專利名稱：平面顯示器的電極基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種平面顯示器的電極基板，尤指一種于平面顯示器應(yīng)用銅鎳鋅合金形成導(dǎo)電圖樣(導(dǎo)線、電極或輔助電極)及/或其上的保護層的電極基板，增強其抗氧化性及附著力，以提升產(chǎn)品良率及可靠度。
背景技術(shù)：
平面顯示器(例如液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)、有機電激發(fā)光顯示器(Organic ElectroluminescentDisplay，OELD)等)由于具有輕薄短小的特性，因此漸漸取代陰極射線管顯示器成為顯示器的焦點。
有機電激發(fā)光顯示器是一種利用有機官能性材料(organic functional materials)的自發(fā)光的特性來達到顯示效果的技術(shù)，可依照有機官能性材料的分子量不同分為小分子有機電激發(fā)光顯示器(small molecule OELD，SM-OELD)與高分子有機電激發(fā)光顯示器(polymer OELD)兩大類。
而各式的平面顯示器(如LCD、OELD等)的組成構(gòu)造或其顯示影像的技術(shù)手段雖各有差異，但各式平面顯示器結(jié)構(gòu)中多利用具導(dǎo)電性物質(zhì)(例如銦錫氧化物(ITO)或鋁鋅氧化物(AZO))于基板上作為陽極，再配合低功函數(shù)金屬或合金的陰極作為發(fā)光像素的控制結(jié)構(gòu)。
目前平面顯示器常使用鉻金屬作為導(dǎo)線、電極或輔助電極的材料，但是因為鉻金屬的阻值高，且功率消耗高，并非導(dǎo)線或電極的適合材料。
以鋁或銅作為導(dǎo)線或輔助電極的材料則常伴隨著遷移(migration)，表面突起(hillock)以及腐蝕的問題，是以也非適當(dāng)?shù)膶?dǎo)線或輔助電極線的材料。
現(xiàn)有以銀或銀合金作為平面顯示器的導(dǎo)線或電極的材料雖具有良好的導(dǎo)電性，然而由于其抗氧化性或附著力不佳，且對硫、氨、氯及氧等氣氛的抵抗力不佳，易導(dǎo)致制程良率偏低。因此尋求抗氧化性佳、附著力強的金屬或合金應(yīng)用于平面顯示器作為導(dǎo)線或電極的保護層，或是導(dǎo)線與電極本身，乃為重要課題。
因此，本發(fā)明亟思一種可以解決上述問題的「平面顯示器的電極基板」，幾經(jīng)研究實驗終至完成此項嘉惠世人的發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明之一目的是提供一種平面顯示器的電極基板，以便能于導(dǎo)線、電極或輔助電極上提供抗氧化性佳及高附著性的保護層，避免導(dǎo)線、電極或輔助電極于后續(xù)制程中，例如在氧氣電漿(O2plasma)清洗或蝕刻階段受到損壞，以提高產(chǎn)品良率和可靠度。
本發(fā)明的再一目的是提供一種平面顯示器的電極基板，其具有抗氧化性佳、電阻值低、導(dǎo)電性佳及高附著性的導(dǎo)線、電極或輔助電極，避免導(dǎo)線、電極或輔助電極于后續(xù)制程中，例如在氧氣電漿清洗或蝕刻階段受到損壞，以提高產(chǎn)品良率和可靠度。
為達成上述的目的，本發(fā)明一種平面顯示器的電極基板包含一基板、一電極層、一導(dǎo)線層以及一保護層，電極層與導(dǎo)線層是設(shè)置于基板之上，保護層是設(shè)置于電極層及/或?qū)Ь€層之上，且保護層的材質(zhì)至少包含銅、鎳以及鋅；其中銅含量為50至80重量百分比，鎳含量為5至20重量百分比，鋅含量為15至30重量百分比，且總重量百分比為100％。
