算機(jī)或蜂窩電話(作為兩個(gè)示例)相關(guān)聯(lián)的設(shè)備或電路。
[0025]環(huán)氧樹脂附接環(huán)104將MEMS裸片106附接到基板102。MEMS裸片106可包括任意數(shù)量的聲學(xué)電動(dòng)機(jī)。每個(gè)電動(dòng)機(jī)包括隔膜和背板。聲能量振動(dòng)隔膜以(利用背板)產(chǎn)生代表聲能量的變化電壓。在一個(gè)示例中，兩個(gè)電動(dòng)機(jī)可用于具有不同頻率范圍的聲能量。雖然在此描述了兩個(gè)電動(dòng)機(jī)裸片，但是將會(huì)意識(shí)到可使用任意數(shù)量的電動(dòng)機(jī)。在此處示出的示例中，MEMS裸片106包括第一電動(dòng)機(jī)115和第二電動(dòng)機(jī)117。
[0026]聲音通過使麥克風(fēng)100成為底部端口設(shè)備的端口 120進(jìn)入麥克風(fēng)100。雖然在本文中描述的設(shè)備是底部端口設(shè)備，但是將會(huì)意識(shí)到在本文中描述的原理也可應(yīng)用到頂部端口設(shè)備(例如，其中端口延伸穿過蓋體116)。
[0027]環(huán)氧樹脂裸片附接部108將集成電路110附接到基底102。集成電路110可對經(jīng)由連線112從MEMS設(shè)備接收的信號(hào)執(zhí)行任何處理功能。
[0028]在一個(gè)示例中，封裝114被用來包住集成電路110以保護(hù)集成電路110免受環(huán)境影響。蓋體或罩體116連接到基板102并封閉MEMS裸片106和集成電路110。蓋體116使得MEMS裸片106聲學(xué)地密封。
[0029]在圖1-5的系統(tǒng)的操作的一個(gè)示例中，聲能量通過聲端口 120進(jìn)入并振動(dòng)MEMS裸片106中的電動(dòng)機(jī)中的隔膜。該行為產(chǎn)生了隔膜和設(shè)置在各個(gè)電動(dòng)機(jī)中的隔膜附近的背板之間的電勢(電壓)的相應(yīng)變化。該電壓表示已經(jīng)接收的聲能量。然后將該電壓通過連線112傳送至集成電路110。
[0030]可通過集成電路110執(zhí)行對信號(hào)的進(jìn)一步處理。例如，可在集成電路110處對電壓信號(hào)執(zhí)行放大或?yàn)V波功能。集成電路通過連線113連接至基板102中的墊122。墊122連接至基板102內(nèi)的內(nèi)部跡線，這些內(nèi)部跡線連接至集成電路110的底部上的墊140、142、144、146 和 148。
[0031 ] 墊140、142、144、146和148用于多種不同目的。墊140從集成電路110接收數(shù)據(jù)。墊142向集成電路110提供電力。墊144向集成電路110提供時(shí)鐘信號(hào)。墊146是選擇管腳，其用于選擇集成電路110。墊148是接地管腳，其用于將集成電路110接地。還可使用其他功能示例，并且將會(huì)意識(shí)到此處描述的管腳的數(shù)量和功能僅是示例性的，其他示例是可能的。
[0032]如所述的，MEMS裸片106包括兩個(gè)隔膜/背板(電動(dòng)機(jī))結(jié)構(gòu)(第一電動(dòng)機(jī)115和第二電動(dòng)機(jī)117)，并且可具有長尺寸130和短尺寸132。MEMS裸片106被布置為使得MEMS裸片的長尺寸130與基板102的長尺寸134平行或近似平行(不垂直)?；?02具有更短的尺寸136。選擇集成電路110以安裝在這種類型的封裝內(nèi)。這樣做時(shí)，可以減小基板的短尺寸132 (在一個(gè)示例中從大約3mm減小到大約2mm)，從而減小了 MEMS麥克風(fēng)100的尺寸。因?yàn)闇p小了 MEMS麥克風(fēng)100的尺寸，所以針對設(shè)置有MEMS麥克風(fēng)100的設(shè)備(例如蜂窩電話或個(gè)人計(jì)算機(jī))可以獲得更小的尺寸。
[0033]將會(huì)意識(shí)到麥克風(fēng)組件100可具有多種不同尺寸。例如，使用在本文中描述的方法，長尺寸134可以是大約4mm并且短尺寸136可以是大約2mm，盡管其他尺寸是可能的。相對窄小的尺寸使得MEMS麥克風(fēng)100可以用于許多應(yīng)用中。同時(shí)，使用魯棒的雙電動(dòng)機(jī)MEMS裸片。從而，小的MEMS設(shè)備可用于需要其的應(yīng)用，而沒有舍棄組成麥克風(fēng)的MEMS組件的性會(huì)κ。
