超聲波傳感器及其制造方法
【專利摘要】超聲波傳感器(101)具備：具有底部(31b)與側(cè)壁部(31a)的有底筒狀的外殼(31)；設(shè)于外殼(31)的內(nèi)底面的壓電元件(32)；在外殼(31)內(nèi)經(jīng)由導(dǎo)通構(gòu)件與壓電元件(32)電連接并向外殼(31)的外部突出的端子(43)；保持端子(43)的端子保持構(gòu)件(41)；將端子保持構(gòu)件(41)保持在外殼(31)內(nèi)的緩沖構(gòu)件(33)；沿著外殼(31)的側(cè)壁部(31a)的內(nèi)周面設(shè)置的阻尼構(gòu)件(39)；填充在外殼(31)內(nèi)的、阻尼構(gòu)件(39)及緩沖構(gòu)件(33)的上部的填充構(gòu)件(36)，在阻尼構(gòu)件(39)與緩沖構(gòu)件(33)之間設(shè)有間隙(40)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，防止向端子的振動泄漏，從而改善由振動泄漏引起的混響特性。
【專利說明】超聲波傳感器及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及超聲波傳感器及其制造方法，尤其是涉及具有壓電元件及與該壓電元件電連接的輸入輸出端子、例如在機(jī)動車的轉(zhuǎn)彎聲納、倒車聲納等中使用的超聲波傳感器及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]超聲波傳感器是通過間接性地發(fā)送超聲波脈沖信號并接收在發(fā)送出的超聲波脈沖信號到達(dá)物體之后反射的反射信號來檢測物體的裝置。在機(jī)動車的倒車聲納、轉(zhuǎn)彎聲納、進(jìn)而檢測縱列式停車時與側(cè)壁等障礙物的距離的停車位置傳感器等中采用超聲波傳感器。這種超聲波傳感器在專利文獻(xiàn)I?3中有公開。
[0003]圖9是專利文獻(xiàn)I的超聲波傳感器的局部切斷主視圖。該超聲波傳感器具備超聲波振子1、緩沖構(gòu)件2、屏蔽線5、吸音件6及殼體3。緩沖構(gòu)件2具有超聲波發(fā)送接收用的開口且圍繞超聲波振子I。殼體3為成型件，對超聲波振子I和緩沖構(gòu)件2進(jìn)行收納。屏蔽線5的一端部在殼體3的內(nèi)部與超聲波振子I連接，另一端部從殼體3向外部引出。并且，在緩沖構(gòu)件2的內(nèi)部且與超聲波振子I的側(cè)面對應(yīng)的部分，以包圍超聲波振子I的方式形成有空氣層4。
[0004]在專利文獻(xiàn)2中公開有如下所述的超聲波傳感器的結(jié)構(gòu)，S卩，該超聲波傳感器具備:超聲波振子；具有粘附有超聲波振子而形成超聲波放射壁的底面部與筒狀側(cè)壁的內(nèi)側(cè)箱體；具有與內(nèi)側(cè)箱體的筒狀側(cè)壁呈同軸狀配置的筒狀側(cè)壁的外側(cè)箱體，外側(cè)箱體在超聲波放射壁側(cè)的多個支承部位對內(nèi)側(cè)箱體進(jìn)行支承，在多個支承部位以外處，在內(nèi)側(cè)箱體的筒狀側(cè)壁的外壁與外側(cè)箱體的筒狀側(cè)壁的外壁之間形成有間隙。
[0005]在專利文獻(xiàn)3中公開有如下所述的超聲波傳感器的結(jié)構(gòu)，S卩，該超聲波傳感器具備:超聲波振子；具有超聲波發(fā)送接收用的開口且包圍超聲波振子的保持構(gòu)件；為成型件且對超聲波振子與保持構(gòu)件進(jìn)行收納的殼體，通過在保持構(gòu)件的內(nèi)側(cè)設(shè)有凸部，從而在凸部以外的部位產(chǎn)生間隙。
[0006]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開平4一238497號公報
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2003— 315443號公報
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特開平5— 207594號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]發(fā)明所要解決的課題
