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圖像像素陣列和照相機(jī)模塊的制作方法_3

文檔序號(hào):9977803閱讀:來源:國知局
器元件38C和光電二極管140之間。如果希望,可以在紅外線截止元件30C之下形成濾色器元件38C。例如,如圖4所示,濾波器層38可以置于濾波器層30和光電二極管140之間??梢酝ㄟ^在襯底126上沉積并圖案化濾色器元件38C和紅外線通過元件38P來形成層38,并且可以通過在層38上沉積并圖案化紅外線截止濾波器元件30C和紅外線通過元件30P來形成層30。如果希望,可以在相同的處理步驟中形成紅外線通過元件30P和紅外線通過元件38P。
[0045]如果希望,紅外光阻擋材料30C可與濾色器材料38C集成在一起,而不是被作為濾色器材料38C之下或者之上的單獨(dú)層被沉積。以這種類型的布置,每一個(gè)濾色器元件38C將阻擋紅外光的透射而允許對(duì)應(yīng)于特定顏色的波長帶通過。
[0046]圖3和4的示例僅僅是例示性的,其中圖像傳感器16是背面照明圖像傳感器。如果希望,圖像傳感器16可以是正面照明圖像傳感器(例如,其中互連疊層124置于襯底126和濾波器層30和38之間)。
[0047]示出了紅外線通過元件30P和38P的頻譜響應(yīng)的曲線被在圖5中示出。如圖5所示,紅外線通過元件30P和38P阻擋下的波長的光(例如,可見光),并且允許λ上的波長的光(例如,紅外光)通過。例如,波長λ丨可以在750nm和850nm之間(做為一個(gè)示例)。在紅外線成像像素22N中使用紅外線通過元件30P和38P確??梢姽獠煌干涞郊t外線成像像素22N的光電二極管140。
[0048]示出了紅外線截止元件30C的頻譜響應(yīng)的曲線被在圖6中示出。如圖6所示,紅外線截止元件30C阻擋λ 2之上的波長的光(例如,紅外光),而允許λ 2之下的波長的光(例如,可見光)通過。例如,波長λ2可以在800nm和900nm之間(做為一個(gè)示例)。在可見成像像素22V中使用紅外光阻擋材料30C確保紅外光不透射到可見成像像素22V的光電二極管140。在紅外線截止元件30C與濾色器元件38C集成在一起的配置中,可見光譜(λ2之下)內(nèi)的通帶是對(duì)應(yīng)于特定顏色(例如,紅色,綠色,或者藍(lán)色)的光的較窄通帶。
[0049]通過在圖像傳感器SOC 16中使用紅外光阻擋材料30C的圖案化層(與遮蓋整個(gè)圖像傳感器的覆蓋紅外線截止濾波器相對(duì)),可以在像素陣列24的某些部分中選擇性地阻擋紅外光,并且在像素陣列24的其它部分中選擇性地允許紅外光通過。
[0050]圖7示出了用于圖3和4的紅外光阻擋材料30C的例示性圖案。如圖7所示,層30可以包括紅外光阻擋材料30C的覆蓋層,所述覆蓋層具有用于容納紅外線通過材料30Ρ的開口。在這個(gè)示例中,用于紅外線通過材料30Ρ的開口均勻地分布在層30的各處??梢越Y(jié)合具有"準(zhǔn)拜耳(quas1-Bayer)"圖案的濾波器陣列38C使用這類圖案,其中濾波器元件的每一個(gè)2x2塊包括綠濾色器元件、紅濾色器元件、藍(lán)濾色器元件和位于典型的拜耳陣列中綠濾色器元件所在位置處的近紅外濾波器元件。圖中的紅外線阻擋材料30C可以與紅濾色器元件、綠濾色器元件和藍(lán)濾色器元件重疊,而紅外線通過元件30P可以與近紅外濾波器元件重疊。然而這僅僅是例示性的。如果希望,紅外線像素22N(和紅外光阻擋材料30C中的對(duì)應(yīng)開口)可在像素陣列24中以任意樣式布置。
[0051]例如,紅外線通過部分30P可以跨越多于一個(gè)像素。例如,如圖8所示,層30包括具有跨越一行中的多個(gè)像素的連續(xù)開口的紅外線阻擋材料30C的覆蓋層。這種類型的布置可用于包括連續(xù)地布置在一行(例如,跨越整個(gè)像素陣列或者像素陣列的一部分的水平或者垂直行)內(nèi)的多個(gè)紅外線像素的像素陣列。一般地,近紅外像素可被以任何適合的圖案布置在像素陣列24內(nèi)。圖7和8的示例僅僅是例示性的。
