專(zhuān)利名稱(chēng)：柔性布線(xiàn)板以及柔性布線(xiàn)板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及柔性布線(xiàn)板的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及制造具有適于通過(guò)大電流的布線(xiàn)膜的柔性布線(xiàn)板的技術(shù)。
背景技術(shù)：
以前，大多使用具有形成所要形狀的圖案的布線(xiàn)膜的柔性布線(xiàn)板。
圖12的標(biāo)號(hào)110表示現(xiàn)有技術(shù)的柔性布線(xiàn)板的一例。
該柔性布線(xiàn)板110具有第1樹(shù)脂膜117，配置在第1樹(shù)脂膜117表面的第1、第2布線(xiàn)膜121、122和，在第1、第2布線(xiàn)膜121、122上形成的第2樹(shù)脂膜125。
第1、第2布線(xiàn)膜121、122的厚度相同，但由于第1布線(xiàn)膜121形成為比第2布線(xiàn)膜122的還寬，所以第1布線(xiàn)膜121的截面積大于第2布線(xiàn)膜122的截面積。
由于截面積大的第1布線(xiàn)膜121的電阻小于第2布線(xiàn)膜122的電阻，所以可以流過(guò)更大的電流。
但是，近年隨著柔性布線(xiàn)板的高密度化而要求各布線(xiàn)膜的細(xì)化，但上述寬的第1布線(xiàn)膜121成為細(xì)化的障礙。
發(fā)明概述本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)而提出的，其目的在于提供制造不僅電阻小，而且具有微細(xì)圖案的布線(xiàn)膜的柔性布線(xiàn)板的技術(shù)。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，具有第1樹(shù)脂膜、底面嵌入到上述第1樹(shù)脂膜內(nèi)的第1布線(xiàn)膜、底面貼緊在上述第1樹(shù)脂膜的表面的第2布線(xiàn)膜。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，上述第1、第2布線(xiàn)膜的表面配置在同一面。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，在上述第1、第2布線(xiàn)膜的表面形成有第2樹(shù)脂膜。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，在上述第2樹(shù)脂膜的上述第1布線(xiàn)膜所在的部分至少形成有一個(gè)第1開(kāi)口部。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，在上述第2樹(shù)脂膜的上述第2布線(xiàn)膜所在的部分至少形成有一個(gè)第2開(kāi)口部。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，在上述第1樹(shù)脂膜的上述第1布線(xiàn)膜所在的部分至少形成有一個(gè)第3開(kāi)口部。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，在上述第1開(kāi)口部中的至少一個(gè)開(kāi)口部配置了金屬補(bǔ)片。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，在上述第2開(kāi)口部中的至少一個(gè)開(kāi)口部配置了金屬補(bǔ)片。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板，在上述第3開(kāi)口部中的至少一個(gè)開(kāi)口部配置了金屬補(bǔ)片。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板的制造方法，具有將金屬箔在厚度方向腐蝕至中途，在上述金屬箔表面形成規(guī)定圖案的凹部的工序；在上述金屬箔的形成上述凹部側(cè)的表面形成第1樹(shù)脂膜的工序；在上述金屬箔背面形成在上述凹部所在的部分具有開(kāi)口的保護(hù)層的工序；腐蝕上述金屬箔中的上述開(kāi)口所在的部分，分離厚度與沒(méi)有位于上述金屬箔的凹部的部分的厚度相等的第1布線(xiàn)膜和，厚度與上述凹部所在的部分的厚度相等的第2布線(xiàn)膜的工序。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板的制造方法，在上述第1樹(shù)脂膜的配置了上述第1、第2布線(xiàn)膜側(cè)的表面形成第2樹(shù)脂膜。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板的制造方法，在上述第1樹(shù)脂膜的上述第1布線(xiàn)膜所在的部分形成開(kāi)口部。
