1.一種MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，包括：
膜片和子結(jié)構(gòu)，所述子結(jié)構(gòu)設(shè)置有多個(gè)；
所述子結(jié)構(gòu)包括支撐部和梁結(jié)構(gòu)，所述支撐部與所述梁結(jié)構(gòu)連接，所述梁結(jié)構(gòu)與所述膜片連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，多個(gè)所述子結(jié)構(gòu)沿所述膜片的邊緣設(shè)置并連接到所述膜片上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，所述子結(jié)構(gòu)與所述膜片一體形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，所述子結(jié)構(gòu)與膜片之間設(shè)置有開槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，所述子結(jié)構(gòu)在所述膜片邊緣向其外側(cè)延伸形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，在所述子結(jié)構(gòu)還包括板結(jié)構(gòu)，所述梁結(jié)構(gòu)與所述板結(jié)構(gòu)連接，所述板結(jié)構(gòu)連接到所述膜片上。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，所述子結(jié)構(gòu)形成在所述膜片上形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，所述梁結(jié)構(gòu)剛度小于所述膜片剛度的40％。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，所述子結(jié)構(gòu)的面積小于所述膜片面積的10％。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，其特征在于，所述子結(jié)構(gòu)的自振頻率高于所述膜片的自振頻率。
11.一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，包括：
襯底；
第一支撐層，設(shè)置在所述襯底上；
權(quán)利要求1～10中任一項(xiàng)所述的MEMS麥克風(fēng)振膜，所述子結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述第一支撐層上；
第二支撐層，設(shè)置在所述子結(jié)構(gòu)上；
背極板，所述背極板的一部分設(shè)置在所述第二支撐層上，另一部與所述MEMS麥克風(fēng)振膜的膜片通過電介質(zhì)流體分開；
第一導(dǎo)電層，設(shè)置在所述第二支撐層上。