[0052]圖9以簡(jiǎn)化形式示出了包括成像設(shè)備200的典型處理器系統(tǒng)300,諸如數(shù)字照相機(jī)。成像設(shè)備200可以包括形成在圖像傳感器SOC上的圖1所示類型的像素陣列24。像素陣列24可以包括可見和紅外線成像像素,以及如上所述的圖案化的紅外光阻擋材料。處理器系統(tǒng)300是可以包括成像設(shè)備200的具有數(shù)字電路的系統(tǒng)的示例。在不受限制的情況下,這種系統(tǒng)可以包括計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、靜態(tài)照相機(jī)或者攝像機(jī)系統(tǒng)、掃描儀、機(jī)器視覺、車輛導(dǎo)航、視頻電話、監(jiān)視系統(tǒng)、自動(dòng)聚焦系統(tǒng)、天體跟蹤器系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)、圖像穩(wěn)定系統(tǒng)以及采用成像設(shè)備的其它系統(tǒng)。
[0053]處理器系統(tǒng)300,其可以是數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)系統(tǒng)或者攝像機(jī)系統(tǒng),可以包括透鏡(諸如透鏡396),用于當(dāng)快門釋放按鈕397被按壓時(shí),將圖像聚焦到像素陣列(諸如像素陣列201)。處理器系統(tǒng)300可以包括中央處理單元,諸如中央處理單元(CPU) 395。CPU 395可以是微處理器,其控制照相機(jī)功能和一個(gè)或多個(gè)圖像流功能,并且在總線(諸如總線393)上與一個(gè)或多個(gè)輸入/輸出(I/O)設(shè)備391通信。成像設(shè)備200也可以在總線393上與CPU 395通信。系統(tǒng)300可以包括隨機(jī)訪問存儲(chǔ)器(RAM) 392和可移動(dòng)存儲(chǔ)器394??梢苿?dòng)存儲(chǔ)器394可以包括在總線393上與CPU 395通信的閃速存儲(chǔ)器。成像設(shè)備200可與CPU395組合、具有或不具有存儲(chǔ)器存儲(chǔ)設(shè)備、在單個(gè)集成電路上或者在不同芯片上。雖然總線393作為單總線被例示,其可以是一個(gè)或多個(gè)總線或橋或者用于互連系統(tǒng)組件的其它通信路徑。
[0054]已經(jīng)描述了各種實(shí)施例,例示了包括可見和紅外線成像像素兩者的像素陣列的圖像傳感器。該像素陣列可以包括光電二極管陣列、在光電二極管之上形成的濾波器元件陣列和在濾波器元件陣列之上形成的微透鏡陣列。濾波器元件可以包括置于微透鏡陣列和光電二極管陣列之間的紅外光阻擋材料的圖案化的層。該紅外線阻擋材料可以被配置為阻擋紅外光而允許所有波長的可見光通過??梢姵上裣袼乜梢园V色器元件(例如,紅濾波器元件、綠濾波器元件、藍(lán)濾波器元件等等)以及由紅外光阻擋材料形成的紅外線截止濾波器元件??梢詧D案化該紅外光阻擋材料的層,以包括對(duì)應(yīng)于陣列中的紅外線成像像素的區(qū)域內(nèi)的開口??梢杂迷试S紅外光通過而阻擋可見光透射的紅外線通濾波器材料填充所述開口。該類型的圖像傳感器SOC能夠同時(shí)捕捉可見以及紅外線光譜范圍內(nèi)的圖像,并且可被用于成像系統(tǒng),諸如電子設(shè)備。
[0055]雙帶通濾波器可以置于透鏡以及圖像傳感器之間。所述雙帶通濾波器可以是包括玻璃板上的多層涂層的帶通涂層濾波器。通過相長干涉和相消干涉處理,雙帶通濾波器可以透射可見光以及窄波段的近紅外光,同時(shí)阻擋其它波長的光。
[0056]近紅外像素可以按任何適合的圖案分散在像素陣列的各處。在一個(gè)實(shí)施例中,可以按準(zhǔn)拜耳圖案形成層疊在圖案化的紅外光阻擋材料的層之上或者之下的濾色器陣列。以這種類型的布置,濾色器陣列由濾波器元件的2x2塊組成,其中每個(gè)塊包括綠濾色器元件、紅濾色器元件、藍(lán)濾色器元件以及位于典型的拜耳陣列中綠濾色器元件所在位置處的近紅外濾波器元件。紅外光阻擋材料可以與濾色器元件重疊,并且紅外光阻擋材料中的開口可以與近紅外濾波器元件重疊。然而,這僅僅是例示性的??梢愿鶕?jù)需求和/或所希望的圖像傳感器的功能調(diào)整像素陣列中的紅外線像素的密度以及布局。
[0057]以這種類型的圖像傳感器,可見成像像素的光電二極
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