本發(fā)明是一種柔性布線(xiàn)板的制造方法，在上述第2樹(shù)脂膜的上述第1布線(xiàn)膜所在的部分和上述第2布線(xiàn)膜所在的部分的某一方或雙方形成開(kāi)口部。
本發(fā)明構(gòu)成為如上所述，本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板具有由溝槽相互分離的第1、第2布線(xiàn)膜。形成第1布線(xiàn)膜，使其只有嵌入第1樹(shù)脂膜的部分比第2布線(xiàn)膜厚。由于第1布線(xiàn)膜的截面積大出相當(dāng)于其膜厚出的部分，所以在第1布線(xiàn)膜的寬度與第2布線(xiàn)膜的寬度相同的情況下，也可以使第1布線(xiàn)膜的電阻小。
制造本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板的工序中，在金屬箔形成了規(guī)定圖案的凹部之后，如果在形成了該凹部的面上涂敷樹(shù)脂液，則凹部被該樹(shù)脂液填充。接著，如果對(duì)整體進(jìn)行干燥、燒成，則可以形成表面平坦的第1樹(shù)脂膜。
另外，如果在上述金屬箔形成圖案，在所形成的各布線(xiàn)膜的表面涂敷樹(shù)脂液，則配置在各布線(xiàn)膜之間的溝槽被樹(shù)脂液填充，接著，如果進(jìn)行干燥、燒成，則可以形成表面平坦的第2樹(shù)脂膜。
將第1、第2布線(xiàn)膜的表面配置在同一面，在第1、第2布線(xiàn)膜上形成了上述第2樹(shù)脂膜的情況下，由于第1布線(xiàn)膜上的第2樹(shù)脂膜的厚度和第2布線(xiàn)膜上的第2樹(shù)脂膜的厚度幾乎相等，所以在利用腐蝕在第2樹(shù)脂膜形成開(kāi)口部時(shí)，通過(guò)進(jìn)行腐蝕，可以在開(kāi)口部的底面幾乎同時(shí)露出第1、第2布線(xiàn)膜的表面。


圖1(a)～(e)是用于說(shuō)明制造本發(fā)明的實(shí)施例1的柔性布線(xiàn)板的工序的前半部分的圖。
圖2(f)～(j)是用于說(shuō)明制造本發(fā)明的實(shí)施例1的柔性布線(xiàn)板的工序的中間部分的圖。
圖3(k)～(m)是用于說(shuō)明制造本發(fā)明的實(shí)施例1的柔性布線(xiàn)板的工序的后半部分的圖。
圖4(a)～(c)是用于說(shuō)明采用本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板制造多層柔性布線(xiàn)板的工序的前半部分的圖。
圖5(d)是用于說(shuō)明采用本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板制造多層柔性布線(xiàn)板的工序的后半部分的圖。
圖6是表示本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板的第1布線(xiàn)膜和另一柔性布線(xiàn)板的布線(xiàn)膜的相對(duì)位置關(guān)系的圖。
圖7是用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例2的柔性布線(xiàn)板的圖。
圖8是用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例3的柔性布線(xiàn)板的圖。
圖9是用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例4的柔性布線(xiàn)板的圖。
圖10是用于說(shuō)明采用了本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板的多層柔性布線(xiàn)板的另一例的圖。
圖11(a)、(b)是用于說(shuō)明連接本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板和另一柔性布線(xiàn)板的工序的另一例的圖。
