技術(shù)總結(jié)
一種MEMS聲換能器，其設(shè)置有：半導(dǎo)體材料的襯底，具有背表面和相對于垂直方向相反的前表面；形成在襯底內(nèi)的第一腔，其從背表面延伸到前表面；膜，其布置在上表面處，懸置在第一腔的上方并沿著其周界錨定到襯底；以及梳齒狀電極布置，其包括耦接到膜的多個可移動電極以及耦接到襯底并面向相應(yīng)的可移動電極以形成感測電容器的多個固定電極，其中作為入射聲波壓力波的結(jié)果的膜的變形引起感測電容器的電容變化。特別地，梳齒狀電極布置相對于膜垂直地放置并且平行于膜延伸。

技術(shù)研發(fā)人員：M·佩爾勒蒂;I·瓦里斯科;L·拉瑪格納;S·阿多爾諾;G·加特瑞;C·瓦爾扎希納;S·康蒂
受保護(hù)的技術(shù)使用者：意法半導(dǎo)體股份有限公司
文檔號碼：201621446151
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.27
技術(shù)公布日：2017.11.14