本發(fā)明涉及具備壓電元件的超聲波傳感器。

背景技術(shù)：

一般的超聲波傳感器通過在殼體的內(nèi)底面粘接壓電元件從而構(gòu)成單壓電晶片構(gòu)造體，使殼體的底部進(jìn)行彎曲振動來收發(fā)超聲波。在jp特開2002-204497號公報(專利文獻(xiàn)1)中公開了具備層疊型的壓電元件的超聲波傳感器。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：jp特開2002-204497號公報

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

-發(fā)明要解決的課題-

假定在具有導(dǎo)電性的殼體的內(nèi)底面接合層疊型的壓電元件。該情況下，接地電極、以及被施加電壓從而與接地電極之間形成電位差的非接地電極(端面電極的端部)位于壓電元件的接合面一側(cè)。在現(xiàn)有的超聲波傳感器，具有導(dǎo)電性的殼體與非接地電極(端面電極的端部)導(dǎo)通，有時無法恰當(dāng)?shù)匦纬蓪﹄姌O電路(用于構(gòu)成超聲波傳感器的電路)。

本發(fā)明的目的在于，提供一種即便在具有導(dǎo)電性的殼體的內(nèi)底面接合層疊型的壓電元件的情況下也能夠抑制殼體與非接地電極(端面電極的端部)導(dǎo)通的超聲波傳感器。

-解決課題的手段-

基于本發(fā)明的超聲波傳感器具備：具有導(dǎo)電性的有底筒狀的殼體；以及與上述殼體的內(nèi)底面接合的層疊型的壓電元件，接地電極以及被施加電壓而與上述接地電極之間形成電位差的非接地電極位于上述壓電元件的接合面的一側(cè)，在上述殼體的上述內(nèi)底面形成凹部，在沿著相對于上述殼體的上述內(nèi)底面垂直的方向俯視上述非接地電極以及上述凹部的情況下，上述非接地電極之中的位于上述接合面的一側(cè)的端部位于與上述凹部重疊的位置。

優(yōu)選地，在沿著相對于上述殼體的上述內(nèi)底面垂直的方向俯視上述非接地電極以及上述凹部的情況下，上述非接地電極之中的位于上述接合面的一側(cè)的上述端部位于包含在上述凹部的內(nèi)側(cè)的位置。

優(yōu)選地，上述壓電元件具有包括長邊方向和短邊方向的長方體狀的形狀，上述非接地電極之中的位于上述接合面的一側(cè)的上述端部具有沿著上述壓電元件的長邊方向延伸的形狀。

優(yōu)選地，上述壓電元件具有包括長邊方向和短邊方向的長方體狀的形狀，上述非接地電極之中的位于上述接合面的一側(cè)的上述端部具有沿著上述壓電元件的短邊方向延伸的形狀。

優(yōu)選地，在上述殼體的底部設(shè)置貫通孔，在上述貫通孔之中埋入樹脂，從而形成上述凹部。

優(yōu)選地，上述壓電元件具有：壓電體層，其包括發(fā)送用區(qū)域以及接收用區(qū)域；共用電極，具有遍及上述發(fā)送用區(qū)域以及上述接收用區(qū)域的雙方而展寬的形狀；發(fā)送用電極，中間夾著上述發(fā)送用區(qū)域而與上述共用電極對置；和接收用電極，中間夾著上述接收用區(qū)域而與上述共用電極對置，上述發(fā)送用區(qū)域以及上述接收用區(qū)域在上述內(nèi)底面的表面方向上形成在彼此相鄰的位置。

-發(fā)明效果-

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于非接地電極(端面電極的端部)與殼體導(dǎo)通因凹部的存在而被抑制，因此能夠恰當(dāng)?shù)匦纬蓪﹄姌O電路(用于構(gòu)成超聲波傳感器的電路)。

附圖說明

圖1是表示具備實(shí)施方式1中的超聲波傳感器的傳感器裝置的功能模塊的圖。

圖2是表示實(shí)施方式1中的超聲波傳感器的剖視圖。

圖3是表示實(shí)施方式1中的超聲波傳感器所具備的壓電元件以及fpc的俯視圖。

圖4是表示實(shí)施方式1中的超聲波傳感器所具備的壓電元件(取下fpc的狀態(tài))的俯視圖。

圖5是表示實(shí)施方式1中的超聲波傳感器所具備的壓電元件的立體圖。

圖6是表示實(shí)施方式1中的超聲波傳感器所具備的壓電元件及其內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。

