專利名稱:光開關(guān)和控制光開關(guān)的方法
發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用來改變信號光連接的光開關(guān)，尤其涉及一種利用可動鏡進(jìn)行光偏轉(zhuǎn)的光開關(guān)。
背景技術(shù)：
公開號為2002/0196520A1的美國專利申請公開了一種用于波分復(fù)用(WDM)傳輸?shù)墓忾_關(guān)，該開關(guān)能夠切換輸入光纖和輸出光纖之間的連接，其中經(jīng)由該輸入光纖和輸出光纖針對每個波長傳輸具有復(fù)用波長的信號。根據(jù)輸入光纖和輸出光纖的數(shù)目，該裝置可應(yīng)用到復(fù)用器(MUX)、解復(fù)用器(DEMUX)和光開關(guān)中。
在光開關(guān)中，來自輸入光纖的光被形成為平行光，由光柵分束，通過透鏡形成為會聚光，然后入射到針對每個波長的MEMS鏡上。通過改變MEMS鏡的方向，反射光沿著與輸入光不同的路徑傳輸，并與安放在與輸入光纖不同位置處的輸出光纖相結(jié)合。由此，可以通過針對每個波長來改變MEMS鏡的方向選擇出作為輸出目標(biāo)的光纖。
光開關(guān)(切換操作)將輸入輸出光纖的特定光，即，與輸出光纖相結(jié)合的特定光，從當(dāng)前的輸出光纖切換到另一個輸出光纖，在該光開關(guān)中，除非切換前的輸出光纖與切換后的輸出光纖相鄰，否則在MEMS鏡的方向的改變過程中，來自輸入光纖的光將和與切換操作無關(guān)的中間輸出光纖結(jié)合。
也就是說，在美國公開號為2002/0196520A1的美國專利申請中所描述的光開關(guān)中，關(guān)于與切換操作無關(guān)的輸出光纖產(chǎn)生了串音。串音有可能導(dǎo)致光通信系統(tǒng)發(fā)生故障，并且這是竭力想要避免的。

發(fā)明內(nèi)容
考慮到這一實際情形而提出了本發(fā)明，且本發(fā)明的一個主要目的就是提供一種光開關(guān)，該光開關(guān)在切換操作中幾乎不產(chǎn)生關(guān)于輸出光纖的串音。換言之，本發(fā)明將提供“無碰撞(hitless)操作”。
一方面，本發(fā)明旨在提出一種光開關(guān)。本發(fā)明的光開關(guān)包括至少一個輸入光纖，多個輸出光纖，至少一個可動鏡，用于將來自輸入光纖的光束有選擇地導(dǎo)向該輸出光纖中的一個上，以及至少一個快門，用來適當(dāng)?shù)刈钃?intercept)從輸入光纖向可動鏡傳播的光束?？蓜隅R的方向是可變的，且改變可動鏡的方向以便切換與可動鏡反射的光束相結(jié)合的輸出光纖。當(dāng)改變可動鏡的方向時，該快門阻擋朝向該可動鏡傳播的光束。
在另一方面，本發(fā)明旨在提出一種控制光開關(guān)的方法，該光開關(guān)包括至少一個輸入光纖，多個輸出光纖，至少一個可動鏡，用于將來自該輸入光纖的光束有選擇地導(dǎo)向該輸出光纖中的一個上，以及至少一個快門，用來適當(dāng)?shù)刈钃鯊脑撦斎牍饫w向該可動鏡傳播的光束。本發(fā)明的控制方法包括，在開始改變該可動鏡的方向之前，使該快門進(jìn)入關(guān)狀態(tài)來阻擋朝向該可動鏡傳播的光束的步驟；當(dāng)該快門處于關(guān)狀態(tài)時改變該可動鏡的方向的步驟，以及，在結(jié)束可動鏡的方向改變之后，使快門進(jìn)入開狀態(tài)以便允許光束入射到該可動鏡的步驟。
附圖簡述
圖1示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的光開關(guān)的結(jié)構(gòu)圖；圖2示出圖1的光開關(guān)中所用的可動鏡陣列；圖3示出圖1的光開關(guān)中所用的快門陣列；圖4示出圖2的可動鏡陣列和圖3的快門陣列的透視圖；圖5A示出圖4所示的快門的“關(guān)狀態(tài)”；圖5B示出圖5A所示快門的“開狀態(tài)”；圖6示出圖1所示的光開關(guān)中切換操作的流程圖；圖7是用于安放圖3、4、5A和5B中所示快門的屏蔽部分的范圍的說明圖；圖8示出代替圖5A和5B所示快門的另一個可適用快門的結(jié)構(gòu)圖；
圖9示出根據(jù)本發(fā)明第二實施例的光開關(guān)的結(jié)構(gòu)圖；圖10示出優(yōu)選地適用于圖9所示光開關(guān)的快門的結(jié)構(gòu)圖；圖11示出優(yōu)選地適用于圖9所示光開關(guān)的另一個快門的結(jié)構(gòu)圖；圖12示出根據(jù)本發(fā)明第三實施例的光開關(guān)的結(jié)構(gòu)圖；圖13示出適用于根據(jù)本發(fā)明第一實施例的光開關(guān)的另一個快門的透視圖；以及圖14為圖13所示快門的側(cè)視圖。
具體實施方式
下面將參照附圖描述本發(fā)明的實施例。
第一實施例本實施例涉及一種光開關(guān)，該光開關(guān)針對每個波長來切換具有復(fù)用波長的信號光。圖1示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的光開關(guān)的結(jié)構(gòu)圖。
如圖1所示，本實施例的光開關(guān)100包括一個輸入光纖11，具有復(fù)用波長的信號光(包括多個波長成份的光)入射到該輸入光纖中；輸出光纖18，用于輸出光；準(zhǔn)直透鏡12，用于將從輸入光纖11投射出的發(fā)散光束變?yōu)槠叫泄馐?；以及與輸出光纖18的數(shù)目相同的會聚透鏡19，用于將由輸出光纖18導(dǎo)向的平行光束變?yōu)闀酃馐?br> 光開關(guān)100還包括一個凸透鏡13，用于將來自準(zhǔn)直透鏡12的平行光束變?yōu)闀酃馐?；一個凸透鏡14，用于將來自凸透鏡13的曾被會聚的發(fā)散光束變?yōu)槠叫泄馐?；以及一個光柵15，使來自凸透鏡14的平行光束針對每個波長成份偏轉(zhuǎn)到不同的方向，分束為多個平行光束。
