專(zhuān)利名稱(chēng)：粘合玻璃罩的方法以及固化密封劑的掩模的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及粘合玻璃罩的方法和固化密封劑的掩模，具體地說(shuō)能夠?qū)⒎峙涞拿芊鈩┩耆袒粫?huì)對(duì)基板上所形成的有源區(qū)域有任何破壞的粘合玻璃罩的方法，以及用于固化在其中所使用的密封劑的掩模。
背景技術(shù)：
有機(jī)電致發(fā)光是一種通過(guò)復(fù)合由陽(yáng)極注入的空穴和由陰極注入的電子在(低分子或者高分子)有機(jī)材料薄膜中形成激子，并且由形成激子時(shí)獲得的能量產(chǎn)生特定波長(zhǎng)的光的現(xiàn)象。
利用上面現(xiàn)象的有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備具有如圖1所示的基本結(jié)構(gòu)。
該有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)包括玻璃基板1，形成于玻璃基板1的上側(cè)且用作陽(yáng)極的氧化銦錫層2(以下稱(chēng)之為“ITO層”)，絕緣層，有機(jī)材料成3，和用作陰極的金屬層4，它們的順序如上。形成壁W以在ITO層2上分開(kāi)沉積金屬層4。
圖2是圖1所示的有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備的平面圖。為方便起見(jiàn)，圖2示出從該設(shè)備中除去圖1所示的罩6的狀態(tài)。如圖2所示，形成于有源區(qū)域A的多個(gè)ITO層2和多個(gè)金屬層4擴(kuò)展到有源區(qū)域A的外部，并且層2和4的每個(gè)末端部分都集中在基板1的某一部分以形成襯墊P。
在基板1上通過(guò)上述處理形成由元件2，3，4和W組成的有源區(qū)域A后，通過(guò)密封劑5的方式將罩6粘合到基板1上。粘合該罩6的區(qū)域是基板的外部，也即，基板1的有源區(qū)域A的外部區(qū)域S1和S2。該罩6將整個(gè)有源區(qū)域A與外界完全隔離，僅僅襯墊P暴露在外面，擴(kuò)展到有源區(qū)域A的外部的ITO層2(數(shù)據(jù)線(xiàn))和金屬層4(掃描線(xiàn))集中到該襯墊P上。
如圖1所示，在罩6和基板1之間形成封閉的空間。置于其中的元件2，3，4和W不會(huì)受外界環(huán)境，例如潮氣等的影響。另一方面，該罩6由金屬或者玻璃制成，紫外線(xiàn)可固化粘合劑用作密封劑5。此外，由有機(jī)材料制得的膠帶7把作為潮氣吸收劑的吸氣劑8粘附在該罩6的中部的下表面。
下面參照?qǐng)D1，圖2和圖3簡(jiǎn)要地描述上述將金屬罩6粘合到基板1的處理。
在將吸氣劑粘附到裝載在罩盤(pán)(cap tray)(未示出)中的每個(gè)金屬罩6之后，將密封劑分配在該罩6的基板粘合區(qū)(周邊表面)上。在將該罩6和基板1對(duì)準(zhǔn)之后，將罩6粘合到在形成于基板1上的有源區(qū)域A的外測(cè)所形成的區(qū)域S1和S2。為了將罩6穩(wěn)固地粘合到基板上，在基板1的罩粘合區(qū)域S1和S2上選擇性地照射紫外線(xiàn)以固化密封劑S。與此同時(shí)，由于罩6是由紫外線(xiàn)不能透過(guò)的金屬材料制成的，因此紫外線(xiàn)照射到玻璃基板1上。
另一方面，如果紫外線(xiàn)照射到有源區(qū)域A，那么在有源矩陣設(shè)備中的驅(qū)動(dòng)晶體管的閾值電壓會(huì)改變，并且在無(wú)源矩陣設(shè)備中的有機(jī)材料會(huì)受到破壞，從而對(duì)該設(shè)備的發(fā)光功能產(chǎn)生嚴(yán)重的影響。
為了解決這些問(wèn)題，希望紫外線(xiàn)不要照射到基板的有源區(qū)域A上。因而，使用了用于固化密封劑的掩模來(lái)將紫外線(xiàn)選擇性地照射到基板(對(duì)應(yīng)于密封劑的部分)上。