圖7是表示實(shí)施方式1中的超聲波傳感器的壓電元件所具備的電極的立體圖。

圖8是沿著圖4中的viii-viii線的向視剖視圖。

圖9是沿著圖4中的ix-ix線的向視剖視圖。

圖10是沿著圖4中的x-x線的向視剖視圖。

圖11表示沿著與實(shí)施方式1中的超聲波傳感器所使用的殼體的底部(內(nèi)底面)垂直的方向觀察底部時的狀態(tài)的俯視圖。

圖12是表示沿著與實(shí)施方式2中超聲波傳感器所使用的殼體的底部(內(nèi)底面)垂直的方向觀察底部時的狀態(tài)的俯視圖。

圖13是表示沿著與實(shí)施方式3中的超聲波傳感器所使用的殼體的底部(內(nèi)底面)垂直的方向觀察底部時的狀態(tài)的俯視圖。

圖14是表示沿著與實(shí)施方式4中的超聲波傳感器所使用的殼體的底部(內(nèi)底面)垂直的方向觀察底部時的狀態(tài)的俯視圖。

圖15是表示實(shí)施方式5中的超聲波傳感器所使用的殼體等的剖視圖。

圖16是表示實(shí)施方式6中的超聲波傳感器所使用的壓電元件的立體圖。

具體實(shí)施方式

[實(shí)施方式]

以下，參照附圖來說明基于本發(fā)明的實(shí)施方式。除了在提及個數(shù)以及量等的情況下有特別記載的情況以外，本發(fā)明的范圍并不限定于該個數(shù)以及量。存在對于同一部件以及對應(yīng)部件付與同一參考序號而不進(jìn)行重復(fù)的說明的情況。

[實(shí)施方式1]

圖1是表示具備實(shí)施方式1中的超聲波傳感器100的傳感器裝置1的功能模塊的圖。傳感器裝置1具備超聲波傳感器100、微型計算機(jī)101、存儲器102、檢測電路103、信號生成電路104、電源105以及接收放大器106。超聲波傳感器100具備壓電元件50，該壓電元件50具有由電極10、20、30構(gòu)成的3端子構(gòu)造。

微型計算機(jī)101讀出存儲器102中所保存的數(shù)據(jù)，將控制信號輸出至信號生成電路104。信號生成電路104基于控制信號，從直流電壓生成交流電壓。交流電壓被提供至超聲波傳感器100，從超聲波傳感器100向大氣中等進(jìn)行超聲波的發(fā)送(發(fā)送波)。超聲波傳感器100在接收到來自目標(biāo)物的反射波時，由超聲波傳感器100產(chǎn)生的接收波信號作為電壓值而被送至接收放大器106，通過檢測電路103被輸入至微型計算機(jī)101。通過微型計算機(jī)101能夠掌握與目標(biāo)物的有無、移動有關(guān)的信息。

(超聲波傳感器100)

圖2是表示實(shí)施方式1中的超聲波傳感器100的剖視圖。超聲波傳感器100具備壓電元件50、殼體60、吸聲材料63、粘接劑64、接合劑65、填充劑71、72、以及fpc80(flexibleprintedcircuits：柔性印刷電路)。殼體60具有導(dǎo)電性，形成為有底筒狀。殼體60例如由具有高彈性且重量輕的鋁構(gòu)成。通過對這樣的鋁例如進(jìn)行鍛造或者切削加工來制作殼體60。

殼體60包含：圓盤狀的底部62、沿著底部62的周邊而設(shè)置的圓筒狀的筒狀部61。底部62具有內(nèi)底面62s以及外表面62t。壓電元件50例如由鋯鈦酸鉛系陶瓷構(gòu)成。壓電元件50配置在底部62的內(nèi)底面62s上，利用粘接劑64而接合于內(nèi)底面62s。粘接劑64例如是環(huán)氧系粘接劑。在超聲波傳感器100進(jìn)行驅(qū)動時，壓電元件50與底部62一起進(jìn)行彎曲振動。