圖12是用于說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)的柔性布線(xiàn)板的圖。
發(fā)明詳述采用

本發(fā)明。
圖1(a)～(e)、圖2(f)～(j)、圖3(k)～(m)是本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板的實(shí)施例1的制造工序圖。
參考圖1(a)，先將保護(hù)膜13粘接在金屬箔11(在此采用了厚度32μm的銅箔)的表面。接著，在金屬箔11的背面形成了保護(hù)層之后，將其曝光、顯像，并在保護(hù)層形成圖案。
圖1(b)的標(biāo)號(hào)15表示在上述工序中形成了圖案的保護(hù)層。在該保護(hù)層15由形成的圖案形成細(xì)長(zhǎng)的開(kāi)口部16，在該開(kāi)口部16的底面露出金屬箔11。
接著，如果將整體浸泡到腐蝕液中而將露出在開(kāi)口部16的底面的金屬箔11腐蝕20μm，則如圖1(c)所示，在金屬箔11形成與開(kāi)口部16同一平面形狀的深度為20μm的凹部40。
結(jié)果，在金屬箔11形成由保護(hù)層15所保護(hù)的部分構(gòu)成的厚膜部11a和由凹部40所在的部分構(gòu)成的薄膜部11b。厚膜部11a的厚度與金屬箔11原來(lái)的厚度相同。另外，薄膜部11b比厚膜部11a僅薄相當(dāng)于凹部40的深度的量。在此，薄膜部11b的厚度為12μm。
之后，如果剝離金屬箔11表面的保護(hù)層15和金屬箔11背面的保護(hù)膜13(圖1(d))，并在形成有金屬箔11的凹部40的面上涂敷聚酰亞胺樹(shù)脂的原料液，直至埋沒(méi)薄膜部11b和厚膜部11a為止，則金屬箔11的凹部40被該原料液填充。在該狀態(tài)下進(jìn)行干燥，接著進(jìn)行燒成，則如圖1(e)所示，形成表面平坦的由聚酰亞胺樹(shù)脂膜構(gòu)成的第1樹(shù)脂膜17。
之后，在第1樹(shù)脂膜17的平坦的表面貼上保護(hù)膜27，在與形成金屬箔11的第1樹(shù)脂膜17側(cè)相反側(cè)的面形成保護(hù)層。接著，通過(guò)曝光、顯像該保護(hù)層來(lái)形成圖案，如圖2(f)所示，在金屬箔11的薄膜部11b上形成具有多個(gè)開(kāi)口部19的保護(hù)層18。在開(kāi)口部19的底面露出金屬箔11的薄膜部11b。
形成細(xì)長(zhǎng)的開(kāi)口部19，保護(hù)層18由開(kāi)口部19分割為多個(gè)部分。標(biāo)號(hào)18b表示配置在金屬箔11的厚膜部11a表面的保護(hù)層，標(biāo)號(hào)18a表示配置在金屬箔11的薄膜部11b的表面的部分。
接著，如果將整體浸泡到腐蝕液，則腐蝕金屬箔11中的位于開(kāi)口部19底面的部分。在將金屬箔11腐蝕至薄膜部11b的厚度部分被腐蝕為止之后，剝離保護(hù)層18。
圖2(g)表示其狀態(tài)。圖中的標(biāo)號(hào)41表示由腐蝕在金屬箔11形成的溝槽，溝槽41形成為與保護(hù)層18的開(kāi)口部19相同的平面形狀。在溝槽41的底面露出第1樹(shù)脂膜17，金屬箔11由溝槽41分離成多個(gè)。
圖2(g)的標(biāo)號(hào)21表示被分割的金屬箔11中的由厚膜部11a所在的部分構(gòu)成的第1布線(xiàn)膜，該圖的標(biāo)號(hào)22表示由薄膜部11b所在的部分構(gòu)成的第2布線(xiàn)膜。
該狀態(tài)下，第1布線(xiàn)膜21和第2布線(xiàn)膜22的底面被固定在第1樹(shù)脂膜17，第2布線(xiàn)膜22的底面位于第1樹(shù)脂膜17表面，但第1布線(xiàn)膜21的底面位于比第2布線(xiàn)膜22的底面還深的位置，成為嵌入到第1樹(shù)脂膜17的狀態(tài)。另外，第1布線(xiàn)膜21的表面高度和第2布線(xiàn)膜22的表面高度相同，這些表面位于同一面上。從而，第1布線(xiàn)膜21比第2布線(xiàn)膜22還厚相當(dāng)于嵌入到第1樹(shù)脂膜17的部分的量。
接著，如果在形成了第1樹(shù)脂膜17的第1、第2布線(xiàn)膜21、22側(cè)的面上涂敷聚酰亞胺樹(shù)脂的原料液，直至埋沒(méi)第1、第2布線(xiàn)膜21、22為止，則第1、第2布線(xiàn)膜21、22之間的溝槽41被原料液填充。接著，如果干燥、燒成整體，則形成表面平坦的由聚酰亞胺構(gòu)成的第2樹(shù)脂膜25(圖2(h))。
