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電荷與數(shù)字混合累加型CMOS?TDI圖像傳感器的制作方法

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電荷與數(shù)字混合累加型CMOS?TDI圖像傳感器的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及模擬集成電路設(shè)計(jì)領(lǐng)域,特別涉及CMOS-TDI圖像傳感設(shè)計(jì)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

圖像傳感器將拍攝的圖像轉(zhuǎn)換為易于存儲(chǔ)、傳輸和處理的電學(xué)信號(hào)。對(duì)于不同的工作環(huán)境,圖像傳感器的工作方式也不同,主要分為:面陣型和線(xiàn)陣型。其中面陣型圖像傳感器的像素陣列呈二維面陣排布,得到一幅完整的圖像僅通過(guò)一次曝光就能夠完成,主要應(yīng)用于手機(jī)和數(shù)碼相機(jī)中。線(xiàn)陣型圖像傳感器的像素陣列為一維線(xiàn)陣排布,對(duì)相對(duì)移動(dòng)的物體進(jìn)行掃描成像,主要應(yīng)用于醫(yī)療成像、工業(yè)檢測(cè)、航空航天等方面,其工作方式可參考圖1。由于線(xiàn)陣型圖像傳感器拍攝的場(chǎng)景在曝光階段一直在移動(dòng),因此線(xiàn)陣圖像傳感器的曝光時(shí)間受限于場(chǎng)景的移動(dòng)速度。在光照度很低和掃描速度非常快的情況下,線(xiàn)陣型圖像傳感器的感應(yīng)信號(hào)變得非常微弱,系統(tǒng)的信噪比(Signal-to-Noise Ratio,SNR)變得很低,嚴(yán)重影響拍攝圖片的質(zhì)量。因此,提出了時(shí)間延遲積分(Time Delay Integration,TDI)技術(shù)。TDI技術(shù)時(shí)通過(guò)多行像素對(duì)相同物體進(jìn)行重復(fù)曝光,然后將曝光產(chǎn)生的電荷進(jìn)行累加進(jìn)而提高SNR和靈敏度。該技術(shù)特別適用于高速、低光照和高對(duì)比度的環(huán)境下。

TDI型圖像傳感器非常適合由電荷耦合器件(Charge Coupled Device,CCD)實(shí)現(xiàn)。因?yàn)镃CD器件可以實(shí)現(xiàn)信號(hào)的無(wú)噪聲累加。目前TDI技術(shù)多應(yīng)用在CCD圖像傳感器中,普遍采用的CCD-TDI圖像傳感器的結(jié)構(gòu)類(lèi)似一個(gè)長(zhǎng)方形的面陣CCD圖像傳感器,如圖2所示,CCD-TDI圖像傳感器的工作過(guò)程如下:n級(jí)CCD-TDI圖像傳感器一共有n行像素,某一列上的第一行像素在第一個(gè)曝光周期內(nèi)收集到的電荷并不直接輸出,而是與同列第二個(gè)像素在第二個(gè)曝光周期內(nèi)收集到的電荷相加,以此類(lèi)推CCD-TDI圖像傳感器最后一行(第n行)的像素收集到的電荷與前面n-1次收集到的電荷累加后再按照普通線(xiàn)陣CCD器件的輸出方式進(jìn)行讀出。在CCD-TDI圖像傳感器中,輸出信號(hào)的幅度是n個(gè)像素積分電荷的累加,即相當(dāng)于一個(gè)像素n倍曝光周期內(nèi)所收集到的電荷,進(jìn)而SNR被提升了n倍。