壓電元件50具有未圖示的3個電極(相當(dāng)于圖1中的電極10～30的部位。詳細(xì)在后面敘述)。如圖3所示，fpc80的前端部80t具有t字形狀。fpc80經(jīng)由接合劑65而與這些電極電接合。作為接合劑65，例如使用添加了金屬的樹脂材料。fpc80之中的與接合于壓電元件50部分相反的一側(cè)的部分被取出至殼體60之外，與信號生成電路104(圖1)以及接收放大器106(圖1)等電連接。

(壓電元件50)

圖3是表示壓電元件50以及fpc80的俯視圖。圖4是表示壓電元件50(取下fpc80的狀態(tài))的俯視圖。圖5是表示壓電元件50的立體圖。圖6是表示壓電元件50及其內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。圖7是表示壓電元件50中具備的電極10、20、30的立體圖。圖8是沿著圖4中的viii-viii線に的向視剖視圖。圖9是沿著圖4中的ix-ix線的向視剖視圖。圖10是沿著圖4中的x-x線的向視剖視圖。

圖3～圖10中為方便說明示出了箭頭x、y、z。箭頭x、y、z具有相互正交的關(guān)系。以下，存在針對壓電元件50的各構(gòu)成參照箭頭x、y、z來進(jìn)行說明的情況，但是各構(gòu)成的配置關(guān)系(有關(guān)正交以及平行的特征)并不限定于箭頭x、y、z所示的配置關(guān)系。關(guān)于這些，在后述的圖11～圖16中也同樣。

如圖3～圖10所示，壓電元件50是層疊型的壓電元件，使用粘接劑64而貼附于殼體60的內(nèi)底面62s。壓電元件50是具有具備長邊方向和短邊方向的長方體狀的形狀。具體而言，壓電元件50包括：壓電體層40(圖3～圖6、圖8～圖10)、電極10(圖7)、作為非接地電極的電極20(圖7)、以及作為接地電極的電極30(圖7)。壓電體層40的外形形狀是大致長方體(參照圖5、圖6)，壓電體層40具有上表面41、側(cè)表面42～45以及下表面46。

上表面41是壓電體層40之中的位于箭頭z方向的一側(cè)的表面，下表面46是壓電體層40之中的位于與箭頭z方向相反方向的一側(cè)的表面。側(cè)表面42、44是壓電體層40之中的與箭頭x方向正交的表面，具有相互對置的位置關(guān)系。側(cè)表面43、45是壓電體層40之中的與箭頭y方向正交的表面，具有相互對置的位置關(guān)系。

(電極10)

電極10包含圓盤部11以及延伸部12(參照圖7)。電極10作為接收用電極而發(fā)揮作用。延伸部12具有從圓盤部11的外緣向外側(cè)延伸的形狀。延伸部12被配置為：從圓盤部11所在的一側(cè)向壓電體層40的側(cè)表面42所在的一側(cè)延伸。如圖3所示，在fpc80中設(shè)置的布線圖案81與電極10的延伸部12之間的部分(連接部位10c)，電極10與fpc80(布線圖案81)被電連接(也可參照圖4、圖5)。

(電極20(非接地電極))

作為非接地電極的電極20包括端面部21、上面部22以及中間部23、24(參照圖7)。電極20作為發(fā)送用電極而發(fā)揮作用。也就是說，對電極20施加電壓，從而在電極20與電極30(接地電極)之間形成電位差。端面部21與壓電體層40的側(cè)表面42(圖5)對置，與側(cè)表面42相接。端面部21的端部21t是位于電極20之中的粘接面的一側(cè)(粘接劑64一側(cè))的部位。端部21t具有沿著壓電元件50的長邊方向的側(cè)表面42的下端部的一部分進(jìn)行延伸的形狀。再有，在本實(shí)施方式以及以下的實(shí)施方式中，上述粘接面相當(dāng)于權(quán)利要求書中的接合面。

電極20的上面部22連接設(shè)置在端面部21的箭頭z方向的一側(cè)的端部，被配置于壓電體層40的上表面41上。中間部23、24是電極20之中的配置在壓電體層40的內(nèi)部的部位，在壓電元件50已完成的狀態(tài)下看不到它們(參照圖5)。在中間部23與中間部24之間，配置電極30的中間部33(參照圖8～圖10等)。