接著，在第2樹(shù)脂膜25的表面形成規(guī)定形狀的圖案的保護(hù)層。圖2(i)的標(biāo)號(hào)28表示在第2樹(shù)脂膜25表面形成的保護(hù)層28，在保護(hù)層28通過(guò)圖案形成在所定位置形成圓形的開(kāi)口部。圖中的標(biāo)號(hào)29a表示在第1布線(xiàn)膜21所在的部分形成的圓形開(kāi)口，圖中的標(biāo)號(hào)29b表示在第2布線(xiàn)膜22所在的部分形成的圓形開(kāi)口，在各圓形開(kāi)口29a、29b的底面露出第2樹(shù)脂膜25。
接著，在保護(hù)層28表面噴霧堿性液，并腐蝕保護(hù)層28的圓形開(kāi)口29a、29b底面露出的第2樹(shù)脂膜25。
由于第1布線(xiàn)膜21上的第2樹(shù)脂膜25的厚度和第2布線(xiàn)膜22上的第2樹(shù)脂膜25的厚度相等，所以通過(guò)進(jìn)行腐蝕，第1布線(xiàn)膜21和第2布線(xiàn)膜22的表面幾乎同時(shí)露出。
之后，如果除去保護(hù)層28，則如圖2(j)所示，得到在第1布線(xiàn)膜21和第2布線(xiàn)膜22上形成與圓形開(kāi)口29a、29b相同直徑的圖案的第1、第2開(kāi)口部42a、42b。
在剝離第1樹(shù)脂膜17表面的保護(hù)膜27之后，形成在位于第1布線(xiàn)膜21的下方的第1樹(shù)脂膜17表面的規(guī)定部分具有圓形開(kāi)口39的保護(hù)層37，并在第2樹(shù)脂膜25的表面粘接新的保護(hù)膜30(圖3(k))。
接著，如果在該保護(hù)層37表面噴霧堿性液，則腐蝕在圓形開(kāi)口39的底面露出的第1樹(shù)脂膜17。
接著，如果剝離保護(hù)膜30和保護(hù)層37，則如圖3(1)所示，得到在第1布線(xiàn)膜21上形成與圓形開(kāi)口39同一直徑的圖案的第3開(kāi)口部43。
之后，如果將整體浸泡到電解液，并通過(guò)電流，則在第1、第2、第3的開(kāi)口部42a、42b、43底面生成由金屬構(gòu)成的薄膜，并形成金屬膜45。
圖3(m)的標(biāo)號(hào)10表示形成了金屬膜45的狀態(tài)的本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板。
該柔性布線(xiàn)板10的第1布線(xiàn)膜21和第2布線(xiàn)膜22的寬度形成為大約相同，但由于第1布線(xiàn)膜21的厚度比第2布線(xiàn)膜22還厚，所以第1布線(xiàn)膜21的截面積大出相當(dāng)于其厚度大出部分的量。
接著，采用圖4(a)～(c)、圖5(d)說(shuō)明在上述工序中生成的本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10上粘接其電柔性布線(xiàn)板而生成多層柔性布線(xiàn)板的工序。
圖4(a)的標(biāo)號(hào)501和圖4(c)的標(biāo)號(hào)502表示與本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10粘接用的單層結(jié)構(gòu)的柔性布線(xiàn)板。對(duì)這些柔性布線(xiàn)板501、502共用的部件分別附上下標(biāo)1、2來(lái)進(jìn)行區(qū)別。
這些柔性布線(xiàn)板501、502分別具有底膜511、512和，配置在底膜511、512上的多個(gè)銅線(xiàn)531、532和，在銅線(xiàn)531、532上形成的覆蓋膜551、552。覆蓋膜551、552以熱塑性樹(shù)脂為主成分。
在銅線(xiàn)531、532的表面垂直形成金屬補(bǔ)片591、592，這些金屬補(bǔ)片591、592的前端部分分別突出于覆蓋膜551、552表面。
要粘接這樣的柔性布線(xiàn)板501、502和本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10而生成多層柔性布線(xiàn)板，首先如圖4(a)所示，將1個(gè)單層結(jié)構(gòu)的柔性布線(xiàn)板501的金屬補(bǔ)片591面向本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10的第2樹(shù)脂膜25的第1、第2開(kāi)口部42a、42b配置。
接著，如果將這些金屬補(bǔ)片591分別與第1、第2開(kāi)口部42a、42b的底面露出的金屬膜45直接接觸，則柔性布線(xiàn)板10、501的第2樹(shù)脂膜25和覆蓋膜551相互成緊貼狀態(tài)。
如果在該狀態(tài)下一邊加熱一邊按壓整體，則由于加熱，覆蓋膜551的熱塑性樹(shù)脂呈現(xiàn)粘接性。由于在金屬補(bǔ)片591的表面形成未圖示的焊鍍層，所以如果再加熱整體，則該焊鍍層被溶解。
之后，如果冷卻整體，則溶解的焊鍍層固化，金屬補(bǔ)片591和第1、第2布線(xiàn)膜21、22經(jīng)固化的焊鍍層連接，同時(shí)，柔性布線(xiàn)板10和501之間由覆蓋膜551機(jī)械粘接。
之后，如圖4(c)所示，面向本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10的第1樹(shù)脂膜17的第3開(kāi)口部43配置另一單層結(jié)構(gòu)的柔性布線(xiàn)板502的金屬補(bǔ)片592。
接著，如果將該金屬補(bǔ)片592與第3開(kāi)口部43的底面的金屬膜45直接接觸，則第1樹(shù)脂膜17被貼緊到覆蓋膜552。如果在該狀態(tài)下一邊按壓一邊加熱整體之后再進(jìn)行冷卻，則金屬補(bǔ)片592經(jīng)未圖示的電鍍層連接到第1布線(xiàn)膜21，同時(shí)柔性布線(xiàn)板10、502之間經(jīng)該覆蓋膜552粘接。
圖5(d)的標(biāo)號(hào)5表示在本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10的兩面分別粘接單層結(jié)構(gòu)的柔性布線(xiàn)板501、502而形成的多層柔性布線(xiàn)板。
該多層柔性布線(xiàn)板5中，銅線(xiàn)531、532經(jīng)金屬補(bǔ)片591、592連接到第1、第2布線(xiàn)膜21、22。
圖6是表示1個(gè)第1布線(xiàn)膜21與另一柔性布線(xiàn)板501的銅線(xiàn)531的相對(duì)位置關(guān)系的圖。在此，示出了3個(gè)銅線(xiàn)531。各銅線(xiàn)531具有寬的部分和窄的部分，在寬的部分的表面配置有金屬補(bǔ)片591。
各金屬補(bǔ)片591經(jīng)未圖示的電鍍層連接到第1布線(xiàn)膜21上的金屬膜45。從而，第1布線(xiàn)膜21和多個(gè)銅線(xiàn)531電連接。
第1布線(xiàn)膜21比各銅線(xiàn)531還厚，該厚的部分截面積大。從而，由于截面積大的部分的第1布線(xiàn)膜21的電阻值比各銅線(xiàn)531還小，所以即使從多個(gè)銅線(xiàn)531向第1布線(xiàn)膜21流入電流的情況下，第1布線(xiàn)膜21也可以在小電壓下流過(guò)電流。
以上說(shuō)明在柔性布線(xiàn)板10的第1～第3的開(kāi)口部42a、42b、43的底面露出金屬膜45的情況，但本發(fā)明不限于此。
圖7的標(biāo)號(hào)70、圖8的標(biāo)號(hào)80和圖9的標(biāo)號(hào)90分別表示本發(fā)明實(shí)施例2～實(shí)施例4的柔性布線(xiàn)板。
與圖3(m)所示的柔性布線(xiàn)板10同樣，這些柔性布線(xiàn)板70、80、90分別具有第1樹(shù)脂膜76、86、96和，在第1樹(shù)脂膜76、86、96上形成的第1、第2布線(xiàn)膜71、72、81、82、91、92和，在第1、第2布線(xiàn)膜71、72、81、82、91、92表面形成的第2樹(shù)脂膜77、87、97，第1布線(xiàn)膜71、81、91與第2布線(xiàn)膜72、82、92由溝槽73、83、93相互分離。
另外，在第1樹(shù)脂膜76、86、96形成第3開(kāi)口部78、88、98，在第2樹(shù)脂膜77、87、97形成第1、第2開(kāi)口部74a、74b、84a、84b、94a、94b。
這些柔性布線(xiàn)板70、80、90中如圖7所示的實(shí)施例2的柔性布線(xiàn)板70中，在第3開(kāi)口部78的底面露出在第1布線(xiàn)膜71底面形成的金屬膜75，在第1、第2開(kāi)口部74a、74b分別配置金屬補(bǔ)片79。這些金屬補(bǔ)片79分別在第1、第2布線(xiàn)膜71、72表面垂直形成。各金屬補(bǔ)片79的前端部分突出于第2樹(shù)脂膜77表面。
