專利名稱：部件固定頭、使用該固定頭的部件安裝裝置及安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一個(gè)部件固定頭，一個(gè)使用固定頭的部件安裝裝置和一個(gè)安裝部件的方法。特別地，該裝置適合于真空固定和運(yùn)送一個(gè)電子部件如IC(集成電路)，并且將其安裝在玻璃液晶之類的基板上的技術(shù)。
在家用電視接收器領(lǐng)域，液晶板制造技術(shù)的進(jìn)步導(dǎo)致了精確而細(xì)致的大的純平顯示器部分代替?zhèn)鹘y(tǒng)彩色顯像管的接收裝置。

圖1是液晶顯示裝置制造過(guò)程實(shí)例的部分簡(jiǎn)略圖。
如圖1顯示，許多玻璃基板2，例如液晶基板，被放在隔板架(書(shū)架)1中，其上以陣列形式固定有TFTs(薄板晶體管)。這些玻璃基板2由帶有刻度的挑選機(jī)械手3一次一個(gè)的拾取，在x軸和y軸上移動(dòng)并且放在中繼平臺(tái)4上。放置到中繼平臺(tái)4上的基板2由第一流線性傳輸型的基板運(yùn)輸器5運(yùn)輸?shù)脚c連接部件附加裝置6上。
圖2是一個(gè)基板2的放大的斜視圖。如圖2所示，電極導(dǎo)線2a在基板2外圍的邊緣部分線性排列，各向異性傳導(dǎo)薄膜(ACF，未示出)連接部件由連接部件附屬裝置6附著到已傳送到連接附屬裝置6上的基板2的電極導(dǎo)線2a上。
回到圖1，基板2在經(jīng)過(guò)連接構(gòu)件的連接部件附屬裝置6粘附到電極導(dǎo)線2a上后，由第二個(gè)線形傳輸型基板傳送器7傳送到部件安裝裝置8。在部件安裝裝置8，類似磁帶載體盒(TCPs)的電子部件放到連接構(gòu)件上，之后通過(guò)熱壓完成連接和安裝。
圖3是一個(gè)在圖2中顯示的電子部件9的從底部向上看的斜視圖。如圖3顯示，芯片部件92，如IC被連接和安裝到電子部件9的透明薄膜構(gòu)件91下表面，大量導(dǎo)線91a被連接并排列布置，使每一個(gè)導(dǎo)線91a在薄膜構(gòu)件91的端部對(duì)著芯片部件92的電極。
定位標(biāo)記91b，91b以成對(duì)的形式沿著薄膜構(gòu)件91的邊緣在薄膜構(gòu)件91邊緣部分的兩外側(cè)形成，使導(dǎo)線91a夾在一對(duì)定位標(biāo)記之間。如圖2顯示，定位標(biāo)記2b與將要安裝電子部件9的基板2上的定位標(biāo)記91b相對(duì)應(yīng)。
回到圖1，在電子部件9通過(guò)一個(gè)在部件固定裝置8的固定頭產(chǎn)生的真空吸力固定的情況下，一個(gè)成像設(shè)備將電子部件9的定位標(biāo)記91b與基板2的定位標(biāo)記2b成像。每對(duì)相互對(duì)應(yīng)的標(biāo)記都要基于成像數(shù)據(jù)校正位置，以使在電子部件9的定位標(biāo)記91b和基板2的定位標(biāo)記2b之間的位置偏移為零的情況下，在電子部件9在基板2上面規(guī)定的位置上，通過(guò)一個(gè)帶有內(nèi)置加熱器的部件固定頭進(jìn)行熱壓，用于將電子部件9安裝到基板2上。
作為電子部件9的基礎(chǔ)材料的薄膜構(gòu)件91是由聚酰亞胺樹(shù)脂制成的，在薄膜構(gòu)件91上，導(dǎo)線91a和定位標(biāo)記91b是由銅金屬片或鍍金的銅金屬片制成。然而，聚酰亞胺樹(shù)脂這種基礎(chǔ)材料具有綠、紫、橙三種顏色，所以可能獲得一個(gè)由銅金屬片或鍍金銅金屬片制成的定位標(biāo)記91b及其類似物與薄膜構(gòu)件91之間的很小的色度差。
因?yàn)樵诙ㄎ粯?biāo)記91b和基礎(chǔ)材料之間的色度差別很小。如果成像設(shè)備使用反射光成像定位標(biāo)記91b時(shí)，只能在定位標(biāo)記91b和基礎(chǔ)材料之間產(chǎn)生不充分的對(duì)比(強(qiáng)度比)?；谝陨显颍S多部件固定裝置的成像設(shè)備使光線從反面照到定位標(biāo)記上并穿過(guò)在電子部件9的邊緣部分形成了電子部件9邊緣部分的圖像。
圖4是部件固定裝置8的前正視圖，也是圖1所指的部件固定裝置8，在該裝置中，傳播光用于形成電子裝置9端部的圖像。如圖4所示，在這個(gè)部件固定裝置8中，部件固定頭81借助于活塞缸82的驅(qū)動(dòng)臂82a固定到傳送臂83上，部件固定頭81依靠真空吸力吸附并運(yùn)送電子部件9，傳送臂83由在x和y軸方向運(yùn)動(dòng)的機(jī)器人形成。
玻璃基板2放在位于部件固定頭81下面的基板放置臺(tái)84上，基板放置臺(tái)84設(shè)計(jì)成能夠在水平面的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。
在電子部件9放置到平臺(tái)85上之后，被真空吸力吸附到部件固定頭81上并運(yùn)送到基板2的邊緣部，基板2的上部有一個(gè)內(nèi)置微處理器的控制器86控制電子部件9和基板2的相對(duì)位置。
形成電子部件9和基板2邊緣部圖像的成像設(shè)備87經(jīng)過(guò)調(diào)整并固定在基板2和部件固定頭81上方。
圖5是一個(gè)顯示成像設(shè)備87、部件固定頭81和基板2的特定部之間的相對(duì)位置放大圖。如圖5所示，成像設(shè)備87傳遞安裝在基板2下面照明裝置(光源)88所產(chǎn)生的光線，傳遞的光線用作同時(shí)分別形成基板2的定位標(biāo)記2b和電子部件9的定位標(biāo)記91b的圖像。在基板2是不透明材料的情況下，照射基板2的照明裝置88如電燈安裝在成像設(shè)備87中，反射光因此用作獲得基板2邊緣部的圖像信息，即定位標(biāo)記2b的圖像數(shù)據(jù)。
通過(guò)成像設(shè)備87獲得的每個(gè)定位標(biāo)記2b和91b的圖像數(shù)據(jù)提供到如圖4顯示的控制器86，類似形狀識(shí)別方式用來(lái)識(shí)別相對(duì)位置的偏移?？刂破?6控制傳送臂83、基板放置臺(tái)84及其它設(shè)備以使相對(duì)位置偏移量為零。通過(guò)定位標(biāo)記2b和91b相對(duì)位置的校正，使導(dǎo)線2a和91a對(duì)應(yīng)并相互連接。
在圖5中顯示了一個(gè)形成電子部件9的一個(gè)定位標(biāo)記91b和基板2的一個(gè)定位標(biāo)記2b的圖像的單成像設(shè)備87。實(shí)際上，另一個(gè)獨(dú)立的成像設(shè)備87也在使用，用于形成電子部件9的另一個(gè)定位標(biāo)記91b和基板2的另一個(gè)定位標(biāo)記2b的圖像，將每個(gè)圖像的數(shù)據(jù)提供到控制器86用于進(jìn)行位置控制。