在中間部23、24的內(nèi)側(cè)，分別設(shè)置挖空部23h、24h(圖7)和缺口部23t、24t。如圖7以及圖9所示，中間部23、24的與箭頭x相反方向的端部(具體而言，端面部21所在一側(cè)的端部)連接于端面部21。另一方面，中間部23、24的箭頭x方向的端部未連接于后述的電極30的端面部31，與端面部31分離。如圖3所示，在fpc80中設(shè)置的布線圖案82與電極20的上面部22之間的部分(連接部位20c)，電極20與fpc80(布線圖案82)電連接(也可參照圖4、圖5)。

(電極30(接地電極))

作為接地電極的電極30包含端面部31、上面部32、中間部33以及下面部34(參照圖7)。電極30作為共用電極而發(fā)揮作用。端面部31與壓電體層40的側(cè)表面44(圖5)對置，與側(cè)表面44相接。下面部34與壓電體層40的下表面46對置，與下表面46相接。上面部32連接設(shè)置在端面部31的箭頭z方向一側(cè)的端部，被配置于壓電體層40的上表面41上。中間部33是電極30之中的被配置在壓電體層40的內(nèi)部的部位，在壓電元件50已完成的狀態(tài)下看不到中間部33(參照圖5)。

在上面部32以及中間部33的內(nèi)側(cè)，分別設(shè)置挖空部32h、33h(圖7)。在挖空部32h的內(nèi)側(cè)，配置電極10的圓盤部11(參照圖5)。在上面部32以及中間部33的內(nèi)側(cè)，也分別設(shè)有缺口部32t、33t。在缺口部32t的內(nèi)側(cè)，配置電極10的延伸部12(參照圖5)。在上面部32之中的與箭頭y相反方向的部分，設(shè)有后退部32f。后退部32f是用于容許電極20的上面部22的配置的部位。

如圖7以及圖9所示，上面部32、中間部33以及下面部34的箭頭x方向的端部連接于端面部31。另一方面，上面部32、中間部33以及下面部34的與箭頭x相反方向的端部未連接于電極20的端面部21，而與端面部21分離。如圖3所示，在fpc80中設(shè)置的布線圖案83與電極30的上面部32之間的部分(連接部位30c)，電極30與fpc80(布線圖案83)電連接(也可參照圖4、圖5)。

(發(fā)送用區(qū)域以及接收用區(qū)域)

參照圖8～圖10，在壓電體層40的內(nèi)部，形成發(fā)送用區(qū)域40n以及接收用區(qū)域40m。發(fā)送用區(qū)域40n具有由第1單位壓電體層n1～n4構(gòu)成的4層構(gòu)造。第1單位壓電體層n1～n4在與殼體60的底部62遠(yuǎn)離的方向上被層疊，通過電極20以及電極30而電并聯(lián)連接。圖8～圖10中的白色箭頭表示各壓電體層的極化方向。另一方面，接收用區(qū)域40m具有第2單位壓電體層m1的1層構(gòu)造。

電極30的下面部34遍及發(fā)送用區(qū)域40n以及接收用區(qū)域40m的雙方而具有展寬的形狀。電極20的上面部22與電極30的下面部34對置，中間夾著包含第1單位壓電體層n1～n4的發(fā)送用區(qū)域40n。電極10的圓盤部11與電極30的下面部34對置，中間夾著包含第2單位壓電體層m1的接收用區(qū)域40m。

也就是說，壓電體層40之中、位于電極20的上面部22與電極30的下面部34之間的區(qū)域、位于電極20的中間部23與電極30的上面部32之間的區(qū)域、以及位于電極20的中間部23與電極30的下面部34之間的區(qū)域作為發(fā)送用區(qū)域40n而發(fā)揮作用。另一方面，壓電體層40之中的位于電極10的圓盤部11與電極30的下面部34之間的區(qū)域作為接收用區(qū)域40m而發(fā)揮作用。