圖3是顯示在固化密封劑的處理中所采用的掩模和該有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備之間關(guān)系的視圖。為方便起見(jiàn)，圖3僅僅示出兩個(gè)有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備(以下稱(chēng)之為“設(shè)備”)，除有源區(qū)域A之外的其他元件在這里沒(méi)有示出。
用于固化該密封劑的掩模m是由具有低于玻璃的折射率的石英制得的，多個(gè)由鉬(Mo)薄膜或者鉻(Cr)薄膜構(gòu)成的不透光層m1形成于與基板10上所形成的有源區(qū)域A相對(duì)應(yīng)的區(qū)域。另一方面，在將裝載于罩盤(pán)(未示出)上的罩粘合到基板的處理中，對(duì)基板1施加一定的壓力，并且該壓力傳遞到與基板1接觸的掩模m上。因此，為了防止因壓力造成的形變，該掩模m應(yīng)該具有一定的厚度。
由位于掩模m上方的紫外燈(未示出)所產(chǎn)生的紫外線(xiàn)透過(guò)掩模m，然后照射到基板1上。該紫外線(xiàn)透過(guò)玻璃基板1以固化密封劑。在上面的處理中，另一方面，該紫外線(xiàn)到達(dá)但是不能透過(guò)不透光層m1。因此，該紫外線(xiàn)不能到達(dá)基板1上與不透光層m1對(duì)應(yīng)的有源區(qū)域A。
假設(shè)透過(guò)掩模m的紫外線(xiàn)垂直照射到基板1上，那么由于使用其上形成有不透光層m1的掩模m，本來(lái)要照射到每個(gè)有源區(qū)域A的該紫外線(xiàn)被完全擋住。然而，如圖4所示，對(duì)于透過(guò)掩模m的紫外線(xiàn)，其垂直照射到基板1上是理想的(圖4中的a)，但是，由于紫外線(xiàn)產(chǎn)生設(shè)備的結(jié)構(gòu)的緣故，這種紫外線(xiàn)的理想輻射是難于期望的。
也即，在紫外線(xiàn)產(chǎn)生設(shè)備中，由光源發(fā)射的紫外線(xiàn)在作為構(gòu)成紫外線(xiàn)產(chǎn)生設(shè)備的部件之一的玻璃片上發(fā)生反射，然后照射到掩模m上。因而，經(jīng)過(guò)玻璃片漫反射的紫外線(xiàn)會(huì)以各種反射角照射到掩模m上。
一旦散射的紫外線(xiàn)照射到由石英制得且對(duì)某一入射角具有一定厚度的掩模m上，該紫外線(xiàn)在掩模m的表面折射，然后照射到基板1的有源區(qū)域A上(圖4中的b)。此外，盡管紫外線(xiàn)以垂直于掩模m的方向照射，該紫外線(xiàn)能夠在掩模m的表面發(fā)生折射，因此之后會(huì)照射到基板1的有源區(qū)域A上(圖4中的c)。
由于上面理由，照射到有源區(qū)域A的紫外線(xiàn)對(duì)于該設(shè)備的功能影響很大。因此，在該固化密封劑的處理中，要求該掩模能夠防止紫外線(xiàn)照射到有源區(qū)域A上。
另一方面，從有源區(qū)域A的ITO層(圖1中的2)和金屬層(圖1中的4)延伸出的金屬線(xiàn)形成于粘合罩6的區(qū)域S1和S2上，因此，透過(guò)掩模m的紫外線(xiàn)中的一部分被這些金屬線(xiàn)擋住，使得紫外線(xiàn)不能照射到密封劑S上。
而且，在該區(qū)域S1和S2(圖2)中，在這些金屬線(xiàn)上分配的密封劑6不能完全固化。因而，為了完全固化該密封劑，希望使粘合罩6的區(qū)域S1和S2(圖2)內(nèi)的金屬線(xiàn)的寬度最小。
而且，在通過(guò)使用掩模m將紫外線(xiàn)照射到基板1上的情況下，需要掩模m和基板1(也即罩6)之間進(jìn)行精確對(duì)準(zhǔn)。

發(fā)明內(nèi)容
因而，本發(fā)明的目的是解決上面固化密封劑的處理中的需求，該密封劑是用來(lái)將金屬罩粘合到基板的，并且提供一種粘合玻璃罩的方法，其能夠不使用掩模而將紫外線(xiàn)僅僅照射到基板的密封劑分配區(qū)并且能夠完全的固化在金屬線(xiàn)上分配的密封劑。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供用于粘合玻璃罩的掩模，其能夠有效地?fù)踝≌丈涞叫纬捎诨迳系挠性磪^(qū)域的紫外線(xiàn)以保護(hù)該有源區(qū)域。