電子部件9的導(dǎo)線91a和基板2的導(dǎo)線2a被定位使得導(dǎo)線91a和2a相互對(duì)應(yīng)。在定位完成后，控制器86以圖4和5顯示的在x和z軸的方向上進(jìn)行接收臺(tái)89的移動(dòng)控制并且控制活塞缸使部件固定頭81降低。借助一個(gè)連接構(gòu)件將已定位的電子部件9和由接收臺(tái)89支撐的基板2壓在一起并且通過(guò)加熱完成裝配和連接。
圖6是一個(gè)塊形三維部件固定頭81的剖面圖，顯示了其利用真空吸力固定圖4和5顯示的電子部件9的狀況。圖7是一個(gè)沿圖6箭頭所示的VII-VII線的剖面圖。如圖6和圖7所示，部件固定頭81的真空吸附孔81a開(kāi)口朝著真空吸附表面。真空吸附孔81a通過(guò)一根管子81b與帶有一個(gè)電磁閥的真空泵(未示出)相連。真空吸附孔81a的吸附和釋放電子部件9是由控制器68控制的閥來(lái)控制的。
如圖4和5所示，為了使成像設(shè)備87獲得定位標(biāo)記91b的圖像數(shù)據(jù)，照明裝置88的光線必須通過(guò)電子部件的邊緣部分?；谏鲜鲈颍潭^通過(guò)真空吸力固定電子部件9時(shí)，避開(kāi)了放置定位標(biāo)記91b的電子部件9的邊緣部分。
部件固定頭81通過(guò)真空吸力固定的電子部件9的基礎(chǔ)材料是由聚酰亞胺樹(shù)脂或類似物制成的薄膜構(gòu)件91組成。然而由于需要更小、更輕的部件，導(dǎo)致了更薄的構(gòu)件，從而使得構(gòu)件很容易變形。如圖6中虛線下面所示，在沒(méi)有被部件固定頭81吸附的薄膜構(gòu)件91的兩端發(fā)生向下彎曲或反曲。因此，如圖8顯示，圖像定位標(biāo)記91b和連結(jié)的導(dǎo)線91a的變形阻礙了這些變形部分與將要連接的基板的平行對(duì)應(yīng)。
在圖5和圖6中，參照數(shù)字81c代表內(nèi)置于部件固定頭81的加熱器。定位標(biāo)記2b和91b在圖2、圖3、圖5中顯示為四邊形，但是可以選擇十字形及其它形狀。
如上所述，部件固定裝置有以下幾個(gè)問(wèn)題。特別是如圖4和圖5顯示，成像設(shè)備87使用安裝在電子部件9另一端的照明裝置88(在圖中下側(cè))所發(fā)射的光，形成了電子部件9邊緣部分的圖像。并且，基于此圖像數(shù)據(jù)控制器86進(jìn)行控制使得位置偏移抵消。
然而，如圖6和圖8所示，塊形部件固定頭81利用真空吸力固定電子部件9在內(nèi)側(cè)的位置，避開(kāi)了薄膜構(gòu)件91的邊緣部分。因此，產(chǎn)生了薄膜構(gòu)件的變形，如電子部件9的兩端向下彎曲或者反曲。也因此，上述定位標(biāo)記91b在圖像屏幕的位置與基板2定位標(biāo)記2b相對(duì)的定位標(biāo)記91b的實(shí)際位置發(fā)生偏差。如果電子部件9的定位標(biāo)記91b在變形的情況下產(chǎn)生圖像，并基于此條件下的圖像數(shù)據(jù)將電子部件9固定到基板上，可能會(huì)發(fā)生對(duì)不準(zhǔn)的危險(xiǎn)，并且達(dá)不到良好的電路連接。
最近見(jiàn)到的基板2不僅具有更薄的構(gòu)件91而且導(dǎo)線91a之間具有更窄的間距?；谶@些原因，隨著達(dá)到精確定位的需要，對(duì)不準(zhǔn)是一個(gè)制造液晶面板高產(chǎn)出的主要障礙，定位精確性的提高是一個(gè)追求的目標(biāo)。
本發(fā)明的一個(gè)方面是一個(gè)電子部件固定頭，固定將要安裝到基板的電子部件，其包括一個(gè)主電子部件固定單元；一個(gè)真空吸附部分，安裝在上述主電子部件固定單元上，其面向?qū)⒈晃降碾娮硬考谋砻媸沟弥饕娮硬考潭▎卧谜婵瘴潭娮硬考?；一個(gè)位于電子部件的末端部分的光通道部分，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，從而校正電子部件與將要安裝電子部件的基板的相對(duì)偏移量，其中所述真空吸附部分固定電子部件在定位標(biāo)記上的、大體與電子部件邊緣平行且相互正交的、避開(kāi)了定位標(biāo)記的直線上。
本發(fā)明的另一個(gè)方面是一個(gè)電子部件固定頭，固定將要安裝到基板的電子部件，其包括一個(gè)主要的電子部件固定單元；一個(gè)真空吸附部分，安裝在上述主要電子部件固定單元上面向?qū)⒈晃降碾娮硬考谋砻?，使得主電子部件固定單元利用真空吸力固定電子部件；一個(gè)位于電子部件的末端部分的光通道部分，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上從而校正電子部件與將要安裝電子部件的基板的相對(duì)偏移量，其中所述真空吸附部分固定在橫跨電子部件的定位標(biāo)記的且避開(kāi)了電子部件定位標(biāo)記的直線上。
本發(fā)明的另一個(gè)方面是一個(gè)電子部件安裝裝置，在基板上安裝電子部件，其包括一個(gè)電子部件輸送單元，用于傳送電子部件；一個(gè)電子部件固定頭用于固定電子部件并將其安裝在基板上；一個(gè)成像單元，形成所述電子部件固定頭固定的電子部件末端部分定位標(biāo)記的圖像，基于所述成像單元獲得的圖像數(shù)據(jù)，校正電子部件與將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移；一個(gè)位置偏移監(jiān)測(cè)單元，基于所述成像單元獲得的圖像數(shù)據(jù)，監(jiān)測(cè)電子部件相對(duì)于基板的位置偏移；一個(gè)位置校正單元，用于校正電子部件相對(duì)于基板在x方向和y方向的偏移，使得帶有校正位置偏移的電子部件安裝到基板上，其中所述的電子部件固定頭包括一個(gè)主電子部件固定單元；一個(gè)在所述固定單元上的真空吸附部分，其面向?qū)⒈徽婵瘴絾卧潭ǖ碾娮硬考砻?，以使電子部件通過(guò)真空吸力固定到所述的主電子部件固定單元；一個(gè)位于電子部件的末端部的光通道，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，從而校正電子部件和將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移，其中所述真空吸附部分將電子部件固定在定位標(biāo)記上的、與電子部件邊緣平行的且相互正交的、避開(kāi)了定位標(biāo)記的直線上。
