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固體攝像裝置的制造方法_3

文檔序號(hào):8384005閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
直信號(hào)線VlinC。在此,垂直信號(hào)線VlinA、VlinB在列方向上每隔I個(gè)交錯(cuò)地與像素PC連接。
[0066]此外,該固體攝像裝置中設(shè)置有開關(guān)SW1、SW2。開關(guān)SWl能夠切換經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinA將垂直信號(hào)線VlinB與列ADC電路2連接的狀態(tài)和經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinC將垂直信號(hào)線VlinB與列ADC電路2連接的狀態(tài)。開關(guān)SW2能夠切換垂直信號(hào)線VlinC與列ADC電路2之間的連接狀態(tài)和切斷狀態(tài)。
[0067]圖9(a)是表示圖8的固體攝像裝置的通常讀出時(shí)的開關(guān)的切換方法的框圖,圖9(b)是表示圖8的固體攝像裝置的高速讀出時(shí)的開關(guān)的切換方法的框圖。
[0068]圖9(a)中,通常讀出時(shí),I條線I條線地從像素PC讀出像素信號(hào)。然后,從像素PC讀出的像素信號(hào)按照每列被發(fā)送給列ADC電路2。
[0069]即,開關(guān)SWl被切換到垂直信號(hào)線VlinA偵彳,垂直信號(hào)線VlinB經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinA與列ADC電路2連接。此外,開關(guān)SW2導(dǎo)通,垂直信號(hào)線VlinC與列ADC電路2連接。
[0070]然后,通過行選擇信號(hào)adrl上升,第I行的行選擇晶體管Ta導(dǎo)通。然后,從第奇數(shù)列的像素PC讀出的像素信號(hào)經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinA被傳送至列ADC電路2。此外,從第偶數(shù)列的像素PC讀出的像素信號(hào)經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinC被傳送至列ADC電路2。
[0071]接下來(lái),通過行選擇信號(hào)adr2上升,第2行的行選擇晶體管Ta導(dǎo)通。然后,從第奇數(shù)列的像素PC讀出的像素信號(hào)經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinA被傳送至列ADC電路2。此外,從第偶數(shù)列的像素PC讀出的像素信號(hào)經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinC被傳送至列ADC電路2。
[0072]圖9(b)中,高速讀出時(shí),每2條線2條線地從像素PC讀出像素信號(hào)。然后,從像素PC讀出的像素信號(hào)每隔I列地被發(fā)送給列ADC電路2。
[0073]S卩,開關(guān)SWl被切換至垂直信號(hào)線VlinC側(cè),垂直信號(hào)線VlinB經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinC與列ADC電路2連接。此外,開關(guān)SW2截止,垂直信號(hào)線VlinC與列ADC電路2切斷。
[0074]然后,通過行選擇信號(hào)adrl、adr2同時(shí)上升,第I行以及第2行的行選擇晶體管Ta導(dǎo)通。然后,從第奇數(shù)列的奇數(shù)行目的像素PC讀出的像素信號(hào)經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinA被傳送至列ADC電路2。此外,從第奇數(shù)列的偶數(shù)行目的像素PC讀出的像素信號(hào)經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinB被傳送至列ADC電路2。此時(shí),第偶數(shù)列的像素PC被剔除。
[0075]由此,高速讀出中,與通常讀出相比,能夠使讀出時(shí)間減半。此外,實(shí)現(xiàn)高速讀出的情況下也是,設(shè)置I行的量的列ADC電路2即可,不需要設(shè)置2行的量的列ADC電路2,所以能夠抑制電路規(guī)模的增大。此外,通過使用左右相鄰的像素來(lái)插補(bǔ)被剔除了的像素,能夠補(bǔ)償分辨率的降低。
[0076]另外,在圖8的結(jié)構(gòu)中應(yīng)用了拜耳排列的情況下,能夠同時(shí)讀出構(gòu)成拜耳排列的4個(gè)像素PC。S卩,在圖8的結(jié)構(gòu)中,垂直信號(hào)線VlinA、VlinB的組與垂直信號(hào)線VlinC每隔I列地交錯(cuò)配置,但拜耳排列中,能夠使垂直信號(hào)線VlinA、VlinB的組與垂直信號(hào)線VlinC每隔2列地交錯(cuò)配置。
[0077](第4實(shí)施方式)
[0078]圖10是表示第4實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置的地址線以及垂直信號(hào)線的結(jié)構(gòu)例的框圖。另外,圖10中示出了像素PC沿行方向以及列方向以4X4的矩陣狀而配置的例子。
[0079]圖10中,像素陣列部I中,按照每行設(shè)置有2條地址線ALA、ALB。此外,像素陣列部I中,按照每列設(shè)置有將從像素PC讀出的像素信號(hào)在列方向上傳送的2條垂直信號(hào)線VlinA、VlinB。在此,垂直信號(hào)線VlinA、VlinB在列方向上每隔I個(gè)交錯(cuò)地與像素PC連接。
[0080]此外,該固體攝像裝置設(shè)置有2行的量的列ADC電路2A、2B。在此,列ADC電路2A、2B能夠使增益相互不同。例如,列ADC電路2B的增益能夠設(shè)定為列ADC電路2A的4倍。此外,該固體攝像裝置中,設(shè)置有切換垂直信號(hào)線VlinA、VlinB間的連接狀態(tài)與切斷狀態(tài)的開關(guān)SW3。