光柵15構(gòu)成一個分束器，用于基于波長對入射的波長復(fù)用的光束進(jìn)行分束。由光柵15偏轉(zhuǎn)的多個平行光束入射到凸透鏡14上，并被轉(zhuǎn)變?yōu)闀酃馐?br> 光開關(guān)100還包括一個可動鏡陣列17，用于將來自凸透鏡14的會聚光束導(dǎo)向多個輸出光纖18中的一個；一個快門陣列16，安放在可動鏡陣列17前面，即，靠近光束的入射一側(cè)；和一個控制電路120，用于控制可動鏡陣列17和快門陣列16。
可動鏡陣列17包括與信號光中的各種復(fù)用波長相一致的多個可動鏡17a?？扉T陣列16包括與可動鏡陣列17的可動鏡17a的數(shù)目相同的多個快門16a。多個快門16a與多個可動鏡17a分別對應(yīng)，并且能夠適當(dāng)?shù)刈钃醭蚩蓜隅R17a傳播的光束。
在光開關(guān)100中，復(fù)用波長信號光，即，包含多個波長成份的光被輸入到輸入光纖11。從輸入光纖11投射出的光變成發(fā)散光束，穿過準(zhǔn)直透鏡12，變?yōu)槠叫泄馐臏?zhǔn)直透鏡12發(fā)出的平行光束穿過凸透鏡13，變?yōu)闀酃馐酃馐葹闀?，然后變成發(fā)散光束。發(fā)散光束穿過凸透鏡14，并被變?yōu)槠叫泄馐涞焦鈻?5上。通過光柵15的衍射功能，針對每個波長成份將落到光柵15上的光束偏轉(zhuǎn)到不同的方向，從而被分束為各個波長成份的光束。換言之，針對每個波長對落到光柵15上的光進(jìn)行分束。
一種波長成份的光束穿過凸透鏡14，從而變?yōu)闀酃馐⒈粚?dǎo)向可動鏡陣列17的可動鏡17a。當(dāng)與可動鏡17a對應(yīng)的快門陣列16的快門16a處于開狀態(tài)時，導(dǎo)向可動鏡的會聚光束在可動鏡附近會聚，并被可動鏡反射。
可動鏡17a的方向(法線方向)可在預(yù)定范圍內(nèi)圍繞一個軸變化。即，可動鏡17a可在預(yù)定角度范圍內(nèi)圍繞該軸旋轉(zhuǎn)?？蓜隅R17a的方向由控制電路120控制。由此，可以調(diào)整可動鏡17a反射的光束的方向。因此，可動鏡17a反射的光束可導(dǎo)向多個輸出光纖18中的一個。
可動鏡17a反射的光束穿過凸透鏡14，變?yōu)槠叫泄馐晒鈻?5偏轉(zhuǎn)，再次穿過凸透鏡14，并被變?yōu)闀酃馐?。會聚光束先為會聚，然后變成發(fā)散光束穿過凸透鏡13，并被變?yōu)槠叫泄馐?。平行光束通過會聚透鏡19變?yōu)闀酃馐?，利用對可動鏡17a的方向進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整來可將其入射到多個輸出光纖18中的一個中，例如，圖1中最上方位置的輸出光纖18。入射到輸出光纖18的光從輸出光纖18輸出。
由可動鏡17a反射的光束所入射的輸出光纖18依賴于可動鏡17a的方向(反射角)。即，通過改變可動鏡17a的方向，可選擇性地切換由可動鏡17a反射的光束所入射的輸出光纖18。
既然光開關(guān)的操作與例如，公開號為2002/0196520A1的美國專利申請中所描述的光開關(guān)的操作類似，在此省略對其的詳細(xì)描述。
圖2表示用于圖1的光開關(guān)中的可動鏡陣列17?？蓜隅R陣列17包括排成一排的鏡子23；一對框架21，沿著鏡子23的排列方向在相對的兩側(cè)延伸；和鉸鏈22，用于將鏡子23連接到框架21上。每個鏡子23都通過在一條直線上延伸的兩個鉸鏈22連接到兩個框架21上。由于鉸鏈22比較容易扭轉(zhuǎn)，鏡子23的方向能夠以鉸鏈22為軸在預(yù)定角度范圍內(nèi)變化。
可動鏡陣列17包括遠(yuǎn)離各個鏡子23的后表面的驅(qū)動電極(未表示)和鏡子23的后表面上的固定電極(GND電極)(未表示)，且可通過在驅(qū)動電極和固定電極之間施加電壓而產(chǎn)生的靜電力來改變鏡子23的方向。
采用微電動機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)能夠制備出可靜電驅(qū)動的可動鏡，這也在例如，日本專利申請?zhí)亻_平2001-174724和公開號為WO01/61400A2號中進(jìn)行了介紹，所以，在此省略對其的詳細(xì)描述。
圖3示出圖1的光開關(guān)中使用的快門陣列16?？扉T陣列16中的快門16a包括一個平板形的屏蔽部分31，用來阻擋光束；一個橫梁部分32，用于支撐屏蔽部分31；和一個固定部分33，以懸臂方式來支撐橫梁部分32。屏蔽部分31被連接到橫梁部分32的自由端，且基本上垂直于橫梁部分32延伸。在本說明書中，“基本上垂直”意味著正好垂直和幾乎垂直。橫梁部分32比較柔韌，且可以彈性彎曲/變形。隨著橫梁部分32的彎曲/變形，屏蔽部分31在圖3內(nèi)向上和向下移動。
快門16a還包括一個永久磁鐵34，以一定間隔安放在橫梁部分32的上方；驅(qū)動線35，安放在橫梁部分32中；以及焊盤36，用來向驅(qū)動線35提供電流。永久磁鐵34和驅(qū)動線35構(gòu)成一個致動器，其使橫梁部分彎曲/變形以便移動屏蔽部分。
當(dāng)驅(qū)動線35上加有電流時，橫梁部分32在圖3內(nèi)向上彎曲/變形，且通過由流過驅(qū)動線35的電流和永久磁鐵34產(chǎn)生的磁場的相互作用而產(chǎn)生的電磁力，使得屏蔽部分31向上移動。當(dāng)停止向驅(qū)動線35提供電流時，橫梁部分32的彎曲/變形被消除，且屏蔽部分31返回到它原始的位置。也就是說，由電信號，即電流，驅(qū)動快門16a。在圖3中，通過控制該電信號，即電流，可向上和向下移動屏蔽部分31。在快門陣列16中，利用MEMS技術(shù)可以容易地對屏蔽部分31、橫梁部分32、驅(qū)動線35和焊盤36進(jìn)行集成生產(chǎn)。
圖4為可動鏡陣列17和快門陣列16的透視圖。如圖4所示，可動鏡陣列17的鏡子23和快門陣列16的屏蔽部分31以相同間距排列。在橫梁部分32不發(fā)生彎曲/變形時，屏蔽部分31正好位于鏡子23的前方。
圖5A示出快門陣列16的一個快門16a的“關(guān)狀態(tài)”，且圖5B示出快門16a的“開狀態(tài)”。當(dāng)不提供電信號時，快門16a處于“關(guān)狀態(tài)”，橫梁部分32不發(fā)生彎曲/變形，且屏蔽部分31正好位于鏡子23的前方。因此，基本上從前表面朝向鏡子23傳播的光束被位于鏡子前方的屏蔽部分31所阻擋。當(dāng)提供電信號時，如圖5B所示，快門陣列處于“開狀態(tài)”，在此狀態(tài)下橫梁部分32彎曲/變形，且屏蔽部分31被向上移動，并從鏡子23的前方移開。因此，基本上從前表面朝向鏡子23傳播的光束能夠入射到鏡子23上而不被屏蔽部分31所阻擋。也就是說，允許光束入射到鏡子23上。