圖8所示的實(shí)施例3的柔性布線(xiàn)板80中，在第1、第2開(kāi)口部84a、84b各底面露出分別在第1、第2布線(xiàn)膜81、82表面所形成的金屬膜85，在第3開(kāi)口部88內(nèi)配置有在第1布線(xiàn)膜71底面垂直形成的金屬補(bǔ)片89。與實(shí)施例2的柔性布線(xiàn)板70的場(chǎng)合相同，這些金屬補(bǔ)片89的前端部分突出于第1樹(shù)脂膜86表面。
圖9所示的實(shí)施例4的柔性布線(xiàn)板90中，在第1、第2開(kāi)口部94a、94b內(nèi)配置有在第1、第2布線(xiàn)膜91、92的表面垂直形成的金屬補(bǔ)片99，各金屬補(bǔ)片99的前端部分突出于第2樹(shù)脂膜97表面。另外，在第3開(kāi)口部98內(nèi)配置有在第1布線(xiàn)膜91的底面垂直形成的金屬補(bǔ)片99，金屬補(bǔ)片99的前端部分突出于第1樹(shù)脂膜96表面。
在這些實(shí)施例2～實(shí)施例4的柔性布線(xiàn)板70、80、90的各金屬補(bǔ)片79、89、99的前端部分分別形成金屬膜75、85、95。
以上，說(shuō)明了連接本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板和另一柔性布線(xiàn)板50而制造多層柔性布線(xiàn)板的情況，但本發(fā)明不限于此。
圖10的標(biāo)號(hào)6表示連接圖7、圖8的標(biāo)號(hào)70、80所示的本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板和圖3(m)的標(biāo)號(hào)10所示的本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10而構(gòu)成的多層柔性布線(xiàn)板。像這樣，采用本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10、70、80可以得到多層柔性布線(xiàn)板6。
另外，也可以使用本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板的第1、第2樹(shù)脂膜中至少一個(gè)樹(shù)脂膜具有熱塑性樹(shù)脂，此時(shí)，用于粘接的另一布線(xiàn)板的樹(shù)脂膜不需要采用具有熱塑性樹(shù)脂的樹(shù)脂膜。
另外，本發(fā)明還包括用于粘接的柔性布線(xiàn)板的任一樹(shù)脂膜都不具有熱塑性的情況。
圖11的標(biāo)號(hào)50表示具有與圖4的標(biāo)號(hào)501、502所示的柔性布線(xiàn)板相同結(jié)構(gòu)，但構(gòu)成覆蓋膜55的樹(shù)脂不具有熱塑性的柔性布線(xiàn)板。
為了連接將該柔性布線(xiàn)板50和標(biāo)號(hào)10所示的本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板，在柔性布線(xiàn)板10、50之間配置了熱塑性樹(shù)脂膜23(粘接膜)的狀態(tài)下進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，以便金屬補(bǔ)片59與第1、第2開(kāi)口部42a、42b對(duì)置(圖11(a))。
接著，如果在柔性布線(xiàn)板10、50之間夾入樹(shù)脂膜23，則金屬補(bǔ)片59的前端直接接觸到樹(shù)脂膜23。在該狀態(tài)下，如果一邊按壓一邊加熱整體，則樹(shù)脂膜23由于加熱而軟化，由于按壓，金屬補(bǔ)片59擠出軟化的樹(shù)脂膜23，金屬補(bǔ)片59的前端直接接觸到第1、第2開(kāi)口部42a、42b底面的金屬膜45，從而電連接柔性布線(xiàn)板10和50。
此時(shí)，由于樹(shù)脂膜23因加熱而呈現(xiàn)粘接性，所以柔性布線(xiàn)板10、50還機(jī)械連接，從而得到多層柔性布線(xiàn)板8(圖11(b))。另外，也可以代替樹(shù)脂膜23使用導(dǎo)電性粒子在樹(shù)脂膜中分散的所謂各向異性導(dǎo)電性膜。
另外，圖4(a)～(c)、圖5說(shuō)明了在用于與本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10粘接的單層結(jié)構(gòu)的柔性布線(xiàn)板501、502的金屬補(bǔ)片59前端表面形成焊鍍層的情況，但本發(fā)明不限于此。
