專利名稱：噴出裝置及其控制方法、噴出方法、顯微透鏡陣列的制造方法以及光電裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種噴出樹脂等的液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出裝置及其控制方法、使用了該噴出裝置的噴出方法、以及利用了該噴出方法的顯微透鏡陣列、濾色鏡襯底以及光學(xué)裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，在液晶顯示裝置中，為了有效地在象素區(qū)域中利用入射的光而使用的顯微透鏡陣列是用旋轉(zhuǎn)涂布法在透明襯底上涂布了感光性樹脂后，通過利用光刻對它刻膜后制造出來的。這里，如果用例如噴墨打印機(jī)以及噴墨繪圖儀等采用的噴出方式把透明樹脂(液態(tài)粘性物)噴成矩陣狀后，使它固化后，形成顯微透鏡陣列，則能大幅度提高顯微透鏡陣列的生產(chǎn)效率。
另外，在用于用光連接芯片間的光互連裝置中也使用了顯微透鏡陣列，在制造這樣的顯微透鏡陣列時，如果以所述的噴出方式把透明樹脂噴成矩陣狀后，使它固化后，形成顯微透鏡陣列，能大幅度提高其生產(chǎn)效率。并且，如果根據(jù)所述的噴出方式，因?yàn)椴恍枰饘倌＞吆秃蠹庸ぃ赃m合于制造各種光學(xué)零件。
并且，在液晶裝置的濾色鏡襯底中，以往用光刻技術(shù)形成著色層，但是，如果用上述的噴出方式制造著色層，就能提高濾色鏡襯底的生產(chǎn)效率。
近年，使用了熒光性有機(jī)化合物的有機(jī)場致發(fā)光元件特別引人注目，但是在制造該有機(jī)場致發(fā)光元件時，以往通過使用金屬掩模的部分蒸鍍，在所定區(qū)域上形成熒光性有機(jī)化合物層。因此，很難實(shí)現(xiàn)高精細(xì)化、大面積化、生產(chǎn)效率的提高，但是，如果在形成這樣的熒光性有機(jī)化合物層時，也使用所述的噴出方式，就能實(shí)現(xiàn)高精細(xì)化、大面積化、生產(chǎn)效率的提高。
然而，在顯微透鏡陣列等中，雖然要求在各顯微透鏡之間，在特性上不存在偏移，但是，在噴出裝置的所有噴嘴的壓力發(fā)生元件上外加同一驅(qū)動信號的結(jié)構(gòu)中，在頭的結(jié)構(gòu)上無法避免由于噴嘴的位置而導(dǎo)致噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的重量、噴出速度等中產(chǎn)生偏移。結(jié)果，發(fā)生不勻，無法形成均勻形狀的顯微透鏡陣列或具有穩(wěn)定特性的濾色鏡襯底以及有機(jī)場致發(fā)光元件。
例如，在頭上設(shè)置的多個噴嘴之間，在同一列內(nèi)，由于把壓力發(fā)生元件陣列接合到頭的框體上的方法、頭的框體的各部分的剛性的差等，根據(jù)噴嘴的位置，噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的重量、噴出速度中會產(chǎn)生偏移。另外，在不同的列中，根據(jù)把壓力發(fā)生元件陣列接合到頭的框體的什么位置上，發(fā)熱量是不同的，結(jié)果，根據(jù)噴嘴的位置，噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的重量、噴出速度中會產(chǎn)生偏移。通過把這樣的同一列內(nèi)的偏移和列間的偏移超過了限度的不作為頭使用，能在某種程度上防止這樣的原因?qū)е碌膰姵鲅b置的噴出量的不勻等。可是，用這樣的對策，不能在制造的頭的檢查階段避免頭的成品率的下降。另外，在同一噴出裝置中有時也會更換頭。
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供例如能以高精度形成顯微透鏡等的噴出裝置、噴出方法、以及使用了它的顯微透鏡陣列、濾色鏡襯底以及光電裝置的制造方法。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決所述課題，在本發(fā)明的，一種用于向?qū)ο笪飮姵鲆簯B(tài)粘性物質(zhì)的噴出裝置中，其特征在于具有具有與多個噴嘴分別對應(yīng)的多個壓力發(fā)生元件的頭；生成包含多個驅(qū)動脈沖的驅(qū)動信號的驅(qū)動信號生成機(jī)構(gòu)；輸出決定了把所述多個驅(qū)動脈沖中的哪一個外加到所述壓力發(fā)生元件上的波形選擇數(shù)據(jù)的控制機(jī)構(gòu)；從所述多個驅(qū)動脈沖中選擇所定的驅(qū)動脈沖，外加到所述壓力發(fā)生元件上的開關(guān)機(jī)構(gòu)。
在本發(fā)明中，根據(jù)從控制機(jī)構(gòu)輸出的波形選擇數(shù)據(jù)，開關(guān)機(jī)構(gòu)從公共的驅(qū)動信號中選擇所定的驅(qū)動脈沖，外加到壓力發(fā)生元件上，所以能修正液態(tài)粘性物質(zhì)在噴嘴間的重量偏移。因此，當(dāng)從各噴嘴噴出液態(tài)粘性物質(zhì)時，一個點(diǎn)的重量在噴嘴間不存在偏移，所以能進(jìn)行高精度的噴出。
另外，本發(fā)明的特征在于所述驅(qū)動信號的不同的多個周期中包含的多個驅(qū)動脈沖不同。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，能以更高的精度修正液態(tài)粘性物質(zhì)的重量的偏移。
這里，當(dāng)向所述對象物噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)時，把所述驅(qū)動信號的多個周期可以設(shè)置為使所述液態(tài)粘性物質(zhì)噴出的動作的單位。
并且，當(dāng)向所述對象物噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)時，對于所述驅(qū)動信號的特定的第一周期的特定周期的時間位置最好能把所述驅(qū)動信號的一個周期作為單位調(diào)整。
另外，在本發(fā)明中，當(dāng)向所述對象物噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)時，例如在所述驅(qū)動信號的一個周期內(nèi)對一個所述壓力發(fā)生元件外加所述驅(qū)動脈沖。
代替它，在本發(fā)明中，當(dāng)向所述對象物噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)時，也可以在所述驅(qū)動信號的多個周期中對一個所述壓力發(fā)生元件外加所述驅(qū)動脈沖。
在本發(fā)明中，所述多個驅(qū)動脈沖分別具有以不同的重量噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)的波形；所述開關(guān)機(jī)構(gòu)根據(jù)所述波形選擇數(shù)據(jù)，從所述多個驅(qū)動脈沖中選擇一個脈沖，外加到所定的所述壓力發(fā)生元件上。
代替它，在本發(fā)明中，所述多個驅(qū)動脈沖分別具有以不同的重量噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)的波形；所述開關(guān)機(jī)構(gòu)也可以根據(jù)所述波形選擇數(shù)據(jù)，從所述多個驅(qū)動脈沖中選擇多個脈沖，外加到所定的所述壓力發(fā)生元件上。
在本發(fā)明中，所述控制機(jī)構(gòu)具有例如，當(dāng)向所述多個壓力發(fā)生元件外加同一波形的驅(qū)動脈沖時，記錄與從所述多個頭分別噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的重量的偏移對應(yīng)的噴嘴數(shù)據(jù)的記錄部；根據(jù)該記錄部中記錄的所述噴嘴數(shù)據(jù)，生成所述波形選擇數(shù)據(jù)，并輸出。
在本發(fā)明中，所述多個頭與向所述壓力發(fā)生元件外加同一波形的驅(qū)動脈沖時噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的重量對應(yīng)，把這些重量分為多個等級，把該分級的結(jié)果作為所述噴嘴數(shù)據(jù)記錄到所述記錄部中。
代替它，在本發(fā)明中，也可以是把所述噴嘴數(shù)據(jù)對于所述多個頭分別記錄在所述記錄部中的結(jié)構(gòu)。
在本發(fā)明中，也能采用為所述頭提供了該頭中形成的關(guān)于所述頭的所述噴嘴數(shù)據(jù)，并且把該噴嘴數(shù)據(jù)從計測所述重量偏移的頭檢測裝置輸入到所述記錄部中的結(jié)構(gòu)。
作為本發(fā)明的噴出裝置的控制方法，采用至少具有以下過程的方法使用第一驅(qū)動脈沖噴出液態(tài)粘性物質(zhì)的第一過程；和根據(jù)噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出重量的測定結(jié)果，修正所述第一驅(qū)動脈沖的第二過程。
并且，在該噴出裝置的控制方法中，也可以采用重復(fù)所述第一過程和所述第二過程，直到從噴出裝置的各噴嘴噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出重量變?yōu)閹缀蹙鶆虻姆椒ā?br> 另外，在本發(fā)明的噴出裝置的控制方法中，具有在決定所述頭上形成的所述多個頭的各噴嘴數(shù)據(jù)時，當(dāng)外加了成為基準(zhǔn)的波形的驅(qū)動脈沖時的噴出重量從目標(biāo)重量偏離時，決定噴出重量變?yōu)樗瞿繕?biāo)重量的波形的第一過程；把求出的波形的驅(qū)動信號外加到所述壓力發(fā)生元件上，計測這時的噴出重量的的第二過程；和把該噴出重量和所述目標(biāo)重量比較，當(dāng)該噴出重量與所述目標(biāo)重量一致時，確定所述噴嘴數(shù)據(jù)的第三過程；并且當(dāng)該噴出重量從所述目標(biāo)重量偏移時，再度重復(fù)所述第一過程、第二過程及第三過程。
這時，最好預(yù)先確定重復(fù)所述第一過程、第二過程以及所述第三過程的上限次數(shù)，當(dāng)重復(fù)所述第一過程、所述第二過程以及所述第三過程到了該上限次數(shù)，還不能確定所述噴嘴數(shù)據(jù)時，則判斷所述頭為不合格品。
使用了本發(fā)明的噴出裝置例如用于在作為所述對象物的襯底上，把用于形成多個顯微透鏡的樹脂作為所述液態(tài)粘性物質(zhì)噴出的顯微透鏡陣列的制造過程。
另外，使用了本發(fā)明的光電裝置的制造方法包含在作為所述對象物的襯底上，把用于形成濾色鏡的樹脂作為所述液態(tài)粘性物質(zhì)噴出的過程。
使用了本發(fā)明的噴出裝置能用于在作為所述對象物的襯底上，把含有光電物質(zhì)的液體作為所述液態(tài)粘性物質(zhì)噴出的光電裝置的制造過程中。這里，所述光電物質(zhì)除了液晶，還可以是用于產(chǎn)生場致發(fā)光的熒光性有機(jī)化合物。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的噴出裝置的整體結(jié)構(gòu)的簡要立體圖。
圖2是圖1所示的噴出裝置的功能塊圖。
圖3是表示圖1所示的噴出裝置的頭的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
圖4是用于說明頭10的圖，(A)是圖3所示頭中形成的致動器的剖視圖，(b)是使用了(a)中表示的致動器的壓力發(fā)生元件上外加的驅(qū)動信號的基本波形圖。
圖5是表示驅(qū)動信號生成部48的塊圖。
圖6是表示在驅(qū)動信號生成部48中生成驅(qū)動信號中包含的驅(qū)動脈沖的過程的說明圖。
圖7是表示在驅(qū)動信號生成部48中使用數(shù)據(jù)信號，在存儲器中設(shè)置電位差時的各信號的定時的定時圖表。
圖8是表示了本發(fā)明的一實(shí)施例的噴出裝置中使用的公共驅(qū)動信號COM的波形、把該驅(qū)動信號COM中包含的各驅(qū)動脈沖外加到壓力發(fā)生元件17上時從噴嘴211噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的點(diǎn)的大小關(guān)系以及根據(jù)噴出數(shù)據(jù)SI從驅(qū)動信號COM中選擇一個驅(qū)動脈沖外加到壓力發(fā)生元件17上的方法的說明圖。
圖9(A)、(B)、(C)、(D)、(E)分別是表示圖1所示的噴出裝置中使用的公共驅(qū)動信號的波形、從公共驅(qū)動信號選擇了第一驅(qū)動脈沖時外加在壓力發(fā)生元件上的驅(qū)動信號的波形、從公共驅(qū)動信號選擇了第二驅(qū)動脈沖時外加在壓力發(fā)生元件上的驅(qū)動信號的波形、從公共驅(qū)動信號選擇了第三驅(qū)動脈沖時外加在壓力發(fā)生元件上的驅(qū)動信號的波形、以及從公共驅(qū)動信號選擇了第四驅(qū)動脈沖時外加在壓力發(fā)生元件上的驅(qū)動信號的波形的說明圖。
圖10是表示為多個頭分別決定噴嘴數(shù)據(jù)的步驟的程序流程圖。
圖11是用圖10所示的步驟決定噴嘴數(shù)據(jù)時使用的表格的說明圖。
圖12是表示本發(fā)明的其它實(shí)施例中使用的驅(qū)動信號的波形的說明圖。
圖13是表示驅(qū)動信號COM的每個周期中使脈沖變化時的驅(qū)動信號COM的波形的一個例子的說明圖。
圖14是顯微透鏡陣列的第一例的說明圖。
圖15是顯微透鏡陣列的第二例的說明圖。
圖16是模式地表示使用了濾色鏡襯底的液晶裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖17(A)、(B)分別是表示圖15所示的濾色鏡襯底的各色配置的說明圖。
圖18是模式地表示在使用了有機(jī)場致發(fā)光的顯示裝置中，構(gòu)成各象素的有機(jī)場致發(fā)光元件的結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖19是模式地表示在使用了有機(jī)場致發(fā)光的顯示裝置中，構(gòu)成各象素的有機(jī)場致發(fā)光元件的其它結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖中，1-噴出裝置；1A-裝置主體；1B-計算機(jī)(控制機(jī)構(gòu))；2-X方向驅(qū)動電機(jī)；3-Y方向驅(qū)動電機(jī)；4-X方向驅(qū)動軸；5-Y方向引導(dǎo)軸5；6-頭移動結(jié)構(gòu)；7-臺；8-清潔結(jié)構(gòu)部；9-基臺；10-頭；11-頭驅(qū)動電路；40-控制裝置；43-接口；44-RAM；45-ROM；48-驅(qū)動信號生成部；49-接口；100A、100B-顯微透鏡陣列；CLK-時鐘信號；COM-驅(qū)動信號；COM1～COM8-驅(qū)動脈沖；D-顯微透鏡；SI-噴出數(shù)據(jù)；W-對象物。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，就本發(fā)明的實(shí)施例加以詳細(xì)說明。
(噴出裝置的整體結(jié)構(gòu))圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的噴出裝置的整體結(jié)構(gòu)的簡要立體圖。圖2是圖1所示的噴出裝置的功能塊圖。如圖1所示，本實(shí)施例的噴出裝置1例如由噴墨式噴出裝置即噴出裝置主體1A和計算機(jī)1B構(gòu)成。
噴出裝置主體1A具有頭10、X方向驅(qū)動軸4、X方向驅(qū)動電機(jī)2、Y方向引導(dǎo)軸5、Y方向驅(qū)動電機(jī)3、控制裝置40、臺7、清潔結(jié)構(gòu)部8以及基臺9。另外，計算機(jī)1B具有能輸入用噴出裝置主體1A對于對象物W在哪個位置噴出液態(tài)粘性物質(zhì)等的噴出條件的鍵盤71，并且，具有保存通過該鍵盤71或FD等記錄媒體輸入的噴出條件的記錄部72，通過鍵盤71能選擇、指示該記錄部72中記錄的噴出條件。另外，在記錄部72中，如后所述，也記錄了用于修正頭10中設(shè)置的多個噴嘴間的噴出重量的偏差的噴嘴數(shù)據(jù)。
這里，因?yàn)閲娮鞌?shù)據(jù)被提供給每個頭10，所以在組裝噴出裝置1時，作業(yè)者例如通過鍵盤71把提供給搭載的頭10的噴嘴數(shù)據(jù)輸入到記錄部72中。另外，當(dāng)以條形碼在頭10上表示了噴嘴數(shù)據(jù)時，也可以光學(xué)地讀取噴嘴數(shù)據(jù)，輸入到記錄部72中。如后所述，因?yàn)閲娮鞌?shù)據(jù)是使在各頭10中形成的頭噴出液態(tài)粘性物質(zhì)，通過計測其重量而決定的，所以也可以采用從計測該重量的偏移，并求出噴嘴數(shù)據(jù)的檢查裝置(省略了圖示)直接輸入到記錄部72中的結(jié)構(gòu)。
在噴出裝置主體1A中，頭10是用于把從儲藏了樹脂等液態(tài)粘性物質(zhì)的罐(圖中未顯示)通過管道(液體供給路)提供的液態(tài)粘性物質(zhì)從它的噴嘴噴出。在本實(shí)施例中，作為液態(tài)粘性物質(zhì)處理了樹脂等，但是樹脂與打印機(jī)等使用的墨相比粘度要高很多。這里，在本實(shí)施例中，在罐、管道、頭10中設(shè)置了加熱器(省略了圖示)，通過對液態(tài)粘性物質(zhì)加熱，使粘度下降。并且，本發(fā)明中使用的液態(tài)粘性物質(zhì)的并不局限于粘性高的物質(zhì)，例如也可以是墨水或含金屬微粒的液狀體。
臺7用于裝載成為液態(tài)粘性物質(zhì)被噴出的對象的襯底W。具有把該襯底W固定在所定的位置的機(jī)構(gòu)。X方向驅(qū)動軸4由圓頭螺栓等構(gòu)成，在端部與X方向驅(qū)動電機(jī)2相連。X方向驅(qū)動電機(jī)2是步進(jìn)電動機(jī)，如果從控制裝置40被提供了X軸方向的驅(qū)動信號，就使X方向驅(qū)動軸4回轉(zhuǎn)。如果該X方向驅(qū)動軸4回轉(zhuǎn)，頭10就在X方向驅(qū)動軸4上沿著X方向移動。
Y方向引導(dǎo)軸5也由圓頭螺栓等構(gòu)成，固定在基臺9上的所定位置上。該Y方向引導(dǎo)軸5上配置了臺7，該臺7具有Y方向驅(qū)動電機(jī)3。Y方向驅(qū)動電機(jī)3是步進(jìn)電動機(jī)，如果從控制裝置40向Y方向驅(qū)動電機(jī)3被提供了Y軸方向的驅(qū)動信號，臺7把Y方向引導(dǎo)軸5引導(dǎo)沿著Y方向移動。使用相關(guān)的X方向驅(qū)動電機(jī)2和Y方向驅(qū)動電機(jī)3，構(gòu)成了使頭10移動到襯底W上的任意位置的頭移動結(jié)構(gòu)6。
在圖2中，噴出裝置主體1A的控制裝置40具有從計算機(jī)1B接收噴出條件等的接口43、進(jìn)行各種數(shù)據(jù)記錄的RAM44、記錄了用于進(jìn)行各種數(shù)據(jù)處理的程序等的ROM45、由CPU等構(gòu)成的裝置主體一側(cè)控制部46、振蕩電路47、產(chǎn)生向頭10提供的驅(qū)動信號COM的驅(qū)動信號生成部48、接口49。接口49向頭10輸出展開為點(diǎn)圖形數(shù)據(jù)的噴出數(shù)據(jù)，并且把驅(qū)動信號輸出到頭移動結(jié)構(gòu)6的X方向驅(qū)動電機(jī)2和Y方向驅(qū)動電機(jī)3。
在以上的噴出裝置1中，如下所述，裝置主體一側(cè)控制部46和計算機(jī)1B作為噴出裝置1的控制機(jī)構(gòu)12起作用。在噴出裝置1中，從計算機(jī)1B發(fā)出的噴出條件通過接口43被保持在噴出裝置內(nèi)部的接收緩存器44A中。保存在接收緩存器44A中的數(shù)據(jù)在進(jìn)行了命令解析后被發(fā)送給中間緩存器44B。在中間緩存器44B內(nèi)，保持了由裝置主體一側(cè)控制部46變換為中間代碼的作為中間形式的數(shù)據(jù)，由裝置主體一側(cè)控制部46執(zhí)行附加液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出位置等的信息的處理。接著，裝置主體一側(cè)控制部46解析中間緩存器44B內(nèi)的數(shù)據(jù)、解碼后，在輸出緩存器44C中展開點(diǎn)圖形數(shù)據(jù)，并記錄。
如果取得了相當(dāng)于頭10的一次掃描量的點(diǎn)圖形數(shù)據(jù)，則把該點(diǎn)圖形數(shù)據(jù)通過接口49串行傳送給頭10。如果從輸出緩存器44C輸出了相當(dāng)于一次掃描量的點(diǎn)圖形數(shù)據(jù)，就刪除中間緩存器44B的內(nèi)容，進(jìn)行接著的中間代碼變換。
頭10在所定的定時使從后述的各噴嘴噴出液態(tài)粘性物質(zhì)，在驅(qū)動信號生成部48生成的驅(qū)動信號COM通過接口49輸出到頭10中。另外，使展開為點(diǎn)圖形數(shù)據(jù)的噴出數(shù)據(jù)SI與來自振蕩電路47的時鐘信號CLK同步，通過接口49串行輸出到頭10中構(gòu)成的頭驅(qū)動電路11中。這里，展開為點(diǎn)圖形數(shù)據(jù)的噴出數(shù)據(jù)SI包含了規(guī)定從頭10上形成的哪個噴嘴噴出液態(tài)粘性物質(zhì)的噴嘴選擇數(shù)據(jù)，并且包含了規(guī)定在從各噴嘴噴出液態(tài)粘性物質(zhì)時使用哪個驅(qū)動脈沖的波形選擇數(shù)據(jù)。
頭驅(qū)動電路11由以下部分構(gòu)成第一移位寄存器13A、第二移位寄存器13B、第一門閂電路14A、第二門閂電路14B、解碼器15、電平移動裝置16、開關(guān)電路18(開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N)以及控制邏輯19。另外，在開關(guān)電路18中，在開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N的輸出一側(cè)連接了壓電振子作為壓力發(fā)生元件17(17-1、17-2、…17-N)。
在該頭驅(qū)動電路11中，從控制裝置40輸出的噴出數(shù)據(jù)(SI)首先被串行傳送到作為“串行/并行變換機(jī)構(gòu)”的第一移位寄存器13A和第二移位寄存器13B中。這里，噴出數(shù)據(jù)的高位數(shù)據(jù)被輸入第二移位寄存器13B中，低位數(shù)據(jù)被輸入到第一移位寄存器13A中。
移位寄存器13A、13B上分別連接了作為“門閂機(jī)構(gòu)”的第一門閂電路14A、第二門閂電路14B。如果來自噴出裝置主體1A的門閂信號(LAT)輸入到各門閂電路14A、14B中，門閂電路14A、14B分別鎖住由移位寄存器13A、13B分別做了并行變換的噴出數(shù)據(jù)SI。因此，在第一門閂電路14A鎖住了噴出數(shù)據(jù)SI的低位數(shù)據(jù)，在第二門閂電路14B中鎖住了噴出數(shù)據(jù)SI的高位數(shù)據(jù)。這里，第一移位寄存器13A和第一門閂電路14A、第二移位寄存器13B和第二門閂電路14B分別構(gòu)成“存儲電路”，由這兩個存儲電路構(gòu)成了“存儲機(jī)構(gòu)”。
由各門閂電路14A、14B鎖住的噴出數(shù)據(jù)SI被輸入到解碼器15中。該解碼器15根據(jù)來自控制邏輯19的信號，把2位的噴出數(shù)據(jù)SI翻譯成4位的噴出數(shù)據(jù)SI。因此，解碼器15和控制邏輯19構(gòu)成了“翻譯機(jī)構(gòu)”。由解碼器15翻譯的噴出數(shù)據(jù)SI由電壓放大器即電平移動裝置16升壓到能驅(qū)動開關(guān)電路18的電壓例如數(shù)十伏特左右的所定的電壓值。升壓到所定的電壓值的噴出數(shù)據(jù)SI被提供給作為“開關(guān)機(jī)構(gòu)”的開關(guān)電路18。在開關(guān)電路18中，在各開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N的輸入一側(cè)外加了來自驅(qū)動信號生成部48的驅(qū)動信號COM，在各開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N的輸出一側(cè)連接了壓力發(fā)生元件17(17-1、17-2、…17-N)。
噴出數(shù)據(jù)SI在各開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N中控制開關(guān)電路18的動作。例如在加在各開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N上的噴出數(shù)據(jù)SI為“1”的期間中，驅(qū)動信號COM被外加到壓力發(fā)生元件17(17-1、17-2、…17-N)上，按照該驅(qū)動信號COM，壓力發(fā)生元件17伸縮。而在加在各開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N為“0”的期間中，遮斷了向壓力發(fā)生元件17的驅(qū)動信號COM的供給。
這里，來自控制裝置40的噴出數(shù)據(jù)SI對于各噴嘴，例如象(10)、(01)等，由高位的位1和低位的位0的合計兩位數(shù)據(jù)構(gòu)成。而且，關(guān)于所有的噴嘴的位0的數(shù)據(jù)被輸入到第一移位寄存器13A中，關(guān)于所有的噴嘴的位1的數(shù)據(jù)被輸入到第二移位寄存器13B中。輸入到各移位寄存器13A、13B中的各噴嘴的噴出數(shù)據(jù)SI被各門閂電路14A、14B鎖住，輸入到解碼器15中。解碼器15根據(jù)來自控制邏輯19的信號，把2位的噴出數(shù)據(jù)SI變換為4位的噴出數(shù)據(jù)SI。然后，當(dāng)加在開關(guān)電路18的各開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N上的位數(shù)據(jù)為“1”時，在壓力發(fā)生元件17-1、17-2、…17-N上直接外加驅(qū)動信號COM，各壓力發(fā)生元件17-1、17-2、…17-N按照驅(qū)動信號COM的波形發(fā)生位移。而當(dāng)加在開關(guān)電路18的各開關(guān)元件18-1、18-2、…18-N上的位數(shù)據(jù)為“0”時，向各壓力發(fā)生元件17-1、17-2、…17-N的驅(qū)動信號COM被遮斷，各壓力發(fā)生元件17-1、17-2、…17-N保持之前的電荷。
(頭10的結(jié)構(gòu))圖3是表示圖1所示的噴出裝置的頭的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。另外，圖4是用于說明頭10的圖，(A)是圖3所示頭中形成的致動器的剖視圖，(b)是使用了(a)中表示的致動器的壓力發(fā)生元件上外加的驅(qū)動信號的基本波形圖。例如，如圖3和圖4所示，頭10具有噴嘴形成板210、壓力發(fā)生室形成板220以及振動板230。壓力發(fā)生室形成板220具有壓力發(fā)生室221、側(cè)壁(隔離壁)222、容器223以及導(dǎo)入路224。壓力發(fā)生室形成板220通過蝕刻硅等的襯底，形成了壓力發(fā)生室221，壓力發(fā)生室221成為貯藏噴出之前的液態(tài)粘性物質(zhì)的空間。側(cè)壁222分隔了壓力發(fā)生室221，容器223成為用于把液態(tài)粘性物質(zhì)填充到各壓力發(fā)生室221中的流路。導(dǎo)入路224能從容器223把液態(tài)粘性物質(zhì)導(dǎo)入到各壓力發(fā)生室221中。
噴嘴形成板210與壓力發(fā)生室形成板220的一面通過有機(jī)類或無機(jī)類的粘合劑貼合在一起，使噴嘴211位于與壓力發(fā)生室形成板220上形成的壓力發(fā)生室221分別對應(yīng)的位置。貼合了噴嘴形成板210的壓力發(fā)生室形成板220被收藏在框體225中，構(gòu)成頭10。振動板230由能發(fā)生彈性變形的薄板構(gòu)成，與壓力發(fā)生室形成板220的另一面通過有機(jī)類或無機(jī)類的粘合劑貼合在一起。在振動板230的與壓力發(fā)生室221的位置對應(yīng)的部分設(shè)置了作為壓力發(fā)生元件17的壓電振子(PZT)。
這里，壓力發(fā)生元件17并不局限于縱橫振動效果的PZT，也可以是撓性的PZT。另外，作為壓力發(fā)生元件17并不局限于壓電振子，也可以使用例如磁致伸縮振子等其它元件。另外，也可以采用通過加熱器等熱源對液態(tài)粘性物質(zhì)加熱，通過加熱產(chǎn)生的氣泡使壓力變化的結(jié)構(gòu)。重要的是只要是按照外部提供的信號使后述的壓力發(fā)生室內(nèi)壓力發(fā)生變動的元件，就可以了。
(驅(qū)動脈沖的基本波形)下面，參照圖4(B)，就構(gòu)成驅(qū)動信號COM的驅(qū)動脈沖的基本波形加以說明。在圖4(B)中，用于使壓力發(fā)生元件17工作的驅(qū)動信號COM基本上它的電壓值從中間電位Vm開始后(保持脈沖311)，從時刻T1到T2，以一定的斜率上升到最大電位VPS(充電脈沖312)，從時刻T2到時刻T3，只在所定的時間內(nèi)維持最大電位VPS(保持脈沖313)。接著，從時刻T3到時刻T4之間，以一定的斜率下降到最低電位VLS后(放電脈沖314)，從時刻T4到T5只在所定的時間內(nèi)維持最低電位VLS(保持脈沖315)。然后，從時刻T5到時刻T6以一定的斜率上升到中間電位Vm(充電脈沖316)。
因此，在圖4(A)、(B)中，如果在壓力發(fā)生元件17上外加了充電脈沖312后，則壓力發(fā)生元件17彎向使壓力發(fā)生室221的容積膨脹的一方，使壓力發(fā)生室221中產(chǎn)生負(fù)壓力。結(jié)果，液面從噴嘴211退開。接著，如果外加放電脈沖314，發(fā)生元件17向著使壓力發(fā)生室221的容積收縮的方向彎曲，在壓力發(fā)生室221產(chǎn)生了正壓力。結(jié)果，從噴嘴211噴出液滴。而且，在外加了保持脈沖315后，外加充電脈沖316，抑制液面的振動。因此，例如最大電位VPS越高，或放電脈沖314的斜率越陡，從噴嘴211噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的一個點(diǎn)的重量越大。
(驅(qū)動信號生成部48的結(jié)構(gòu))下面，參照圖5～圖7就驅(qū)動信號生成部48加以說明。圖5是表示驅(qū)動信號生成部48的塊圖。圖6是表示在驅(qū)動信號生成部48中生成驅(qū)動信號中包含的驅(qū)動脈沖的過程的說明圖。圖7是表示在驅(qū)動信號生成部48中使用數(shù)據(jù)信號，在存儲器中設(shè)置電位差(ΔV)時的各信號的定時的定時圖表。
如圖5所示，驅(qū)動信號生成部48具有接收、記錄來自裝置主體一側(cè)控制部46的信號的存儲器81；讀出該存儲器81的內(nèi)容，臨時保存的第一門閂82；把該第一門閂82的輸出與后述的另一個第二門閂84的輸出相加的加法器83；把第二門閂84的輸出變換為模擬數(shù)據(jù)的D/A轉(zhuǎn)換器86；把變換的模擬信號放大到驅(qū)動信號的電壓的電壓放大部88；對于從電壓放大部88輸出的驅(qū)動信號的電流放大器89。
存儲器81是記錄決定了驅(qū)動信號COM的所定的參數(shù)的波形數(shù)據(jù)據(jù)記錄部。驅(qū)動信號COM的波形由預(yù)先從裝置主體一側(cè)控制部46接收的所定的參數(shù)決定。即驅(qū)動信號生成部48接收時鐘信號801、802、803、數(shù)據(jù)信號830、地址信號810、811、812、813、復(fù)位信號820以及允許信號840。
在這樣構(gòu)成的驅(qū)動信號生成部48中，如圖6所示，在生成驅(qū)動信號COM之前，使表示裝置主體一側(cè)控制部46的電壓變化量的幾個數(shù)據(jù)信號和該數(shù)據(jù)信號的地址與時鐘信號801同步，輸出到驅(qū)動信號生成部48的存儲器81中。如圖7所示，數(shù)據(jù)信號830通過與時鐘信號801同步的串行傳送，進(jìn)行數(shù)據(jù)的交換。
即當(dāng)從裝置主體一側(cè)控制部46傳送所定的電壓變化量時，首先，與時鐘信號801同步輸出多位的數(shù)據(jù)信號，然后，把存儲了該數(shù)據(jù)的地址與允許信號840同步，作為地址信號810～813輸出。存儲器81在輸出了該允許信號840的定時讀取地址信號，把接收的數(shù)據(jù)寫入該地址中。因?yàn)榈刂沸盘?10～813是4位信號，所以最多能在存儲器81中記錄16種的電壓變化量。并且，把數(shù)據(jù)的高位的位作為符號使用。另外，所述地址信號810～813的位數(shù)不局限于4位，也可以設(shè)置為5位。即通過進(jìn)一步增加地址信號810～813的位數(shù)，能在存儲器81中記錄超過16種的電壓變化量，因此能增大電壓變化量的設(shè)置范圍。
對各地址A、B、…的電壓變化量的設(shè)置結(jié)束后，例如，如果把地址B輸入到地址信號810～813中，根據(jù)最初的時鐘信號802，由第一門閂電路82保持了與該地址B對應(yīng)的電壓變化量ΔV1。在該狀態(tài)下，接著如果輸出了時鐘信號803，在第二門閂電路84中加上了第一門閂電路82的輸出后得到的值被第二門閂電路84保持。即如圖6所示，一旦選擇了與地址信號對應(yīng)的電壓變化量，之后，當(dāng)接收時鐘信號803時，第二門閂電路84的輸出隨著該電壓變化量增減。根據(jù)存儲器81的地址B中存儲的電壓變化量ΔV1和時鐘信號803的單位時間ΔT決定驅(qū)動波形的通過率。并且由各地址中存儲的數(shù)據(jù)的符號決定是增加還是減少。
在圖6所示的例子中，在地址A中，存儲了值0作為電壓變化量即維持電壓時的值。因此，根據(jù)時鐘信號802，如果地址A有效，則驅(qū)動信號的波形保持沒有增減的平的狀態(tài)。另外，在地址C中為了決定驅(qū)動波形的通過率，存儲了單位時間ΔT的電壓變化量ΔV2。因此，根據(jù)時鐘信號802，地址C變得有效后，電壓每次下降ΔV2。這樣，通過從裝置主體一側(cè)控制部46輸出地址信號和時鐘信號，就能自由地控制驅(qū)動信號COM的波形，在本實(shí)施例中，如圖8所示，作為驅(qū)動信號COM，生成了在一個噴出周期內(nèi)包含四個驅(qū)動脈沖的驅(qū)動信號COM。
圖8是表示了本發(fā)明的一實(shí)施例的噴出裝置中使用的公共驅(qū)動信號COM的波形、把該驅(qū)動信號COM中包含的各驅(qū)動脈沖外加到壓力發(fā)生元件17上時從噴嘴211噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的點(diǎn)的大小關(guān)系以及根據(jù)噴出數(shù)據(jù)SI從驅(qū)動信號COM中選擇一個驅(qū)動脈沖外加到壓力發(fā)生元件17上的方法的說明圖。另外，圖9(A)、(B)、(C)、(D)、(E)分別是表示圖1所示的噴出裝置中使用的公共驅(qū)動信號COM的波形、從公共驅(qū)動信號COM選擇了第一驅(qū)動脈沖時外加在壓力發(fā)生元件17上的驅(qū)動信號的波形、從公共驅(qū)動信號選擇了第二驅(qū)動脈沖時外加在壓力發(fā)生元件17上的驅(qū)動信號的波形、從公共驅(qū)動信號選擇了第三驅(qū)動脈沖時外加在壓力發(fā)生元件17上的驅(qū)動信號的波形、從公共驅(qū)動信號選擇了第四驅(qū)動脈沖時外加在壓力發(fā)生元件17上的驅(qū)動信號的波形的說明圖。
如圖8所示，驅(qū)動信號COM中一個噴出周期包含四個驅(qū)動脈沖COM1、COM2、COM3、COM4，第一驅(qū)動脈沖COM1、第二驅(qū)動脈沖COM2、第三驅(qū)動脈沖COM3使參照圖4(B)說明的最大電位VPS按照第一驅(qū)動脈沖COM1、第二驅(qū)動脈沖COM2、第三驅(qū)動脈沖COM3的順序變低。因此，當(dāng)在同一壓力發(fā)生元件17上外加第一驅(qū)動脈沖COM1、第二驅(qū)動脈沖COM2、第三驅(qū)動脈沖COM3時，從噴嘴噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的一個點(diǎn)的重量變?yōu)椤按蟆?、“中”、“小”?br> 因此，對于第一驅(qū)動脈沖COM1、第二驅(qū)動脈沖COM2、第三驅(qū)動脈沖COM3，能分別用大點(diǎn)脈沖、中點(diǎn)脈沖、小點(diǎn)脈沖表示。這里，重量是“大”、“中”、“小”，例如有數(shù)％的左右的差。并且，第四驅(qū)動脈沖COM4是用于使噴嘴211附近的液態(tài)粘性物質(zhì)微振動，防止液態(tài)粘性物質(zhì)的粘度增大和固化，根據(jù)該第四驅(qū)動脈沖COM4不會使液態(tài)粘性物質(zhì)噴出。因此，第四驅(qū)動脈沖COM4能表示為“微振動脈沖”。
下面，參照圖8和圖9，說明從具有以上結(jié)構(gòu)的驅(qū)動信號COM中選擇第一驅(qū)動脈沖COM1(大點(diǎn)脈沖)、第二驅(qū)動脈沖COM2(中點(diǎn)脈沖)、第三驅(qū)動脈沖COM3(小點(diǎn)脈沖)，防止噴嘴間的噴出重量的偏移的方法。這里，正如參照圖2說明的那樣，在本實(shí)施例中，在從解碼器15外加到開關(guān)電路18上的噴出數(shù)據(jù)SI的位為“1”的期間中，在壓力發(fā)生元件17上外加了驅(qū)動信號COM，壓力發(fā)生元件17按照驅(qū)動信號COM的波形伸縮。而當(dāng)噴出數(shù)據(jù)為“0”的期間中，向壓力發(fā)生元件17的驅(qū)動信號COM的供給被遮斷，壓力發(fā)生元件17保持了之前的狀態(tài)。因此，如果使噴出數(shù)據(jù)SI的位與第一～第四驅(qū)動脈沖COM1～COM4的發(fā)生定時同步，則能選擇第一～第四驅(qū)動脈沖COM1～COM4中的任意一個，外加到壓力發(fā)生元件17上。
這里，在本實(shí)施例中，當(dāng)外加了同一驅(qū)動脈沖時，為了消除噴出重量比平均少的噴嘴211、以平均重量噴出的噴嘴211以及噴出量比平均多的噴嘴211之間的噴出重量的偏移，分別在噴出重量比平均少的噴嘴211所對應(yīng)的壓力發(fā)生元件17上外加第一驅(qū)動脈沖COM1(大點(diǎn)脈沖)、在以平均重量噴出的噴嘴211所對應(yīng)的壓力發(fā)生元件17上外加第二驅(qū)動脈沖COM2(中點(diǎn)脈沖)、在噴出重量比平均多的噴嘴211所對應(yīng)的壓力發(fā)生元件17上外加第三驅(qū)動脈沖COM3(小點(diǎn)脈沖)。
將在后面描述適用這樣的驅(qū)動方法的過程，但是，在頭10上形成的各壓力發(fā)生元件17上外加同一波形的驅(qū)動脈沖，預(yù)先計測從各噴嘴211噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的一個點(diǎn)的重量。然后，從該計測結(jié)果把各噴嘴211分為噴出重量比平均少的組、噴出了平均重量的組、噴出重量比平均多的組，把該分組結(jié)果作為噴嘴數(shù)據(jù)輸入到計算機(jī)1B種。這里輸入的噴嘴數(shù)據(jù)被記錄在計算機(jī)1B的記錄部72中。
然后，在計算機(jī)1B中，當(dāng)指定了對于對象物的液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出圖形時，該噴出圖形與記錄在記錄部72中的噴嘴數(shù)據(jù)一起被作為噴出條件輸出到噴出裝置主體1A中。然后，在噴出裝置主體1A中，當(dāng)由裝置主體一側(cè)控制部46把噴出圖形展開為點(diǎn)圖形數(shù)據(jù)時，在噴出數(shù)據(jù)S1中附加與噴嘴數(shù)據(jù)對應(yīng)，規(guī)定了應(yīng)外加驅(qū)動信號COM中包含的驅(qū)動脈沖COM1～COM4中的哪個驅(qū)動脈沖的波形選擇數(shù)據(jù)。這里，波形選擇數(shù)據(jù)表示為2位的噴出數(shù)據(jù)(00)、(01)、(10)、(11)，該2位的噴出數(shù)據(jù)由解碼器15翻譯為4位數(shù)據(jù)，使該4位數(shù)據(jù)與驅(qū)動信號COM中包含的驅(qū)動脈沖COM1～COM4的發(fā)生同步。
例如，2位數(shù)據(jù)(00)由解碼器15解碼為4位數(shù)據(jù)(1000)的結(jié)果是在驅(qū)動與該數(shù)據(jù)對應(yīng)的噴嘴211的壓力發(fā)生元件17上，如圖9(B)所示，只外加了第一驅(qū)動脈沖COM1。另外，2位數(shù)據(jù)(01)由解碼器15解碼為4位數(shù)據(jù)(0100)的結(jié)果是在驅(qū)動與該數(shù)據(jù)對應(yīng)的噴嘴211的壓力發(fā)生元件17上，如圖9(C)所示，只外加了第二驅(qū)動脈沖COM2。
再如，2位數(shù)據(jù)(10)由解碼器15解碼為4位數(shù)據(jù)(0010)的結(jié)果是在驅(qū)動與該數(shù)據(jù)對應(yīng)的噴嘴211的壓力發(fā)生元件17上，如圖9(D)所示，只外加了第三驅(qū)動脈沖COM3。另外，2位數(shù)據(jù)(11)由解碼器15解碼為4位數(shù)據(jù)(0001)的結(jié)果是在驅(qū)動與該數(shù)據(jù)對應(yīng)的噴嘴211的壓力發(fā)生元件17上，如圖9(E)所示，只外加了第四驅(qū)動脈沖COM4。
這樣，如果給各驅(qū)動脈沖COM1～COM4各分配1位的數(shù)據(jù)，構(gòu)成噴出數(shù)據(jù)SI，能根據(jù)各位的值，只選擇所希望的驅(qū)動脈沖COM1～COM4。因此，在本實(shí)施例中，當(dāng)外加同一驅(qū)動脈沖時，因?yàn)槟茉趪姵鲋亓勘绕骄俚膰娮?11所對應(yīng)的壓力發(fā)生元件17上外加第一驅(qū)動脈沖COM1(大點(diǎn)脈沖)、在以平均重量噴出的噴嘴211所對應(yīng)的壓力發(fā)生元件17上外加第二驅(qū)動脈沖COM2(中點(diǎn)脈沖)、在噴出重量比平均多的噴嘴211所對應(yīng)的壓力發(fā)生元件17上外加第三驅(qū)動脈沖COM3(小點(diǎn)脈沖)，所以能使從噴嘴211噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的一個點(diǎn)的重量平均化。因此，當(dāng)制造后述的顯微透鏡陣列等時，在各顯微透鏡的透鏡特性中也不發(fā)生偏移。
(噴嘴數(shù)據(jù)的決定方法)下面，參照圖10和圖11，說明在頭檢查裝置中，決定頭的各噴嘴數(shù)據(jù)的方法。并且，在該檢查裝置中，搭載了CPU、RAM以及ROM等，根據(jù)ROM中存儲的程序進(jìn)行了以下的過程。
圖10是表示為多個頭分別決定噴嘴數(shù)據(jù)的步驟的程序流程圖。另外，圖11是用圖10所示的步驟決定噴嘴數(shù)據(jù)時使用的表格的說明圖，表示了最高電壓不同的各種波形的驅(qū)動脈沖和在壓力發(fā)生元件上外加了該驅(qū)動脈沖時從頭噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的重量的關(guān)系。在本實(shí)施例中，在進(jìn)行圖10所示的各過程前，如圖11所示，生成了表示最高電壓VH從19.2V到20.8V的以0.2V的間隔變化的各種波形的驅(qū)動脈沖和在壓力發(fā)生元件上外加了驅(qū)動脈沖時從噴嘴211噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的重量的關(guān)系的表格。
而且，在圖10中，在開始噴嘴數(shù)據(jù)的決定作業(yè)時，把后述的表示重復(fù)數(shù)的變量n設(shè)置為“1”等，初始化各參數(shù)(步驟ST1)。接著，在壓力發(fā)生元件上外加最高電壓VH例如20.0V的波形的驅(qū)動脈沖，計測這時從噴嘴噴出的重量Iw(步驟ST2)。接著，在步驟ST3中，確認(rèn)噴出重量Iw是否為10.0ng(目標(biāo)重量)，當(dāng)噴出重量Iw為10.0ng時，確定噴嘴ID為“5”(步驟ST4)。
而當(dāng)判斷出步驟ST3中的噴出重量Iw從目標(biāo)重量的10.0ng偏離時，從圖11所示的表格中在最高電壓VH為20V的列中找出該噴出重量Iw的噴嘴ID，用該噴嘴ID找出噴出重量Iw’變?yōu)槟繕?biāo)重量的10.0ng的最高電壓VH(步驟ST5第一過程)。例如，當(dāng)在步驟ST2中，在壓力發(fā)生元件上外加了最高電壓VH為20V的波形的驅(qū)動脈沖時，從頭噴出的重量Iw為9.6ng時，因?yàn)樵谧罡唠妷篤H為20V的列中，噴出重量Iw為9.6ng的噴嘴的ID是“3”(參照框B)，所以決定噴出重量Iw’變?yōu)槟繕?biāo)重量的10.0ng的最高電壓VH為20.4V(參照框C)。
接著，把最高電壓VH為20.4V的波形的驅(qū)動脈沖外加到壓力發(fā)生元件上，計測這時從頭噴出的重量Iw”(步驟ST6第二過程)。接著，在步驟ST7中，確認(rèn)噴出重量Iw”是否為目標(biāo)重量的10.0ng，當(dāng)噴出重量Iw”為10.0ng時，確定噴嘴ID例如為“3”(步驟ST8第三過程)。而當(dāng)在步驟ST7中，判斷噴出重量Iw”不是目標(biāo)重量的10.0ng時，在步驟ST9中確認(rèn)重復(fù)數(shù)n是否為S，當(dāng)重復(fù)數(shù)n不是S時，把重復(fù)數(shù)n加1(步驟ST10)，再度返回步驟ST5。
然后，盡管在壓力發(fā)生元件上外加了最高電壓VH為20.4V的波形的驅(qū)動脈沖，但是，當(dāng)從頭噴出的重量Iw是9.8ng時，因?yàn)樵谧罡唠妷篤H為20.4V的列中，噴出重量Iw為9.8ng的噴嘴ID是“2”(參照框D)，所以用該噴嘴ID決定噴出重量Iw變?yōu)?0.0ng的最高電壓VH為20.6V(參照框D)。
接著，把求出的最高電壓VH為20.6V波形的驅(qū)動脈沖外加在再度壓力發(fā)生元件上，計測這時從頭噴出的重量Iw(步驟ST6)。接著，在步驟ST7中，確認(rèn)噴出重量Iw是否為目標(biāo)重量的10.0ng，當(dāng)噴出重量Iw為10.0ng時，確定噴嘴ID例如為“2”(步驟ST8)。而當(dāng)在步驟ST7中，判斷噴出重量Iw不是10.0ng時，在步驟ST9中確認(rèn)重復(fù)數(shù)n是否為S，當(dāng)重復(fù)數(shù)n不是S時，把重復(fù)數(shù)n加1，再度返回步驟ST5，重復(fù)同樣的過程。
另外，當(dāng)在步驟ST10中，重復(fù)數(shù)n為S時，在步驟ST11中，判斷頭為不合格品(步驟ST11)，結(jié)束噴嘴數(shù)據(jù)的決定作業(yè)(步驟ST12)。因此，常數(shù)S規(guī)定了重復(fù)數(shù)n的上限。這樣，對于一個頭10上形成的多個噴嘴211分別求出噴嘴ID，如果在壓力發(fā)生元件上外加具有與該噴嘴ID對應(yīng)的最高電壓VH的波形的驅(qū)動脈沖(參照圖8和圖9)，能從所有的噴嘴211噴出10.0ng的液態(tài)粘性物質(zhì)。
這里，可以把噴嘴ID自身作為噴嘴數(shù)據(jù)使用，但是在本實(shí)施例中，象參照圖8和圖9說明過的，使用了包含最高電壓VH不同的三個驅(qū)動脈沖COM1、COM2、COM3的驅(qū)動信號COM。因此，如圖11所示，把噴嘴ID“1”～“9”分組為組1、2、3，把屬于組1、2、3中的哪個組作為噴嘴數(shù)據(jù)使用。因此，對于噴嘴ID“1”～“3”的噴嘴211，當(dāng)外加同一驅(qū)動脈沖時，作為噴出重量比平均少的，分級為組1，屬于該組1的頭用最高電壓VH為20.6V的波形的第一驅(qū)動脈沖COM1(大點(diǎn)脈沖)驅(qū)動。
另外，如圖11所示，對于噴嘴ID“4”～“6”的噴嘴211，當(dāng)外加同一驅(qū)動脈沖時，作為以平均重量噴出的，分級為組2，屬于該組2的頭用最高電壓VH為20.0V的波形的第二驅(qū)動脈沖COM2(中點(diǎn)脈沖)驅(qū)動。如圖11所示，對于噴嘴ID“7”～“9”的噴嘴211，當(dāng)外加同一驅(qū)動脈沖時，作為噴出重量比平均多的，分級為組3，屬于該組3的頭用最高電壓VH為19.4V的波形的第三驅(qū)動脈沖COM3(小點(diǎn)脈沖)驅(qū)動。
(其它的實(shí)施例)另外，在所述實(shí)施例中，使用了在驅(qū)動信號的一個周期內(nèi)，作為噴出用的驅(qū)動脈沖，包含三個驅(qū)動脈沖COM1、COM2、COM3的驅(qū)動信號COM，但是，關(guān)于脈沖的數(shù)量并不局限于三個。例如，也可以使用在一個周期內(nèi)包含9個脈沖的驅(qū)動信號COM。這時，如果不把噴嘴211分組，而是把提供給各噴嘴211的噴嘴ID(“1”～“9”)自身作為噴嘴數(shù)據(jù)使用，因?yàn)槟芡饧痈m合于各噴嘴211的特性的驅(qū)動偏壓，所以能更準(zhǔn)確地消除噴嘴間的噴出重量的偏移。
另外，在所述實(shí)施例中，是在驅(qū)動信號COM的一個周期內(nèi)，從其中包含的三個驅(qū)動脈沖COM1、COM2、COM3中選擇一個脈沖的結(jié)構(gòu)，但是，也可以根據(jù)噴嘴數(shù)據(jù)，選擇多個驅(qū)動脈沖，噴出點(diǎn)。并且，在所述實(shí)施例中，是在驅(qū)動信號COM的一個周期內(nèi)，從三個驅(qū)動脈沖COM1、COM2、COM3中選擇一個脈沖的結(jié)構(gòu)，但是，如圖12所示，也可以是跨驅(qū)動信號COM的多個周期，例如兩個周期，選擇一個脈沖，或多個脈沖，噴出點(diǎn)的結(jié)構(gòu)。圖12是表示本發(fā)明的其它實(shí)施例中使用的驅(qū)動信號的波形的說明圖。
在圖12所示的例子中，驅(qū)動信號COM的一個周期的時間中包含的驅(qū)動脈沖COM1～COM4的波形中，如果使相鄰的兩個周期的波形重合，就是一致的波形?？墒?，也可以使驅(qū)動信號COM的一個周期的時間中包含的脈沖的波形隨著每個驅(qū)動信號COM的周期而變化。圖13是作為驅(qū)動信號COM的每個周期中使脈沖變化時的驅(qū)動信號COM的波形的一個例子，是表示相鄰的兩個周期之間使脈沖波形變化的驅(qū)動信號COM的波形的說明圖。并且，這樣，不只是在兩個周期之間使脈沖波形變化，當(dāng)然也可以跨多個周期使脈沖波形變化。
在圖13所示的例子中，在t1～t2的期間T10的驅(qū)動信號COM的波形是與圖12所示的波形同樣的波形，即是包含了驅(qū)動脈沖COM1～COM4的波形?？墒牵谠趖2～t3的期間T11的驅(qū)動信號COM的波形與期間T10的驅(qū)動信號COM的波形不同，變?yōu)榘?qū)動脈沖COM5～COM8的波形。如上所述，第一驅(qū)動脈沖COM1～第三驅(qū)動脈沖COM3是按照第一驅(qū)動脈沖COM1、第二驅(qū)動脈沖COM2、第三驅(qū)動脈沖COM3的順序把最大電位VPS降低設(shè)置，第四驅(qū)動脈沖COM4是用于使噴嘴211附近的液態(tài)粘性物質(zhì)微振動，防止液態(tài)粘性物質(zhì)的粘度增大和固化。可是，圖13所示的驅(qū)動脈沖COM5～驅(qū)動脈沖COM7并不遵守使其最大電位VPS象第一驅(qū)動脈沖COM1～第三驅(qū)動脈沖COM3按順序降低的規(guī)則性，而是按與此不同的規(guī)則性，使其具有波形形狀，設(shè)置為任意的波形形狀。
之所以象這樣在驅(qū)動信號COM的每個周期中使驅(qū)動信號COM的波形不同，是為了以高精度修正從各噴嘴211噴出的點(diǎn)的噴出重量的偏移，確保穩(wěn)定的噴出量，并且，提高噴出重量的分解度。即當(dāng)使用了圖12所示的驅(qū)動信號COM時，當(dāng)在多個周期中選擇了同一脈沖時只能得到大點(diǎn)脈沖、中點(diǎn)脈沖、小點(diǎn)脈沖的整數(shù)倍的噴出重量。另外，當(dāng)使用了圖12所示的驅(qū)動信號COM時，只能得到用大點(diǎn)脈沖、中點(diǎn)脈沖、小點(diǎn)脈沖的組合得到的噴出重量，對于修正噴嘴間的噴出重量的偏移，并且提高分解度是不夠的。
而在本實(shí)施例中，如圖13所示，在驅(qū)動信號COM的一個周期中生成波形不同的驅(qū)動信號COM，能噴出用大點(diǎn)脈沖、中點(diǎn)脈沖、小點(diǎn)脈沖噴出的重量以外的重量。按照預(yù)先測定的噴嘴的噴出重量的偏移，設(shè)置選擇多個周期中包含的脈沖的哪一個。因此，能穩(wěn)定地以高精度修正噴嘴的噴出重量的偏移。
另外，當(dāng)在多個周期中選擇了任意的脈沖時，因?yàn)閲姵鲋亓康慕M合的種類增多了，所以能提高分解度。在圖13所示的例子中，可以從期間T10所包含的三個驅(qū)動脈沖COM1、COM2、COM3中選擇多個脈沖，并且，在期間T11所包含的三個驅(qū)動脈沖COM5、COM6、COM7中選擇多個脈沖噴出點(diǎn)。如上所述，通過按照噴嘴重量的偏移變更脈沖的組合，能穩(wěn)定地以高精度修正各噴嘴的噴出重量的偏移，作為結(jié)果，能以高精度形成顯微透鏡等。
并且，如圖13所示，當(dāng)從期間T10和期間T11中分別選擇一個(或多個)脈沖，噴出液態(tài)粘性物質(zhì)時，可以把期間T10的驅(qū)動信號COM作為基準(zhǔn)，控制包含與期間T10所包含的驅(qū)動脈沖COM1～COM3不同的驅(qū)動脈沖COM5～COM7的期間T11的時間位置。即例如當(dāng)以一定的速度使頭移動，從各噴嘴噴出液態(tài)粘性物質(zhì)時，通過對于期間T10，調(diào)整期間T11的時間位置，能使各期間中噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出位置不同。結(jié)果，因?yàn)閷τ谝簯B(tài)粘性物質(zhì)的噴出區(qū)域，幾乎能均勻地噴出的液態(tài)粘性物質(zhì)，所以特別適合于制造高精度的濾色鏡、顯微透鏡等。在圖12和圖13所示的例子中，把驅(qū)動信號COM的一個周期作為使液態(tài)粘性物質(zhì)噴出的動作的單位，但是，也可以把驅(qū)動信號COM的多個周期組合的期間作為使液態(tài)粘性物質(zhì)噴出的動作的單位。
圖14和圖15分別是使用圖1所示的噴出裝置1制造的光互連裝置用的顯微透鏡陣列的說明圖。在噴出裝置1中，如果從頭10向圖14和圖15所示的由透明襯底構(gòu)成的對象物W的所定的位置噴出透明樹脂(液態(tài)粘性物質(zhì))后，進(jìn)行紫外線固化，在透明襯底的所定位置上形成所定大小的顯微透鏡D，就能制造光互連裝置用的顯微透鏡陣列100A、100B。
這里，在圖14所示的顯微透鏡陣列100A中，顯微透鏡D在X方向和Y方向排列為矩陣狀。另外，在圖15所示的顯微透鏡陣列100B中，在X方向和Y方向不規(guī)則地分散形成了顯微透鏡D。并且，顯微透鏡陣列除了光互連裝置，還被用于液晶面板中，但是，當(dāng)制造該液晶裝置用的顯微透鏡時，如果使用適用了本發(fā)明的噴出裝置，就沒有必要使用光刻技術(shù)，所以能提高顯微透鏡陣列的生產(chǎn)效率。
圖16是模式地表示使用了圖1所示的噴出裝置1制造的濾色鏡襯底的液晶裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖17(A)、(B)分別是表示濾色鏡襯底的各色配置的說明圖。在圖16中，液晶裝置300中，濾色鏡襯底350和TFT陣列襯底360通過所定的間隙貼合在一起，并且，在這些襯底之間密封了作為光電物質(zhì)的液晶370。在TFT陣列襯底360中，在透明襯底361的內(nèi)側(cè)的面上把象素開關(guān)用的TFT(圖中未顯示)以及象素電極362配置為矩陣狀，在其表面上形成了定向膜363。而在濾色鏡襯底350中，在透明襯底351上，在與象素電極362相對的位置形成了R、G、B的濾色鏡層320R、320G、320B，在其表面上形成了平坦化膜353、相對電極354、定向膜355。
在濾色鏡襯底350中，濾色鏡層320R、320G、320B的周圍被一層或階梯狀的隔板352包圍，并且在該隔板352的內(nèi)側(cè)形成。這里，濾色鏡層320R、320G、320B配置為圖17(A)所示的三角形配列或圖17(B)所示的成組排列等所定的布局。
在制造這樣的結(jié)構(gòu)的濾色鏡襯底350時，首先在透明襯底351的表面上形成了隔板352后，使用參照圖1說明了的噴出裝置1，向各隔板352的內(nèi)側(cè)供給了所定顏色的樹脂(液態(tài)粘性物質(zhì))后，使其紫外線固化或熱固化，形成濾色鏡層320R、320G、320B。因此，不用光刻技術(shù)就能形成濾色鏡層320R、320G、320B，從而能提高濾色鏡襯底350的生產(chǎn)效率。
圖18是模式地表示在使用了有機(jī)場致發(fā)光的顯示裝置中，構(gòu)成各象素的有機(jī)場致發(fā)光元件的結(jié)構(gòu)的部分剖視圖。在圖18所示的發(fā)光裝置400中，在襯底401上形成了顯示元件412，在其上形成形成了密封部(省略了圖示)。襯底401是在由玻璃構(gòu)成的透明的基體403上形成了電路元件部404的結(jié)構(gòu)。
在所述電路元件部404中，在襯底401上形成了由氧化硅構(gòu)成的襯底保護(hù)膜405，在該襯底保護(hù)膜405上形成了由多晶硅構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜406。在電路元件部404上形成了具有以下結(jié)構(gòu)的薄膜晶體管407。在半導(dǎo)體膜406上通過高濃度P離子的注入形成了源極區(qū)域406a和漏極區(qū)域406b。另外，未導(dǎo)入P離子的部分成為溝道區(qū)域406c。
在電路元件部404上形成了覆蓋襯底保護(hù)膜405和半導(dǎo)體膜406的透明的絕緣柵膜408，在該絕緣柵膜408上形成了由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極409，在該柵電極409和絕緣柵膜408上形成了第一層間絕緣膜410和第二層間絕緣膜411。柵電極409設(shè)置在與半導(dǎo)體膜406的溝道區(qū)域406c對應(yīng)的位置。
在第一、第二層間絕緣膜410、411上形成了與半導(dǎo)體膜406的源極、漏極區(qū)域406a、406b分別相連的接觸孔412、413。在第二層間絕緣膜411上形成的接觸孔412與第二層間絕緣膜411上設(shè)置的象素電極414相連。在第一層間絕緣膜410上形成的接觸孔413與電源線415相連。
顯示元件402具有多個象素電極414、在其上設(shè)置的發(fā)光元件部416、在其上設(shè)置的陰極417(相對電極)。象素電極414例如由ITO形成，在俯視圖中形成了近似矩形的形狀。該象素電極414的厚度最好在50～200nm的范圍中，特別是150nm左右。發(fā)光元件部416以象素電極414上分別形成的功能層418、劃分各功能層418的隔板部419為主體構(gòu)成。
所述功能層418由以下部分構(gòu)成在象素電極414上層疊的空穴注入/輸送層418a、和在空穴注入/輸送層418a上與之相鄰形成的發(fā)光層418b。使用適用了本發(fā)明的噴出裝置形成該功能層418?？昭ㄗ⑷?輸送層418a是用于提高發(fā)光層418b的發(fā)光效率、壽命等的元件特性，具有把空穴注入發(fā)光層418b中的功能，并且具有把空穴在空穴注入/輸送層418a內(nèi)部輸送的功能。作為空穴注入/輸送層418a的材料，能適用例如聚乙烯二羥基噻吩等聚噻吩的衍生物和磺化聚苯乙烯等的混合物。
發(fā)光層418b使從空穴注入/輸送層418a注入的空穴和從陰極417注入的電子再結(jié)合，得到發(fā)光。并且，發(fā)光層418b由紅色發(fā)光層R、綠色發(fā)光層G和藍(lán)色發(fā)光層B構(gòu)成。作為該發(fā)光層418b的材料，能使用有機(jī)發(fā)光材料，例如三(8-羥基喹啉)鋁絡(luò)合物(Alq)。
無機(jī)物隔板部419由位于襯底401一側(cè)的無機(jī)物隔板層419a(第一隔板層)和位于離開襯底401的位置的有機(jī)物隔板層419b(第二隔板層)層疊構(gòu)成。無機(jī)物隔板層419a的一部分和有機(jī)物隔板層419b的一部分在象素電極414的周緣部上形成。即無機(jī)物隔板層419a與象素電極414的周緣部平面重疊形成。有機(jī)物隔板層419b也同樣在與象素電極414的周緣部平面重疊的位置上形成。無機(jī)物隔板層419a比有機(jī)物隔板層419b更靠象素電極414的中央一側(cè)。
所述無機(jī)物隔板層419a最好由例如SiO2、TiO2等無機(jī)材料構(gòu)成。該無機(jī)物隔板層419a的厚度在50～200nm的范圍中，最好是150nm左右。有機(jī)物隔板層419b由具有耐熱性、耐溶劑性的材料例如丙烯酸類樹脂、聚酰亞胺樹脂等形成。該有機(jī)物隔板層419b的厚度在0.1～3.5μm的范圍中，最好是2μm左右。
圖19是模式地表示在使用了有機(jī)場致發(fā)光的顯示裝置中，構(gòu)成各象素的有機(jī)場致發(fā)光元件的其它結(jié)構(gòu)的部分剖視圖。如圖19所示，本有機(jī)EL裝置E是從配置了薄膜晶體管(TFTThin Film Transitor)的襯底502一側(cè)取出光的裝置。
本有機(jī)EL裝置E具有襯底502、襯底502上設(shè)置的發(fā)光元件(有機(jī)EL元件)503和TFT504。發(fā)光元件503具有由銦錫氧化物(ITOIndiumTin Oxide)等透明電極材料構(gòu)成的象素電極(陽極)523、能從該象素電極523輸送空穴的空穴輸送層570、含有有機(jī)發(fā)光材料的有機(jī)發(fā)光層560、在有機(jī)發(fā)光層560的上表面上設(shè)置的電子輸送層550和在該電子輸送層550的上表面上設(shè)置的由鋁(Al)或鎂(Mg)、金(Au)、銀(Ag)、鈣(Ca)等構(gòu)成的相對電極(陰極)522。而且，用適用了本發(fā)明的噴出裝置形成有機(jī)發(fā)光層560、空穴輸送層570等。
TFT504隔著以SiO2為主體的襯底保護(hù)層581設(shè)置在襯底502的表面上。該TFT504具有在襯底保護(hù)層581的上層形成的硅層541；在襯底保護(hù)層581的上層設(shè)置的柵絕緣層582，它覆蓋了該硅層541；在該柵絕緣層582的上表面中與硅層541相對的部分上設(shè)置的柵電極542；在柵絕緣層582的上層設(shè)置的第一層間絕緣膜583，它覆蓋了該柵電極542；通過跨所述柵絕緣層582和第一層間絕緣膜583開孔的接觸孔，與硅層541相連的源電極543；隔著柵電極542設(shè)置在與源電極543相對的位置，并且通過跨柵絕緣層582和第一層間絕緣膜583開孔的接觸孔，與硅層541相連的漏電極544；和在第一層間絕緣膜583的上層設(shè)置的第二層間絕緣膜584，它覆蓋了源電極543和漏電極544。
而且，在第二層間絕緣膜584的上表面上配置了象素電極523，象素電極523和漏電極544通過第二層間絕緣膜584上設(shè)置的接觸孔523a相連。另外，第二層間絕緣膜584的表面中的設(shè)置了發(fā)光元件(有機(jī)EL元件)的以外的部分和相對電極522之間設(shè)置了由合成樹脂構(gòu)成的隔板層521。
另外，硅層541中的隔著柵絕緣層582與柵電極542重疊的區(qū)域?yàn)闇系绤^(qū)域。另外，在硅層541中的溝道區(qū)域的源極一側(cè)設(shè)置了源極區(qū)域，而在溝道區(qū)域的漏極一側(cè)設(shè)置了漏極區(qū)域。其中，源極區(qū)域通過跨柵絕緣層582和第一層間絕緣膜583開孔的接觸孔，與源電極543相連。而漏極區(qū)域通過跨柵絕緣層582和第一層間絕緣膜583開孔的接觸孔，連接到由和源電極543同一層構(gòu)成的漏電極544上。象素電極523通過漏電極544與硅層541的漏極區(qū)域相連。
在本例子中，因?yàn)槭菑脑O(shè)置了TFT504的襯底502一側(cè)取出發(fā)光的光的結(jié)構(gòu)，所以最好襯底502是半透明的，這時使用玻璃或石英、樹脂等透明度高(即光透射率高)的材料。
另外，也可以在襯底上配置濾色鏡膜和包含發(fā)光性物質(zhì)的顏色變換膜或電介質(zhì)反射膜，控制發(fā)光的顏色。
也可以采用從與設(shè)置了TFT的襯底相對的一側(cè)取出來自發(fā)光層的發(fā)光的光的結(jié)構(gòu)。當(dāng)采用從與襯底相對的一側(cè)取出發(fā)光的光的結(jié)構(gòu)時，襯底502可以是不透明的，這時，能使用對氧化鋁等的陶瓷、不銹鋼等金屬薄板進(jìn)行了表面氧化等絕緣處理的材料、熱固化性樹脂、熱塑性樹脂等。
如上所述，在本發(fā)明中，根據(jù)從控制機(jī)構(gòu)輸出的波形選擇數(shù)據(jù)，開關(guān)電路從公共的驅(qū)動信號中選擇所定的驅(qū)動脈沖，外加到壓力發(fā)生元件上，所以能修正液態(tài)粘性物質(zhì)在噴嘴間的重量偏移。因此，當(dāng)從各噴嘴噴出液態(tài)粘性物質(zhì)時，一個點(diǎn)的重量在噴嘴間沒有偏移，所以能以高精度形成例如顯微透鏡等。
權(quán)利要求
1.一種用于向?qū)ο笪飮姵鲆簯B(tài)粘性物質(zhì)的噴出裝置，其特征在于具有具有與多個噴嘴分別對應(yīng)的多個壓力發(fā)生元件的頭；生成包含多個驅(qū)動脈沖的驅(qū)動信號的驅(qū)動信號生成機(jī)構(gòu)；輸出決定了把所述多個驅(qū)動脈沖中的哪一個外加到所述壓力發(fā)生元件上的波形選擇數(shù)據(jù)的控制機(jī)構(gòu)；從所述多個驅(qū)動脈沖中選擇所定的驅(qū)動脈沖，外加到所述壓力發(fā)生元件上的開關(guān)機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出裝置，其特征在于所述驅(qū)動信號的不同的多個周期中包含的多個驅(qū)動脈沖不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴出裝置，其特征在于當(dāng)向所述對象物噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)時，把所述驅(qū)動信號的多個周期設(shè)置為使所述液態(tài)粘性物質(zhì)噴出的動作的單位。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴出裝置，其特征在于當(dāng)向所述對象物噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)時，對于所述驅(qū)動信號的特定的第一周期的特定周期的時間位置能把所述驅(qū)動信號的一個周期作為單位調(diào)整。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的噴出裝置，其特征在于當(dāng)向所述對象物噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)時，在所述驅(qū)動信號的一個周期內(nèi)對一個所述壓力發(fā)生元件外加所述驅(qū)動脈沖。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的噴出裝置，其特征在于當(dāng)向所述對象物噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)時，在所述驅(qū)動信號的多個周期中對一個所述壓力發(fā)生元件外加所述驅(qū)動脈沖。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項(xiàng)所述的噴出裝置，其特征在于所述多個驅(qū)動脈沖分別具有以不同的重量噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)的波形；所述開關(guān)機(jī)構(gòu)根據(jù)所述波形選擇數(shù)據(jù)，從所述多個驅(qū)動脈沖中選擇一個脈沖，外加到所定的所述壓力發(fā)生元件上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項(xiàng)所述的噴出裝置，其特征在于所述多個驅(qū)動脈沖分別具有以不同的重量噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)的波形；所述開關(guān)機(jī)構(gòu)根據(jù)所述波形選擇數(shù)據(jù)，從所述多個驅(qū)動脈沖中選擇多個脈沖，外加到所定的所述壓力發(fā)生元件上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任意一項(xiàng)所述的噴出裝置，其特征在于所述控制機(jī)構(gòu)具有當(dāng)向所述多個壓力發(fā)生元件外加同一波形的驅(qū)動脈沖時，記錄與從所述多個頭分別噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的重量的偏移對應(yīng)的噴嘴數(shù)據(jù)的記錄部；根據(jù)該記錄部中記錄的所述噴嘴數(shù)據(jù)，生成所述波形選擇數(shù)據(jù)，并輸出。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴出裝置，其特征在于所述多個頭與向所述壓力發(fā)生元件外加同一波形的驅(qū)動脈沖時噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的重量對應(yīng)，把這些重量分為多個等級，把該分級的結(jié)果作為所述噴嘴數(shù)據(jù)記錄到所述記錄部中。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴出裝置，其特征在于所述噴嘴數(shù)據(jù)與向所述壓力發(fā)生元件外加同一波形的驅(qū)動脈沖時噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的重量對應(yīng)，對于所述多個頭分別記錄在所述記錄部中。
12.根據(jù)權(quán)利要求9～11中任意一項(xiàng)所述的噴出裝置，其特征在于為所述頭提供了該頭中形成的關(guān)于所述頭的所述噴嘴數(shù)據(jù)；并且該噴嘴數(shù)據(jù)從計測所述重量偏移的頭檢測裝置輸入到所述記錄部中。
13.一種噴出液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出裝置的控制方法，其特征在于至少具有使用第一驅(qū)動脈沖噴出液態(tài)粘性物質(zhì)的第一過程；和根據(jù)噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出重量的測定結(jié)果，修正所述第一驅(qū)動脈沖的第二過程。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴出裝置的控制方法，其特征在于重復(fù)所述第一過程和所述第二過程，直到從噴出裝置的各噴嘴噴出的所述液態(tài)粘性物質(zhì)的噴出重量變?yōu)閹缀蹙鶆颉?br> 15.一種向?qū)ο笪飮姵鲆簯B(tài)粘性物質(zhì)的噴出裝置的控制方法，其特征在于具有當(dāng)外加了成為基準(zhǔn)的波形的驅(qū)動脈沖時的噴出重量從目標(biāo)重量偏離時，決定了噴出重量變?yōu)樗瞿繕?biāo)重量的波形的第一過程；把求出的波形的驅(qū)動信號外加到所述壓力發(fā)生元件上，計測這時的噴出重量的的第二過程；和把該噴出重量和所述目標(biāo)重量比較，當(dāng)該噴出重量與所述目標(biāo)重量一致時，確定所述噴嘴數(shù)據(jù)的第三過程；當(dāng)該噴出重量從所述目標(biāo)重量偏移時，再度重復(fù)所述第一過程、第二過程以及第三過程。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的噴出裝置的控制方法，其特征在于預(yù)先確定重復(fù)所述第一過程、第二過程以及第三過程的上限次數(shù)，當(dāng)重復(fù)所述第一過程、第二過程以及第三過程到了該上限次數(shù)，還不能確定所述噴嘴數(shù)據(jù)時，則判斷所述頭為不合格品。
17.一種使用了權(quán)利要求1～14中的任意一項(xiàng)所述的噴出裝置的噴出方法，其特征在于所述頭在所述對象物上的所定位置噴出所述液態(tài)粘性物質(zhì)。
18.一種顯微透鏡陣列的制造方法，其特征在于使用權(quán)利要求17所述的噴出方法，在作為所述對象物的襯底上，把用于形成多個顯微透鏡的樹脂作為所述液態(tài)粘性物質(zhì)噴出。
19.一種光電裝置的制造方法，其特征在于使用權(quán)利要求17所述的噴出方法，在作為所述對象物的襯底上，把用于形成濾色鏡的樹脂作為所述液態(tài)粘性物質(zhì)噴出。
20.一種光電裝置的制造方法，其特征在于使用權(quán)利要求17所述的噴出方法，在作為所述對象物的襯底上，把含有光電物質(zhì)液體作為所述液態(tài)粘性物質(zhì)噴出。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的光電裝置的制造方法，其特征在于所述光電物質(zhì)是用于產(chǎn)生場致發(fā)光的熒光性有機(jī)化合物。
全文摘要
一種噴出裝置，在噴出裝置中，根據(jù)從控制機(jī)構(gòu)輸出的波形選擇數(shù)據(jù)，開關(guān)電路從驅(qū)動信號COM中選擇所定的驅(qū)動脈沖COM1、COM2、COM3，外加到壓力發(fā)生元件上，所以能修正液態(tài)粘性物質(zhì)在噴嘴間的重量偏移。利用該噴出裝置能以高精度形成顯微透鏡等。
文檔編號H05B33/10GK1398723SQ0212654
公開日2003年2月26日 申請日期2002年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月23日
發(fā)明者臼田秀范 申請人:精工愛普生株式會社