本技術(shù)屬于半導(dǎo)體設(shè)備，具體涉及一種基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)過程中，需要用射頻信號(hào)來控制加熱盤加熱，通過射頻加熱，可以實(shí)現(xiàn)快速加熱、均勻加熱和精確控制溫度，以促進(jìn)半導(dǎo)體材料的生長(zhǎng)、沉積和退火等工藝步驟。在生產(chǎn)過程中，射頻信號(hào)如果受到干擾，可能會(huì)導(dǎo)致加熱系統(tǒng)工作不穩(wěn)定，造成加熱效果波動(dòng)，從而導(dǎo)致樣品溫度不均勻，影響工藝步驟的精確控制。同時(shí)也可能會(huì)導(dǎo)致實(shí)際加熱的溫度和設(shè)定值出現(xiàn)偏差，使半導(dǎo)體材料的質(zhì)量和性能受到影響。更為甚者，強(qiáng)烈的射頻干擾可能會(huì)對(duì)加熱系統(tǒng)中的電子元件和傳感器造成損壞，導(dǎo)致設(shè)備故障或運(yùn)行不正常，進(jìn)而影響生產(chǎn)效率，如果收到的射頻干擾非常嚴(yán)重，則還會(huì)導(dǎo)致設(shè)備過熱、短路等安全問題，存在一定的火災(zāi)和電擊風(fēng)險(xiǎn)。

2、公告號(hào)為cn205081979u的中國(guó)實(shí)用新型專利公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置。該裝置包括溫控系統(tǒng)與加熱板，溫控系統(tǒng)包括有溫控器以及功率控制器，功率控制器的輸出端通過連接ac濾波電路至加熱板，設(shè)置一熱電偶用于采集加熱板的溫度，所述熱電偶通過連接一tc濾波電路連接在溫控器的溫度采集輸入端。本實(shí)用新型交流干擾信號(hào)大部分將被電感阻止吸收變成磁感和熱能，剩下的大部分被電容旁路到地，這就可以抑制干擾信號(hào)的作用，在輸出端就獲得比較純凈的交流電。經(jīng)過tc濾波電路，采用電阻，電感和電容組成的rlc濾波電路，濾掉射頻干擾(13.56mhz以上)和50hz/60hz(電源)的工頻干擾，保證溫控器接收到的信號(hào)能夠正確地反映加熱板的真實(shí)溫度。

3、上述專利雖然能夠?qū)斎爰訜岚宓男盘?hào)進(jìn)行濾波，濾除干擾信號(hào)，但是并未設(shè)置檢測(cè)模塊對(duì)處理后的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，無法保障輸入至加熱板的信號(hào)為所需的正常信號(hào)，仍然存在安全問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在上述問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，增設(shè)檢測(cè)模塊對(duì)濾波模塊處理后的射頻信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，判斷其是否處于正常狀態(tài)，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制相應(yīng)輸出，確保外接設(shè)備接收的信號(hào)處于正常狀態(tài)。

2、一種基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，包括配置有輸入接口、濾波模塊和檢測(cè)模塊的主箱體，所述輸入接口用于接收外部輸入的射頻信號(hào)，濾波模塊用于將射頻信號(hào)進(jìn)行除干擾處理，檢測(cè)模塊包括電感和mcu，用于檢測(cè)由濾波模塊處理后的射頻信號(hào)是否正常；所述檢測(cè)模塊與緊急控制模塊連接，所述緊急控制模塊包括繼電器和緊急控制接口，所述繼電器通過輸出接口與外接設(shè)備連接，緊急控制接口與外接設(shè)備連接，緊急控制接口向外接設(shè)備傳輸停止指令，所述繼電器正常情況下處于常閉狀態(tài)，當(dāng)檢測(cè)模塊檢測(cè)到射頻信號(hào)不處于閾值范圍內(nèi)時(shí)，檢測(cè)模塊控制繼電器斷開。

3、優(yōu)選的，檢測(cè)模塊還與復(fù)位模塊和通信模塊連接，所述復(fù)位模塊包括復(fù)位鍵和復(fù)位電路，用于控制檢測(cè)模塊復(fù)位；所述通信模塊包括通訊芯片和通信接口，用于在檢測(cè)模塊檢測(cè)到射頻信號(hào)不處于閾值范圍內(nèi)時(shí)發(fā)送異常報(bào)警信號(hào)。

4、優(yōu)選的，濾波模塊包括濾波電路，所述濾波電路包括電容和電感，用于將射頻信號(hào)的噪聲干擾濾除。

5、優(yōu)選的，檢測(cè)模塊還與led燈連接，當(dāng)檢測(cè)模塊檢測(cè)到射頻信號(hào)不處于閾值范圍內(nèi)，則led燈亮紅燈，當(dāng)檢測(cè)模塊檢測(cè)到射頻信號(hào)處于閾值范圍內(nèi)，則led燈亮綠燈。