在圖4、5A、5B中，未示出用來驅(qū)動可動鏡陣列17的快門陣列16的引線(外接電源線)。為了避免機(jī)械干擾，可將引線從圖中上方連接到快門陣列16，從圖中下方連接到可動鏡陣列17。
隨后，將參照圖6的流程圖描述本實施例的光開關(guān)中的切換操作，即，在防止串音產(chǎn)生的同時通過可動鏡來有選擇性地切換輸出光纖的操作。這里，作為一個例子，將描述一個輸出信道從圖1中最上方的輸出光纖18切換到第三個輸出光纖18的情況。
通常，在信號光通過狀態(tài)下，快門陣列16的所有快門都處于開狀態(tài)。即，快門陣列16完全處于電源向驅(qū)動線35供電的狀態(tài)。
在將切換命令從高級控制器(未表示)(S601)傳送到控制電路120時，控制電路120停止對與一個構(gòu)成切換目標(biāo)的波長相對應(yīng)的快門16a的驅(qū)動線35的電力供應(yīng)，并將該快門置于關(guān)狀態(tài)(S602)。其后，控制電路120向相應(yīng)的可動鏡，即與置于關(guān)狀態(tài)的快門結(jié)成一對的可動鏡17a，提供一個驅(qū)動信號，并控制可動鏡17的方向，使得光束導(dǎo)向第三個輸出光纖18，即一個新的輸出目標(biāo)(S603)。
在這種情況下，當(dāng)快門16a處于關(guān)狀態(tài)時，來自輸入光纖11的光束被屏蔽部分31所阻擋，且不能落到可動鏡17a上。因此，當(dāng)可動鏡17a的方向改變時，任何來自可動鏡17a的反射光束都不會產(chǎn)生。因此，來自可動鏡17a的光束不會落到任何輸出光纖18或輸入光纖11上。由此，可以避免產(chǎn)生與切換操作無關(guān)的光纖有關(guān)的串音。
結(jié)束可動鏡17a的方向改變之后，控制電路120恢復(fù)對快門16a的驅(qū)動線35的電力供應(yīng)，并使快門16a返回到開狀態(tài)(S604)。由此，建立了從輸入光纖11到第三個輸出光纖18的新的光學(xué)連接?？刂齐娐?20向高級控制器報告切換操作結(jié)束(S605)，且一系列的切換操作因此而結(jié)束。
如上所述，根據(jù)本實施例，在通過改變可動鏡的方向，即旋轉(zhuǎn)，來選擇性地切換輸出光纖的光開關(guān)中，快門被安放在可動鏡的附近。在改變可動鏡的方向的過程中，向可動鏡傳播的光束被快門阻擋，并由此在改變可動鏡的方向的過程中，防止了在與開關(guān)操作無關(guān)的輸出光纖中產(chǎn)生串音。即，開關(guān)操作(輸出光纖的切換)過程中串音的產(chǎn)生可針對開關(guān)單元，即每個波長，而獨立控制。
此外，根據(jù)本實施例，當(dāng)沒有向驅(qū)動線35提供任何驅(qū)動信號時，使得快門16a處于關(guān)狀態(tài)。因此，例如，即使在電源關(guān)斷的時候光被輸入到輸入光纖，也不會有任何光從輸出光纖輸出。由此，防止出現(xiàn)設(shè)備故障，并且提高了操作的簡易性。
在本實施例中，通過一個簡單的結(jié)構(gòu)就能實現(xiàn)快門16a，并能導(dǎo)致小型化和降低成本。
屏蔽部分31的前表面(光束落到其上)可具有低反射率。而且，屏蔽部分31的前表面可具有不規(guī)則的反射性能。例如，屏蔽部分31的前表面可以是粗糙表面，從而可以漫射該入射光束?？蛇x地，也可在屏蔽部分31的前表面上形成一個光柵，該光柵能夠以一特定方向偏轉(zhuǎn)該入射光束。該結(jié)構(gòu)具有減少不需要的散射光的作用。即，由于屏蔽部分31的前表面反射的光被散射且不能返回到輸入光纖或輸出光纖，因而可以更加有效地抑制串音的產(chǎn)生。
例如，通過MEMS技術(shù)來制備快門。在這種情況下，屏蔽部分31通常由Si制成。在遠(yuǎn)距離光通信中，通常使用紅外光(1.3至1.6μm)。不期望的是，紅外光可在一定程度上透過Si。因此，為了確保阻擋穿過屏蔽部分31的光束，還可將金屬薄膜等置于屏蔽部分31的后表面上。
此外，如圖5A所示，在關(guān)狀態(tài)中，可將屏蔽部分31的前表面可關(guān)于朝向可動鏡17a傳播的光束中的主光線，特別是關(guān)于基本上垂直于可動鏡17a的旋轉(zhuǎn)軸且沿著可動鏡17a的前表面延伸的一個軸，傾斜一定角度(如一度或更大)。該結(jié)構(gòu)具有減少不需要的散射光的作用。即，屏蔽部分31的前表面反射的光不能入射，即，與任何輸出光纖結(jié)合，并且能夠確保抑制串音。
在本實施例中，可動鏡17a與快門16a之間的距離是重要的。當(dāng)距離過短時，二者發(fā)生機(jī)械碰撞。當(dāng)距離較長時，不能充分地實現(xiàn)對具有作為切換目標(biāo)(串音抑制)的波長的光束的阻擋。相反地，具有非切換目標(biāo)的波長的光束也受到了影響。為了避免這些問題，需要將快門16a的屏蔽部分安放在如圖7中箭頭所示的光束沒有重疊的范圍內(nèi)。
將考慮這樣一種典型的或易于設(shè)計的數(shù)值的情形，其中鏡子23的間距為0.5mm，在鏡子23上的光束直徑為0.1mm，且光束的數(shù)值孔徑(NA)為0.1，包括鏡子23的旋轉(zhuǎn)角。由于光束邊緣之間的距離為0.4mm，并且這里光束以NA＝0.1(在一側(cè)大約5.7度)擴(kuò)散，從鏡子23到屏蔽部分31的距離d為d＜0.4/2/tan 5.7°≈2mm。由此，屏蔽部分31可被安放在距離鏡子23為2mm或更近的位置。因此，可確保抑制針對待經(jīng)歷切換操作的目標(biāo)的串音，而且還能抑制對另一信道的影響(光損失等)的產(chǎn)生。在實際設(shè)計中，由于光柵15生產(chǎn)中的限制(為了增大鏡子間隔，即波長間隔，需要將槽間距變窄)或可動鏡陣列17的小型化，優(yōu)選將鏡子23的間距設(shè)計得更小一些。這樣，需要將快門16a置于更靠近可動鏡17a的位置。