如圖8以及圖10所示，發(fā)送用區(qū)域40nと接收用區(qū)域40m在殼體60的底部62的內(nèi)底面62s的表面方向(x-y面方向)上形成在彼此相鄰的位置。具體而言，在壓電體層40的中心部設(shè)有接收用區(qū)域40m，在比接收用區(qū)域40m靠徑向的外側(cè)的周邊部設(shè)有發(fā)送用區(qū)域40n，以使得包圍接收用區(qū)域40m。

如圖9以及圖10所示，在以上那樣構(gòu)成的壓電元件50中，電極30(接地電極)的下面部34、電極20(非接地電極)的端面部21的端部21t位于壓電元件50的粘接面的一側(cè)(壓電元件50之中的與殼體60的底部62粘接的面的一側(cè))。電極30的下面部34通過粘接劑64而被貼附于殼體60的底部62(內(nèi)底面62s)。如上所述，通過對電極20施加電壓，在電極20與電極30(接地電極)之間形成電位差。由此，超聲波傳感器100能夠發(fā)送超聲波。

圖11是表示沿著與殼體60的底部62(內(nèi)底面62s)垂直的方向觀察底部62時的狀態(tài)的俯視圖。為了方便圖示，圖11中利用虛線對壓電元件50以及電極20的端面部21(端部21t)進(jìn)行圖示。

在本實(shí)施方式的殼體60的底部62，形成凹部68(也可參照圖9以及圖10)。凹部68具有直線狀延伸的溝槽狀的形狀。本實(shí)施方式中，設(shè)有剖視為矩形形狀的凹部68，但是也可以是剖視為半圓形狀、三角形狀、梯型形狀、半橢圓形狀。

在此，在沿著與殼體60的底部62(內(nèi)底面62s)垂直的方向俯視電極20的情況下，電極20的端面部21之中的位于粘接面的一側(cè)的端部21t，位于與凹部68重疊的位置。換言之，沿著與殼體60的底部62(內(nèi)底面62s)垂直的方向?qū)Χ瞬?1t進(jìn)行投影的情況下，通過該投影所形成的投影像位于與凹部68重疊的位置。在沿著與殼體60的底部62(內(nèi)底面62s)垂直的方向俯視電極20的情況下，優(yōu)選如圖11所示那樣端部21t位于包含在凹部68的內(nèi)側(cè)的位置(該情況下，上述投影像的全部包含在凹部68的內(nèi)側(cè))。

(作用以及效果)

在具備層疊型的壓電元件的一般的超聲波傳感器中，示出了如下特性：壓電元件的層疊數(shù)越多，則發(fā)送時的聲壓越提高，但是接收時的靈敏度越是下降。這是因為：在一般的層疊型的壓電元件中，壓電元件的供發(fā)送的部分與供接收的部分形成在同一部位內(nèi)。

在本實(shí)施方式中，壓電元件50的供發(fā)送的部分(發(fā)送用區(qū)域40n)和供接收的部分(接收用區(qū)域40m)分離而形成。為了提高發(fā)送時的聲壓，將壓電元件50的供發(fā)送的部分(發(fā)送用區(qū)域40n)的層疊數(shù)設(shè)為4層構(gòu)造，但是供接收的部分(接收用區(qū)域40m)依然是1層構(gòu)造。在本實(shí)施方式的超聲波傳感器中，相比于現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)，接收時的靈敏度下降得到抑制。因此，可以說本實(shí)施方式的超聲波傳感器具備能夠分別獨(dú)立地調(diào)整發(fā)送時的聲壓以及接收時的靈敏度的雙方的構(gòu)造。

參照圖9以及圖10，如開頭所述那樣，在具有導(dǎo)電性的殼體60的底部62的內(nèi)底面62s粘接有層疊型的壓電元件50的情況下，電極30(接地電極)、以及被施加電壓而與接地電極之間形成電位差的電極20(非接地電極)的端部21t位于壓電元件50的粘接面的一側(cè)。在現(xiàn)有的超聲波傳感器中，由于具有導(dǎo)電性的殼體60與電極20的端部之間的距離短而導(dǎo)致它們導(dǎo)通(短路)，無法恰當(dāng)?shù)匦纬蓪﹄姌O電路(用于構(gòu)成超聲波傳感器的電路)。