但是CCD圖像傳感器的工作電壓很高,因此其功耗十分高。而且CCD的實(shí)現(xiàn)依賴(lài)于特殊的工藝,因此CCD圖像傳感器無(wú)法在同一芯片上集成模擬和數(shù)字處理電路,因此其系統(tǒng)十分復(fù)雜。相比CCD圖像傳感器,CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor,互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)圖像傳感器可以同現(xiàn)代CMOS工藝很好的兼容,而且具有集成度高、功耗低、成本低廉等非常重要優(yōu)勢(shì)。CMOS圖像傳感器正在逐步占據(jù)圖像傳感器市場(chǎng)的主導(dǎo)地位。CMOS-TDI圖像傳感器是基于CMOS工藝實(shí)現(xiàn)TDI功能。具體有三種實(shí)現(xiàn)方案:第一種是電荷域累加方案,該方案是在CMOS工藝上實(shí)現(xiàn)CCD工作方式,主要限制因素是電荷傳輸效率和滿(mǎn)阱容量。第二種方式是模擬域累加方案,該方案是將像素輸出的模擬信號(hào)先在模擬累加器中完成累加,然后將完成累加后的信號(hào)送入ADC(Analog to Digital Converter,模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器)中進(jìn)行量化輸出。通常模擬累加器中的存儲(chǔ)單元是用電容來(lái)實(shí)現(xiàn)。因此,當(dāng)累加級(jí)數(shù)比較高時(shí),電容陣列將會(huì)占用很大芯片面積,而且當(dāng)累加級(jí)數(shù)很高時(shí),會(huì)使累加后的信號(hào)達(dá)到上限,造成圖像信息的丟失。因此模擬域累加方案的級(jí)數(shù)擴(kuò)展能力一般。第三種是數(shù)字域累加方案,該方案將像素輸出信號(hào)直接送入ADC中進(jìn)行量化,然后將量化后的數(shù)字量送入數(shù)字累加器中實(shí)現(xiàn)對(duì)信號(hào)的累加,但是該方案對(duì)ADC的速度要求非常嚴(yán)格,其累加速度受限于ADC的速度。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明旨在提出電荷與數(shù)字混合累加型的CMOS-TDI,能夠?qū)崿F(xiàn)充分發(fā)揮電荷域無(wú)噪聲累加,數(shù)字域累加芯片面積小、無(wú)累加上限的優(yōu)點(diǎn),同時(shí)又不對(duì)電荷域累加時(shí)的傳輸效率和滿(mǎn)阱容量以及數(shù)字域累加時(shí)ADC的速度提出過(guò)高要求,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是,電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI圖像傳感器,由像素陣列、列并行ADC陣列、列并行數(shù)字域累加陣列、移位寄存器、時(shí)序控制模塊構(gòu)成,像素陣列大小為L(zhǎng)列N行,像素陣列中N行像素分成K個(gè)子像素陣列,每個(gè)子像素陣列由M行像素和一個(gè)讀出電路組成;每個(gè)子像素陣列各級(jí)之間采用電荷累加方式,K個(gè)子陣列之間采用數(shù)字累加方式,其中N=M×K;從像素陣列輸出的模擬信號(hào)經(jīng)列并行ADC陣列處理轉(zhuǎn)成數(shù)字信號(hào),列并行ADC陣列后連接數(shù)字域累加器,再由數(shù)字域累加器對(duì)相同曝光信號(hào)的數(shù)字碼進(jìn)行累加操作,累加后的信號(hào)由移位寄存器輸出,時(shí)序控制模塊負(fù)責(zé)產(chǎn)生控制各個(gè)模塊的協(xié)調(diào)工作。

子像素陣列由M行電荷累加型像素組成,渡越時(shí)間TL定義為物體移動(dòng)一個(gè)像素長(zhǎng)度所需時(shí)間,圖像傳感器工作M-1個(gè)渡越時(shí)間后,第一次被拍攝物體運(yùn)動(dòng)到第一個(gè)子像素陣列中的第M個(gè)像素位置,第一次被拍攝物體被第一個(gè)子像素陣列捕捉M次,第一個(gè)子像素陣列的信號(hào)被讀出電路讀出,由ADC轉(zhuǎn)換成數(shù)字碼。再經(jīng)過(guò)M個(gè)渡越時(shí)間,此時(shí)第一次被拍攝的物體運(yùn)動(dòng)到第二個(gè)子像素陣列的第M個(gè)像素下,第一次被拍攝的物體已經(jīng)被曝光2×M次,曝光產(chǎn)生的電荷已經(jīng)被累加了2×M次。以相同的方式讀出K×M次,就完成對(duì)同一物體的N次捕捉,同時(shí)對(duì)產(chǎn)生的信號(hào)完成了N次累加,實(shí)現(xiàn)N級(jí)TDI功能。

本發(fā)明的特點(diǎn)及有益效果是:

本發(fā)明描述的N級(jí)電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI圖像傳感器中,將N級(jí)TDI累加拆分成M級(jí)電荷域累加和K級(jí)數(shù)字域累加,其中N=M×K。相比于單純使用電荷域累加方法,電荷轉(zhuǎn)移效率比電荷域累加型提高了(1-ε)M-N倍。相比于單純使用數(shù)字域累加方法,對(duì)ADC的速度要求降低了M倍。

附圖說(shuō)明:

圖1線(xiàn)陣圖像傳感器的工作模式示意圖。

圖2 CCD-TDI圖像傳感器的工作原理示意圖。

圖3 N級(jí)電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI圖像傳感器架構(gòu)圖。

圖4 6級(jí)電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI圖像傳感器工作流程圖。

具體實(shí)施方式

模擬域累加方案是將像素曝光得到的電壓信號(hào)或者電流信號(hào)在像素陣列輸出端進(jìn)行累加,然后將累加后的信號(hào)經(jīng)過(guò)ADC量化輸出。該方案需要在芯片內(nèi)部集成模擬域累加器,通常模擬累加器是通過(guò)積分電容實(shí)現(xiàn)的。因此,當(dāng)累加級(jí)數(shù)比較高時(shí),電容陣列將會(huì)占用很大芯片面積,而且當(dāng)累加級(jí)數(shù)很高時(shí),會(huì)使累加后的信號(hào)達(dá)到上限,造成圖像信息的丟失。數(shù)字域累加方案是將像素曝光產(chǎn)生的信號(hào)通過(guò)ADC量化產(chǎn)生二進(jìn)制碼值,將二進(jìn)制碼值在數(shù)字累加器中進(jìn)行累加,最終將結(jié)果輸出。因?yàn)槔奂悠魇怯蓴?shù)字電路實(shí)現(xiàn)的,芯片面積較小,同時(shí)累加信息是數(shù)字碼值,不存在累加上限問(wèn)題,因此數(shù)字域累加方案的累加級(jí)數(shù)擴(kuò)展能力很強(qiáng)。數(shù)字域累加方案對(duì)ADC的速度要求較高,因此相比于模擬域累加功耗更高。電荷域累加方案類(lèi)似于CCD-TDI圖像傳感器的電荷處理方案,將像素對(duì)物體曝光產(chǎn)生的光生電荷在像素內(nèi)部進(jìn)行轉(zhuǎn)移和存儲(chǔ),最后由讀出電路讀出。其讀出電路與普通的CMOS圖像傳感器讀出電路相同,設(shè)計(jì)比較簡(jiǎn)單。從設(shè)計(jì)成本上考慮,電荷域累加方案的成本較大。

電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI圖像傳感器由像素陣列、列并行ADC陣列、列并行數(shù)字域累加陣列、移位寄存器、時(shí)序控制模塊構(gòu)成。其中像素陣列大小為L(zhǎng)列N行,像素陣列中N行像素分成K個(gè)子像素陣列,每個(gè)子像素陣列由M行像素和一個(gè)讀出電路組成;每個(gè)子像素陣列各級(jí)之間采用電荷累加方式,K個(gè)子陣列之間采用數(shù)字累加方式,其中N=M×K。電荷在相鄰勢(shì)阱中轉(zhuǎn)移,數(shù)字累加先將像素輸出的信號(hào)由模數(shù)轉(zhuǎn)換器完成數(shù)字化,然后再由數(shù)字域累加器完成對(duì)相同曝光信號(hào)轉(zhuǎn)換結(jié)果的累加操作。具體是,從像素陣列輸出的模擬信號(hào)經(jīng)列并行ADC陣列處理轉(zhuǎn)成數(shù)字信號(hào),列并行ADC陣列后連接數(shù)字域累加器,再由數(shù)字域累加器對(duì)相同曝光信號(hào)的數(shù)字碼進(jìn)行累加操作,累加后的信號(hào)由移位寄存器輸出,時(shí)序控制模塊負(fù)責(zé)產(chǎn)生控制各個(gè)模塊的協(xié)調(diào)工作。N級(jí)電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI圖像傳感器架構(gòu)如圖3所示。