此外，如圖4、5A、和5B所示，由于快門16a的橫梁部分32位于可動鏡17a遠(yuǎn)離屏蔽部分31的一側(cè)，即，橫梁部分32在與入射到可動鏡17a的光束的相反方向延伸，在遠(yuǎn)離屏蔽部分31的凸透鏡14的一側(cè)沒有任何元件突出，且光學(xué)設(shè)計的自由度增加了。例如，凸透鏡14很容易由透鏡構(gòu)成，結(jié)果，可提高光學(xué)性能，并且，例如，還可以改善插入損耗。
在圖5A和5B中，朝向可動鏡17a傳播的光束被設(shè)定為基本落在可動鏡17a的中間，但是光束的入射位置也可以偏離可動鏡17a的基本中間的位置。在本說明書中，“基本中間”意味著正好中間和接近中間。通常，為了確?？蓜隅R的偏轉(zhuǎn)角度，增加可動鏡的驅(qū)動力是有利的，因此，鏡子部分可能較大。在這種情況下，如圖8所示，當(dāng)可動鏡被設(shè)計得比較大時，光束的入射位置可能偏離可動鏡的中間(移到一端)。因此，當(dāng)驅(qū)動力增加，且可動鏡的偏轉(zhuǎn)角得以保證時，可以避免增大快門的屏蔽部分或可動范圍。
此外，在本實施例中，快門16a是電磁驅(qū)動的，從而能產(chǎn)生較大的驅(qū)動力，因此可將由快門的開/關(guān)產(chǎn)生的切換時間的增加減到最小。由于驅(qū)動力較大，可以實現(xiàn)屏蔽部分的較大進(jìn)程。因此，可以提高關(guān)于可動鏡(包括快門)的設(shè)計部分的自由度。
不必說，快門16a的驅(qū)動系統(tǒng)并不局限于電磁驅(qū)動，可以考慮各種系統(tǒng)。例如，還可以考慮如本實施例的可動鏡一樣由靜電力驅(qū)動。在這種情況下，驅(qū)動力略小一些，但是可以使快門結(jié)構(gòu)簡化和小型化。
圖13為可適用于本實施例的光開關(guān)100的另一個快門的透視圖。圖14為圖13所示快門的側(cè)視圖。如圖13和14所示，本改進(jìn)型的快門70包括一個橫梁部分72，其由一個固定部分71以懸臂方式支撐且具有可彈性變形的平板形狀。以與朝向可動鏡17a傳播的光束中的主光線基本平行的方式支撐橫梁部分72。在本說明書中，“基本平行”意味著恰好平行和接近平行。橫梁部分72包括屏蔽部分73，和彈性部分74，其將屏蔽部分73連接到固定部分71。即，橫梁部分72包括位于其自由端部的屏蔽部分73。彈性部分74的抗彎剛性小于屏蔽部分73的抗彎剛性，因此基本上只有彈性部分74是可彈性彎曲/變形的。隨著彈性部分74的彎曲/變形，屏蔽部分73在圖14中向上和向下移動。
如上所述，屏蔽部分73通常由Si制成，并且在遠(yuǎn)距離光通信中，通常使用紅外光(1.3至1.6μm)。不期望的是，紅外光可在一定程度上透過Si。因此，為了確保阻擋穿過屏蔽部分31的光束，在其上形成有驅(qū)動線圈75的表面上形成例如金屬薄膜的屏蔽膜78?？稍谄渖闲纬捎序?qū)動線圈75的表面的相對表面上形成屏蔽膜78。
快門70還包括一個永久磁鐵79，安放在距屏蔽部分73一定間隔的位置，和一個驅(qū)動圈75，安放在屏蔽部分73中。永久磁鐵79的磁通量和流過驅(qū)動線圈75的電流通過相互作用產(chǎn)生電磁力，且通過所產(chǎn)生的電磁力可移動屏蔽部分73。即，永久磁鐵79和驅(qū)動線圈75構(gòu)成一個致動器，其使橫梁部分72彎曲/變形以便移動屏蔽部分73。
驅(qū)動線圈75通過在彈性部分74內(nèi)延伸的引線76連接到在固定部分71上形成的突出電極77，并且可從外部提供電流。永久磁鐵79在屏蔽部分73移動的方向上被極化，且以安放永久磁鐵79使得磁鐵的一端置于屏蔽部分73的上方，而另一端置于固定部分71的上方。因此，只可能在驅(qū)動線圈75靠近屏蔽部分73的自由端的部分產(chǎn)生電磁力。
如上所述，也可用碳、TiN等用來散射反射光的物質(zhì)在屏蔽部分73的前表面(光束落在該表面上)上形成薄膜。然而，在快門中，由于屏蔽部分73以關(guān)于入射光束成一個小角度放入，換言之，規(guī)則反射光的傳播方向與入射光束的傳播方向大不相同，更適合將具有高反射率的金屬膜等安放在屏蔽部分73的前表面來有規(guī)則地反射光束。在這種情況下，結(jié)果是，能夠更好地再次抑制入射到輸入光纖11或輸出光纖18的不需要的散射光的產(chǎn)生。即，屏蔽部分73的前表面具有關(guān)于光束的規(guī)則反射性能。因此，在屏蔽部分73的前表面上的反射角較大，反射光束不能射入任何輸出光纖或與輸出光纖結(jié)合，并且能夠確保抑制串音。
本改進(jìn)型的快門可根據(jù)，例如，日本專利申請?zhí)亻_平10-20226所描述的制備方法來制備。
根據(jù)本改進(jìn)型的快門70，如圖14所示，當(dāng)可動鏡17a切換時，即，當(dāng)可動鏡17a的方向改變時，可向快門提供驅(qū)動電流來阻擋朝向可動鏡17a傳播的光束，并且能夠抑制串音。此外在本改進(jìn)型中，能夠簡化快門70的結(jié)構(gòu)。另外，在本改進(jìn)型的快門70中，由于能夠通過屏蔽部分73的相對較小的移動來阻擋光束，因而提高了設(shè)計中的自由度。
圖13示出當(dāng)向驅(qū)動線圈75提供電流時達(dá)到屏蔽狀態(tài)。然而，該結(jié)構(gòu)也可作如此改變，即，當(dāng)沒有提供電流時達(dá)到屏蔽狀態(tài)，并且屏蔽部分73被永久磁鐵79吸引以便在提供電流時達(dá)到非屏蔽狀態(tài)。在這種情況下，如第一實施例中已經(jīng)描述過的，能夠避免設(shè)備故障，并提高操作的簡易性。
第二實施例本實施例涉及另一種光開關(guān)，其針對每個波長來切換波長復(fù)用的信號光。圖9示出根據(jù)本發(fā)明第二實施例的光開關(guān)的結(jié)構(gòu)圖。在圖9中，以與圖1所示元件的標(biāo)記相同的標(biāo)記指示的元件是相似的元件，并省略對其的詳細(xì)描述。
如圖9所示，在本實施例的光開關(guān)200中，與圖1所示第一實施例的光開關(guān)相比，增加了一個固定鏡42和一個中繼鏡43，且可動鏡17a被安放在遠(yuǎn)離快門16a的位置上。
快門16a被安放在來自凸透鏡14的會聚光束的會聚點附近。固定鏡42使穿過快門16a射向中繼鏡43的光束偏轉(zhuǎn)。來自凸透鏡14的會聚光束穿過快門16a并變?yōu)榘l(fā)散光束，中繼鏡43將發(fā)散光束變?yōu)闀酃馐？蓜隅R17a被安放在來自中繼鏡43的會聚光束的會聚點附近。