限定于此，在本實(shí)施方式的超聲波傳感器100中，由于凹部68的存在而使得電極20(非接地電極)與殼體60的導(dǎo)通得到抑制。因此，殼體60與電極20被絕緣，形成對電極電路，由此超聲波傳感器100能夠恰當(dāng)?shù)匕l(fā)揮功能，能夠降低剛剛制造之后便產(chǎn)生初始故障的概率。再有，作為接地電極的電極30也可以與殼體60的底部62導(dǎo)通。

在超聲波傳感器100處于驅(qū)動時，壓電元件50與底部62一起進(jìn)行彎曲振動。在未設(shè)置凹部68的情況下，在開始使用之后受到彎曲振動的影響而殼體60與電極20導(dǎo)通，有可能引起故障的產(chǎn)生。根據(jù)本實(shí)施方式的超聲波傳感器100，這種不良情況的產(chǎn)生因為凹部68的存在而能夠被抑制。由于凹部68的存在可能會影響到超聲波傳感器100的振動模式，因此可以優(yōu)化凹部68的深度、長度、寬度等，使得在防止產(chǎn)生不必要的導(dǎo)通的同時獲得最佳的振動模式。

對于實(shí)施方式1中所闡述的防止上述導(dǎo)通的對策，通過針對壓電元件(例如電極20)的形狀下功夫也可獲得同樣的效果，但是在使用厚度較薄的層疊元件的情況下，可以說本實(shí)施方式中所說明的、在殼體60設(shè)置凹部68的這種對策能夠比較容易實(shí)施。再有，除了在殼體60設(shè)置凹部68以外，進(jìn)一步針對壓電元件(例如電極20)的形狀下功夫以防止產(chǎn)生不必要的導(dǎo)通也是有效的。

[實(shí)驗例]

為了驗證上述實(shí)施方式1所帶來的效果，進(jìn)行了如下的實(shí)驗。也就是說，作為金屬制的殼體60，準(zhǔn)備了具有直徑14mm、高度9mm的殼體。殼體60的底部62的厚度設(shè)為0.9mm。在殼體60的底部62所設(shè)置的凹部68的形狀設(shè)為長度6.5mm、寬度0.5mm、深度0.05mm。

作為層疊型的壓電元件50，準(zhǔn)備了具有長度6mm、寬度5mm、厚度0.2mm的元件。作為布線部件，取代fpc而使用引線，作為粘接劑64而使用環(huán)氧樹脂(絕緣性粘接劑)，作為填充劑71、72而使用硅酮(參照圖2)。

制造了10個具有以上這種結(jié)構(gòu)的超聲波傳感器100，產(chǎn)生了初始故障的傳感器(在剛剛制造之后便產(chǎn)生導(dǎo)通的傳感器)為零個。即便僅變更凹部68的深度，設(shè)為深度0.035mm、深度0.06mm，也獲得同樣的結(jié)果。只要凹部68的深度相對于殼體60的底部62的厚度(900μm)為3％以上且6％以下，就可獲得良好的結(jié)果。此外，取代凹部68而將貫通孔設(shè)置在殼體60的底部62并進(jìn)行了同樣的實(shí)驗，盡管初始故障率得以改善，但是取而代之超聲波傳感器的頻率、指向性、振動模式發(fā)生變化，與設(shè)置凹部的情況相比難以得到聲壓。

[實(shí)施方式2]

在上述實(shí)施方式1中(參照圖11)，在殼體60的底部62設(shè)置1個凹部68。

也可以如圖12所示的殼體60a那樣，在底部62設(shè)置2個凹部68a、68b。凹部68a、68b彼此具有相同的形狀，且相互平行。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在將壓電元件50貼附在底部62時在壓電元件50的方向性上無需考慮，因此能夠期待生產(chǎn)效率的提高。

[實(shí)施方式3]

在上述實(shí)施方式1中，電極20的端部21t具有沿著壓電元件50的長邊方向的側(cè)表面(壓電體層40的側(cè)表面42)的下端部延伸的形狀。

參照圖13，在本實(shí)施方式的壓電元件50a中，電極20的端部21t具有沿著壓電元件50a的短邊方向的側(cè)表面(壓電體層40的側(cè)表面43)的下端部延伸的形狀。即便在使用這種的壓電元件50的情況下，電極20的端面部21之中的位于粘接面的一側(cè)的端部21t位于與殼體60b的凹部68a重疊的位置，由此也能夠防止不必要的導(dǎo)通。優(yōu)選，如圖13所示的殼體60b那樣，端部21t可以位于包含在凹部68a的內(nèi)側(cè)的位置。