子像素陣列由M行電荷累加型像素組成,渡越時(shí)間(TL)定義為物體移動(dòng)一個(gè)像素長(zhǎng)度所需時(shí)間,圖像傳感器工作(M-1)個(gè)渡越時(shí)間后,第一次被拍攝物體運(yùn)動(dòng)到第一個(gè)子像素陣列中的第M個(gè)像素位置,第一次被拍攝物體被第一個(gè)子像素陣列捕捉M次,第一個(gè)子像素陣列的信號(hào)被讀出電路讀出,由ADC轉(zhuǎn)換成數(shù)字碼。再經(jīng)過(guò)M個(gè)渡越時(shí)間,此時(shí)第一次被拍攝的物體運(yùn)動(dòng)到第二個(gè)子像素陣列的第M個(gè)像素下,第一次被拍攝的物體已經(jīng)被曝光2×M次,曝光產(chǎn)生的電荷已經(jīng)被累加了2×M次。以相同的方式讀出K×M次,就完成對(duì)同一物體的N次捕捉,同時(shí)對(duì)產(chǎn)生的信號(hào)完成了N次累加,實(shí)現(xiàn)了N級(jí)TDI功能。如圖4所示,以6級(jí)為例,因?yàn)閭鞲衅鳛榱胁⑿泄ぷ鞣绞剑苛泄ぷ髑闆r相同,每列像素分為兩個(gè)子像素陣列,每個(gè)子像素陣列內(nèi)實(shí)現(xiàn)3級(jí)電荷傳輸,以字母表示像素收集到的信號(hào),第一個(gè)TL后,第一個(gè)子像素陣列像素1的曝光信號(hào)為A,第二個(gè)TL后,像素1中信號(hào)經(jīng)電荷轉(zhuǎn)移到像素2中(假設(shè)轉(zhuǎn)移效率為1),同時(shí)像素2收集到的信號(hào)為A,因此像素2中信號(hào)為2A,第三個(gè)TL后,像素2中信號(hào)經(jīng)電荷轉(zhuǎn)移到像素3中(假設(shè)轉(zhuǎn)移效率為1),同時(shí)像素3的曝光信號(hào)為A,因此像素3中信號(hào)為3A,實(shí)現(xiàn)了3次電荷累加的信號(hào)讀出后經(jīng)ADC量化。第四個(gè)TL后,第二個(gè)子像素陣列像素3的曝光信號(hào)為A,第五個(gè)TL后,像素3中信號(hào)經(jīng)電荷轉(zhuǎn)移到像素4中(假設(shè)轉(zhuǎn)移效率為1),同時(shí)像素4收集到的信號(hào)為A,因此像素2中信號(hào)為2A,第六個(gè)TL后,像素5中信號(hào)經(jīng)電荷轉(zhuǎn)移到像素6中(假設(shè)轉(zhuǎn)移效率為1),同時(shí)像素6的曝光信號(hào)為A,因此像素6中信號(hào)為3A,實(shí)現(xiàn)了3次電荷累加的信號(hào)讀出后經(jīng)ADC量化,兩個(gè)子像素陣列讀出的數(shù)字碼相加,從而實(shí)現(xiàn)了6級(jí)累加。這種工作方式可以推廣到任意級(jí)數(shù)的電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI圖像傳感器中。

CTE(Charge Transfer Efficiency,電荷傳輸效率)定義為從一個(gè)勢(shì)阱轉(zhuǎn)移到下一個(gè)勢(shì)阱的電荷所占的比率。N級(jí)電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI以電荷形式累加M級(jí),其電荷轉(zhuǎn)移效率如式1所示,ε表示殘留電荷所占的比率。

CTE=(1-ε)M (1)

從公式中可以看出,隨著累加級(jí)數(shù)的增加電荷傳輸效率在降低。對(duì)于N級(jí)電荷域累加型CMOS-TDI,其電荷傳輸效率為

CTE=(1-ε)N (2)

因此對(duì)于級(jí)數(shù)同為N的CMOS-TDI,電荷與數(shù)字混合累加的電荷轉(zhuǎn)移效率比電荷域累加型提高了(1-ε)N-M倍。

在一個(gè)渡越時(shí)間內(nèi),N級(jí)數(shù)字域累加型CMOS-TDI中ADC需量化N次,而N級(jí)電荷與數(shù)字混合累加型CMOS-TDI只需量化K次,ADC的速度降低了M倍,大大降低了ADC的設(shè)計(jì)難度。

將本發(fā)明應(yīng)用在256列256行CMOS-TDI圖像傳感器。電荷域累加16級(jí),數(shù)字域累加16級(jí)。一個(gè)子像素陣列由16級(jí)像素和一個(gè)讀出電路組成。在圖像傳感器工作15個(gè)渡越時(shí)間后,第一次被拍攝的物體已經(jīng)運(yùn)動(dòng)到第二個(gè)子像素陣列的第16個(gè)像素下,第一個(gè)子像素陣列的信號(hào)被讀出電路讀出,由ADC轉(zhuǎn)換成數(shù)字碼。再經(jīng)過(guò)16個(gè)渡越時(shí)間,此時(shí)第一次被拍攝的物體運(yùn)動(dòng)到第二個(gè)子像素陣列的第16個(gè)像素下,第一次被拍攝的物體已經(jīng)被曝光2×16次,曝光產(chǎn)生的電荷已經(jīng)被累加了2×16次。以相同的方式讀出16×16次,就完成對(duì)同一物體的256次捕捉,同時(shí)對(duì)產(chǎn)生的信號(hào)完成了256次累加,實(shí)現(xiàn)了256級(jí)TDI功能。

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