本發(fā)明的另一個(gè)方面是一個(gè)電子部件安裝裝置，在基板上安裝電子部件，其包括一個(gè)輸送電子部件的電子部件輸送單元；一個(gè)電子部件固定頭，用于固定電子部件并將其安裝在基板上；一個(gè)成像單元，形成由所述固定頭固定的電子部件末端部分定位標(biāo)記的圖像，用于校正電子部件和將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移；一個(gè)位置偏移監(jiān)測(cè)單元，基于所述成像單元獲得的圖像數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)電子部件相對(duì)于基板的位置偏移；一個(gè)位置校正單元，基于由所述位置偏移監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到的位置偏移，校正電子部件相對(duì)于基板在x軸和y軸方向的位置偏移，以便將校正位置偏移的電子部件安裝到基板上，其中所述電子部件固定頭包括一個(gè)主電子部件固定單元；一個(gè)安裝在所述固定單元上的真空吸附部分，其面向?qū)⒈徽婵瘴絾卧潭ǖ碾娮硬考砻?，從而電子部件通過(guò)真空吸力固定到所述的主要電子部件固定單元；一個(gè)在電子部件末端部的光通道，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，從而校正電子部件和將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移，其中所述真空吸附部分固定在橫跨電子部件的定位標(biāo)記的且避開(kāi)了電子部件定位標(biāo)記的直線上。
本發(fā)明的又一方面是將電子部件安裝到基板的一種方法，其包括傳送一個(gè)電子部件；形成一個(gè)定位標(biāo)記的圖像，用于補(bǔ)償電子部件和將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移；基于定位標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)，監(jiān)測(cè)電子部件相對(duì)與基板的位置偏移；基于由所述位置偏移監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到的位置偏移，校正電子部件相對(duì)于基板在x方向和y方向的位置偏移；通過(guò)所述電子部件固定頭將已校正的電子部件固定并裝到基板上，其中所述電子部件固定頭包括一個(gè)主電子部件固定單元；一個(gè)安裝在主電子部件固定單元上的真空吸附部分，其面向?qū)⒈徽婵瘴焦潭ǖ碾娮硬考砻妫允闺娮硬考ㄟ^(guò)真空吸力固定到所述的電子部件固定單元；一個(gè)在電子部件末端部的光通道，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，從而校正電子部件和將要安裝電子部件的基板之間的偏移，其中所述真空吸附部分固定在電子部件的定位標(biāo)記上的、與電子部件邊緣平行的且相互正交的、避開(kāi)了定位標(biāo)記的直線上。
本發(fā)明的又一方面是將電子部件安裝到基板的一種方法，其包括傳送一個(gè)電子部件；形成一個(gè)定位標(biāo)記的圖像，用于補(bǔ)償電子部件和將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移；基于定位標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)，監(jiān)測(cè)電子部件相對(duì)與基板的位置偏移；基于由所述位置偏移監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到的位置偏移，校正電子部件相對(duì)于基板在x方向和y方向的位置偏移；將由所述電子部件固定頭校正的電子部件固定并安裝到基板上，其中所述電子部件固定頭包括一個(gè)主電子部件固定單元；一個(gè)安裝在主電子部件固定單元上的真空吸附部分，其面向?qū)⒈徽婵瘴焦潭ǖ碾娮硬考砻?，以使電子部件通過(guò)真空吸力固定到所述的電子部件固定單元；一個(gè)在電子部件末端部的光通道，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，從而校正電子部件和將要安裝電子部件的基板之間的偏移，其中所述真空吸附部分固定在電子部件的定位標(biāo)記上的、與電子部件邊緣平行的且相互正交的、避開(kāi)了定位標(biāo)記的直線上。
從下面的與附圖結(jié)合的說(shuō)明中，本發(fā)明其它的特征和優(yōu)點(diǎn)將更為明顯。
圖1顯示了液晶顯示設(shè)備制造過(guò)程實(shí)例的部分的簡(jiǎn)略圖；圖2是圖1中基板2的放大斜視圖；圖3是圖2中顯示的電子部件9的一個(gè)實(shí)例從下方看的斜視圖；圖4是一個(gè)部件固定裝置8的前正視圖，在該種類型的裝置中，傳播的光線用于形成電子裝置9邊緣的圖像；圖5顯示成像設(shè)備87，固定頭81和基板2的特定部分之間互相位置關(guān)系的放大圖。
圖6是一個(gè)截面圖，顯示塊形三維固定頭81通過(guò)真空吸力固定圖4和圖5中所示的電子部件9的情況；圖7是一個(gè)沿圖6箭頭所指的VII-VII線的截面圖；圖8顯示了將要連接的已攝像的定位標(biāo)記91b和導(dǎo)線91a部分的變形情況；圖9是顯示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的部件固定頭應(yīng)用到固定裝置的前正視圖；圖10是放大的斜視圖，顯示圖9中部件固定頭主要部分結(jié)構(gòu)；圖11是部分前正視圖，顯示圖9中的固定頭；圖12是沿圖11中XII-XII線的箭頭方向的剖面圖；圖13是沿圖11中XII-XII線的箭頭方向的放大剖面圖；圖14是圖13的放大圖；圖15是顯示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的部件固定頭的前正視圖；圖16是顯示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例變化了形式的部件固定頭的前正視圖；圖17是顯示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例另一個(gè)變化了形式的部件固定頭的前正視圖；圖18是顯示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的部件固定頭的部分斜視圖；圖19是顯示圖18中部件固定頭的剖面圖；圖20顯示了圖9中顯示的平臺(tái)85的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖；圖21是圖9中顯示的平臺(tái)85的詳細(xì)圖。
參考相應(yīng)的附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明如下。第一實(shí)施例圖9到14表明根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的部件固定頭，使用該固定頭的安裝裝置及安裝部件的方法，詳細(xì)說(shuō)明如下。