快門16a和可動鏡17a被安放在通過中繼鏡43具有共焦關(guān)系的位置處。因此，本實施例的光開關(guān)200在光學(xué)上等同于第一實施例的光開關(guān)100。因此，本實施例的光開關(guān)200以與第一實施例的光開關(guān)100同樣的方式操作。
在本實施例的光開關(guān)200中，與第一實施例的光開關(guān)100相比，增加了固定鏡和中繼鏡，因此，整體尺寸增大，但是可動鏡的位置遠(yuǎn)離快門的位置，由此可動鏡和快門設(shè)計中的自由度較高。即，在本實施例中，第一實施例的光開關(guān)中的可動鏡17a被移到光學(xué)上等同的位置，而由此增加了整體布局中的余量。
當(dāng)按照本實施例，將可動鏡和快門安放光學(xué)等同位置時，優(yōu)選地，快門應(yīng)安放在與可動鏡完全共焦的位置，或者如第一實施例中所述的距離完全共焦位置2mm或更近的位置。
圖10示出優(yōu)選適用于本實施例的光開關(guān)200的快門的結(jié)構(gòu)。如圖10所示，快門包括一個橫梁部分52，由一對固定部分53以中心葉輪(center impeller)的方式支撐，且可彈性變形，以及一個平板形屏蔽部分51，其基本上由橫梁部分52的中部支撐。橫梁部分52沿著屏蔽部分51的前表面(光束落在的表面)延伸。屏蔽部分51在安放在橫梁部分52的中部附近的驅(qū)動電極(未表示)的靜電力的牽引下被上、下推動。例如，在日本專利申請?zhí)亻_平第2000-258704號中對快門的詳細(xì)情況進(jìn)行了描述。
由于在關(guān)于深度方向(光束的傳播方向)可對該快門進(jìn)行小型化，快門部分可被構(gòu)造得更小一些。
圖11表示優(yōu)選適用于本實施例的光開關(guān)200的另一個快門的結(jié)構(gòu)。如圖11所示，本改進(jìn)型的快門60包括一個平板形的橫梁部分61，其由一個固定部分63以懸臂方式支撐，且可彈性變形，且橫梁部分61在其自由端部包括一個屏蔽部分62?？扉T還包括一個永久磁鐵64，安放在距橫梁部分61一定間隔的一側(cè)；一個驅(qū)動線65，安放在橫梁部分61上；和焊盤66，用來向驅(qū)動線65提供電流。永久磁鐵64和驅(qū)動線65構(gòu)成一個致動器，使橫梁部分61彎曲/變形來移動屏蔽部分62。
在該快門中，以與圖3中所示快門相同的方式，當(dāng)在流過驅(qū)動線65的電流和永久磁鐵64形成的磁場的相互作用下產(chǎn)生的電磁力使得橫梁部分61發(fā)生彎曲/變形時，可移動屏蔽部分62。
在本改進(jìn)型的快門60中，結(jié)構(gòu)簡化和小型化是可能的。由于很容易降低與光束垂直的方向上的尺寸，因而可提高光學(xué)設(shè)計中的自由度。
這里所描述的快門的結(jié)構(gòu)不僅適用于本實施例的光開關(guān)，還適用于第一實施例中所描述的光開關(guān)。
在第一和第二實施例中，已經(jīng)描述了包括四個輸出光纖的光開關(guān)，但是輸出光纖的數(shù)目并不局限于此，也可以安放兩個、三個或五個或更多的輸出光纖。
此外，第一和第二實施例提供了一種1:n分裂型光開關(guān)，包括一個輸入光纖和多個輸出光纖。然而，當(dāng)將輸入光纖和輸出光纖的光反向時，也可提供一種n:1多路復(fù)用器型光開關(guān)。
第三實施例本實施例涉及一種交叉連接型光開關(guān)，其包括多個輸入光纖和多個輸出光纖。圖12示出根據(jù)本發(fā)明第三實施例的光開關(guān)的結(jié)構(gòu)圖。在圖12中，以與圖1所示元件的標(biāo)記相同的標(biāo)記指示的元件是相似的元件，并省略對其詳細(xì)描述。
如圖12所示，本實施例的光開關(guān)300包括多個輸入光纖11，與輸入光纖11的數(shù)目相同的多個準(zhǔn)直透鏡112，多個輸出光纖18，和與輸出光纖18的數(shù)目相同的多個會聚透鏡119。
準(zhǔn)直透鏡112分別與輸入光纖11對應(yīng)，并將從相應(yīng)的輸入光纖11投射出的發(fā)散光束轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄馐?。會聚透鏡119分別與輸出光纖18對應(yīng)，并將導(dǎo)向相應(yīng)的輸出光纖18的平行光束轉(zhuǎn)變?yōu)闀酃馐?br> 光開關(guān)300還包括一個快門陣列116，一個輸入方可動鏡陣列117，和一個輸出方可動鏡陣列118。
快門陣列116位于多個輸入光纖11和多個準(zhǔn)直透鏡112之間，且包括與輸入光纖11的數(shù)目相同的多個快門116a?？扉T116a分別與輸入光纖11對應(yīng)，并適當(dāng)?shù)刈钃鯊南鄳?yīng)的輸入光纖11投射出的光束?？扉T116a也可由上述各種快門構(gòu)成。
輸入方可動鏡陣列117包括與輸入光纖11的數(shù)目相同的多個可動鏡117a。各個可動鏡117a分別與輸入光纖11對應(yīng)，并改變從相應(yīng)的輸入光纖11投射出的光束的方向。
輸出方可動鏡陣列118包括與輸出光纖18的數(shù)目相同的多個可動鏡118a。各個可動鏡118a分別與輸出光纖18對應(yīng)，并將從輸入方可動鏡陣列117射出的光束導(dǎo)向相應(yīng)的輸出光纖18。
在本實施例的光開關(guān)300中，從輸入光纖11投射出的發(fā)散光束穿過相應(yīng)的準(zhǔn)直透鏡112，變成平行光束，然后落到相應(yīng)的輸入方可動鏡陣列117中的可動鏡117a上。可動鏡117a將落到鏡子上的光束導(dǎo)向與用于輸出信號光的輸出光纖18相應(yīng)的輸出方可動鏡陣列118中的相應(yīng)的可動鏡118a?？蓜隅R118a將來自輸入方可動鏡陣列117的光束導(dǎo)向相應(yīng)的輸出光纖18。來自可動鏡118a的平行光束穿過相應(yīng)的會聚透鏡119，變成會聚光束，然后射入相應(yīng)的輸出光纖18或與相應(yīng)的輸出光纖結(jié)合。因此，建立了光學(xué)連接。
在本實施例的光開關(guān)300中，為了切換來自輸入光纖11的光束的輸出目標(biāo)，改變與輸入光纖11相應(yīng)的可動鏡117a的方向和與切換目標(biāo)的輸出光纖18相應(yīng)的可動鏡118a的方向。