根據(jù)本發(fā)明的粘合玻璃罩的方法包括步驟在玻璃對(duì)應(yīng)于基板的一側(cè)上形成多個(gè)凹口；在玻璃與對(duì)應(yīng)著該基板的表面相對(duì)的表面上形成多個(gè)不透光層；在玻璃的基板粘合區(qū)上或者在基板的罩粘合區(qū)上分配密封劑；以形成于該基板的每個(gè)有源區(qū)域被容納在玻璃的每個(gè)凹口內(nèi)的狀態(tài)將玻璃粘合到基板；通過(guò)將紫外線(xiàn)照射到玻璃的沒(méi)有粘合到基板的那一側(cè)，將在該密封分配區(qū)分配的密封劑固化；以及將粘合在一起的玻璃和基板切割以制得單獨(dú)的設(shè)備。
這些不透光層和形成于該基板上的有源區(qū)域一一對(duì)應(yīng)，并且這多個(gè)不透光層中的每個(gè)不透光層都是通過(guò)濺射或者噴射處理所形成的鉻或者鉬薄膜。
根據(jù)本發(fā)明的粘合玻璃罩的另一方法包括步驟在其上形成有多個(gè)凹口的玻璃的基板粘合區(qū)上或者在基板的罩粘合區(qū)上分配密封劑；以形成于該基板的每個(gè)有源區(qū)域被容納在該玻璃的每個(gè)凹口內(nèi)的狀態(tài)將玻璃粘合到基板；將用于固化該密封劑的掩模放在該玻璃上，并且通過(guò)該掩模對(duì)該密封劑分配區(qū)選擇性地照射紫外線(xiàn)以固化該密封劑；以及將該粘合在一起的玻璃和基板切割以制得單獨(dú)的設(shè)備。
該掩模是由石英制得的，并且在對(duì)應(yīng)玻璃的表面上形成多個(gè)不透光層，每個(gè)不透光層對(duì)應(yīng)該基板的有源區(qū)域。
另外，該不透光層能夠形成于與玻璃對(duì)應(yīng)的第一表面上和與該第一步相對(duì)的第二表面上，并且不透光層對(duì)應(yīng)該基板的有源區(qū)域。
此外，希望形成于第一表面的每個(gè)不透光層的寬度(面積)比形成于第二表面的每個(gè)第二不透光層的要大。
根據(jù)本發(fā)明的用于固化的掩?？蓱?yīng)用于將金屬罩粘合到基板的處理。在這種情況下，該掩模能夠通過(guò)擋住將要照射到該基板上的紫外線(xiàn)中的一部分而保護(hù)在該基板上所形成的有源區(qū)域。


從結(jié)合下面附圖所進(jìn)行的具體描述中，可以更加清楚地理解本發(fā)明。
圖1是示意性顯示有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備的基本構(gòu)造的截面圖；圖2是圖1所示的有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備去掉罩后的平面圖；圖3是顯示在固化密封劑處理中所使用的現(xiàn)有掩模和有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備之間的關(guān)系的視圖；圖4是用來(lái)解釋紫外線(xiàn)路徑的掩模和基板的局部放大圖；圖5是顯示玻璃和基板之間關(guān)系的視圖，其用來(lái)解釋根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的罩粘合方法；圖6是顯示玻璃和基板之間關(guān)系的視圖，其用來(lái)解釋根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的罩粘合方法圖7是顯示玻璃和基板之間關(guān)系的視圖，其用來(lái)解釋根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的罩粘合方法；圖8是顯示通過(guò)圖7所示的掩模的方式將金屬罩粘合到基板上的狀態(tài)的視圖。
優(yōu)選實(shí)施例以下參照這些附圖詳細(xì)地描述本發(fā)明的這些實(shí)施例。在整個(gè)附圖中使用相同的數(shù)字標(biāo)記表示相同或者相似的元件。
第一實(shí)施例圖5是顯示玻璃和基板之間關(guān)系的視圖，其用來(lái)解釋根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的玻璃罩粘合方法，其示出其上形成有多個(gè)有源區(qū)域A的基板10和單塊玻璃11。在玻璃11上形成多個(gè)凹口11A以容納基板10上所形成的相應(yīng)有源區(qū)域A。
下面將描述根據(jù)這個(gè)實(shí)施例所述的玻璃罩的粘合方法。