[0012]在專利文獻(xiàn)I?3所示的現(xiàn)有的超聲波傳感器中，在上述空氣層及間隙的作用下，超聲波振子的振動難以向外殼(殼體、箱體)傳遞。因此，存在混響時間的縮短效果。
[0013]但是，在進(jìn)行電信號的輸入輸出的構(gòu)件不為引線(或者屏蔽線)而設(shè)為銷端子的情況下，外殼的振動向銷端子傳播，產(chǎn)生該振動使安裝有超聲波傳感器的外部電路基板振動的問題(以下，稱為“振動泄漏”。)。由于該振動泄漏而使混響時間變長(混響特性惡化)。并且，如果混響時間拖長的話，則在檢測位于近距離的物體時，由于在基于發(fā)送出的超聲波脈沖信號的混響的持續(xù)時間內(nèi)接收反射信號，故無法實現(xiàn)位于近距離的物體的檢測。
[0014]本發(fā)明的目的在于，提供一種防止向端子的振動泄漏、改善由振動泄漏引起的混響特性的超聲波傳感器。
[0015]用于解決課題的方式
[0016](I)本發(fā)明的超聲波傳感器的特征在于，具備:
[0017]有底筒狀的外殼，其具有底部與側(cè)壁部；
[0018]壓電兀件，其設(shè)于所述外殼的內(nèi)底面；
[0019]端子，其在所述外殼內(nèi)經(jīng)由導(dǎo)通構(gòu)件與所述壓電元件電連接，并向所述外殼的外部突出；
[0020]端子保持構(gòu)件，其對所述端子進(jìn)行保持；
[0021]緩沖構(gòu)件，其在所述外殼內(nèi)對所述端子保持構(gòu)件進(jìn)行保持；
[0022]阻尼構(gòu)件，其沿著所述外殼的側(cè)壁部的內(nèi)周面設(shè)置；
[0023]填充構(gòu)件，其填充在所述外殼內(nèi)的、所述阻尼構(gòu)件及所述緩沖構(gòu)件的上部，
[0024]在所述阻尼構(gòu)件與所述緩沖構(gòu)件之間設(shè)有間隙(空氣層)。
[0025]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，從外殼傳遞來的振動被阻尼構(gòu)件、緩沖構(gòu)件及間隙(空氣層)衰減(遮斷)，幾乎無法通過端子保持構(gòu)件向端子傳播，因此，能夠大幅地降低將端子安裝于外部的電路基板時產(chǎn)生的振動泄漏。
[0026](2)優(yōu)選的是，所述填充構(gòu)件的彈性模量比所述阻尼構(gòu)件小。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠降低從彈性模量比阻尼構(gòu)件小的填充構(gòu)件向端子直接傳遞的振動泄漏。另外，阻尼構(gòu)件成為不與端子直接相接的結(jié)構(gòu)，阻尼構(gòu)件的彈性模量難以影響振動泄漏特性，故阻尼構(gòu)件的選擇范圍變寬。
[0027](3)優(yōu)選的是，還具備對所述間隙與所述填充構(gòu)件的交界部(空氣層的開口部)進(jìn)行閉塞的閉塞構(gòu)件(添縫樹脂)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠使緩沖構(gòu)件的結(jié)構(gòu)簡單化。
[0028](4)優(yōu)選的是，所述外殼的側(cè)壁部在開口側(cè)具備薄壁部而在底部側(cè)具備厚壁部，
[0029]在厚壁部上設(shè)有聲阻抗比外殼高的加強件。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，外殼的底面的周圍的剛性變高，外殼底面的振動向外殼側(cè)壁部的傳播受到抑制，并且作為傳感器的靈敏度得以提聞。
[0030](5)優(yōu)選的是，在所述壓電元件與所述緩沖構(gòu)件之間設(shè)有吸音構(gòu)件。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，利用吸音件吸收無用的聲波，能夠更加效率良好地使從壓電元件向外殼內(nèi)部傳遞的無用的聲波衰減。
[0031](6)本發(fā)明的超聲波傳感器的制造方法為(I)?(5)任一方面的超聲波傳感器的制造方法，其特征在于，包括:
[0032]將外徑比所述緩沖構(gòu)件大的圓環(huán)狀的成型模向所述外殼內(nèi)插入的工序；
[0033]將所述阻尼構(gòu)件形成用的彈性樹脂向所述外殼內(nèi)的所述成型模的周圍填充的工序;
[0034]將所述成型模從所述外殼除去并在所述外殼內(nèi)搭載所述緩沖構(gòu)件的工序。[0035]發(fā)明效果
[0036]根據(jù)本發(fā)明，從外殼傳遞來的振動被阻尼構(gòu)件、緩沖構(gòu)件及間隙(空氣層)衰減(遮斷)，基本不會通過端子保持構(gòu)件向端子傳播，因此，能夠大幅地降低振動泄漏。因此，能夠防止由振動泄漏引起的混響特性的惡化，從而能夠?qū)崿F(xiàn)位于更近距離的物體的檢測。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0037]圖1是第一實施方式所涉及的超聲波傳感器101的剖視圖。
[0038]圖2是超聲波傳感器101的去除局部的分解立體圖。
[0039]圖3中圖3(A)是表示第一實施方式所涉及的超聲波傳感器101的混響特性的圖，圖3(B)是表示作為比較例的超聲波傳感器的混響特性的圖。
[0040]圖4是表示阻尼構(gòu)件39與緩沖構(gòu)件33之間的間隙40和振動泄漏時間的關(guān)系的圖。
[0041]圖5是表示形成阻尼構(gòu)件39及間隙40的工序的圖。
[0042]圖6是第二實施方式所涉及的超聲波傳感器102的剖視圖。
[0043]圖7是第三實施方式所涉及的超聲波傳感器103的剖視圖。
[0044]圖8是第四實施方式所涉及的超聲波傳感器104的剖視圖。
[0045]圖9是專利文獻(xiàn)I的超聲波傳感器的局部切斷主視圖。
【具體實施方式】
[0046]《第一實施方式》
[0047]圖1是第一實施方式所涉及的超聲波傳感器101的剖視圖。圖2是超聲波傳感器101的去除局部的分解立體圖。
[0048]超聲波傳感器101包括:具有圓板狀的底部31b與筒狀的側(cè)壁部31a的鋁制的有底筒狀的外殼31、貼附于外殼31的內(nèi)底面的壓電元件32、加強件(錠子)37、端子43、保持端子43的端子保持構(gòu)件41等。端子43與壓電元件32由圖1未示出的配線件(導(dǎo)通構(gòu)件)電連接。配線件(導(dǎo)通構(gòu)件)例如為引線、柔性基板等。壓電元件32呈平板狀，當(dāng)被施加驅(qū)動電壓時沿著面內(nèi)方向擴(kuò)展振動。壓電元件32與外殼31的底部31b接合。壓電元件32例如由壓電陶瓷構(gòu)成，具有圓板形狀的壓電基板和分別設(shè)于壓電基板的相互對置的主面上的電極。
[0049]如圖2所示，外殼31為底部31b側(cè)閉塞、底部31b側(cè)的相反側(cè)開口的有底筒狀，外殼31的開口在俯視觀察下呈圓形。外殼31的側(cè)壁部31a在開口側(cè)具備薄壁部31t而在底部側(cè)具有厚壁部31h。在外殼31的側(cè)壁部31a形成有臺階部31ST。
[0050]加強件(錠子)37為在中央具有開口 37h的環(huán)狀構(gòu)件，配置在外殼31的厚壁部31h上且配置在與側(cè)壁部31a的薄壁部31t的內(nèi)周面不相接的位置處。加強件37為聲阻抗較高而作為錠子發(fā)揮功能的構(gòu)件即可。因此，加強件37可以為通過調(diào)整厚度等尺寸而由與外殼31相同的材料、即由鋁構(gòu)成的構(gòu)件，但優(yōu)選由如不銹鋼、鋅那樣的與構(gòu)成外殼31的材料相比密度高且剛性高的材料構(gòu)成。
[0051]如圖2所示，底部31b中的由臺階部31ST圍繞的區(qū)域為主要的振動區(qū)域。外殼31主要的振動區(qū)域在俯視觀察下呈長方形，y軸方向長故I軸方向為長軸，X軸方向短故X軸方向為短軸。這樣，主要的振動區(qū)域具有各向異性的形狀，故超聲波的指向性產(chǎn)生各向異性。即，所述長軸方向(y軸方向)的指向角窄，所述短軸方向(X軸方向)的指向角寬。
[0052]在壓電元件32之上設(shè)有平板狀的吸音件38。吸音件38配置在外殼31的內(nèi)部的由臺階部31ST圍繞的空間內(nèi)。吸音件38由例如聚酯氈、多孔質(zhì)硅酮等構(gòu)成，對從壓電元件32向外殼31的開口側(cè)釋放的無用的超聲波進(jìn)行吸收。在加強件37及吸音件38與端子保持構(gòu)件41之間設(shè)有由硅酮橡膠、聚氨酯橡膠等彈性體構(gòu)成的緩沖構(gòu)件33。緩沖構(gòu)件33在外殼31內(nèi)保持端子保持構(gòu)件41。沿著外殼31的側(cè)壁部31a的內(nèi)周面而設(shè)有由聚氨酯橡膠、硅酮橡膠等彈性體構(gòu)成且作為在中央具有開口的筒狀構(gòu)件的阻尼構(gòu)件39。并且，在阻尼構(gòu)件39與緩沖構(gòu)件33之間形成有間隙(空氣層)40。具體而言，緩沖構(gòu)件33具有與阻尼構(gòu)件39接觸的凸緣狀(凸邊狀)的部分，通過該凸緣狀(凸邊狀)的部分而在阻尼構(gòu)件39與緩沖構(gòu)件33之間形成間隙(空氣層)40。
[0053]在外殼31的內(nèi)部中，在阻尼構(gòu)件39及緩沖構(gòu)件33的上部的空間中填充有由硅酮橡膠、聚氨酯橡膠等彈性體構(gòu)成的填充構(gòu)件36。填充構(gòu)件36和阻尼構(gòu)件39可以采用相同的材料。
[0054]外殼31可以通過例如鍛造來形成。緩沖件33為杯狀的構(gòu)件，包括具有與加強件37的開口 37h卡合的卡合部33e的底部和筒狀的側(cè)壁部。通過設(shè)置緩沖件33，能夠抑制外殼31的底部31b中的振動向端子保持件41傳遞的情況。
[0055]端子保持構(gòu)件41由聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)等樹脂構(gòu)成，對兩根銷狀的端子43進(jìn)行保持。端子保持構(gòu)件41具有與緩沖構(gòu)件33的筒狀的側(cè)壁部的內(nèi)表面卡合的凸緣狀的卡合部(以下，稱為“凸緣部”。)41f。端子保持構(gòu)件41的凸緣部41f的上表面41s由填充構(gòu)件36覆蓋。
[0056]如此，由于設(shè)有與外殼31的側(cè)壁部31a的內(nèi)周面相接的阻尼構(gòu)件39，故外殼31的側(cè)壁部31a的振動被阻尼構(gòu)件39衰減。并且，通過在阻尼構(gòu)件39與緩沖構(gòu)件33之間形成有間隙(空氣層)40，外殼31的側(cè)壁部31a的振動難以經(jīng)由阻尼構(gòu)件39而向緩沖構(gòu)件33傳播。即，幾乎不會按照緩沖構(gòu)件33 —端子保持構(gòu)件41 —端子43的路徑傳播振動，可有效地抑減振動泄漏。另外，經(jīng)由間隙(空氣層)40以外的部分從外殼31傳播的振動在填充構(gòu)件36之中衰減，幾乎不經(jīng)由端子保持構(gòu)件41向端子43傳播。
[0057]根據(jù)上述作用，能夠大幅降低將超聲波傳感器101安裝于外部的電路基板時所產(chǎn)生的振動泄漏。
[0058]另外，通過端子保持構(gòu)件41的凸緣部41f的上表面41s由填充構(gòu)件36覆蓋，能夠防止端子保持構(gòu)件41從外殼31脫離的情況。
[0059]緩沖構(gòu)件33是難以傳播振動的結(jié)構(gòu)，阻尼構(gòu)件39及填充構(gòu)件36是抑制(減振)外殼31的側(cè)壁部31a的振動的結(jié)構(gòu)。即阻尼構(gòu)件39及填充構(gòu)件36優(yōu)選彈性模量比緩沖構(gòu)件33高。更詳細(xì)而言，彈性模量包括儲能彈性模量和損耗彈性模量，優(yōu)選阻尼構(gòu)件39及填充構(gòu)件36的損耗彈性模量大而緩沖構(gòu)件33的儲能彈性模量小。
[0060]圖3 (A)是表示第一實施方式所涉及的超聲波傳感器101的混響特性的圖，圖3 (B)是表示作為比較例的超聲波傳感器的混響特性的圖。該比較例的超聲波傳感器沒有圖1所示的間隙40，在該部分中擴(kuò)展有緩沖構(gòu)件33，除了不具有間隙40這一方面以外為與第一實施方式所涉及的超聲波傳感器101相同的結(jié)構(gòu)。在圖3(A)和圖3(B)中，均由ys / div表示橫軸500、由IV / div表示縱軸。另外，均是利用釬焊將端子43固定在外部的電路基板上，按照發(fā)送時間0.13ms發(fā)送八波的脈沖串波，對在壓電元件中顯現(xiàn)的電壓波形進(jìn)行放大來進(jìn)行觀測。雖然實際而言是從發(fā)送剛剛結(jié)束后開始振幅的衰減，但由于暫時超過放大電路的動態(tài)范圍，故其時間的波形飽和。
[0061]從將圖3(A)和圖3(B)對比可清楚得到，在第一實施方式所涉及的超聲波傳感器101中，振幅較早收斂，振動泄漏得到抑制且混響時間短。
[0062]圖4是表示阻尼構(gòu)件39與緩沖構(gòu)件33之間的間隙40和振動泄漏時間的關(guān)系的圖。在此，“振動泄漏時間”是作為在將端子43利用釬焊固定于外部的電路基板上的狀態(tài)下的通常的混響時間和在利用硅酮橡膠等夾持向端子43泄漏的振動來抑制振動泄漏的狀態(tài)下的混響時間的、混響的變動量來進(jìn)行定義的時間。在未設(shè)置間隙40的情況下、即在比較例的情況下振動泄漏時間的偏差較大，通過設(shè)置間隙40，振動泄漏時間變得非常小，且偏差也變小。根據(jù)其結(jié)果可知，通過設(shè)有超過Omm的間隙，振動泄漏時間被抑制成作為能夠使用的等級的、小于0.1ms。
[0063]需要說明的是，根據(jù)第一實施方式，由于外殼31的開口部由端子保持構(gòu)件41與填充構(gòu)件36密閉，因此，在外殼31的內(nèi)部，沒有水浸入到內(nèi)部導(dǎo)致靈敏度降低、或在異種金屬間產(chǎn)生腐蝕的問題。
[0064]關(guān)于以上示出的用于在超聲波傳感器101內(nèi)設(shè)置間隙40的制造方法參考圖5進(jìn)行說明。
[0065]圖5是表示形成阻尼構(gòu)件39及間隙40的工序的圖。首先，如圖5(A)所示，在外殼31內(nèi)接合壓電元件32，安裝加強件37，將吸音構(gòu)件38配置在壓電元件32上，裝配成型模51。成型模51以在其與外殼31的側(cè)壁部31a之間存在具有與阻尼構(gòu)件39相同形狀的間隙的方式配置。接著，如圖5(B)所示，將添縫樹脂39P涂布在成型模51與外殼31的側(cè)壁部31a間的間隙的局部中并使之硬化。添縫樹脂39P由與阻尼構(gòu)件39相同的材料構(gòu)成，之后成為阻尼構(gòu)件39的一部分。接著，如圖5(C)所示，將阻尼構(gòu)件39用的樹脂涂布(填充)在成型模51與外殼31的側(cè)壁部31a間的間隙中并使之硬化。之后，如圖5(D)所示，拆除成型模51，如圖5(E)那樣裝配緩沖構(gòu)件33。
[0066]根據(jù)以上的工序，在阻尼構(gòu)件39與緩沖構(gòu)件33之間設(shè)有間隙40。
[0067]《第二實施方式》
[0068]圖6是第二實施方式所涉及的超聲波傳感器102的剖視圖。超聲波傳感器102的結(jié)構(gòu)與第一實施方式所不的超聲波傳感器101相同。不過，填充構(gòu)件36由與阻尼構(gòu)件39不同的材料構(gòu)成。在第二實施方式的超聲波傳感器102中，填充構(gòu)件36的彈性模量比阻尼構(gòu)件39的彈性模量小。
[0069]例如阻尼構(gòu)件39由聚氨酯橡膠構(gòu)成，填充構(gòu)件36由硅酮橡膠構(gòu)成。另外，只要使填充構(gòu)件36的彈性模量與阻尼構(gòu)件39的彈性模量不同，兩者也可為聚氨酯橡膠。阻尼構(gòu)件39為相對于外殼31的側(cè)壁部31a減振性高的彈性件，填充構(gòu)件36為難以將側(cè)壁部31a的振動向端子保持構(gòu)件41傳播的彈性件即可。
[0070]《第三實施方式》
[0071]圖7是第三實施方式所涉及的超聲波傳感器103的剖視圖。在超聲波傳感器103中具備對間隙40與填充構(gòu)件36的交界部進(jìn)行閉塞的閉塞構(gòu)件34。其他的結(jié)構(gòu)與第一實施方式所示的超聲波傳感器101相同。
[0072]閉塞構(gòu)件34可以通過利用分配器涂布觸變性高達(dá)不會浸入到間隙40內(nèi)的程度的樹脂來設(shè)置。
[0073]如此，通過利用閉塞構(gòu)件34對間隙40與填充構(gòu)件36的交界部(空氣層的開口部)進(jìn)行閉塞(添縫)，防止了在填充構(gòu)件36的填充時填充樹脂的向間隙40的流入。
[0074]另外，通過如此采用閉塞構(gòu)件34，無需在緩沖構(gòu)件33形成與阻尼構(gòu)件39接觸的凸緣狀(凸邊狀)的部分，因此，能夠使緩沖構(gòu)件33的形狀簡單化。
[0075]《第四實施方式》
[0076]圖8是第四實施方式所涉及的超聲波傳感器104的剖視圖。在超聲波傳感器104中，利用填充構(gòu)件36對阻尼構(gòu)件39與緩沖構(gòu)件33之間的間隙40的開口進(jìn)行閉塞。其他的結(jié)構(gòu)與第一實施方式所不的超聲波傳感器101相同。
[0077]在填充構(gòu)件36中采用觸變性高達(dá)在其填充時樹脂不會流入到間隙40內(nèi)的程度的樹脂材料。
[0078]附圖符號說明
[0079]31…外殼
[0080]31a…側(cè)壁 部
[0081]31b…底部
[0082]31h…厚壁部
[0083]31ST…臺階部
[0084]31t…薄壁部
[0085]32…壓電元件
[0086]33…緩沖構(gòu)件
[0087]33e…卡合部
[0088]34…閉塞構(gòu)件
[0089]36…填充構(gòu)件
[0090]37…加強件
[0091]37h …開口
[0092]38…吸音構(gòu)件
[0093]39…阻尼構(gòu)件
[0094]40…間隙
[0095]41…端子保持構(gòu)件
[0096]41f…凸緣部
[0097]41s…上表面
[0098]43…端子
[0099]51...成型模
[0100]101~104…超聲波傳感器
【權(quán)利要求】
1.一種超聲波傳感器,其特征在于,具備: 有底筒狀的外殼，其具有底部與側(cè)壁部； 壓電元件，其設(shè)于所述外殼的內(nèi)底面； 端子，其在所述外殼內(nèi)經(jīng)由導(dǎo)通構(gòu)件與所述壓電元件電連接，并向所述外殼的外部突出； 端子保持構(gòu)件，其對所述端子進(jìn)行保持； 緩沖構(gòu)件，其在所述外殼內(nèi)對所述端子保持構(gòu)件進(jìn)行保持； 阻尼構(gòu)件，其沿著所述外殼的側(cè)壁部的內(nèi)周面設(shè)置； 填充構(gòu)件，其填充在所述外殼內(nèi)的、所述阻尼構(gòu)件及所述緩沖構(gòu)件的上部， 在所述阻尼構(gòu)件與所述緩沖構(gòu)件之間設(shè)有間隙。
2.如權(quán)利要求1所述的超聲波傳感器，其特征在于， 所述填充構(gòu)件的彈性模量比所述阻尼構(gòu)件小。
3.如權(quán)利要求1或2所述的超聲波傳感器，其特征在于， 還具備閉塞構(gòu)件，其對所述間隙與所述填充構(gòu)件的交界部進(jìn)行閉塞。
4.如權(quán)利要求1?3中任一項所述的超聲波傳感器,其特征在于， 所述外殼的側(cè)壁部在開口側(cè)具備薄壁部而在所述底部側(cè)具備厚壁部， 在所述厚壁部上設(shè)有聲阻抗比所述外殼高的加強件。
5.如權(quán)利要求1?4中任一項所述的超聲波傳感器,其特征在于， 在所述壓電元件與所述緩沖構(gòu)件之間設(shè)有吸音構(gòu)件。
6.—種超聲波傳感器的制造方法,該方法為權(quán)利要求1?5中任一項所述的超聲波傳感器的制造方法，其特征在于，包括: 將外徑比所述緩沖構(gòu)件大的圓環(huán)狀的成型模向所述外殼內(nèi)插入的工序； 將所述阻尼構(gòu)件形成用的彈性樹脂填充于所述外殼內(nèi)的所述成型模的周圍的工序； 將所述成型模從所述外殼除去并在所述外殼內(nèi)搭載所述緩沖構(gòu)件的工序。
【文檔編號】H04R31/00GK103843366SQ201280048808
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2012年10月2日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月4日
【發(fā)明者】磯元真弓 申請人:株式會社村田制作所