在這種情況下，以與第一實施例中相同的方式，在開始改變可動鏡117a和可動鏡118a的方向之前，首先，使得相應(yīng)的快門置于關(guān)狀態(tài)，由此阻擋從相應(yīng)的輸入光纖11向可動鏡117a傳播的光束。隨后，當(dāng)快門116a保持在關(guān)狀態(tài)時，改變可動鏡117a和可動鏡118a的方向。接著，在結(jié)束可動鏡117a和可動鏡118a的方向改變之后，將快門116a切換到開狀態(tài)，所以，允許光束從輸入光纖11落到可動鏡117a上。
相應(yīng)地，從輸入光纖11投射出的光束，通過可動鏡117a和與一個新切換目標(biāo)的輸出光纖18相應(yīng)的可動鏡118a，射入新切換目標(biāo)的輸出光纖18或與之結(jié)合。從而，建立了光學(xué)連接。
根據(jù)本實施例，當(dāng)可動鏡的方向被改變時，向可動鏡傳播的光束被快門阻擋。因此，即使是在交叉連接型光開關(guān)中，也能抑制在輸出光纖一方不需要的串音的產(chǎn)生。
需要注意，例如，在日本專利申請?zhí)亻_平2001-174724中描述了交叉連接型光開關(guān)的結(jié)構(gòu)或操作的詳細(xì)情況。
在本實施例中，描述了圖12中所示的所謂3D-MEMS型或日本專利申請?zhí)亻_平2001-174724中所述的光開關(guān)，但是，本發(fā)明可適用于各種類型的光開關(guān)，如2D-MEMS型光開關(guān)。
已經(jīng)參照附圖描述了本發(fā)明的實施例，但是本發(fā)明并不局限于這些實施例，可以在不脫離此范圍的條件下進(jìn)行各種改進(jìn)和變化。
工業(yè)應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明，提供了一種光開關(guān)，其在切換操作中幾乎不產(chǎn)生關(guān)于輸出光纖的串音。
權(quán)利要求
1.一種光開關(guān)(100；200；300)，包括至少一個輸入光纖(11)；多個輸出光纖(18)；和至少一個可動鏡(17a)，用來有選擇地將來自所述輸入光纖(11)的光束導(dǎo)向到所述多個輸出光纖(18)中的一個上，其中，所述可動鏡(17a)的方向是可變的，并且改變所述可動鏡(17a)的方向，以便切換與由所述可動鏡(17a)反射的光束相結(jié)合的所述輸出光纖(18)，所述光開關(guān)的特征在于包括至少一個快門(16a)，用來適當(dāng)?shù)刈钃鯊乃鲚斎牍饫w(11)向所述可動鏡(17a)傳播的光束，當(dāng)改變所述可動鏡(17a)的方向時，所述快門(16a)阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
2.如權(quán)利要求
1所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于還包括一個分束器(15)，用于根據(jù)來自所述輸入光纖(11)的光束的波長，將從所述輸入光纖(11)投射出的波長復(fù)用光(包括多個波長成份的光)的光束分束為多個光束；和一個透鏡(14)，用于將分束的多個光束變?yōu)槎鄠€會聚光束，所述光開關(guān)(100；200)還包括包括所述可動鏡(17a)的多個可動鏡(17a)，可動鏡(17a)的數(shù)目大于或等于由所述分束器(15)分束的多個光束的數(shù)目，所述多個可動鏡(17a)分別與由所述分束器(15)分束的多個光束相對應(yīng)，所述光開關(guān)(100；200)還包括包括所述快門(16a)的多個快門(16a)，快門(16a)的數(shù)目等于可動鏡(17a)的數(shù)目，所述多個快門(16a)分別與所述多個可動鏡(17a)相對應(yīng)，且每個快門(16a)在所述透鏡(14)和所述可動鏡(17a)之間阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
3.如權(quán)利要求
2所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，所述快門(16a)包括一個橫梁部分(61；72)，其以懸臂方式得到支撐，并可彈性變形，且呈平板形狀，所述橫梁部分(61；72)在其自由端部包括一個屏蔽部分(62，73)，且所述快門(16a)還包括一個致動器(64，65；75，79)，其使得所述橫梁部分(61；72)彎曲/變形以便移動所述屏蔽部分(62；73)。
4.如權(quán)利要求
3所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，以與朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束中的主光線基本平行的方式支撐所述橫梁部分(72)。
5.如權(quán)利要求
4所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，所述致動器(75，79)通過電磁力使所述橫梁部分(72)變形。
6.如權(quán)利要求
4所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，所述屏蔽部分(73)的前表面(其上落有所述光束的表面)對于所述光具有規(guī)則反射特性。
7.如權(quán)利要求
4所述的光開關(guān)(100)，其特征在于，所述快門(16a)在距所述可動鏡(17a)大約2mm或更近的位置處阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
8.如權(quán)利要求
4所述的光開關(guān)(200)，其特征在于，所述快門(16a)在所述快門與所述可動鏡(17a)具有光學(xué)共焦關(guān)系的位置處阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
9.如權(quán)利要求