[0034]還將會(huì)意識(shí)到基板102上的元件的布置的其他變型是可能的。例如，可以相對于基板102的長尺寸134按照預(yù)選擇的角度來傾斜、布置或設(shè)置MEMS裸片106，以減小麥克風(fēng)100的任意整體尺寸。
[0035]在本文中描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，其包括發(fā)明人已知的用于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的最佳模式。應(yīng)當(dāng)理解，示出的實(shí)施方式僅僅是示意性的，并不應(yīng)當(dāng)視為對本發(fā)明的范圍的限制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種麥克風(fēng)組件，其包括: 基板，其具有大體矩形的頂面，所述頂面包括具有基板寬度的第一邊和具有基板長度的第二邊，所述基板長度大于所述基板寬度； 微機(jī)電系統(tǒng)MEMS裸片，該MEMS裸片具有形狀大體為矩形的底面，所述底面包括具有裸片長度的第三邊和具有裸片寬度的第四邊，所述裸片長度大于所述裸片寬度，所述MEMS裸片的所述底面與所述基板的所述頂面相接觸； 其中，所述MEMS裸片布置在所述基板上以使得所述裸片的所述第三邊與所述基板的所述第一邊平行，從而使得至少一個(gè)集成電路可安裝在所述基板的頂面中未被所述MEMS裸片占用的區(qū)域內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風(fēng)組件，其中，所述基板寬度為大約2_并且基板長度為大約4mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風(fēng)組件，其中，所述MEMS裸片包括第一聲學(xué)電動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)和第二聲學(xué)電動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風(fēng)組件，其中，所述第一聲電動(dòng)結(jié)構(gòu)和所述第二聲學(xué)電動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)中的每一個(gè)都包括隔膜和背板。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風(fēng)組件，其中，所述麥克風(fēng)組件設(shè)置在蜂窩電話或個(gè)人計(jì)算機(jī)中。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風(fēng)組件，其中所述至少一個(gè)集成電路是單個(gè)集成電路。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的麥克風(fēng)組件，其中，所述至少一個(gè)集成電路是多個(gè)物理上分開的集成電路。
【專利摘要】MEMS麥克風(fēng)組件。一種麥克風(fēng)組件，其包括基板和微機(jī)電系統(tǒng)MEMS裸片。所述基板具有大體矩形的頂面。所述頂面包括具有基板寬度的第一邊和具有基板長度的第二邊。所述基板長度大于所述基板寬度。所述MEMS裸片包括形狀大體為矩形的底面。所述底面包括具有裸片長度的第三邊和具有裸片寬度的第四邊。所述裸片長度大于所述裸片寬度。所述MEMS裸片的所述底面與所述基板的所述頂面相接觸。所述MEMS裸片布置在所述基板上以使得所述裸片的所述第三邊與所述基板的所述第一邊平行，從而使得至少一個(gè)集成電路可安裝在所述基板的頂面未被所述MEMS裸片占用的區(qū)域內(nèi)。
【IPC分類】H04R19/04
【公開號(hào)】CN105430582
【申請?zhí)枴緾N201510364102
【發(fā)明人】R·M·麥考爾
【申請人】美商樓氏電子有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年6月4日