專利名稱：硅基麥克風(fēng)及其振膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
硅基麥克風(fēng)及其振膜
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅基電容麥克風(fēng)，尤其涉及該硅基麥克風(fēng)的振膜結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)：
隨著無(wú)線通訊的發(fā)展，全球移動(dòng)電話用戶越來(lái)越多，用戶對(duì)移動(dòng)電話的要求已不 僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其是目前移動(dòng)多媒體技術(shù)的發(fā)展，移 動(dòng)電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動(dòng)電話的麥克風(fēng)作為移動(dòng)電話的語(yǔ)音拾取裝置，其設(shè)計(jì)好 壞直接影響通話質(zhì)量。目前應(yīng)用較多的麥克風(fēng)包括傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)和新興的微電機(jī)系統(tǒng)麥克風(fēng)(Mi cro-Electro-Mechanical-System Microphone,簡(jiǎn)稱 MEMS 麥克風(fēng))，MEMS 麥克風(fēng)是基于硅 基半導(dǎo)體材料制成，故又稱硅基麥克風(fēng)。其封裝體積比傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)小，性能也佳。 因而，近幾年，硅基MEMS麥克風(fēng)取得了很大的發(fā)展空間。如

圖1所示，為現(xiàn)有常見的MEMS硅基麥克風(fēng)1的剖視示意圖，其包括內(nèi)部設(shè)有空 腔的基底10和振膜11。振膜與背極板(未圖示)相對(duì)且與背極板間隔一定距離，以形成電 容效應(yīng)，當(dāng)聲音氣流傳遞到振膜上時(shí)，振膜上下振動(dòng)以產(chǎn)生位移，改變電容器的電容量，電 容量的改變使電容器的輸出端產(chǎn)生相應(yīng)的交變電場(chǎng)，形成了與聲波信號(hào)對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，從 而完成聲電轉(zhuǎn)換的功能。振膜11與基底相連，通過(guò)其周邊110整體被固定于基底上。該類 麥克風(fēng)振膜的周邊整體被固定，使得振膜受約束多，膜應(yīng)力相應(yīng)會(huì)增大，從而導(dǎo)致產(chǎn)品的靈 敏度會(huì)有所下降。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型需解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠有效釋放膜應(yīng)力，從而進(jìn)一步提高 產(chǎn)品的靈敏度和一致性的振膜。根據(jù)上述需解決的技術(shù)問(wèn)題，設(shè)計(jì)了一種振膜，其包括振膜主體，在所述振膜主體 的邊緣上設(shè)有突出的一對(duì)扭轉(zhuǎn)梁，所述振膜主體包括通過(guò)該對(duì)扭轉(zhuǎn)梁的直線的兩側(cè)的第一 部分和第二部分，第一部分質(zhì)量大于第二部分質(zhì)量。本實(shí)用新型還需解決的技術(shù)問(wèn)題是提供了一種硅基麥克風(fēng)，其包括內(nèi)部設(shè)有空腔 的基底和位于基底上的振膜，所述振膜包括振膜主體，在所述振膜主體的邊緣上設(shè)有突出 的一對(duì)扭轉(zhuǎn)梁，所述振膜主體包括通過(guò)該對(duì)扭轉(zhuǎn)梁的直線的兩側(cè)的第一部分和第二部分， 第一部分質(zhì)量大于第二部分質(zhì)量，所述振膜通過(guò)扭轉(zhuǎn)梁與基底相連。作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述扭轉(zhuǎn)梁相對(duì)于所述振膜主體的中心線對(duì)稱。作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述振膜主體為長(zhǎng)方形，所述扭轉(zhuǎn)梁位于所述振膜 主體相對(duì)的兩側(cè)邊上。作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述振膜主體為圓形與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型振膜主體通過(guò)兩個(gè)扭轉(zhuǎn)梁而被支撐，能夠有效釋放 振膜在沉積過(guò)程中所形成的應(yīng)力，從而進(jìn)一步提高麥克風(fēng)產(chǎn)品的靈敏度和一致性。[0012]圖1是現(xiàn)有常見的硅基麥克風(fēng)的剖視圖；圖2本實(shí)用新型硅基麥克風(fēng)的剖視示意圖；圖3是本實(shí)用新型振膜的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖2所示，為本實(shí)用新型硅基麥克風(fēng)的一種實(shí)施例，該硅基麥克風(fēng)包括基底1、 振膜2和背極板3?；咨显O(shè)有空腔10，以作為振膜的響應(yīng)的后腔。振膜2與背極板3相對(duì)，且間隔一定的距離。