAN)電纜連接至所述EPD控制器。
3.如權利要求2所述的遠距光譜儀的連接結構，其中，所述EPD控制器包括USB2LAN 轉換器或者 PCI Express Giga LAN。
全文摘要
一種遠距光譜儀的連接結構，該遠距光譜儀的連接結構可通過USB服務器將EPD控制器連接至以USB接口形式安裝于反應室中的遠距光譜儀，以克服由USB電纜的有效長度產(chǎn)生的限制，并且將光譜儀產(chǎn)生的數(shù)據(jù)穩(wěn)定地傳輸至EPD控制器，藉此提高制程反應室發(fā)射的等離子發(fā)射的監(jiān)測效率。
文檔編號H04B10/00GK102067482SQ200880129902
公開日2011年5月18日 申請日期2008年9月8日 優(yōu)先權日2008年6月20日
發(fā)明者尹碩敏, 李東錫, 李淳鐘, 禹奉周, 金學權 申請人:塞米西斯科株式會社