6、優(yōu)選的，檢測(cè)模塊、濾波模塊、緊急控制模塊被配置于主箱體的內(nèi)部，所述主箱體上安裝有輸入接口、緊急控制接口、led燈、復(fù)位鍵、通信接口、輸出接口。

7、優(yōu)選的，所述主箱體配置有三組輸入通道和三組輸出通道，每組輸入通道與每組輸出通道一一對(duì)應(yīng)，每組輸入通道分別對(duì)應(yīng)配置有一個(gè)輸入接口、led燈、復(fù)位鍵，每組輸出通道對(duì)應(yīng)配置有一個(gè)緊急控制接口、通信接口、輸出接口。

8、本實(shí)用新型的有益效果是：該基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，通過濾波模塊對(duì)射頻信號(hào)進(jìn)行處理，并增設(shè)檢測(cè)模塊對(duì)濾波模塊處理后的射頻信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，判斷射頻信號(hào)是否處于正常狀態(tài)，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制相應(yīng)輸出，確保外接設(shè)備接收的信號(hào)處于正常狀態(tài)。該裝置能夠進(jìn)一步解決生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的由于射頻干擾帶來的生產(chǎn)質(zhì)量下降的問題；還可以在射頻信號(hào)異常時(shí)保護(hù)半導(dǎo)體設(shè)備的相關(guān)器件，避免帶來經(jīng)濟(jì)損失以及發(fā)生安全事故。

技術(shù)特征：

1.一種基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，其特征在于，包括配置有輸入接口(1)、濾波模塊和檢測(cè)模塊的主箱體，所述輸入接口(1)用于接收外部輸入的射頻信號(hào)，濾波模塊用于將射頻信號(hào)進(jìn)行除干擾處理，檢測(cè)模塊包括電感和mcu，用于檢測(cè)由濾波模塊處理后的射頻信號(hào)是否正常；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，其特征在于，所述檢測(cè)模塊還與復(fù)位模塊和通信模塊連接，所述復(fù)位模塊包括復(fù)位鍵(4)和復(fù)位電路，用于控制檢測(cè)模塊復(fù)位；所述通信模塊包括通訊芯片和通信接口(5)，用于在檢測(cè)模塊檢測(cè)到射頻信號(hào)不處于閾值范圍內(nèi)時(shí)發(fā)送異常報(bào)警信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，其特征在于，所述濾波模塊包括濾波電路，所述濾波電路包括電容和電感，用于將射頻信號(hào)的噪聲干擾濾除。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，其特征在于，所述檢測(cè)模塊還與led燈(3)連接，當(dāng)檢測(cè)模塊檢測(cè)到射頻信號(hào)不處于閾值范圍內(nèi)，則led燈(3)亮紅燈，當(dāng)檢測(cè)模塊檢測(cè)到射頻信號(hào)處于閾值范圍內(nèi)，則led燈(3)亮綠燈。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，其特征在于，所述檢測(cè)模塊、濾波模塊、緊急控制模塊被配置于主箱體的內(nèi)部，所述主箱體上安裝有輸入接口(1)、緊急控制接口(2)、led燈(3)、復(fù)位鍵(4)、通信接口(5)、輸出接口(6)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，其特征在于，所述主箱體配置有三組輸入通道和三組輸出通道，每組輸入通道與每組輸出通道一一對(duì)應(yīng)，每組輸入通道分別對(duì)應(yīng)配置有一個(gè)輸入接口(1)、led燈(3)、復(fù)位鍵(4)，每組輸出通道對(duì)應(yīng)配置有一個(gè)緊急控制接口(2)、通信接口(5)、輸出接口(6)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種基于半導(dǎo)體設(shè)備的防射頻干擾裝置，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括輸入接口、濾波模塊、檢測(cè)模塊和緊急控制模塊，輸入接口用于接收外部輸入的射頻信號(hào)，濾波模塊用于對(duì)射頻信號(hào)進(jìn)行除干擾，檢測(cè)模塊用于檢測(cè)處理后的射頻信號(hào)是否正常；緊急控制模塊包括繼電器和緊急控制接口，繼電器通過輸出接口與外接設(shè)備連接，緊急控制接口與外接設(shè)備連接，用于向外接設(shè)備傳輸停止指令，繼電器正常情況下處于常閉狀態(tài)，檢測(cè)模塊檢測(cè)到射頻信號(hào)不處于閾值范圍內(nèi)時(shí)，繼電器斷開。增設(shè)檢測(cè)模塊對(duì)濾波模塊處理后的射頻信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，判斷其是否處于正常狀態(tài)，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制相應(yīng)輸出，確保外接設(shè)備接收的信號(hào)處于正常狀態(tài)。

技術(shù)研發(fā)人員：翁林,吳立
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫宇邦半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240522
技術(shù)公布日：2025/1/9