例如，即使在金屬補(bǔ)片前端表面沒(méi)有焊鍍層的柔性布線(xiàn)板的情況下，也可以通過(guò)在圖4(a)、(b)的工序?qū)⒃撊嵝圆季€(xiàn)板和本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10機(jī)械連接之后，施加超聲波，將金屬補(bǔ)片和布線(xiàn)膜利用超聲波連接。
在窄的情況下，也可以制成電阻值低的布線(xiàn)膜。具有這樣的布線(xiàn)膜的柔性布線(xiàn)板可以容易高密度化。
權(quán)利要求
1.一種柔性布線(xiàn)板，其特征在于具有第1樹(shù)脂膜；第1布線(xiàn)膜，底面嵌入到上述第1樹(shù)脂膜內(nèi)；第2布線(xiàn)膜，底面緊貼在上述第1樹(shù)脂膜的表面。
2.如權(quán)利要求1所述的柔性布線(xiàn)板，其特征在于上述第1、第2布線(xiàn)膜的表面配置在同一面。
3.如權(quán)利要求1所述的柔性布線(xiàn)板，其特征在于在上述第1、第2布線(xiàn)膜的表面形成有第2樹(shù)脂膜。
4.如權(quán)利要求3所述的柔性布線(xiàn)板，其特征在于在上述第2樹(shù)脂膜的上述第1布線(xiàn)膜所在的部分至少形成有一個(gè)第1開(kāi)口部。
5.如權(quán)利要求3所述的柔性布線(xiàn)板，其特征在于在上述第2樹(shù)脂膜的上述第2布線(xiàn)膜所在的部分至少形成有一個(gè)第2開(kāi)口部。
6.如權(quán)利要求1所述的柔性布線(xiàn)板，其特征在于在上述第1樹(shù)脂膜的上述第1布線(xiàn)膜所在的部分至少形成有一個(gè)第3開(kāi)口部。
7.如權(quán)利要求4所述的柔性布線(xiàn)板，其特征在于在上述第1開(kāi)口部中的至少一個(gè)開(kāi)口部配置了金屬補(bǔ)片。
8.如權(quán)利要求5所述的柔性布線(xiàn)板，其特征在于在上述第2開(kāi)口部中的至少一個(gè)開(kāi)口部配置了金屬補(bǔ)片。
9.如權(quán)利要求6所述的柔性布線(xiàn)板，其特征在于在上述第3開(kāi)口部中的至少一個(gè)開(kāi)口部配置了金屬補(bǔ)片。
10.一種柔性布線(xiàn)板的制造方法，其特征在于具有將金屬箔在厚度方向腐蝕至中途，在上述金屬箔表面形成規(guī)定圖案的凹部的工序；在上述金屬箔的形成有上述凹部側(cè)的表面形成第1樹(shù)脂膜的工序；在上述金屬箔背面形成在上述凹部所在的部分具有開(kāi)口的保護(hù)層的工序；腐蝕上述金屬箔中的上述開(kāi)口所在的部分，分離厚度與沒(méi)有位有上述金屬箔的凹部的部分的厚度相等的第1布線(xiàn)膜和，厚度與上述凹部所在的部分的厚度相等的第2布線(xiàn)膜的工序。
11.如權(quán)利要求10所述的柔性布線(xiàn)板的制造方法，其特征在于在上述第1樹(shù)脂膜的配置了上述第1、第2布線(xiàn)膜側(cè)的表面形成第2樹(shù)脂膜。
12.如權(quán)利要求10所述的柔性布線(xiàn)板的制造方法，其特征在于在上述第1樹(shù)脂膜的上述第1布線(xiàn)膜所在的部分形成開(kāi)口部。
13.如權(quán)利要求11所述的柔性布線(xiàn)板的制造方法，其特征在于在上述第2樹(shù)脂膜的上述第1布線(xiàn)膜所在的部分和上述第2布線(xiàn)膜所在的部分的某一方或雙方形成開(kāi)口部。
全文摘要
制造一種電阻值小且窄的布線(xiàn)膜。本發(fā)明的柔性布線(xiàn)板10具有第1布線(xiàn)膜21和第2布線(xiàn)膜22,這些布線(xiàn)膜之中,由于第1布線(xiàn)膜21比第2布線(xiàn)膜22還厚,所以即使在第1、第2布線(xiàn)膜21、22的寬度大致相同的情況下,也可以使厚度大的第1布線(xiàn)膜21的截面積和電阻值大。從而,由于即使第1布線(xiàn)膜21形成得不寬,也可以流過(guò)大電流,所以可以容易使柔性布線(xiàn)板10高密度化。
文檔編號(hào)H05K3/20GK1359256SQ01125478
公開(kāi)日2002年7月17日 申請(qǐng)日期2001年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2000年7月27日
發(fā)明者竹內(nèi)正則 申請(qǐng)人:索尼化學(xué)株式會(huì)社