[實(shí)施方式4]

參照圖14，本實(shí)施方式中，電極20的端部21t也具有沿著壓電元件50a的短邊方向的側(cè)表面(壓電體層40的側(cè)表面43)的下端部而延伸的形狀。在殼體60c中，也與上述實(shí)施方式2的情況同樣地，在底部62設(shè)置有2個凹部68a、68b。凹部68a、68b彼此具有相同的形狀，且相互平行。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在將壓電元件50a貼附于底部62時在壓電元件50a的方向性上無需考慮，因此能夠期待生產(chǎn)效率的提高。

[實(shí)施方式5]

參照圖15，在本實(shí)施方式的殼體60d中，在殼體60d的底部62設(shè)置貫通孔69，在貫通孔69之中埋入樹脂67(環(huán)氧樹脂等)來形成凹部68。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，也能夠獲得與上述各實(shí)施方式大致同樣的作用以及效果。

[實(shí)施方式6]

上述各實(shí)施方式中的超聲波傳感器所具備的壓電元件(例如參照圖8)的發(fā)送用區(qū)域40n和接收用區(qū)域40m在殼體的底部62的內(nèi)底面62s的表面方向上形成在彼此相鄰的位置。上述各實(shí)施方式所公開的思想(即在殼體的內(nèi)底面設(shè)置凹部的思想)并不是限于具備這種壓電元件的超聲波傳感器進(jìn)行應(yīng)用，也能夠應(yīng)用于具備圖16所示的壓電元件50b的超聲波傳感器。

如圖16所示，本實(shí)施方式中的壓電元件50b并不具備電極10，供發(fā)送的部分和供接收的部分沒有分離。在使用這種的壓電元件50b的情況下，通過在殼體(未圖示)的底部62形成凹部68，也能夠抑制電極20經(jīng)由端部21t而導(dǎo)通。

[其他的實(shí)施方式]

在上述各實(shí)施方式中，壓電元件由鋯鈦酸鉛系陶瓷構(gòu)成，但并不限于此。例如，壓電元件也可以由鈮酸鉀鈉系、堿金屬鈮酸鹽系陶瓷等的非鉛系壓電陶瓷的壓電材料等構(gòu)成。在上述各實(shí)施方式中，壓電元件是具備長邊方向和短邊方向的長方體狀的形狀，但是并不限于此。例如，壓電元件也可以是圓板形狀。在上述各實(shí)施方式中，填充劑71、72(圖2)由硅酮樹脂構(gòu)成，但并不限于此。只要由樹脂構(gòu)成即可，例如可以由聚氨酯樹脂、硅酮發(fā)泡樹脂構(gòu)成。

以上，對基于本發(fā)明的各實(shí)施方式以及實(shí)驗例進(jìn)行了說明，但是上述公開內(nèi)容的全部僅僅是例示，而并不是限制性的。本發(fā)明的技術(shù)范圍由權(quán)利要求書示出，意圖包含與權(quán)利要求書等同的意義以及范圍內(nèi)的全部變更。

符號說明

1傳感器裝置，10電極(共用電極)，10c、20c、30c連接部位，11圓盤部，12延伸部，20電極(非接地電極)，21、31端面部，21t端部，22、32上面部，23、24、33中間部，23h、23t、24h、24t、32h、32t、33h、33t部，30電極(接地電極)，32f后退部，34下面部，40、m1、n1、n4壓電體層，40m接收用區(qū)域，40n發(fā)送用區(qū)域，41上表面，42、43、44、45側(cè)表面，46下表面，50、50a、50b壓電元件，60、60a、60b、60c、60d殼體，61筒狀部，62底部，62s內(nèi)底面，62t外表面，63吸聲材料，64粘接劑，65接合劑，67樹脂，68、68a、68b凹部，69貫通孔，71、72填充劑，80t前端部，81、82、83布線圖案，100超聲波傳感器，101微型計算機(jī)，102存儲器，103檢測電路，104信號生成電路，105電源，106接收放大器。