一種mems麥克風(fēng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及電子設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種MEMS麥克風(fēng)。一種MEMS麥克風(fēng)，所述MEMS麥克風(fēng)包括：第一基板；第二基板，與所述第一基板固定連接，設(shè)置于所述第一基板上方，所述第二基板中設(shè)有貫穿所述第二基板的聲孔；網(wǎng)孔層，貼覆于所述第二基板的上方，所述網(wǎng)孔層上設(shè)有多個網(wǎng)孔；傳感器，與所述第二基板上的聲孔連接，設(shè)置于所述第一基板與所述第二基板之間，所述傳感器對聲音進(jìn)行識別；以及聲音依次通過所述網(wǎng)孔、所述聲孔進(jìn)入所述傳感器。
【專利說明】
一種MEMS麥克風(fēng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及電子設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種MEMS麥克風(fēng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前的MEMS麥克風(fēng)通常均具有一個聲孔，該聲孔是與外界接觸的，所以，外界的灰塵會從這個聲孔進(jìn)入到傳感器或者基板中，會造成麥克風(fēng)中灰塵的加劇，導(dǎo)致麥克風(fēng)不能有效的使用，若是在潮濕的環(huán)境中，電子設(shè)備的外界的水分會進(jìn)入到麥克風(fēng)中，同時，如果音量的頻率較高的時候，傳感器接收的音量就會有較多的雜音，傳感器不能清楚的接收到外面的聲音。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型提供了一種MEMS麥克風(fēng)，能夠防塵、防潑水，并且能夠?qū)σ袅窟M(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0004]本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]—種MEMS麥克風(fēng)，所述MEMS麥克風(fēng)包括:
[0006]第一基板；
[0007]第二基板，與所述第一基板固定連接，設(shè)置于所述第一基板上方，所述第二基板中設(shè)有貫穿所述第二基板的聲孔；
[0008]網(wǎng)孔層，貼覆于所述第二基板的上方，所述網(wǎng)孔層上設(shè)有多個網(wǎng)孔；
[0009]傳感器，與所述第二基板上的聲孔連接，設(shè)置于所述第一基板與所述第二基板之間，所述傳感器對聲音進(jìn)行識別；以及
[0010]聲音依次通過所述網(wǎng)孔、所述聲孔進(jìn)入所述傳感器。
[0011 ] 優(yōu)選的，所述MEMS麥克風(fēng)還包括:
[0012]立柱；以及
[0013]所述第一基板與所述第二基板通過所述立柱固定連接。
[0014]優(yōu)選的，所述MEMS麥克風(fēng)還包括:
[0015]傳感器，與所述第二基板固定連接，設(shè)置于所述聲孔的下方，對聲音進(jìn)行識別。
[0016]優(yōu)選的，所述第一基板和/或所述第二基板和/或所述立柱為PCB板。
[0017]優(yōu)選的，所述網(wǎng)孔層為織布層。
[0018]優(yōu)選的，所述網(wǎng)孔層為金屬器。
[0019]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0020]本實(shí)用新型提供的MEMS麥克風(fēng)在第二基板的上方貼覆一層網(wǎng)孔層，該網(wǎng)孔層能夠防塵，并且由于網(wǎng)孔層會遮擋住聲孔，從而防止水分進(jìn)入至聲孔中，并且由于貼覆了一層網(wǎng)孔層能夠?qū)Ω哳l的聲音調(diào)節(jié)至清晰的范圍中。
【附圖說明】
[0021]圖1為本實(shí)用新型一種MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為本實(shí)用新型網(wǎng)孔層的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]需要說明的是，在不沖突的情況下，下述技術(shù)方案，技術(shù)特征之間可以相互組合。
[0024]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的說明:
[0025]如圖1所示，本實(shí)施例提供了一種MEMS麥克風(fēng)，該MEMS麥克風(fēng)包括:
[0026]第一基板；
[0027]第二基板，與所述第一基板固定連接，設(shè)置于所述第一基板上方，所述第二基板中設(shè)有貫穿所述第二基板的聲孔；
[0028]網(wǎng)孔層，貼覆于所述第二基板的上方，所述網(wǎng)孔層上設(shè)有多個網(wǎng)孔；
[0029]傳感器，與所述第二基板上的聲孔連接，設(shè)置于所述第一基板與所述第二基板之間，所述傳感器對聲音進(jìn)行識別；以及
[0030]聲音依次通過所述網(wǎng)孔、所述聲孔進(jìn)入所述傳感器。
[0031 ]本實(shí)用新型一個較佳的實(shí)施例中，MEMS麥克風(fēng)還包括:
[0032]立柱；以及
[0033]第一基板與第二基板通過立柱固定連接。
[0034]本實(shí)施例中的第一基板和第二基板可以為PCB板，本實(shí)施例中的立柱也可以為PCB板。