3所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，以與朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束中的主光線基本垂直的方式支撐所述橫梁部分(61)。
10.如權(quán)利要求
9所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，所述屏蔽部分(62)的前表面(其上落有光束的表面)對于所述光具有不規(guī)則反射特性。
11.如權(quán)利要求
3所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，依照驅(qū)動電信號驅(qū)動所述快門(16a)，并且所述快門在沒有提供所述驅(qū)動電信號的狀態(tài)下阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
12.如權(quán)利要求
2所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，所述快門(16a)包括一個橫梁部分(32)，其以懸臂方式支撐并且可彈性變形，和一個屏蔽部分(31)，其被連接到所述橫梁部分(32)的一個自由端，且具有平板形狀，所述屏蔽部分(31)以與所述橫梁部分(32)基本垂直的方式延伸，且所述快門還包括一個致動器(34，35)，其使所述橫梁部分(32)彎曲/變形以便移動所述屏蔽部分(31)。
13.如權(quán)利要求
12所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，所述橫梁部分(32)位于所述可動鏡(17a)的一側(cè)，該側(cè)遠(yuǎn)離所述屏蔽部分(31)。
14.如權(quán)利要求
12所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，在所述快門(16a)阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束的狀態(tài)下，相對于朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束中的主光線，圍繞基本上垂直于所述可動鏡(17a)的旋轉(zhuǎn)軸且沿著所述可動鏡(17a)的所述前表面延伸的軸，將所述屏蔽部分(31)傾斜一度或更大。
15.如權(quán)利要求
12所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，所述致動器(34，35)通過電磁力使所述橫梁部分(32)變形。
16.如權(quán)利要求
12所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，在關(guān)于所述快門(16a)的所述屏蔽部分(17a)的移動方向上的所述可動鏡(17a)的尺寸大于所述屏蔽部分(31)的尺寸，且朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束落到偏離所述可動鏡(17a)中心的位置。
17.如權(quán)利要求
12所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，依照驅(qū)動電信號驅(qū)動所述快門(16a)，并且在沒有提供所述驅(qū)動電信號的狀態(tài)下阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
18.如權(quán)利要求
2所述的光開關(guān)(100；200)，其特征在于，快門(16a)包括一個橫梁部分(52)，其以中心葉輪的方式支撐，且可彈性變形，和一個屏蔽部分(51)，其由橫梁部分(52)的中部支撐，且具有平板形狀，所述橫梁部分(52)沿著所述屏蔽部分(51)的前表面(其上落有光束的表面)延伸，并且所述快門還包括一個致動器，其使所述橫梁部分(52)變形以便沿著前表面移動所述屏蔽部分(51)。
19.如權(quán)利要求
1所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，還包括包括所述輸入光纖(11)的多個輸入光纖(11)，和至少一個可動鏡陣列(17)，其中每個可動鏡陣列(17)包括與所述多個輸入光纖(11)的數(shù)目相同的所述可動鏡(17a)，且每個可動鏡陣列(17)的多個所述可動鏡(17a)控制來自多個輸入光纖(11)的多個光束。
20.如權(quán)利要求
19所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述快門(16a)包括一個橫梁部分(61；72)，其以懸臂方式支撐，且可彈性變形，并具有平板形狀，橫梁部分(61；72)在其自由端部包括一個屏蔽部分，并且所述快門(16a)還包括一個致動器(64，65；75，79)，其使所述橫梁部分(61；72)彎曲/變形，以便移動所述屏蔽部分(62；73)。
21.如權(quán)利要求
20所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，以與朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束中的主光線基本平行的方式支撐所述橫梁部分。
22.如權(quán)利要求
21所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述致動器(75，79)通過電磁力使所述橫梁部分(72)變形。
23.如權(quán)利要求
21所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述屏蔽部分(73)的前表面(其上落有光束的表面)對于所述光具有規(guī)則反射性能。
24.如權(quán)利要求
21所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述快門(16a)在所述快門與所述可動鏡(17a)具有光學(xué)共焦關(guān)系的位置處阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
25.如權(quán)利要求