第一個(gè)實(shí)施例提供了一個(gè)部件固定頭，使用該固定頭的安裝裝置及安裝部件的方法，其中，部件固定頭固定一個(gè)電子部件并將其安裝到基板上，當(dāng)部件固定頭固定電子部件用于安裝時(shí)，電子部件上的定位標(biāo)記變形被抑制了，因此通過(guò)使用傳送光的成像設(shè)備得到一個(gè)大的、明顯的、清晰、精確的定位標(biāo)記圖像是可能的。
在以下的描述中，在圖1到圖8顯示的部件固定頭及使用部件固定頭的裝置的各類類似元件標(biāo)有相同的數(shù)字，此處未作詳細(xì)描述。
圖9是顯示根據(jù)第一實(shí)施例帶有一個(gè)部件固定頭的安裝裝置前正視圖。
在圖9所示的裝置中，部件固定頭81利用真空吸力將由傳送裝置95提供的在平臺(tái)85上的電子部件9固定并傳送且該固定頭是一個(gè)三維塊狀。部件固定頭81借助于活塞缸82的驅(qū)動(dòng)桿82a安裝到傳輸臂83上，這種情況下，通過(guò)傳輸臂83，固定頭在X-Y方向可以自由運(yùn)動(dòng)或旋轉(zhuǎn)。
部件固定頭81有一個(gè)主固定單元811，一個(gè)照明設(shè)備(光源)812和一個(gè)短路器部分811b?？刂破?6監(jiān)測(cè)電子部件9和基板2之間的位置偏移，并且控制傳輸臂83和基板放置臺(tái)84的運(yùn)動(dòng)，以使位置偏移相互抵消。
玻璃基板(液晶基板)2放到在圖9下部的基板放置臺(tái)84上，在部件固定頭利用真空吸力固定并傳送的電子部件9相對(duì)于基板2定位之后，其被安裝到基板2上，基板2是所述的液晶基板或者類似物。
圖10是顯示如圖9所示的部件安裝裝置主要部分結(jié)構(gòu)的放大斜視圖。
為了將電子部件9和基板2定位，成像設(shè)備87如CCD攝像機(jī)或類似物，放到固定頭81的下面。定位標(biāo)記2b和導(dǎo)線2a位于基板2上的邊緣部分。
圖11是在圖9顯示的部件固定頭的前正視圖，圖12是沿在圖11中箭頭所指的XII-XII線的部件固定頭剖面圖。圖13是沿在圖11中箭頭所指的XII-XII線的部件固定頭的放大剖面圖。圖14是圖13的放大圖。
如圖11到圖14顯示，真空吸附孔811a位于部件固定頭81的塊形主要固定單元811上，面向電子部件9的真空吸附表面，用于利用真空吸力固定電子部件9。這些真空吸附孔811a，如圖11顯示，通過(guò)一根管81b與帶有電磁閥的真空泵(未示出)相連。
在第一實(shí)施例中，如圖13和圖14，真空吸附孔811a如此安裝是為了利用真空吸力固定電子部件9，固定電子部件9的位置與吸附的矩形電子部件9的外邊緣平行并且在定位標(biāo)記91b，91b相互正交的直線A和B的避開(kāi)定位標(biāo)記91b，91b的位置上。
由切出部分811b，811b形成的光通道在部件固定頭81的主固定單元811的拐角處形成立體的切出部分，以形成向上開(kāi)口的中空空間，從而避開(kāi)了定位標(biāo)記91b，91b。
照明裝置(光源)812，如燈泡之類的，以固定的方式安裝到形成光通道的切出部分811b上部的主固定單元，從而使照射到位于切出部分811b較低邊緣部分的定位標(biāo)記91b。
因此，如圖13和圖14所示，通過(guò)主固定單元811的切出部分811b，在吸附位于直線A和B的或其上的薄膜構(gòu)件(透明薄膜)91時(shí)，該直線A和B正交于定位標(biāo)記91b，91b并因此包圍的薄膜構(gòu)件91，811b避開(kāi)在電子部件9末端兩邊緣的定位標(biāo)記91b是可能的(也就是，吸附孔811a并不吸附定位標(biāo)記91b，91b)。
由于這個(gè)原因，抑制了薄膜構(gòu)件91的定位標(biāo)記91b，91b所在的部分的變形。如圖11所示，加熱器81c埋置于固定單元811中。
部件固定頭81的結(jié)構(gòu)如上所述。由于主要固定單元通過(guò)固定了定位標(biāo)記91b，91b所在的附近區(qū)域，所以并沒(méi)有提供薄膜構(gòu)件91變形的空間，如圖9和圖10所示，位于基板2下面的成像設(shè)備87接收通過(guò)光通道穿過(guò)實(shí)際上與基板2平行的定位標(biāo)記91b，91b的光線，因此能夠獲得一個(gè)恰當(dāng)、精確的定位標(biāo)記91b，91b的良好對(duì)比圖像。
要安裝到基板2的電子部件9有一個(gè)在聚酰亞胺樹(shù)脂的透明薄膜構(gòu)件91上的芯片部件92。當(dāng)把電子部件9安裝到基板2時(shí)，成像設(shè)備87利用發(fā)送光線形成薄膜構(gòu)件91的定位標(biāo)記91b的圖像，并且基于這個(gè)圖像數(shù)據(jù)，將電子部件9相對(duì)于基板2定位。作為替代，成像設(shè)備87可以形成定位標(biāo)記91b和2b的圖像。
根據(jù)第一實(shí)施例部件固定頭81有一個(gè)由切出部分811b形成的光通道，切出部分811b是在通過(guò)真空吸力固定電子部件9的主要固定單元811上；還有一個(gè)真空吸附孔811a，在靠近定位標(biāo)記91b的下部區(qū)域，包圍著定位標(biāo)記91b附近區(qū)域。因此，象薄膜構(gòu)件91在定位標(biāo)記91b的部分的彎曲之類的變形是可以避免的，因此，能夠以高精確的定位將電子部件9安裝到基板2上。
第一實(shí)施例達(dá)到以下效果，特別地，根據(jù)第一實(shí)施例的部件固定頭，部件固定頭固定電子部件的位置是避開(kāi)定位標(biāo)記的與電子部件邊緣平行的且相互正交的直線上，因此在固定電子部件時(shí)，抑制了定位標(biāo)記部分的變形，成像設(shè)備借助光通道使用發(fā)送光形成了一個(gè)清晰、精確、高對(duì)比的定位標(biāo)記圖像。
甚至在由真空吸力固定的薄膜構(gòu)件91非常薄的情況下，帶有固定頭81的安裝裝置也能夠抑制電子部件9的定位標(biāo)記91b附近區(qū)域可能的變形，因?yàn)檎婵瘴焦潭ㄔ诙ㄎ粯?biāo)記91b上相互正交的直線上?；谶@個(gè)原因，導(dǎo)線91a的連接與安裝能夠準(zhǔn)確進(jìn)行，不發(fā)生錯(cuò)誤的調(diào)整，從而能夠裝配和制造高精度、高質(zhì)量的基板。
在第一實(shí)施例中，在基板2是透明玻璃的情況下，成像設(shè)備87接收固定頭81的照明裝置(光源)所發(fā)出的光，并形成圖像。
如果基板2由非透明的物質(zhì)組成，如圖10所示，光源871裝到成像設(shè)備87上，借助光纖維872在成像設(shè)備87的發(fā)射管內(nèi)的光線通過(guò)一根光學(xué)系統(tǒng)向下照射到基板2的表面，其發(fā)射光能夠形成基板2的定位標(biāo)記2b的圖像。在這種情況下，定位標(biāo)記2b在基板2的背面。
此外，在第一實(shí)施例中，固定頭81上有切出部811b以使由真空吸附的電子部件9的定位標(biāo)記91b對(duì)應(yīng)的拐角是立體的切出。在其上的照明裝置812所發(fā)出的光線照到被吸附的電子部件9的定位標(biāo)記上，光通道部分的截面不一定是四方形的，可以是圓形、橢圓或者多邊形。
另外，盡管在如上述本發(fā)明的第一實(shí)施例中，光線直接照到定位標(biāo)記91b上，但是，也可以安排使用一種相對(duì)于定位標(biāo)記91b傾斜的光線。第二實(shí)施例一個(gè)部件固定頭，部件安裝裝置，以及根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的部件安裝方法，在圖15到圖17中顯示，就其區(qū)別于第一實(shí)施例的不同點(diǎn)以下將做詳細(xì)描述。
根據(jù)第二實(shí)施例的部件固定頭81與第一實(shí)施例的部件固定頭相比，部件固定頭81的切出部分811b體積減小了。
圖15是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的固定頭的前正視圖，光線以一定的傾斜角照射到被真空吸附的電子部件9的定位標(biāo)記91b上。如圖15所示，主要固定單元811的切出部分811b形成一個(gè)在定位標(biāo)記91b上方拐角處傾斜的錐形，安裝在主要固定單元811上的照明裝置812所發(fā)出的光線傾斜照射到定位標(biāo)記91b上。
雖然如圖15所示的結(jié)構(gòu)，照明裝置812所發(fā)出的光線直接照射到由真空吸力吸附的電子部件的定位部件91b，91b上，但是，本發(fā)明第二實(shí)施例并沒(méi)有對(duì)這種情況加以限制，例如，如圖16所示，可以在錐形切出部分811b的傾斜面上形成發(fā)射面，使照明裝置812所發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)發(fā)射照射到定位標(biāo)記91b上。
另外，如圖17所示，除了錐形切出部分811b的傾斜面上的反射面，還可以有一個(gè)反射鏡81d，其與傾斜面的斜度相匹配，作為傾斜面的延伸，以使安裝在固定頭并由其支撐的照明裝置812所發(fā)光線照到切出部分811b和發(fā)射鏡81d上，然后發(fā)射光照到電子部件9的定位標(biāo)記91b上。
以上情況，如圖17的虛線所示，采用另一種結(jié)構(gòu)也是可能的，由照明裝置812所發(fā)光線借助反射鏡81d的傳遞照射到下方的基板2的表面，達(dá)到照明裝置812所發(fā)光線的有效利用，并且節(jié)約了供給照明裝置812的能量。
第二實(shí)施例達(dá)到以下效果。特別是，因?yàn)橹鞴潭▎卧?11可靠的吸附了電子部件9的定位標(biāo)記91b，91b附近的區(qū)域，避免了包括定位標(biāo)記91b，91b的薄膜構(gòu)件91的彎曲、反曲之類的變形，所以可以高精確地將電子部件9安裝、連接到基板2上。
根據(jù)第二實(shí)施例，減小在塊形固定頭81的切出部分811b的體積是可能的，增大了內(nèi)置加熱器81c放置的自由度，從而有效地進(jìn)行熱壓裝配。
盡管在前述第一、第二實(shí)施例中，固定頭81有對(duì)應(yīng)被吸附電子部件9的定位標(biāo)記91b的拐角切出部分形成的光通道，但是還有可替代切出部分811b的方法，可以提供朝向被吸附的電子部件9的定位標(biāo)記91b的通透孔，光線通過(guò)這些通透孔照在定位標(biāo)記上。第三實(shí)施例圖18和圖19顯示了一個(gè)部件固定頭，一個(gè)使用部件固定頭的安裝裝置及根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的安裝方法，就區(qū)別于第一、第二實(shí)施例的不同點(diǎn)，以下將做詳細(xì)描述。
根據(jù)第三實(shí)施例的部件固定頭81，與第一、第二實(shí)施例的部件固定頭81相比，具有在電子部件9的薄膜構(gòu)造91拐角產(chǎn)生吸力的吸附孔。
圖18是顯示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的部件固定頭的斜視圖，其中，對(duì)應(yīng)于被吸附的電子部件9的定位標(biāo)記的通透孔作為光線的通徑，圖19是圖18的剖面圖。
如圖18所示，通透孔811c形成了一個(gè)光通道，位置在吸附電子部件9的部件固定頭81側(cè)部的末端拐角處。如圖19顯示，通透孔811c開(kāi)口朝向被吸附的電子部件9的定位標(biāo)記91b。
如圖19顯示，通透孔811c的側(cè)壁是環(huán)形，周圍有一些孔并開(kāi)口朝向被吸附的電子部件9，這些孔和真空吸附孔811a連接。
另外，如圖18顯示，類似于第一、第二實(shí)施例，照明裝置812固定到主固定單元811上，在通透孔811c的頂部，照明裝置812所發(fā)光線經(jīng)過(guò)通透孔811c照在被吸附的電子部件9的定位標(biāo)記91b上。
第三實(shí)施例達(dá)到如下效果。特別地，因?yàn)榈谌龑?shí)施例中，能夠利用傳送光并且在薄膜構(gòu)件91的定位標(biāo)記91b周圍沒(méi)有變形的圖像，所以高精確安裝和與基板連接是可能的。
特別，因?yàn)樵诘谌龑?shí)施例中，和真空吸附孔811a相連的孔圍繞著作為光通道的通透孔811c并開(kāi)口朝向真空吸附表面，薄膜構(gòu)件91的圍繞定位標(biāo)記91b的中心區(qū)域由真空吸力固定到主要固定單元811上，以致更細(xì)致的避免了定位標(biāo)記91b的變形，從而定位更精確。
在本發(fā)明的第三實(shí)施例中，類似第一、第二實(shí)施例，實(shí)際平行于電子部件9且相互正交的直線A和B位于電子部件9的定位標(biāo)記91b上，并且電子部件9被吸附的位置避開(kāi)了定位標(biāo)記91b。
此外，在第三實(shí)施例中，直線A和B跨過(guò)定位標(biāo)記91b，部件固定頭81的真空吸附孔811a在定位標(biāo)記91b的兩側(cè)外環(huán)繞并避開(kāi)了定位標(biāo)記91b，薄膜構(gòu)件91因此被固定住?；谶@個(gè)原因，象薄膜構(gòu)件91的彎曲、翹曲等變形被恰當(dāng)?shù)刈柚沽?，從而獲得了更為精確的定位標(biāo)記91b的圖像數(shù)據(jù)。
很明白，雖然第三實(shí)施例的真空吸附孔811a環(huán)形圍繞著定位標(biāo)記91b，但是，并沒(méi)有對(duì)這種環(huán)形作限制。通過(guò)在橫穿定位標(biāo)記91b兩外側(cè)提供點(diǎn)布局的真空吸附孔811a也能夠達(dá)到同樣效果，從而提高了定位標(biāo)記91b間的固定質(zhì)量。
進(jìn)一步，雖然在上述第三實(shí)施例中，通透孔811c形成了光通道，與真空吸附表面垂直，但通透孔可以與真空吸附表面有一定的傾斜，通透孔的截面可以是多邊形，如四邊形。
此外，在以上第一、第二實(shí)施例中，對(duì)照明裝置812以固定的形式安裝到主要固定單元811上的情況作了描述，但本發(fā)明沒(méi)有對(duì)此作限制。因?yàn)橹灰ㄟ^(guò)光通道，傳遞光線照射到被吸附的電子部件9的定位標(biāo)記91b上就足夠了，所以提供一個(gè)與主定位單元811分離的照明裝置812是可以的。在定位標(biāo)記91b的表面足夠明亮，并且能夠獲得從其表面發(fā)送的光線，去掉照明裝置812也是可以的。
根據(jù)本發(fā)明以上所述各個(gè)實(shí)施例，基于控制器86的控制操作，經(jīng)真空吸力吸附在部件固定頭81上的電子部件9在X-Y向驅(qū)動(dòng)X-Y坐標(biāo)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)和以Z軸θ角度旋轉(zhuǎn)的傳送臂83可以精確地定位到基板2上。
在根據(jù)上述本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行定位中，為了高精確度地將微小電子部件9安裝到基板2的表面上，如圖12和圖13所示，希望部件固定頭81的方向與電子部件9的方向一致，并且，最好固定頭81的邊緣和電子部件9的邊緣做預(yù)先校正。基于以上原因，最好是固定頭要預(yù)先定位，然后利用真空吸力吸附在平臺(tái)85放置的電子部件9。
圖20是一個(gè)連接到傳送臂83的部件固定頭以正確的位置和方式真空吸附和固定在平臺(tái)85上的電子部件9。
接下來(lái)，前述實(shí)施例利用定位處理安裝一個(gè)電子部件的程序，以下作詳細(xì)描述。
如圖20所示，將吸附的電子部件9放置的平臺(tái)85上的接收臺(tái)851，通過(guò)圓柱螺旋機(jī)構(gòu)852的驅(qū)動(dòng)，能夠沿著導(dǎo)向滑軌853在箭頭所指的X方向上運(yùn)動(dòng)。
一個(gè)通過(guò)接收平臺(tái)851的切出部分851a照明上述電子部件9的定位標(biāo)記91b的照明裝置854置于平臺(tái)85的內(nèi)部，上述照明裝置854與這個(gè)攝像機(jī)855，如CCD等相對(duì)。
接收臺(tái)851帶有一個(gè)真空吸附孔，借助其將在此處放置的電子部件9吸附，這個(gè)真空吸附孔通過(guò)一個(gè)真空泵856自由吸附、釋放。
在上述談到的結(jié)構(gòu)中，首先通過(guò)旋轉(zhuǎn)圓柱形旋鈕852移動(dòng)接收臺(tái)851，使切出部分851a的其中之一位于照明裝置854和攝像機(jī)855之間。攝像機(jī)855形成一個(gè)與切出部分851a反向的定位標(biāo)記91b的圖像?；跀z像機(jī)855的圖像信號(hào)；控制器86計(jì)算定位標(biāo)記91b相對(duì)于預(yù)先確定的參考位置的X-Y向的偏移。
接著，圓柱螺旋機(jī)構(gòu)852使接收臺(tái)851移動(dòng)，使其它切出部分851a定位在照明裝置854和攝像機(jī)855之間。
攝像機(jī)形成與其它切出部分851a反向的定位標(biāo)記91b圖像并且將圖像信號(hào)送到如圖9顯示的控制器上?；跀z像機(jī)855的圖像信號(hào)，控制器86計(jì)算出定位標(biāo)記相對(duì)于參考位置在X-Y向的位置偏移量，并且基于兩個(gè)定位標(biāo)記91b，91b的最終位置偏移，計(jì)算出電子部件9的X-Y向和θ向的位置偏移量。
經(jīng)過(guò)以上計(jì)算之后，控制器86控制運(yùn)送臂83校正電子部件9的X-Y-θ向的位置偏移量，因此，將部件固定頭定位到接收臺(tái)851上的電子部件9，以使電子部件9以恰當(dāng)?shù)奈恢煤妥藙?shì)被吸附。在此過(guò)程中，通過(guò)真空泵856，控制器86與固定頭81的真空吸附和運(yùn)送操作同步控制真空吸附的固定和釋放。
根據(jù)上述各種機(jī)械的操作，通過(guò)部件固定頭81以恰當(dāng)?shù)奈恢煤妥藙?shì)固定電子部件9是可能的?；谶@個(gè)原因，在部件固定頭81中作為光通道的切出部分811b的尺寸，應(yīng)該考慮到固定頭和電子部件9之間的相對(duì)位置偏移量。
例如，如圖12顯示，在定位標(biāo)記91b是四邊形的情況下，切出部分811b的尺寸可以做成在圍繞定位標(biāo)記91b范圍內(nèi)傳送光線范圍所需最小尺寸?；谶@個(gè)原因，將真空吸附孔811a放置在靠近定位標(biāo)記91b的位置是可能的，從而有效地阻止了薄膜構(gòu)件91的定位標(biāo)記91b周圍區(qū)域的變形。
圖21是一個(gè)總結(jié)構(gòu)圖，說(shuō)明使用平臺(tái)85另一個(gè)實(shí)例的定位情況。在圖21中，與圖20相同的元件標(biāo)有相同的參考數(shù)字。
如圖21所示，圍繞85a的軸線在θ向進(jìn)行平臺(tái)85旋轉(zhuǎn)控制是可能的，在接收臺(tái)851的上面，電子部件9由真空吸附固定，接收臺(tái)851通過(guò)在平臺(tái)85上的圓柱螺旋機(jī)構(gòu)852驅(qū)動(dòng)，從而在沿著導(dǎo)向滑軌853的箭頭所指的X方向進(jìn)行精細(xì)移動(dòng)控制。
照明裝置854，854埋置于平臺(tái)85內(nèi)部，借助接收臺(tái)851的切出部分851a，光線向上照到電子部件9的定位標(biāo)記91b上。
形成定位標(biāo)記91b圖像的攝像機(jī)855，855，與平臺(tái)85一起旋轉(zhuǎn)。可替代的，攝像機(jī)855，855可以固定在實(shí)施例裝置的主要單元上。
接收臺(tái)851提供一個(gè)真空吸附孔，該吸附孔將置于其上的電子部件9固定，真空吸附的固定和釋放可以由真空泵856自由控制。
根據(jù)以上所述結(jié)構(gòu)，提供接收攝像機(jī)855，855的圖像信號(hào)，如圖9所示，當(dāng)校正平臺(tái)85在θ方向的旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制器86控制著圓柱形旋鈕的驅(qū)動(dòng)，從而獲得一個(gè)恰當(dāng)?shù)膱D像。
接著，控制器86控制著以X和Y方向移動(dòng)的固定頭81，從而在此處升高或降低其位置；并且通過(guò)真空吸力將電子部件9固定在接收臺(tái)851上。在此過(guò)程中，控制器86通過(guò)真空泵856與固定頭81的真空吸附和運(yùn)送操作同步控制著真空吸附的固定和釋放。
雖然在前述平臺(tái)85在θ方向上旋轉(zhuǎn)達(dá)到校正，但也可以在θ方向上旋轉(zhuǎn)校正和運(yùn)送臂83相連的部件固定頭81。
根據(jù)本發(fā)明的部件固定頭，使用部件固定頭的安裝裝置及安裝部件的方法，當(dāng)將一個(gè)電子部件9如帶有透明薄膜的TCP之類的作為薄膜構(gòu)件91安裝到基板2及類似物上時(shí)，因?yàn)楸苊饬送该鞅∧ざㄎ粯?biāo)記91b區(qū)域的變形，所以應(yīng)用到液晶面板之類的制造可以達(dá)到一個(gè)優(yōu)越的效果。
即，部件固定頭固定在電子部件上相互正交的與電子部件邊緣平行的直線上，或者固定在跨過(guò)定位標(biāo)記的而且避開(kāi)了定位標(biāo)記的直線上。因此，當(dāng)固定電子部件時(shí)，避免定位標(biāo)記的變形是可能的；成像設(shè)備通過(guò)使用經(jīng)置于固定單元形成的光通道的發(fā)送光線，獲得一個(gè)清晰、高對(duì)比的定位標(biāo)記圖像。
因?yàn)椴考潭^81有一個(gè)形成由部件固定頭固定的沒(méi)有變形的電子部件的圖像的成像設(shè)備，并且部件固定頭81經(jīng)過(guò)基于圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行位置補(bǔ)償將電子部件安裝到基板上，所以進(jìn)行高精度的安裝，避免熱壓時(shí)的錯(cuò)誤校正和提高產(chǎn)量是可能的。
應(yīng)當(dāng)明白，本發(fā)明并不局限于上述的實(shí)施例，上述實(shí)施例僅僅作為例子參考，能夠在本發(fā)明范圍內(nèi)呈現(xiàn)其它形式和改變。
總的來(lái)說(shuō)，根據(jù)本發(fā)明的上述實(shí)施例的部件固定頭、使用部件固定頭的安裝裝置及部件裝配的方法，在將電子部件安裝到基板上時(shí)，能夠避免諸如電子部件的定位標(biāo)記周圍的區(qū)域彎曲或翹曲之類的變形，因此達(dá)到了高精度的部件安裝和良好的電子特性，這在實(shí)際應(yīng)用中非常高的效果。
其它的優(yōu)點(diǎn)和改進(jìn)很容易為本專業(yè)的技術(shù)人員所得到。因此，從更廣泛的方面，本發(fā)明并不局限于在此所述的特別的細(xì)節(jié)和代表性的實(shí)施例。相應(yīng)地，在不背離由所附的權(quán)利要求及等同物限制的總的發(fā)明思想的精神和范圍內(nèi)，將會(huì)取得不同的改進(jìn)。
權(quán)利要求
1.一種電子部件固定頭，用于將電子部件安裝到基板上，其包括一主電子部件固定單元；一真空吸附部分，裝在所述主電子部件固定單元上的，使其面向由真空吸附固定的電子部件表面，以使電子部件通過(guò)真空吸附固定到所述主電子部件固定單元；和一光通道部分，形成在電子部件的邊緣部分，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，用于校正將要安裝電子部件的基板和電子部件之間的位置偏移，其中，所述真空吸附部分將電子部件固定在大體與電子部件一個(gè)邊緣平行，且大體在電子部件的定位標(biāo)記上的相互正交的直線上，并且該直線避開(kāi)了定位標(biāo)記。
2.據(jù)權(quán)利要求1的電子部件固定頭，進(jìn)一步包括一光源，安裝在所述主要電子部件固定頭上，其光線通過(guò)所述光通道照到由所述真空吸附部分固定的電子部件上的定位標(biāo)記上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的電子部件固定頭，其中，所述光通道部分是在所述主要電子部件固定單元拐角的四方體切出部分。
4.權(quán)利要求1的電子部件固定頭，其中所述光通道部分是在所述主要電子部件固定單元拐角的錐形切出部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的電子部件固定頭，進(jìn)一步包括一光源，安裝在所述主要電子部件固定單元上，其光線通過(guò)所述光通道照到由所述真空吸附部分固定的電子部件上的定位標(biāo)記上，其中切出部分的斜面為反射鏡的表面，從光源反射的光線經(jīng)反射鏡表面照到定位標(biāo)記上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的電子部件固定頭，其中，所述光通道部分是一個(gè)在主電子部件固定單元上的通透孔，其開(kāi)口朝向電子部件的定位標(biāo)記。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的電子部件固定頭，其中，所述真空吸附部分呈環(huán)形圍繞通透孔外圍。
8.一個(gè)用于將電子部件固定到基板上的電子部件固定頭，包括一主電子部件固定單元；一真空吸附部分，安裝在所述主要電子部件固定單元上，其面向真空吸附的電子部件表面，以使電子部件由真空吸附固定到所述主電子部件固定單元上；一光通道，形成于電子部件的邊緣部，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，用于校正將要安裝電子部件的基板和電子部件之間的位置偏移，其中所述真空吸附部分固定的電子部件的位置在跨過(guò)電子部件的定位標(biāo)記的且避開(kāi)了電子部件的定位標(biāo)記的直線上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的電子部件固定頭，進(jìn)一步包括一光源，安裝在所述主要電子部件固定頭上，其光線通過(guò)所述光通道照到由所述真空吸附部分固定的電子部件上的定位標(biāo)記上。
10.根據(jù)權(quán)利要求8的電子部件固定頭，其中，所述光通道是一個(gè)主電子部件固定單元拐角的四方體切出部分。
11.權(quán)利要求8的電子部件固定頭，其中，所述光通道是一個(gè)主電子部件固定單元拐角的錐體切出部分。
12.根據(jù)權(quán)利要求8的電子部件固定頭，進(jìn)一步包括一光源，安裝在所述主要電子部件固定單元上，其光線通過(guò)所述光通道照到由所述真空吸附部分固定的電子部件上的定位標(biāo)記上，其中切出部分的斜面為反射鏡的表面，從光源反射的光線經(jīng)反射鏡表面照到定位標(biāo)記上。
13.根據(jù)權(quán)利要求8的電子部件固定頭，其中，所述的光通道是一個(gè)在所述主電子部件固定單元中的通透孔，其開(kāi)口朝向電子部件的定位標(biāo)記。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的電子部件固定頭，其中，所述的真空吸附部分呈環(huán)形圍繞在通透孔的外圍。
15.一種電子部件安裝裝置，用于將電子部件安裝到基板上，其包括一電子部件輸送單元，用于輸送電子部件；一電子部件固定頭，用于將電子部件固定到基板上；一成像單元，其形成由所述電子部件固定頭固定的電子部件邊緣的定位標(biāo)記的圖像，用于校正將要安裝電子部件的基板與電子部件之間的位置偏移；一位置偏移監(jiān)測(cè)裝置，基于由所述成像單元獲得的定位標(biāo)記圖像數(shù)據(jù)，監(jiān)測(cè)電子部件相對(duì)于基板的位置偏移；一位置校正單元，基于位置偏移監(jiān)測(cè)單元所監(jiān)測(cè)的位置偏移量，電子部件相對(duì)于基板的在X軸和Y軸方向的位置偏移進(jìn)行校正控制，其中，所述電子部件固定頭包括一主電子部件固定單元；一真空吸附部分，安裝在所述主要電子部件固定單元上，其面向由真空吸附固定的電子部件固定的表面，以使電子部件通過(guò)真空吸附固定到所述主要固定單元上；一光通道，形成在電子部件邊緣部分，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，從而校正電子部件與將要安裝電子部件的基板的位置偏移，其中，所述真空吸附部分固定在橫穿電子部件的定位標(biāo)記的與電子部件邊緣平行的且相互正交的避開(kāi)定位標(biāo)記的直線上。
16.根據(jù)權(quán)利要求15的電子部件安裝裝置，進(jìn)一步包括一接收臺(tái)，電子部件從所述電子部件輸送單元輸送到該接收臺(tái)上；一第二成像單元，形成一個(gè)在所述接收臺(tái)上的電子部件的定位標(biāo)記的圖像。
17.一種電子部件安裝裝置，用于將電子部件安裝到基板上，其包括一電子部件傳輸單元，用于傳輸電子部件；一電子部件固定頭，用于固定將要安裝到基板的電子部件；一成像單元，其形成一個(gè)由所述電子部件固定頭固定的電子部件邊緣部的定位標(biāo)記的圖像，用于校正電子部件與將要安裝電子部件之間的位置偏移；一位置校正單元，基于由所述位置偏移監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)的位置偏移量，對(duì)電子部件相對(duì)于基板在X和Y軸方向的位置偏移進(jìn)行校正控制，以使校正位置偏移的電子部件安裝在基板上，其中所述電子部件固定頭包括一主電子部件固定單元；一真空吸附部分，安裝在所述主要電子部件固定單元上，其面向由真空吸附固定的電子部件的表面，以使電子部件通過(guò)真空吸附固定到所述電子部件固定單元上；一光通道，形成在電子部件邊緣部分，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，用于校正電子部件和將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移，其中，所述真空吸附部分固定在橫穿電子部件的定位標(biāo)記的避開(kāi)電子部件的定位標(biāo)記的一條直線上。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的電子部件安裝裝置，進(jìn)一步包括一接收臺(tái)，電子部件從所述電子部件輸送單元輸送到該接收臺(tái)上；一第二成像單元，其形成一個(gè)在所述接收臺(tái)上的電子部件的定位標(biāo)記的圖像。
19.一種將電子部件安裝到基板上的方法，其包括傳輸一個(gè)電子部件；形成一個(gè)用于補(bǔ)償電子部件與將要安裝電子部件基板之間的位置偏移的定位標(biāo)記的圖像；基于定位標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)電子部件相對(duì)于基板的位置偏移；基于監(jiān)測(cè)的位置偏移量校正電子部件相對(duì)于基板的X和Y軸方向的位置偏移；由所述電子部件固定頭固定校正位置偏移的電子部件并將其安裝到基板上，其中，所述電子部件固定頭包括一主電子部件固定單元；一真空吸附部分，安裝在所述主要電子部件固定單元上，其面向由真空吸附固定的電子部件的表面，以使電子部件通過(guò)真空吸附固定到所述主電子部件固定單元；一光通道，形成在電子部件的邊緣部分，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，用于校正電子部件與將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移，其中，所述真空吸附部分固定在電子部件定位標(biāo)記上的與電子部件邊緣平行的且相互正交的并且包括了定位標(biāo)記的直線上。
20.一種將電子部件安裝到基板的方法，其包括輸送一個(gè)電子部件；形成一個(gè)定位標(biāo)記的圖像，用于補(bǔ)償電子部件與將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移；基于定位標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)，監(jiān)測(cè)電子部件相對(duì)于基板的位置偏移；基于監(jiān)測(cè)的位置偏移量，校正電子部件相對(duì)于基板在X和Y軸方向位置偏移；由所述電子部件固定頭固定一個(gè)校正位置偏移的電子部件并將其安裝到基板上，其中，所述電子部件固定頭包括一主電子部件固定單元；一真空吸附部分，安裝在所述主要電子部件固定單元，其面向由真空吸附固定的電子部件表面，以使電子部件通過(guò)真空吸附固定到主要電子部件固定單元上；一光通道，形成在電子部件的邊緣部分，其引導(dǎo)光線照到定位標(biāo)記上，用于校正電子部件與將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移，其中，所述真空吸附部分固定在電子部件的定位標(biāo)記上的與電子部件邊緣平行的且相互正交的避開(kāi)定位標(biāo)記的直線上。
全文摘要
一個(gè)電子部件固定頭,一個(gè)使用該固定頭的電子部件安裝裝置及一種安裝電子部件的方法,是用于安裝在薄膜構(gòu)件上帶有定位標(biāo)記的電子部件。電子部件固定頭由一個(gè)主電子部件固定單元,一個(gè)面向由真空吸附固定的電子部件表面的用于固定電子部件的真空吸附部分和一個(gè)引導(dǎo)光線照到電子部件邊緣部分定位標(biāo)記上的光通道組成,其目的是校正電子部件與將要安裝電子部件的基板之間的位置偏移,真空吸附部分固定在電子部件上的與電子部件邊緣平行且相互正交的避開(kāi)定位標(biāo)記的直線上。
文檔編號(hào)H05K13/04GK1374831SQ0210536
公開(kāi)日2002年10月16日 申請(qǐng)日期2002年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月27日
發(fā)明者荻本真一 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司