[0081]圖11(a)是表示圖10的固體攝像裝置的通常讀出時(shí)的動(dòng)作的時(shí)序圖,圖11(b)是表示圖10的固體攝像裝置的高速讀出時(shí)的動(dòng)作的時(shí)序圖。
[0082]圖11(a)中,在通常讀出中,按照每I行同時(shí)選擇2條地址線ALA、ALB,從相同的像素PC讀出的像素信號(hào)以不同增益被同時(shí)放大。
[0083]S卩,開通過關(guān)SW3導(dǎo)通,由此,垂直信號(hào)線VlinA、VlinB相互連接。然后,在垂直同步信號(hào)V_ENL上升后,與水平同步信號(hào)H_ENL同步地行選擇信號(hào)adrAl、adrBl同時(shí)成為高電平時(shí),第I行的像素PC的行選擇晶體管Ta導(dǎo)通。然后,從像素PC讀出的像素信號(hào)經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinA、VlinB被同時(shí)傳送至列ADC電路2A、2B,從相同的像素PC讀出的像素信號(hào)以不同增益被同時(shí)放大。
[0084]以下,同樣,與水平同步信號(hào)H_ENL同步地行選擇信號(hào)adrA2?adrA4、adrB2?adrB4依次成為高電平,由此,從第2?4行的像素PC依次讀出信號(hào)。
[0085]圖11 (b)中,在高速讀出中,按照每2行同時(shí)選擇I條地址線ALA,從不同行的像素PC讀出的像素信號(hào)以不同增益被同時(shí)放大。
[0086]S卩,通過開關(guān)SW3截止,從而垂直信號(hào)線VlinA、VlinB相互切斷。然后,垂直同步信號(hào)V_ENL上升后,與水平同步信號(hào)H_ENL同步地行選擇信號(hào)adrAl、adrA2同時(shí)成為高電平時(shí),第I行以及第2行的像素PC的行選擇晶體管Ta在行方向上每隔I個(gè)交錯(cuò)地同時(shí)導(dǎo)通。然后,從像素PC讀出的像素信號(hào)分別經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinA、VlinB同時(shí)被傳送至列ADC電路2A、2B,從第I行以及第2行的像素PC讀出的像素信號(hào)以不同增益被同時(shí)放大。
[0087]以下,同樣,通過與水平同步信號(hào)H_ENL同步地行選擇信號(hào)adrA3、adrA4同時(shí)成為高電平,從而,從第3行以及第4行的像素PC在行方向上每隔I個(gè)交錯(cuò)地同時(shí)讀出信號(hào)。
[0088]在此,在通常讀出中,能夠按照每條線以相互不同增益來(lái)同時(shí)輸出信號(hào),在被攝體高速移動(dòng)的情況下,也能不伴有攝像定時(shí)的偏差地?cái)U(kuò)大動(dòng)態(tài)范圍,并且,能防止讀出時(shí)間的增大。另一方面,在高速讀出中,也能夠不伴有攝像定時(shí)的偏差地?cái)U(kuò)大動(dòng)態(tài)范圍,并且,在高速讀出中,要讀出2行的量的信號(hào)只需水平同步信號(hào)H_ENL的I周期量的時(shí)間即可,與通常讀出相比能夠使讀出時(shí)間減半。
[0089]另外,在圖10的結(jié)構(gòu)中應(yīng)用了拜耳排列的情況下,能夠同時(shí)讀出構(gòu)成拜耳排列的4個(gè)像素PC。S卩,在圖10的結(jié)構(gòu)中,地址線ALA、ALB經(jīng)由行選擇晶體管Ta在行方向上每隔I個(gè)交錯(cuò)地與像素PC連接,但在拜耳排列中,地址線ALA、ALB能夠經(jīng)由行選擇晶體管Ta在行方向上每隔2個(gè)交錯(cuò)地與像素PC連接。
[0090](第5實(shí)施方式)
[0091]圖12是表示第5實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖。
[0092]圖12中,在該固體攝像裝置中設(shè)置有像素陣列部I。像素陣列部I中,沿行方向以及列方向以矩陣狀配置有用于蓄積進(jìn)行光電變換而得的電荷的像素PC。此外,固體攝像裝置中設(shè)置有:將各像素PC的信號(hào)成分用⑶S按照每列進(jìn)行檢測(cè)的2行的量的列ADC電路2A、2B ;將由列ADC電路2A、2B檢測(cè)到的信號(hào)沿行方向分別進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)的水平寄存器3A、3B ;以及對(duì)成為讀出對(duì)象的像素PC沿列方向進(jìn)行掃描的垂直寄存器4。另外,列ADC電路2A、2B相互能夠使增益不同。
[0093]圖13是表示圖12的固體攝像裝置的地址線的結(jié)構(gòu)例的框圖。
[0094]圖13中,在像素陣列部I中,按照每行設(shè)置有地址線AL。此外,在像素陣列部I中,按照每列設(shè)置有將從像素PC讀出的像素信號(hào)沿列方向進(jìn)行傳送的2條垂直信號(hào)線VlinA、VlinB0在此,垂直信號(hào)線VlinA、VlinB在列方向上每隔I個(gè)交錯(cuò)地與像素PC連接。
[0095]然后,若行選擇信號(hào)adrl、adr2同時(shí)上升,則第I行以及第2行的像素PC的行選擇晶體管Ta導(dǎo)通。然后,從第I行以及第2行的像素PC讀出的像素信號(hào)分別經(jīng)由垂直信號(hào)線VlinA、VlinB被同時(shí)傳送至列ADC電路2A、2B,從第I行以及第2行的像素PC讀出的像素信號(hào)以不同增益被同時(shí)放大。
[0096]由此,能夠按照每條線以相互不同的增益同時(shí)輸出信號(hào),在被攝體高速移動(dòng)的情況下,也能夠不伴有攝像定時(shí)的偏差地?cái)U(kuò)大動(dòng)態(tài)范圍,并且,能夠防止讀出時(shí)間的增大。
[0097]圖14(a)是表示在圖12的固體攝像裝置
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