振膜2與背極板3之間形成電容效 應(yīng)，當(dāng)聲音氣流傳遞到振膜上時(shí)，振膜上下振動(dòng)以產(chǎn)生位移，改變電容器的電容量，電容量 的改變使電容器的輸出端產(chǎn)生相應(yīng)的交變電場(chǎng)，形成了與聲波信號(hào)對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，從而完 成聲電轉(zhuǎn)換的功能。如圖3所示，該振膜2包括振膜主體20，振膜主體為長(zhǎng)方形狀。在長(zhǎng)方形狀振膜主 體20相對(duì)的兩側(cè)邊的邊緣上，分別設(shè)有一突出的扭轉(zhuǎn)梁21，即，一對(duì)突出的扭轉(zhuǎn)梁21分別 設(shè)在長(zhǎng)方形狀振膜主體20相對(duì)的兩側(cè)邊上，而不是相鄰的兩側(cè)邊上，并且，在長(zhǎng)軸側(cè)邊上。通過(guò)這一對(duì)扭轉(zhuǎn)梁21的直線Ll將振膜主體20分為兩部分，即，振膜主體20通過(guò) 直線Ll分為第一部分和第二部分，第一部分和第二部分位于直線Ll兩側(cè)。第一部分質(zhì)量 大于第二部分質(zhì)量，即，第一部分和第二部分質(zhì)量不相等，扭轉(zhuǎn)梁21處于振膜主體兩側(cè)邊 的非中間位置。并且，扭轉(zhuǎn)梁21相對(duì)于振膜主體的中心線梁L2對(duì)稱。本實(shí)施例中，振膜為長(zhǎng)方形，其形狀也可為圓形或其他形狀。當(dāng)為圓形時(shí)，一對(duì)扭 轉(zhuǎn)梁位于圓形振膜非直徑的兩端，即，連通扭轉(zhuǎn)梁的直線為圓的弦。當(dāng)然，一對(duì)扭轉(zhuǎn)梁相對(duì) 它們之間的中間直徑對(duì)稱。振膜通過(guò)此對(duì)扭轉(zhuǎn)梁與基底相連，以通過(guò)扭轉(zhuǎn)梁而被支撐在基底上。由于扭轉(zhuǎn)梁 位于振膜側(cè)邊的非中間位置，即將振膜分為兩個(gè)不相等的部分，從而，不相等的部分會(huì)存在 扭轉(zhuǎn)，以能夠有效釋放振膜在沉積過(guò)程中所形成的應(yīng)力，從而進(jìn)一步提高麥克風(fēng)產(chǎn)品的靈 敏度和一致性。以上所述的僅是本實(shí)用新型的實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出改進(jìn)，但這些均屬于本實(shí)用 新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求一種振膜，包括振膜主體，其特征在于在所述振膜主體的邊緣上設(shè)有突出的一對(duì)扭轉(zhuǎn)梁，所述振膜主體包括通過(guò)該對(duì)扭轉(zhuǎn)梁的直線的兩側(cè)的第一部分和第二部分，第一部分質(zhì)量大于第二部分質(zhì)量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜，其特征在于所述扭轉(zhuǎn)梁相對(duì)于所述振膜主體的中心 線對(duì)稱。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振膜，其特征在于所述振膜主體為長(zhǎng)方形，所述扭轉(zhuǎn)梁位于 所述振膜主體相對(duì)的兩側(cè)邊上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所塑的振膜，其特征在于所述振膜主體為圓形。
5.一種硅基麥克風(fēng)，包括內(nèi)部設(shè)有空腔的基底和位于基底上的振膜，所述振膜包括振 膜主體，其特征在于在所述振膜主體的邊緣上設(shè)有突出的一對(duì)扭轉(zhuǎn)梁，所述振膜主體包括 通過(guò)該對(duì)扭轉(zhuǎn)梁的直線的兩側(cè)的第一部分和第二部分，第一部分質(zhì)量大于第二部分質(zhì)量， 所述振膜通過(guò)扭轉(zhuǎn)梁與基底相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅基麥克風(fēng)，其特征在于所述扭轉(zhuǎn)梁相對(duì)于所述振膜主體 的中心線對(duì)稱。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅基麥克風(fēng)，其特征在于所述振膜主體為長(zhǎng)方形，所述扭轉(zhuǎn) 梁位于所述振膜主體相對(duì)的兩側(cè)邊上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅基麥克風(fēng)，其特征在于所述振膜主體為圓形。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種硅基麥克風(fēng)，包括振膜主體，在所述振膜主體的邊緣上設(shè)有突出的一對(duì)扭轉(zhuǎn)梁，所述振膜主體包括通過(guò)該對(duì)扭轉(zhuǎn)梁的直線的兩側(cè)的第一部分和第二部分，第一部分質(zhì)量大于第二部分質(zhì)量。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型振膜主體通過(guò)兩個(gè)扭轉(zhuǎn)梁而被支撐，能夠有效釋放振膜在沉積過(guò)程中所形成的應(yīng)力，從而進(jìn)一步提高麥克風(fēng)產(chǎn)品的靈敏度和一致性。
文檔編號(hào)H04R7/02GK201733432SQ201020184999
公開日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月4日
發(fā)明者楊斌, 顏毅林 申請(qǐng)人:瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司;瑞聲微電子科技(常州)有限公司