顯微掃描裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種顯微掃描裝置，包含一光源、一影像感測模塊以及一透鏡組。光源用以產(chǎn)生一光線照射一對象以產(chǎn)生一影像光；影像感測模塊用以接收來自對象的影像光以產(chǎn)生一影像信號；透鏡組則設置于影像感測模塊的一入光側(cè)，用以會聚來自對象的影像光至影像感測模塊，其中透鏡組包含多個透鏡，多個透鏡的光軸彼此平行，且透鏡組于對象端的一物高小于影像感測模塊端的一像高。本實用新型的顯微掃描裝置具有放大成像的效果，經(jīng)由連續(xù)的線性掃描，可得到大區(qū)域范圍對象的顯微掃描影像。
【專利說明】顯微掃描裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型有關一種掃描裝置，特別是一種顯微掃描裝置。
【背景技術】
[0002]由于產(chǎn)品尺寸的微小化，或是對于材料微觀性質(zhì)及結(jié)構(gòu)的探討，顯微成像技術廣泛的運用在材料分析、產(chǎn)品良率分析或是生醫(yī)領域。然而，傳統(tǒng)的顯微成像，僅能得到小區(qū)域的影像，若需要大區(qū)域的觀察，則需要大量的接圖。例如，針對 χ?”的晶圓區(qū)域，可能會得到上百或上千張的圖形，然后還要加以拼接，過程繁瑣且容易產(chǎn)生誤差。此外，傳統(tǒng)的掃描裝置皆為縮像系統(tǒng)，其是將較大的待掃描對象經(jīng)由光學系統(tǒng)成像于較小的影像傳感器，如圖1所示，亦即物高Otl大于像高Itl,因此傳統(tǒng)的掃描裝置無法取得待掃描對象的細部掃描影像。
[0003]因此，發(fā)展一種能夠獲得大區(qū)域范圍且高分辨率影像是目前亟需實現(xiàn)的目標。實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型了提供了一種掃描裝置，其具有放大成像的效果，經(jīng)由連續(xù)的線性掃描，可得到大區(qū)域范圍對象的顯微掃描影像。
[0005]根據(jù)本實用新型的一實施例，一種顯微掃描裝置，包含一光源、一影像感測模塊以及一透鏡組。光源用以產(chǎn)生一光線照射一對象以產(chǎn)生一影像光；影像感測模塊用以接收來自對象的影像光以產(chǎn)生一影像信號；透鏡組則設置于影像感測模塊的一入光側(cè)，用以會聚來自對象的影像光至影像感測模塊，其中透鏡組包含多個透鏡，多個透鏡的光軸彼此平行，且透鏡組于對象端的一物高小于影像感測模塊端的一像高。
[0006]以下藉由具體實`施例配合附圖詳加說明，當更容易了解本實用新型的目的、技術內(nèi)容、特點及其所達成的功效。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1所示先前技術的掃描成像示意圖。
[0008]圖2所示為本實用新型一實施例的掃描裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖3所示為本實用新型另一實施例的掃描裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖4所示為本實用新型另一實施例的掃描裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]符號說明
[0012]I 掃描裝置
[0013]10 光源
[0014]20影像感測模塊
[0015]30透鏡組
[0016]31 透鏡
[0017]40驅(qū)動模塊[0018]50影像處理模塊
[0019]10先前技術中的像高
[0020]O0先前技術中的物高
[0021]I影像
[0022]Ih像高
[0023]O物件
[0024]Oh物高
【具體實施方式】
[0025]請參考圖2，圖2所示為本實用新型一實施例的掃描裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。一種顯微掃描裝置1，包含一光源10、一影像感測模塊20以及一透鏡組30。光源用以產(chǎn)生一光線照射一對象O以產(chǎn)生一影像光，于一實施例中，光源10包含一發(fā)光二極管或冷陰極熒光燈(cold cathode fluorescent lamp, CCFL)。影像感測模塊20用以接收來自對象的影像光以產(chǎn)生一影像信號。于一實施例中，影像感測模塊20可為一線狀影像傳感器(linear imagesensor)，以接受線性掃描所得到的影像。透鏡組30則設置于影像感測模塊20的一入光側(cè)，用以會聚來自對象O的影像光至影像感測模塊20，得到一影像I ;其中透鏡組30包含多個透鏡31，多個透鏡31的光軸彼此平行，且透鏡組30為一放大光學系統(tǒng)，亦即較小的對象O經(jīng)透鏡組30光學放大后成像于影像感測模塊20。換言之，透鏡組30的光學系統(tǒng)于對象O端的一物高Oh小于影像感測模塊20端的一像高IH。
[0026]根據(jù)上述架構(gòu)，`本實用新型的顯微掃描裝置I為一放大成像系統(tǒng)，因此可獲得顯微影像。另外一方面，透過連續(xù)的線性掃描，可獲得整個大區(qū)域范圍的顯微影像，免去了大量接圖的過程，提升便利性跟準確性。于一實施例中，透鏡組30的光學放大率介于4至100倍。
[0027]本實用新型主要應用于線性掃描的領域，掃描裝置可具有不同類型的影像感測模塊。于一實施例中，其中影像感測模塊20可為一電荷耦合組件(CXD)、互補式金屬氧化物半導體(CMOS)傳感器或接觸式影像傳感器(CIS)。其中，CIS為線性傳感器的一種，用以將文件、圖像等等掃描為電子格式，以供儲存利用。掃描時，可逐條掃描對象得到多個線性影像。最后經(jīng)影像處理，可形成一完整圖像。優(yōu)點在于，CIS具有輕薄的特性。又于一實施例中，其中透鏡組30可為一桿狀透鏡(rod lens)。桿狀透鏡(或稱柱狀透鏡)，具有成光路徑短的優(yōu)點，可做為輕、薄的組件，因此通常用以搭配CIS。另外，CXD與CMOS則具有良好的影像質(zhì)量，無論是影像處理或明暗效果的呈現(xiàn)，都有令人滿意的表現(xiàn)，因此亦可作為本實用新型的影像感測模塊。
[0028]另外，本實用新型的顯微掃描裝置I可運用于穿透式底稿或者是反射式底稿。如圖2所示，于一實施例中，掃描反射式底稿的情況下，其中光源10以及影像感測模塊20設置于對象O的相同側(cè)，且影像感測模塊20接收經(jīng)對象O反射的影像光。至于穿透式底稿，如圖3所示，于另一實施例中，其中光源10以及影像感測模塊20設置于對象O的相異側(cè)，且影像感測模塊20接收透射對象O的影像光。
[0029]請參考圖4，于一實施例中，還包含一驅(qū)動模塊40，用以驅(qū)動影像感測模塊20以及對象O彼此沿一掃描方向相對移動，以使影像感測模塊20掃描對象O。例如，驅(qū)動模塊可包含一步進馬達，并可搭配一滾輪組使用。但不限于此，亦可藉由驅(qū)動對象O相對于影像感測模塊20移動，以使影像感測模塊20對對象O進行掃描成像。
[0030]請再參考圖4，于一實施例中，還包含一影像處理模塊50，其與影像感測模塊20電性連接，用以對影像信號進行處理以形成一掃描影像。例如，影像處理模塊可包含一計算機軟件，透過計算機軟件的輔助，可對于影像信號進行性質(zhì)調(diào)整、迭圖、分割或合并，以獲得所
需的影像。
[0031]綜合上述，本實用新型了提供了一種顯微掃描裝置，其具有放大成像的效果，經(jīng)由連續(xù)的線性掃描，可得到大區(qū)域范圍對象的顯微掃描影像。
[0032]以上所述的實施例僅是為說明本實用新型的技術思想及特點，其目的在使熟悉本【技術領域】者能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，當不能以的限定本實用新型的專利范圍，即凡依本實用新型所揭示的精神所作的均等變化或修飾，仍應涵蓋在本實用新型的專利范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種顯微掃描裝置，其特征在于，包含: 一光源，其用以產(chǎn)生一光線照射一對象以產(chǎn)生一影像光； 一影像感測模塊，其用以接收來自該對象的該影像光以產(chǎn)生一影像信號；以及一透鏡組，其設置于該影像感測模塊的一入光側(cè)，用以會聚來自該對象的該影像光至該影像感測模塊，其中該透鏡組包含多個透鏡，該多個透鏡的光軸彼此平行，且該透鏡組于該對象端的一物高小于該影像感測模塊端的一像高。
2.如權(quán)利要求1所述的顯微掃描裝置，其特征在于，該光源包含一發(fā)光二極管或冷陰極熒光燈。
3.如權(quán)利要求1所述的顯微掃描裝置，其特征在于，該光源以及該影像感測模塊設置于該對象的相同側(cè)，且該影像感測模塊接收經(jīng)該對象反射的該影像光。
4.如權(quán)利要求1所述的顯微掃描裝置，其特征在于，該光源以及該影像感測模塊設置于該對象的相異側(cè)，且該影像感測模塊接收透射該對象的該影像光。
5.如權(quán)利要求1所述的顯微掃描裝置，其特征在于，該透鏡組包含一桿狀透鏡。
6.如權(quán)利要求1所述的顯微掃描裝置，其特征在于，還包含一驅(qū)動模塊，其用以驅(qū)動該影像感測模塊以及該對象彼此沿一掃描方向相對移動，以使該影像感測模塊掃描該對象。
7.如權(quán)利要求6所述的顯微掃描裝置，其特征在于，該驅(qū)動模塊包含一步進馬達。
8.如權(quán)利要求1所述的顯微掃描裝置，其特征在于，還包含: 一影像處理模塊，其與該影像感測模塊電性連接，用以對該影像信號進行處理以形成一掃描影像。
9.如權(quán)利要求1所述的顯微掃描裝置，其特征在于，該影像感測模塊包含一線狀影像傳感器。
10.如權(quán)利要求1所述的顯微掃描裝置，其特征在于，該影像感測模塊包含一電荷耦合組件、互補式金屬氧化物半導體傳感器或接觸式影像傳感器。
【文檔編號】H04N1/028GK203632744SQ201320650614
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年10月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月21日
【發(fā)明者】楊景中 申請人:上海中晶科技有限公司