20所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，以基本上垂直于朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束中的主光線的方式支撐所述橫梁部分(61)。
26.如權(quán)利要求
25所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述屏蔽部分(62)的前表面(其上落有光束的表面)對于所述光具有不規(guī)則反射性能。
27.如權(quán)利要求
20所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，依照驅(qū)動電信號驅(qū)動所述快門(16a)，并且所述快門在沒有提供所述驅(qū)動電信號的狀態(tài)下阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
28.如權(quán)利要求
19所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述快門(16a)包括一個橫梁部分(32)，其以懸臂方式支撐，且可彈性變形，和一個屏蔽部分(31)，其連接到所述橫梁部分(32)的自由端，且具有平板形狀，所述屏蔽部分(31)以基本上垂直于所述橫梁部分(32)的方式延伸，且所述快門還包括一個致動器(34，35)，其使所述橫梁部分(32)彎曲/變形以便移動所述屏蔽部分(31)。
29.如權(quán)利要求
28所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述橫梁部分(32)位于所述可動鏡(17a)遠(yuǎn)離所述屏蔽部分(31)的一側(cè)。
30.如權(quán)利要求
28所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，在所述快門(16a)阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束的狀態(tài)下，相對于朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束中的主光線，圍繞基本上垂直于所述可動鏡(17a)的旋轉(zhuǎn)軸且沿著所述可動鏡(17a)的前表面延伸的軸，將所述屏蔽部分(31)傾斜一度或更大。
31.如權(quán)利要求
28所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述致動器(34，35)通過電磁力使所述橫梁部分(32)變形。
32.如權(quán)利要求
28所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，在所述快門(16a)的所述屏蔽部分(17a)的移動方向上所述可動鏡(17a)的尺寸大于所述屏蔽部分(31)的尺寸，且朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束落在偏離所述可動鏡(17a)中心的位置。
33.如權(quán)利要求
28所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，依照驅(qū)動電信號驅(qū)動所述快門(16a)，并且所述快門在沒有提供所述驅(qū)動電信號的狀態(tài)下阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束。
34.如權(quán)利要求
19所述的光開關(guān)(300)，其特征在于，所述快門(16a)包括一個橫梁部分(52)，其以中心葉輪的方式支撐，且可彈性變形，和一個屏蔽部分(51)，其基本上由所述橫梁部分(52)的中部支撐，且具有平板形狀，所述橫梁部分(52)沿著所述屏蔽部分(51)的前表面(其上落有光束的表面)延伸，并且所述快門還包括一個致動器，其使所述橫梁部分(52)變形以便沿著所述前表面移動所述屏蔽部分(51)。
35.一種控制光開關(guān)(100；200；300)的方法，該光開關(guān)包括至少一個輸入光纖(11)，多個輸出光纖(18)，至少一個可動鏡(17a)，用來有選擇地將來自所述輸入光纖(11)的光束導(dǎo)向到所述多個輸出光纖(18)中的一個上，以及至少一個快門(16a)，用來適當(dāng)?shù)刈钃鯊乃鲚斎牍饫w(11)朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束，該方法的特征在于，包括在開始改變所述可動鏡(17a)的方向之前，使所述快門(16a)進(jìn)入關(guān)狀態(tài)來阻擋朝向所述可動鏡(17a)傳播的光束的步驟；當(dāng)所述快門(16)處于關(guān)狀態(tài)時，改變所述可動鏡(17a)的方向的步驟；以及在結(jié)束所述可動鏡(17a)的方向改變之后，使所述快門(16a)進(jìn)入開狀態(tài)以便允許光束入射到所述可動鏡(17a)的步驟。
專利摘要
一種光開關(guān)(100)，包括一個輸入光纖(11)；多個輸出光纖(18)；一個光柵(15)，用于針對每個波長成份，以不同的方向?qū)碜运鲚斎牍饫w(11)的光束進(jìn)行偏轉(zhuǎn)，以便使其分束為多個光束；一個凸透鏡(14)，將來自所述光柵(15)的光束變?yōu)闀酃馐?；一個可動鏡陣列(17)，將來自所述凸透鏡(14)的會聚光束導(dǎo)向所述多個輸出光纖(18)中的一個；一個快門陣列(16)，置于所述可動鏡陣列(17)前面；和一個控制電路(120)，用于控制所述可動鏡陣列(17)和所述快門陣列(16)。所述可動鏡陣列(17)包括多個可動鏡(17a)，所述快門陣列(16)包括與所述多個可動鏡(17a)數(shù)目相同的快門(16a)?？扉T(16a)適當(dāng)?shù)刈钃醭蛩隹蓜隅R(17a)傳播的光束。
文檔編號G02B6/35GKCN1762177SQ200480007652
公開日2006年4月19日 申請日期2004年7月26日
發(fā)明者中野淳一, 村上賢治 申請人:奧林巴斯株式會社導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan