專利名稱：用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置。
背景技術(shù)：
目前國內(nèi)外在有機(jī)發(fā)光顯示器的制作過程中，所使用的蒸鍍方式采用將待蒸鍍的基片、蒸發(fā)器置放在真空蒸發(fā)腔中，待蒸鍍的基片位于蒸發(fā)器的上方，所述基片的下表層貼有一層掩模板，蒸發(fā)器里放置鍍膜用的固態(tài)或粉末態(tài)的有機(jī)小分子材料，蒸鍍時(shí)加熱蒸發(fā)器至預(yù)定溫度，使置放于其中的有機(jī)小分子材料升華或蒸發(fā)，最終，沉積在基片上，從而制成各種有機(jī)電致發(fā)光顯示器。
但是這種鍍膜工藝中的蒸鍍裝置存在一定的缺陷，主要是由于有機(jī)小分子材料本身導(dǎo)熱性能并不強(qiáng)，因此，蒸發(fā)器中最先升華的往往是位于蒸發(fā)器的內(nèi)壁周圍的那部分有機(jī)小分子材料，而位于蒸發(fā)器中心部位的有機(jī)小分子材料則不易受熱，難以升華。這會(huì)使得有機(jī)小分子材料不能完全利用，由于蒸鍍發(fā)光顯示器發(fā)光層所用的有機(jī)小分子材料價(jià)格特別昂貴，比如常用的有機(jī)小分子材料NPB的價(jià)格達(dá)90美元/克，所以此種蒸鍍裝置的有機(jī)小分子材料利用率很低致使蒸鍍成本較高。
另外，這種結(jié)構(gòu)的蒸鍍裝置由于將待蒸鍍的基片與蒸發(fā)源置于同一真空腔室中，當(dāng)需要重新添加蒸發(fā)源中有機(jī)小分子材料的情況時(shí)，必須在大氣狀態(tài)下將該真空腔室打開，裝入有機(jī)小分子材料后再關(guān)閉真空室門，重新抽真空，對(duì)生產(chǎn)效率影響很大。在生產(chǎn)中，經(jīng)常需要添加或更換蒸發(fā)源中的主材料和摻雜材料，因此，這種結(jié)構(gòu)的蒸鍍裝置的缺陷就更加明顯。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是旨在提供一種可以有效地提高有機(jī)小分子材料的利用率的蒸鍍裝置。
本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供一種生產(chǎn)效率更高的蒸鍍裝置。
根據(jù)本實(shí)用新型，一種用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，包括一可以被密封的蒸發(fā)器，所述的蒸發(fā)器的內(nèi)腔至少包括，一個(gè)可以置放有機(jī)小分子材料的第一腔室，以及一個(gè)供所述的有機(jī)小分子材料升華的第二腔室，所述的第一腔室與第二腔室相互連通；還包括第一加熱器，所述的第一加熱器位于所述的蒸發(fā)器圍繞第一腔室的壁體之中或壁體的外側(cè)；還包括蒸鍍室，貼有掩模板的待蒸鍍的基片置于所述的蒸鍍室內(nèi)，所述的蒸鍍室與所述的第二腔室相通，其特征在于所述的蒸鍍裝置還包括一個(gè)氣源，所述的氣源通過第一管道與所述的蒸發(fā)器的內(nèi)腔相通并可以通過第一管道向所述的有機(jī)小分子材料的表面輸送熱氣。
本實(shí)用新型還可進(jìn)一步將所述的蒸鍍室設(shè)置在蒸發(fā)器之外，可以被密封的蒸鍍室通過第二管道與所述的第二腔室相通，所述的第二管道上設(shè)有控制管道開合的閥門。
由于在本實(shí)用新型中另外設(shè)置了由氣源和第一管道構(gòu)成的可以向有機(jī)小分子材料的表面輸送熱氣的獨(dú)立的加熱系統(tǒng)，因此，實(shí)際使用中可以由第一加熱器對(duì)有機(jī)小分子材料進(jìn)行預(yù)加熱，等到有機(jī)小分子材料接近升華狀態(tài)時(shí)，可以通過增設(shè)的加熱系統(tǒng)向其表面輸送熱氣，使其表面溫度繼續(xù)升高達(dá)到或略高于有機(jī)小分子材料蒸發(fā)溫度，這樣，置放在第一腔室中的有機(jī)小分子材料升華時(shí)總是自其表面由上而下依次升華，并由所輸送氣體攜帶至基片上，不會(huì)出現(xiàn)有機(jī)小分子材料受熱不均勻、蒸鍍濃度不穩(wěn)定的現(xiàn)象，既有利于提高蒸鍍質(zhì)量，又可以大幅度提高有機(jī)小分子材料的利用率，從而有效地降低生產(chǎn)成本。
由于將蒸鍍室設(shè)置在蒸發(fā)器之外，重新添加蒸發(fā)器中的有機(jī)小分子材料后，無需再對(duì)蒸鍍室重新抽真空，從而可以提高生產(chǎn)效率。
本實(shí)用新型的目的，特征及優(yōu)點(diǎn)將通過實(shí)施例結(jié)合附圖進(jìn)行詳細(xì)說明。


圖1是本實(shí)用新型用于用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型用于用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置另一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體的實(shí)施方式參照?qǐng)D1，一種用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，包括一可以被密封的蒸發(fā)器3，所述的蒸發(fā)器3的內(nèi)腔2至少包括，一個(gè)可以置放有機(jī)小分子材料5的第一腔室21，以及一個(gè)供所述的有機(jī)小分子材料升華的第二腔室22，所述的第一腔室21與第二腔室22相互連通；還包括第一加熱器4，所述的第一加熱器4位于所述的蒸發(fā)器3圍繞第一腔室21的壁體之中或壁體的外側(cè)；還包括蒸鍍室9，貼有掩膜板92的待蒸鍍的基片91置于所述的蒸鍍室9內(nèi)，所述的蒸鍍室9與所述的第二腔室22相通，實(shí)際上，蒸鍍室9在本實(shí)施例中可以與第二腔室22共用，即貼有掩膜板92的待蒸鍍的基片91直接置于第二腔室22內(nèi)，如圖1中所示，基片91位于第二腔室22的上方，掩膜板92則貼于基片91的下表層；所述的蒸鍍裝置還包括一個(gè)氣源7，所述的氣源7通過第一管道8與所述的蒸發(fā)器3的內(nèi)腔2相通并可以通過第一管道8向所述的有機(jī)小分子材料5的表面輸送熱氣。如圖1中所示，第一管道8從蒸發(fā)器3的底部穿入所述的第一腔室21，第一管道8在第一腔室21內(nèi)的開口處略高于有機(jī)小分子材料5的表面，這樣，從第一管道8輸入的熱氣首先加熱處于表面的有機(jī)小分子材料5，當(dāng)然，第一管道8的開口也可以在內(nèi)腔2內(nèi)的其他地方，只要能夠使得有機(jī)小分子材料5的表面部分先被第一管道8輸入的熱氣加熱即可。
由于在本實(shí)用新型中另外設(shè)置了由氣源7和第一管道8構(gòu)成的可以向有機(jī)小分子材料5的表面輸送熱氣的獨(dú)立的加熱系統(tǒng)，因此，實(shí)際使用中，若所使用的有機(jī)小分子材料的蒸發(fā)溫度為T，可以由第一加熱器4對(duì)該有機(jī)小分子材料進(jìn)行預(yù)加熱，升溫至T1，T1的值略微低于T的值，使得該有機(jī)小分子材料接近升華狀態(tài)，此時(shí)，可以通過增設(shè)的加熱系統(tǒng)向其表面輸送溫度為T2的熱氣，T2的值略微高于T的值，所輸送的熱氣最好是不會(huì)與該有機(jī)小分子材料發(fā)生反應(yīng)的氣體，這樣可以保證有機(jī)小分子材料原有的性能不變化；經(jīng)該熱氣源第二次加熱后，有機(jī)小分子材料的表面溫度繼續(xù)升高達(dá)到或略高于其蒸發(fā)溫度T，此時(shí)，表面部分的有機(jī)小分子材料開始升華，采用本實(shí)用新型后，置放在第一腔室21中的有機(jī)小分子材料5升華時(shí)總是自其表面由上而下依次升華，并由所輸送氣體攜帶至基片上，不會(huì)出現(xiàn)不同部位的有機(jī)小分子材料5受熱不均勻、氣態(tài)的有機(jī)小分子材料濃度前后不穩(wěn)定的現(xiàn)象，既有利于提高蒸鍍質(zhì)量，又可以大幅度提高有機(jī)小分子材料5的利用率，從而有效地降低生產(chǎn)成本。同時(shí)。本實(shí)用新型由于有兩套獨(dú)立的加熱系統(tǒng)，還產(chǎn)生了一個(gè)另外的效果即可以通過控制進(jìn)入內(nèi)腔2的熱氣體與加熱器4的溫度差，達(dá)到控制有機(jī)小分子材料5的升華時(shí)間和生產(chǎn)節(jié)拍。
本實(shí)用新型還可以在氣源7與第一管道8之間，或直接在第一管道8上進(jìn)一步設(shè)置一個(gè)氣體流量計(jì)71，如通常的質(zhì)量或體積流量計(jì)，這樣設(shè)置的優(yōu)點(diǎn)是可以有效地控制進(jìn)入內(nèi)腔2內(nèi)的加熱氣體總量，達(dá)到控制有機(jī)小分子材料5的升華速率，這一點(diǎn)對(duì)于蒸鍍具有不同的或特定要求的有機(jī)顯示器膜片往往很重要，生產(chǎn)的可控性得到進(jìn)一步的加強(qiáng)。
參照?qǐng)D2，本實(shí)用新型還可進(jìn)一步將所述的蒸鍍室9設(shè)置在蒸發(fā)器3之外，可以被密封的蒸鍍室9通過第二管道6與所述的第二腔室22相通，所述的第二管道6上設(shè)有控制管道開合的閥門61。這樣設(shè)置的優(yōu)點(diǎn)是在需要取出基片的場(chǎng)合，只要將蒸鍍室9打開即可，而在需要添加或更換蒸發(fā)器有機(jī)小分子材料的情況時(shí)，只要將蒸發(fā)器3打開，由于第二管道6上設(shè)有控制管道開合的閥門61，則在再次蒸鍍時(shí)，無需對(duì)密閉的蒸鍍室9重新抽真空，從而可以顯著地提高生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求1.一種用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，包括一可以被密封的蒸發(fā)器(3)，所述的蒸發(fā)器(3)的內(nèi)腔(2)至少包括，一個(gè)可以置放有機(jī)小分子材料(5)的第一腔室(21)，以及一個(gè)供所述的有機(jī)小分子材料升華的第二腔室(22)，所述的第一腔室(21)與第二腔室(22)相互連通；還包括第一加熱器(4)，所述的第一加熱器(4)位于所述的蒸發(fā)器(3)圍繞第一腔室(21)的壁體之中或壁體的外側(cè)；還包括蒸鍍室(9)，貼有掩模板(92)的待蒸鍍的基片(91)置于所述的蒸鍍室(9)內(nèi)，所述的蒸鍍室(9)與所述的第二腔室(22)相通，其特征在于所述的蒸鍍裝置還包括一個(gè)氣源(7)，所述的氣源(7)通過第一管道(8)與所述的蒸發(fā)器(3)的內(nèi)腔(2)相通并可以通過第一管道(8)向所述的有機(jī)小分子材料(5)的表面輸送熱氣。
2.如權(quán)利要求1所述的用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，其特征在于所述的蒸鍍室(9)設(shè)置在蒸發(fā)器(3)之外，可以被密封的蒸鍍室(9)通過第二管道(6)與所述的第二腔室(22)相通，所述的第二管道(6)上設(shè)有控制管道開合的閥門(61)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，其特征在于在氣源(7)與第一管道(8)之間或者在第一管道(8)上設(shè)置一個(gè)氣體流量計(jì)(71)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于制作有機(jī)電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，旨在解決現(xiàn)有的蒸鍍裝置對(duì)有機(jī)小分子材料的利用率較低等問題，通過在現(xiàn)有的蒸鍍裝置中的蒸發(fā)器(3)上增設(shè)一個(gè)氣源(7)，所述的氣源(7)通過第一管道(8)與所述的蒸發(fā)器(3)的內(nèi)腔(2)相通并可以通過第一管道(8)向蒸發(fā)器(3)內(nèi)的有機(jī)小分子材料(5)的表面輸送熱氣，使得有機(jī)小分子材料(5)蒸發(fā)時(shí)從表面自上而下依次蒸發(fā)，提高了有機(jī)小分子材料(5)的利用率；此外，本實(shí)用新型還可以將蒸鍍室(9)設(shè)置在蒸發(fā)器(3)之外，蒸鍍室(9)通過帶有閥門的第二管道(6)與蒸發(fā)器(3)的內(nèi)腔相通，這樣，可以在添加有機(jī)小分子材料時(shí)不至于影響生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H05B33/10GK2619451SQ0322607
公開日2004年6月2日 申請(qǐng)日期2003年5月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月8日
發(fā)明者周衛(wèi)華, 付東, 張泓, 尚婭嫻, 舒逸, 姜翠寧, 黃啟耀 申請(qǐng)人:深圳市創(chuàng)歐科技有限公司