首先，在用于形成玻璃罩的玻璃11的上表面(與對(duì)應(yīng)于基板10的那個(gè)表面相對(duì)的)形成多個(gè)不透光層11B。該不透光層11B是通過(guò)濺射或者噴砂處理形成的鉻涂覆層或者鉬涂覆層，每個(gè)不透光層11B對(duì)應(yīng)基板10上形成的每個(gè)有源區(qū)域A。
在玻璃11上所形成的每個(gè)凹11A的底面上粘附吸氣劑(未示出)，然后在玻璃11的基板粘合區(qū)(凹口11A的四周表面)或者基板10的罩粘合區(qū)S1和S2(圖2)上分配密封劑S。
在分配密封劑S后，將對(duì)應(yīng)狀態(tài)的玻璃11和基板10粘合為形成于基板10上的每個(gè)有源區(qū)域A被容納在玻璃11的每個(gè)凹口11A中的狀態(tài)。
在這種狀態(tài)下，將紫外線(xiàn)照射到玻璃11的上側(cè)(與基板對(duì)應(yīng)側(cè)相對(duì))，以固化分配的密封劑S，然后將粘合起來(lái)的玻璃11和基板10切割成單獨(dú)的設(shè)備。這時(shí)，每個(gè)切割的玻璃起到單獨(dú)玻璃罩的作用，將基板10的每個(gè)有源區(qū)域A密封起來(lái)。
在上面的步驟中，下面描述使用紫外線(xiàn)固化密封劑的步驟。
與金屬相對(duì)，紫外線(xiàn)能夠透過(guò)玻璃。因而，在將玻璃11粘合到基板10上之后，不必為了固化在基板10的罩粘合區(qū)(圖2中的S1和S2)上分配的密封劑S而改變基板10和玻璃11的位置，以把基板10導(dǎo)向紫外線(xiàn)產(chǎn)生設(shè)備，如圖3所示。
另一方面，在用于形成玻璃罩的玻璃11的上表面(與對(duì)應(yīng)基板10的表面相對(duì)的)上形成多個(gè)不透光層11B，其每個(gè)都與形成于基板10上的有源區(qū)域A對(duì)應(yīng)。
因而，紫外線(xiàn)不能透過(guò)玻璃11的不透光層11B，因此透過(guò)除不透光層11B之外的其他區(qū)域的紫外線(xiàn)照射到密封劑分配區(qū)而將密封劑S固化。這時(shí)，從ITO層和金屬層延伸出的金屬線(xiàn)(圖2中的2和4)形成于基板10的罩粘合區(qū)(圖2中的S1和S2)，并且將密封劑S分配在金屬線(xiàn)2和4上。因而，紫外線(xiàn)不受這些金屬線(xiàn)的影響而照射到密封劑S上。因此，該分配的密封劑S被紫外線(xiàn)完全固化，并且玻璃11和基板10能夠保持牢固的粘合狀態(tài)。
如上所述，另一方面，在基板10的每個(gè)有源區(qū)域A中，在有機(jī)材料層(圖1中的3)上沉積金屬層(圖4中的4)。因而，在本發(fā)明中，紫外線(xiàn)照射到玻璃11的對(duì)應(yīng)于紫外燈的地方，有機(jī)材料層因?yàn)樵摻饘賹佣粫?huì)暴露于紫外線(xiàn)中。結(jié)果，能夠得以避免因紫外線(xiàn)引起的對(duì)有機(jī)材料層的任何損害。
在完成固化密封劑的處理之后，在特定位置(圖5中的a，b和c)切割基板10和玻璃11，以制得多個(gè)分開(kāi)的有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備。
在如上所述的粘合玻璃罩的方法中，紫外線(xiàn)照射玻璃11是在先將玻璃11向著紫外源放置的狀態(tài)下進(jìn)行的。因而，在基板10的罩粘合區(qū)S1和S2上分配的密封劑S能夠被完全固化而對(duì)金屬線(xiàn)2和4沒(méi)有任何影響。因而，能夠?qū)τ诨?0的罩粘合區(qū)S1和S2內(nèi)的金屬線(xiàn)2和4的寬度將一些邊緣固定。另外，因?yàn)槊總€(gè)有源區(qū)域A中的金屬層之故而使得有機(jī)材料層不暴露于紫外線(xiàn)中，它不會(huì)受到損壞。
具體地說(shuō)，不透光層11B的每個(gè)對(duì)應(yīng)于基板10上所形成的有源區(qū)域A，且是在玻璃11本身上形成的，因此，在固化密封劑處理期間，能夠不使用掩模來(lái)保護(hù)該有源區(qū)域A不受紫外線(xiàn)照射，這樣不需要另外的處理來(lái)調(diào)整掩模和玻璃(和基板)之間的對(duì)準(zhǔn)。
第二實(shí)施例圖6是顯示在固化密封劑中使用的掩模M，基板10和玻璃20之間關(guān)系的視圖，其用來(lái)解釋根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例所述的粘合玻璃罩的方法。另一方面，在圖6中將采用與圖5相同的數(shù)字標(biāo)記來(lái)表示相同的元件。
圖6示出其上形成有多個(gè)有源區(qū)域A的基板10和單塊玻璃21，在玻璃21上形成有多個(gè)凹口21A(用來(lái)容納基板10上形成的每個(gè)有源區(qū)域A)。
下面描述根據(jù)這個(gè)實(shí)施例所述的粘合玻璃罩的方法。
首先，在玻璃21上所形成的凹口21A的底表面(圖6中的上表面)上粘附每個(gè)吸氣劑，然后在玻璃21的基板粘合區(qū)(每個(gè)凹口21A的四周表面)或者基板10的罩粘合區(qū)(圖2中的S1和S2)上分配密封劑S。
分配密封劑S后，以形成于基板10上的每個(gè)有源區(qū)域A被容納在玻璃21的每個(gè)凹口21A中的狀態(tài)將玻璃21按壓并粘合到基板10。
在這種狀態(tài)下，在玻璃21的上側(cè)(與對(duì)應(yīng)基板10的一側(cè)相對(duì)的)防止用來(lái)固化密封劑的掩模M，然后將紫外線(xiàn)照射到掩模M以固化密封劑S，并且將粘合起來(lái)的玻璃21和基板10切割成單獨(dú)的設(shè)備。這時(shí)，每個(gè)切割的玻璃起到玻璃罩的作用，將基板10的每個(gè)有源區(qū)域A密封起來(lái)。
在上面的步驟中，下面更詳細(xì)地解釋使用紫外線(xiàn)以及這里所采用的掩模M來(lái)固化密封劑的步驟。
與金屬相對(duì)，紫外線(xiàn)能夠透過(guò)玻璃。因而，在將玻璃21粘合到基板10之后，不必為了固化在基板10的罩粘合區(qū)(圖2中的S1和S2)上分配的密封劑S而改變基板10和玻璃21的位置，以把基板10導(dǎo)向紫外線(xiàn)產(chǎn)生設(shè)備，如圖3所示。
另一方面，在這個(gè)實(shí)施例中用于固化密封劑的掩模M是由具有比玻璃低的折射率的石英制得的，并且在與基板10上所形成的每個(gè)有源區(qū)域A相對(duì)應(yīng)的表面上形成有由鉬薄膜或者鉻薄膜構(gòu)成的多個(gè)不透光層M1。
由位于掩模M上方的紫外燈(未示出)所產(chǎn)生的紫外線(xiàn)透過(guò)掩模M并且照射到玻璃21以固化密封劑S。在這個(gè)處理中，該紫外線(xiàn)到達(dá)但不能透過(guò)掩模M的不透光層M1。因而，紫外線(xiàn)不會(huì)到達(dá)基板10上與不透光層M1對(duì)應(yīng)的有源區(qū)域A。
透過(guò)掩模M上除不透光層M1之外的其他區(qū)域的紫外線(xiàn)透過(guò)玻璃21并且照射到密封劑分配區(qū)上，由此固化密封劑S。在這時(shí)，密封劑S是位于罩粘合區(qū)(圖2中的S1和S2)內(nèi)的金屬線(xiàn)上，因此紫外線(xiàn)照射到密封劑S上而不會(huì)對(duì)這些金屬線(xiàn)有任何影響。因而，在罩粘合區(qū)上分配的整個(gè)密封劑S在紫外線(xiàn)作用下完全固化，因此玻璃21和基板10能夠保持牢固的粘合狀態(tài)。
如第一實(shí)施例中所示的，另一方面，在基板10的每個(gè)有源區(qū)域A中，在有機(jī)材料層(圖1中的3)上沉積有金屬層(圖4中的4)。因而，在本發(fā)明中，紫外線(xiàn)照射到與紫外燈對(duì)應(yīng)的玻璃上，有機(jī)材料層因所述金屬層而不會(huì)暴露于紫外線(xiàn)中。結(jié)果，能夠得以避免因紫外線(xiàn)引起的對(duì)有機(jī)材料層的任何損害。
在完成固化密封劑的處理之后，在特定位置(圖6中的a，b和c)切割粘合起來(lái)的基板10和玻璃11，以制得多個(gè)分開(kāi)的有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備。
第三實(shí)施例圖7是顯示用于固化密封劑中的掩模，基板和玻璃之間關(guān)系的視圖，其用來(lái)解釋根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的粘合玻璃罩的方法。將采用相同的數(shù)字標(biāo)記來(lái)表示和在第一和第二實(shí)施例中的元件相同的元件。
而且，圖7也示出其上形成有多個(gè)有源區(qū)域A的基板10和單塊玻璃21，在玻璃21上形成有多個(gè)凹口21A(用來(lái)容納基板10上形成的每個(gè)有源區(qū)域A)。
根據(jù)本實(shí)施例所述的粘合玻璃罩的步驟除了掩模之外都與第二實(shí)施例中的那些相同。因而，這里省去對(duì)粘合玻璃和固化密封劑的那些步驟的描述，下面將詳細(xì)地描述這個(gè)實(shí)施例中所采用的掩模的結(jié)構(gòu)。
與金屬相對(duì)，紫外線(xiàn)能夠透過(guò)玻璃。因而，在將玻璃21粘合到基板10上之后，不必為了固化在基板10的罩粘合區(qū)(圖2中的S1和S2)上分配的密封劑S而改變基板10和玻璃21的位置，以把基板10導(dǎo)向紫外線(xiàn)產(chǎn)生設(shè)備，如圖3所示。
另一方面，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例的用于固化密封劑的掩模M10是由具有比玻璃低的折射率的石英制得的，并且具有一定的厚度。
在與玻璃21對(duì)應(yīng)的掩模M10的第一表面上形成第一不透光層M11，并且在與該第一表面相對(duì)的第二表面上形成第二不透光層M12。該第一不透光層M11與第二不透光層M12一一對(duì)應(yīng)。一對(duì)這些彼此對(duì)應(yīng)著的第一不透光層M11和第二不透光層M12與形成于基板10上的有源區(qū)域A之一對(duì)應(yīng)。第一和第二不透光層M11和M12是由濺射或者噴砂處理形成的鉬(Mo)薄膜或者鉻(Cr)薄膜。
另一方面，希望形成于與玻璃對(duì)應(yīng)的掩模M10的第一表面上的第一不透光層M11的寬度(面積)大于形成于與第一表面相對(duì)的第二表面上的第二不透光層M12的寬度(面積)。
如圖4所示，紫外線(xiàn)能夠垂直于掩模M10照射。同樣，紫外線(xiàn)能夠以一定的入射角傾斜照射到掩模M10，之后在掩模M10的表面折射。在這個(gè)實(shí)施例中，在掩模M10表面折射的紫外線(xiàn)被形成于掩模M10的第一表面的第一不透光層M11擋住。因而，紫外線(xiàn)不會(huì)照射到基板10的有源區(qū)域A。
同樣，將要折射并照射到基板10的有源區(qū)域A的紫外線(xiàn)被第二不透光層M12擋住，因此不會(huì)照射到位于第二不透光層M12之下的基板10的有源區(qū)域A上。
透過(guò)掩模M10除不透光層M11和M12之外的其他區(qū)域的紫外線(xiàn)透過(guò)玻璃21并且照射到密封劑S分配區(qū)上，由此固化密封劑S。這時(shí)，由于密封劑S被分配在從有源區(qū)域中的ITO層和金屬層延伸出來(lái)并且形成于罩粘合區(qū)(圖2罩的S1和S2)的金屬線(xiàn)上，因此紫外線(xiàn)照射到密封劑S上而不會(huì)對(duì)這些金屬線(xiàn)有任何影響。因而，在罩粘合區(qū)上的分配整個(gè)密封劑S在紫外線(xiàn)作用下完全固化，因此玻璃21和基板10能夠保持牢固的粘合狀態(tài)。
如上面第一和第二實(shí)施例中所述的，基板10的每個(gè)有源區(qū)域A具有金屬層(圖4中的4)被沉積于有機(jī)材料層(圖1中的3)之上的結(jié)構(gòu)。因而，在本發(fā)明中，紫外線(xiàn)照射到與紫外燈對(duì)應(yīng)的玻璃上，有機(jī)材料層因所述金屬層而不會(huì)暴露于紫外線(xiàn)中。結(jié)果，能夠得以避免因紫外線(xiàn)引起的對(duì)有機(jī)材料層的任何損害。
在完成固化密封劑的處理之后，在特定位置(圖7中的a，b和c)切割粘合起來(lái)的基板10和玻璃21，以制得多個(gè)分開(kāi)的有機(jī)電致發(fā)光設(shè)備。
在根據(jù)如上所述的第二和第三實(shí)施例中的用于粘合玻璃罩的方法中，紫外線(xiàn)照射玻璃21先是在將玻璃21向著紫外源放置的狀態(tài)下進(jìn)行的。因而，在基板10的罩粘合區(qū)S1和S2上分配的密封劑S能夠被固化而對(duì)金屬線(xiàn)2和4沒(méi)有任何影響。因而，能夠?qū)τ诨?0的罩粘合區(qū)上形成的每個(gè)金屬線(xiàn)2和4的寬度固化一些邊緣。另外，在每個(gè)有源區(qū)域中，因?yàn)槊總€(gè)有源材料層上形成的金屬層之故而使得有機(jī)材料層不暴露于紫外線(xiàn)中，因此它不會(huì)受到損壞。
此外，要照射到該設(shè)備的有源區(qū)域A上的紫外線(xiàn)中的大部分能夠被掩模M10的上不透光層M11和下不透光層M12擋住。因而，可以獲得固化密封劑的效果以及保護(hù)有源區(qū)域的效果。
另一方面，圖7所示的掩模不僅可應(yīng)用于固化玻璃罩的處理而且可應(yīng)用于采用密封劑來(lái)固化金屬罩的處理。
圖8是顯示通過(guò)使用第三實(shí)施例中的掩模將金屬罩粘合到基板的視圖，并且為了方便起見(jiàn)，這里僅僅示出了粘合到基板1上的兩個(gè)金屬罩6。
如圖7所示以及第三實(shí)施例所述的一樣，在與玻璃21對(duì)應(yīng)的掩模M10的第一表面上形成第一不透光層M11，并且在與該第一表面相對(duì)的第二表面上形成第二不透光層M12。
用于固化密封劑的掩模M10由具有比玻璃低的折射率的石英制得并且具有一定厚度。形成于第一表面的第一不透光層M11與形成于掩模M10的第二表面的第二不透光層M12一一對(duì)應(yīng)，每個(gè)第一不透光層M11和每個(gè)第二不透光層M12對(duì)應(yīng)基板1上所形成的有源區(qū)域A。第一和第二不透光層M11和M12是由濺射或者噴砂處理形成的鉬(Mu)薄膜或者鉻(Cr)薄膜。
通過(guò)附圖來(lái)描述如上構(gòu)造的掩模M10的作用。
如圖8所示，紫外線(xiàn)(圖8中的X)垂直照射到掩模M10上，并且也能夠以一定入射角傾斜照射到掩模上且然后在掩模M10的表面發(fā)生折射。在掩模M10表面折射的紫外線(xiàn)(圖8中的Y)被形成于掩模M10第一表面的第一不透光層M11擋住。因而，發(fā)生折射的紫外線(xiàn)不會(huì)照射到基板1的有源區(qū)域A。
同樣，折射到所述表面并且之后要照射到基板1的有源區(qū)域A的紫外線(xiàn)(圖8中的Z)被第二不透光層M12擋住，因此不可能照射到位于不透光層M11和M12之下的基板1的有源區(qū)域A上。
另一方面，希望形成于掩模M10的第一表面上的每個(gè)第一不透光層M11的面積(寬度)比形成于與第二表面上的每個(gè)第二不透光層M12的要大。如果形成于掩模M10的第二表面的每個(gè)第二不透光層M12的面積比形成于第一表面上的每個(gè)第一不透光層M11的要大，那么紫外線(xiàn)可能不會(huì)照射到在罩6的密封劑分配區(qū)或者基板1的罩粘合區(qū)(圖2中的S1和S2)上分配的密封劑。在這種情況下，可能密封劑不會(huì)被完全固化。
如上所述，如果將在第三實(shí)施例中使用的固化密封劑的掩模M10用于粘合金屬罩的處理中，那么要照射到該設(shè)備的有源區(qū)域A上的紫外線(xiàn)中的大部分能夠被掩模M10的上(第二)和下(第一)不透光層M12和M11擋住，因此，可以獲得固化密封劑的效果和保護(hù)有源區(qū)域的效果。
已經(jīng)對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了示例性的描述，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員會(huì)理解，在不背離本發(fā)明所附權(quán)利要求所公開(kāi)的范疇和精神的前提下，各種修改，添加和替換都是可行的。
權(quán)利要求
1.一種粘合玻璃罩的方法，該玻璃罩是用來(lái)密封形成于基板上的有源區(qū)域的，該方法包括以下步驟在對(duì)應(yīng)基板的玻璃的一側(cè)上形成多個(gè)凹口；在與對(duì)應(yīng)該基板的表面相對(duì)的玻璃的表面上形成多個(gè)不透光層；在玻璃的基板粘合區(qū)上或者在基板的罩粘合區(qū)上分配密封劑；以形成于該基板的每個(gè)有源區(qū)域被容納在該玻璃的每個(gè)凹口內(nèi)的狀態(tài)將玻璃粘合到基板；通過(guò)將紫外線(xiàn)照射到該玻璃沒(méi)有粘合基板的一側(cè)，來(lái)將在密封分配區(qū)上分配的密封劑固化；以及將該粘合在一起的玻璃和基板切割以制得單獨(dú)的設(shè)備。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，該不透光層與該基板上所形成的有源區(qū)域一一對(duì)應(yīng)。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，該多個(gè)不透光層中的每個(gè)不透光層都是通過(guò)濺射或者噴沙處理所形成的鉻或者鉬薄膜。
4.一種粘合玻璃罩的方法，該玻璃罩是用來(lái)密封形成于基板上的有源區(qū)域的，該方法包括以下步驟在其上形成有多個(gè)凹口的玻璃的基板粘合區(qū)上或者在基板的罩粘合區(qū)上分配密封劑；以形成于該基板上的每個(gè)有源區(qū)域被容納在該玻璃的每個(gè)凹口內(nèi)的狀態(tài)將玻璃粘合到基板；將用于固化密封劑的掩模放在玻璃上，并且通過(guò)該掩模對(duì)密封劑分配區(qū)選擇性地照射紫外線(xiàn)以固化密封劑；以及將粘合在一起的玻璃和基板切割以制得單獨(dú)的設(shè)備。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中，該掩模是由石英制得的，并且在對(duì)應(yīng)于玻璃的表面上形成多個(gè)不透光層，每個(gè)不透光層對(duì)應(yīng)于該基板的有源區(qū)域。
6.如權(quán)利要求4所述的方法，其中，該掩模是由石英制得的，并且具有對(duì)應(yīng)于玻璃的第一表面和與該第一表面相對(duì)的第二表面，并且該不透光層形成于第一和第二表面上，每個(gè)不透光層對(duì)應(yīng)于該基板的有源區(qū)域。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，該形成于第一表面上的每個(gè)不透光層的寬度(面積)比形成于第二表面上的每個(gè)第二不透光層的要大。
8.如權(quán)利要求5或者6所述的方法，其中，每個(gè)不透光層是通過(guò)濺射或者噴沙處理形成的鉻薄膜或者鉬薄膜。
9.一種掩膜，其對(duì)應(yīng)于粘合有金屬罩的玻璃基板并且將照射到該基板的紫外線(xiàn)中的一部分擋住以保護(hù)形成于該基板上的有源區(qū)域，其特征在于，在對(duì)應(yīng)于基板的第一表面以及與該第一表面相對(duì)的第二表面上形成多個(gè)不透光層，并且該形成于第一表面上的不透光層與該第二表面和基板的有源區(qū)域一一對(duì)應(yīng)。
10.如權(quán)利要求9所述的掩模，其中，每個(gè)形成于該第一表面上的不透光層的寬度(面積)比形成于該第二表面上的每個(gè)不透光層的要大。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明的用于粘合玻璃罩的方法包括步驟在玻璃的對(duì)應(yīng)于基板的一側(cè)上形成多個(gè)凹口；在玻璃的與對(duì)應(yīng)于該基板的表面相對(duì)的表面上形成多個(gè)不透光層；在玻璃的基板粘合區(qū)上或者在基板的罩粘合區(qū)上分配密封劑；以形成于該基板上的每個(gè)有源區(qū)域被容納在該玻璃的每個(gè)凹口內(nèi)的狀態(tài)將玻璃粘合到基板；通過(guò)將紫外線(xiàn)照射到該玻璃的沒(méi)有粘合基板的一側(cè)，來(lái)將在該密封分配區(qū)分配的密封劑固化；以及將該粘合在一起的玻璃和基板切割以制得單獨(dú)的設(shè)備。本發(fā)明將照射到基板的有源區(qū)域的紫外線(xiàn)擋住，從而保護(hù)該有源區(qū)域，并且因此能夠完全固化在金屬線(xiàn)上分配的密封劑。
文檔編號(hào)H05B33/04GK1787703SQ20051007282
公開(kāi)日2006年6月14日 申請(qǐng)日期2005年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月7日
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