專利名稱：一種mems傳聲器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種mems傳聲器。
背景技術：
傳聲器，顧名思義就是傳遞聲音的電子器件，主要是用來將聲音信號轉換成代表聲音的電信號，目前社會上常見的傳聲器主要是駐極體式傳聲器和mems傳聲器，傳統(tǒng)的mems傳聲器包括外殼和接線板，外殼上設有方便聲音進入的音孔，接線板內側粘貼有與音孔對應的MEMS聲傳感片，接線板上焊接有處理芯片，MEMS聲傳感片通過處理芯片與接線板構成電連接，這樣，當聲音通過音孔進入外殼時，MEMS聲傳感片便對該聲音震動產生反應，并將該聲音信號轉換成代表該聲音信號的電信號，該電信號通過信號線輸送到接線板上的處理芯片，由處理芯片作信號處理后通過接線板將電信號傳輸?shù)酵獠侩娮釉O備上。傳統(tǒng)mems傳聲器因為結構簡單、組裝方便，現(xiàn)在應用的越來越多，但傳統(tǒng)mems傳聲器的不足之處在于MEMS聲傳感片直接粘貼在與音孔對應的接線板內側，導致MEMS聲傳感片背音面附近的空間狹小，不利于MEMS聲傳感片對外界聲音的感應，對靈敏度的提升貢獻很小，聲電轉換效果較差。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是針對上述不足提供一種結構合理，靈敏度高的mems傳聲器。 為解決上述技術問題，本mems傳聲器包括外殼和接線板，外殼上設有音孔，外殼內設有與音孔對應的MEMS聲傳感片和處理芯片，MEMS聲傳感片通過處理芯片與接線板構成電連接，其結構特點是外殼內粘貼有腔體，腔體將外殼內腔分割為與音孔相通的前腔和與音孔隔絕的后腔，腔體上設有與MEMS聲傳感片背音面對應的傳音孔，MEMS聲傳感片與傳音孔密封粘貼在一起。 本結構的mems傳聲器是通過分腔式結構來實現(xiàn)提高靈敏度的。分腔式結構主要由腔體來完成，腔體安裝在外殼內部，腔體與外殼之間用膠水密封粘合在一起，這樣，就在結構上通過腔體大致將外殼內腔分割開來，并且使腔體與外殼之間實現(xiàn)了密封，原來外殼內腔由一個完整的腔室被分割成了兩個相鄰的腔室，前腔和后腔，其中，前腔與音孔相鄰、相通，而后腔與音孔相離；為了使被分割后的兩個腔室完全隔絕，腔體、外殼及接線板之間的相鄰部都用膠水密封粘合在一起，這樣，與音孔相通的前腔就通過音孔與外界連通，而與音孔隔絕的后腔成為了一個密封腔；為了便于安裝MEMS聲傳感片，腔體上設有與MEMS聲傳感片背音面對應的傳音孔，MEMS聲傳感片背音面與傳音孔貼緊后用膠水密封連接，而MEMS聲傳感片的迎音面與音孔相鄰設置，這樣，MEMS聲傳感片的背音面便與后腔連通，而MEMS聲傳感片的迎音面與前腔連通，前腔又通過音孔與外界連通；當外部聲音通過音孔進入前腔時，MEMS聲傳感片的振膜開始震動，由于MEMS背音面連通有較大的后腔，使MEMS聲傳感片的振膜震動幅度更大，這樣，就增強了MEMS聲傳感片對聲音的敏感程度，使MEMS聲傳感片的輸出信號更強。 作為改進，MEMS聲傳感片的迎音面與音孔相對設置。 MEMS聲傳感片的迎音面與音孔相對設置時，可以使外部聲音直達MEMS聲傳感片，避免聲音損耗和回聲，有利于提高MEMS聲傳感片的靈敏度和信噪比。 綜上所述，采用這種結構的mems傳聲器，結構合理，靈敏度高，適于在對靈敏度要求較高的場合使用。

結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明[0010] 圖1為本實用新型的結構示意圖。 圖中1為外殼，2為接線板，3為MEMS聲傳感片，4為處理芯片，5為音孔，6為腔體，7為前腔，8為后腔，9為傳音孔，10為電線，11為膠水。
具體實施方式如圖1所示，為該mems傳聲器的結構示意圖，該mems傳聲器包括外殼l，外殼1呈上端開口的盒狀，外殼1的底部上設有音孔5，外殼1內設有與外殼內側相配合的腔體6，腔體6與外殼1內側用膠水11密封粘貼，腔體6將外殼1內腔分割為兩個腔室，與音孔5相鄰、相通的腔室為前腔7，與音孔5相離的腔室為后腔8 ;腔體6的上方設有接線板2，接線板2上焊接有處理芯片4，處理芯片4位于后腔8中，接線板2通過膠水11與腔體6上部和外殼1上部密封粘貼在一起，這樣，后腔8便被外殼1、腔體6和接線板2完全包裹起來，成為了一個完全密封的腔室，而前腔7也被外殼1和腔體6包裹起來，因為外殼1上設有音孔5，前腔7與音孔5連通，所以前腔7為半封閉腔室；腔體6內還設有MEMS聲傳感片3，腔體6上設有與MEMS聲傳感片3背音面對應的傳音孔9， MEMS聲傳感片3的背音面與傳音孔9貼緊后用膠水11密封粘貼，且MEMS聲傳感片3的迎音面與音孔5相對設置，這樣，前腔7與后腔8依然為隔絕狀態(tài)，后腔8依然為完全封閉的腔體，當外部聲音通過音孔進入該mems傳聲器時，MEMS聲傳感片3的振膜可以在前腔7和后腔8內自由振動，使MEMS聲傳感片3輸出的聲音電信號更強烈，MEMS聲傳感片3通過電線10將聲音電信號傳遞給處理芯片4處理后由接線板2向外輸出。MEMS聲傳感片的迎音面與音孔相對設置。
權利要求一種mems傳聲器，包括外殼(1)和接線板(2)，外殼(1)上設有音孔(5)，外殼(1)內設有與音孔(5)對應的MEMS聲傳感片(3)和處理芯片(4)，MEMS聲傳感片(3)通過處理芯片(4)與接線板(2)構成電連接，其特征是外殼(1)內粘貼有腔體(6)，腔體(6)將外殼(1)內腔分割為與音孔(5)相通的前腔(7)和與音孔(5)隔絕的后腔(8)，腔體(6)上設有與MEMS聲傳感片(3)背音面對應的傳音孔(9)，MEMS聲傳感片(3)與傳音孔(9)密封粘貼在一起。
2. 如權利要求1所述的mems傳聲器，其特征是MEMS聲傳感片(3)的迎音面與音孔 (5)相對設置。
專利摘要本實用新型公開了一種mems傳聲器，包括外殼和接線板，外殼上設有音孔，外殼內設有與音孔對應的MEMS聲傳感片和處理芯片，MEMS聲傳感片通過處理芯片與接線板構成電連接，外殼內粘貼有腔體，腔體將外殼內腔分割為與音孔相通的前腔和與音孔隔絕的后腔，腔體上設有與MEMS聲傳感片背音面對應的傳音孔，MEMS聲傳感片與傳音孔密封粘貼在一起。MEMS聲傳感片的迎音面與音孔相對設置。采用這種結構的mems傳聲器，結構合理，靈敏度高，適于在對靈敏度要求較高的場合使用。
文檔編號H04R1/02GK201515478SQ20092022679
公開日2010年6月23日 申請日期2009年9月18日 優(yōu)先權日2009年9月18日
發(fā)明者趙篤仁 申請人:山東共達電聲股份有限公司