[0035]本實(shí)用新型一個較佳的實(shí)施例中，MEMS麥克風(fēng)還包括:
[0036]集成電路，分別于傳感器和第二基板電連接，對聲音進(jìn)行處理。
[0037]如圖2所示，圖2中的網(wǎng)孔層上包括多個網(wǎng)孔，本實(shí)用新型一個較佳的實(shí)施例中，網(wǎng)孔層為高溫布織布。
[0038]本實(shí)用新型一個較佳的實(shí)施例中，網(wǎng)孔層為高溫金屬器。
[0039]本實(shí)施例中的網(wǎng)孔層(mesh)可以通過人工的方式貼覆在第二基板上，網(wǎng)孔層上的目數(shù)可以根據(jù)實(shí)際的情況進(jìn)行設(shè)置，網(wǎng)孔層能夠?qū)Ω哳l的聲音進(jìn)行調(diào)節(jié)，將聲音調(diào)節(jié)至一個清晰的范圍之內(nèi)。
[0040]本實(shí)施例中網(wǎng)孔層中網(wǎng)孔的數(shù)量及網(wǎng)孔的大小可以根據(jù)實(shí)際的情況進(jìn)行定制。
[0041]需要注意的是:本實(shí)施例中網(wǎng)孔層可以覆蓋整個第二基板，特別是覆蓋第二基板上的聲孔，這會對聲孔起到一定的防塵作用，同時覆蓋聲孔還會對外界傳入傳感器的聲音起到一定的調(diào)節(jié)作用，網(wǎng)孔層能夠?qū)Ω哳l的聲音調(diào)節(jié)至清晰的范圍中，所以網(wǎng)孔層覆蓋聲孔不僅僅是一個結(jié)構(gòu)上的簡單的改進(jìn)，同時在高頻聲音的調(diào)節(jié)上也有著重要的作用，可以看出網(wǎng)孔層集調(diào)音、防水、防塵三項(xiàng)作用。
[0042]進(jìn)一步的，本實(shí)施例中的網(wǎng)孔層的一面貼覆在第二基板上之后，另一面可以完全的暴露在外界的環(huán)境中，當(dāng)然也可以不完全覆蓋，這可以根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)定，當(dāng)網(wǎng)孔層可以完全的暴露在外界環(huán)境中的時候，其作用得到了更大程度的發(fā)揮。
[0043]進(jìn)一步的，還可以在第一基板上設(shè)有盲孔，在第一基板與第二基板之間固定連接的時候，將第二基板上的傳感器設(shè)置于第一基板的盲孔中，以減小麥克風(fēng)的占用體積。
[0044]本實(shí)用新型提供的MEMS麥克風(fēng)在第二基板的上方貼覆一層網(wǎng)孔層，該網(wǎng)孔層能夠防塵，并且由于網(wǎng)孔層會遮擋住聲孔，從而防止水分進(jìn)入至聲孔中，并且由于貼覆了一層網(wǎng)孔層能夠?qū)Ω哳l的聲音調(diào)節(jié)至清晰的范圍中。
[0045]通過說明和附圖，給出了【具體實(shí)施方式】的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本實(shí)用新型精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述實(shí)用新型提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。
[0046]對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本實(shí)用新型的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本實(shí)用新型的意圖和范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述MEMS麥克風(fēng)包括: 第一基板； 第二基板，與所述第一基板固定連接，設(shè)置于所述第一基板上方，所述第二基板中設(shè)有貫穿所述第二基板的聲孔； 網(wǎng)孔層，貼覆于所述第二基板的上方，所述網(wǎng)孔層上設(shè)有多個網(wǎng)孔； 傳感器，與所述第二基板上的聲孔連接，設(shè)置于所述第一基板與所述第二基板之間，所述傳感器對聲音進(jìn)行識別；以及 聲音依次通過所述網(wǎng)孔、所述聲孔進(jìn)入所述傳感器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述MEMS麥克風(fēng)還包括: 立柱；以及 所述第一基板與所述第二基板通過所述立柱固定連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述MEMS麥克風(fēng)還包括: 傳感器，與所述第二基板固定連接，設(shè)置于所述聲孔的下方，對聲音進(jìn)行識別。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一基板和/或所述第二基板和/或所述立柱為PCB板。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述網(wǎng)孔層為織布層。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述網(wǎng)孔層為金屬器。
【文檔編號】H04R19/04GK205454093SQ201521127719
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2015年12月29日
【發(fā)明人】葉菁華
【申請人】鈺太芯微電子科技（上海）有限公司, 鈺太科技股份有限公司