電極層與導(dǎo)線層的材質(zhì)是可分別選自鉻、鋁、銅、銀及其合金至少其中之一，或電極層與導(dǎo)線層的材質(zhì)是可包含導(dǎo)電的金屬氧化物，其是選自銦錫氧化物、鋁鋅氧化物、銦鋅氧化物及鎘錫氧化物至少其中之一。
為達成上述的目的，本發(fā)明一種平面顯示器的電極基板包含一基板、一電極層以及一導(dǎo)線層，電極層與導(dǎo)線層是設(shè)置于基板之上，且電極層及/或?qū)Ь€層的材質(zhì)至少包含銅、鎳以及鋅；其中銅含量為50至80重量百分比，鎳含量為5至20重量百分比，鋅含量為15至30重量百分比，且總重量百分比為100％。
銅最佳含量為60至70重量百分比，鎳最佳含量為10至15重量百分比，鋅最佳含量為20至25重量百分比。
本發(fā)明平面顯示器的電極基板的保護層、電極層及/或?qū)Ь€層的材質(zhì)更可包含貴金屬及/或耐蝕性金屬；貴金屬是選自鉑(Pt)、金(Au)及鈀(Pd)至少其中之一，其含量為0.1至5.0重量百分比，最佳含量為0.5至1.0重量百分比；耐蝕性金屬是選自鈦、鋁、鈷、鉻及其混合物至少其中之一，其含量為0.01至1.0重量百分比，最佳含量為0.05至0.2重量百分比。
本發(fā)明的電極基板應(yīng)用銅鎳鋅合金形成具有抗氧化性佳及高附著性的特點的保護層，或用以形成具有抗氧化性佳、電阻值低、導(dǎo)電性佳及高附著性的特點的導(dǎo)線、電極或輔助電極，尤其適用于例如有機電激發(fā)光顯示器的平面顯示器，可避免受到清洗或蝕刻階段的損壞，提高產(chǎn)品良率和可靠度。


圖1是本發(fā)明平面顯示器的電極基板應(yīng)用銅鎳鋅合金形成保護層的示意圖；圖2是本發(fā)明平面顯示器的電極基板應(yīng)用銅鎳鋅合金形成導(dǎo)電圖樣的示意圖。
主要組件符號說明10基板12導(dǎo)電圖樣14保護層20基板22導(dǎo)電圖樣具體實施方式
本發(fā)明一種平面顯示器的電極基板包含一基板、一電極層、一導(dǎo)線層以及一保護層，電極層與導(dǎo)線層是設(shè)置于基板之上，保護層是設(shè)置于電極層及/或?qū)Ь€層之上，且保護層的材質(zhì)至少包含銅、鎳以及鋅，其中銅含量為50至80重量百分比，鎳含量為5至20重量百分比，鋅含量為15至30重量百分比，且總重量百分比為100％。
保護層的材質(zhì)更可包含貴金屬及/或耐蝕性金屬，貴金屬較佳者是選自鉑、金及鈀至少其中之一，其較佳含量為0.1至5.0重量百分比，最佳含量為0.5至1.0重量百分比；耐蝕性金屬較佳者是選自鈦、鋁、鈷、鉻及其混合物至少其中之一，其較佳含量為0.01至1.0重量百分比，最佳含量為0.05至0.2重量百分比。
為能更了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉平面顯示器的電極基板較佳具體實施例說明如下實施例1銅鎳鋅合金濺鍍于平面顯示器形成導(dǎo)電圖樣(電極層與導(dǎo)線層)的保護層參閱圖1，將銅鎳鋅合金靶材置入一濺鍍室，并置入一平面顯示器的基板10于濺鍍室，基板上已預(yù)先形成導(dǎo)線圖樣12，之后通入流量20sccm的氬氣，以200W的直流電功率，濺鍍室維持5mtorr真空度下濺鍍1.5分鐘于導(dǎo)線圖樣12上形成一厚度為1300的保護層14，保護層14經(jīng)氧氣電漿測試，可得到良好的抗氧化性，再經(jīng)85℃/RH85％高溫高濕實驗后，以膠帶進行剝離試驗(peeling test)，可得到良好的附著性的驗證。
實施例2銅鎳鋅合金濺鍍于平面顯示器形成導(dǎo)電圖樣(電極層與導(dǎo)線層)參閱圖2，將銅鎳鋅合金靶材置入一濺鍍室，并置入一平面顯示器的基板20于濺鍍室，之后通入流量20sccm的氬氣，以100W的直流電功率，濺鍍室維持5mtorr真空度下濺鍍1分鐘于基板20上形成一厚度為1100的導(dǎo)線圖樣22，導(dǎo)線圖樣22經(jīng)氧氣電漿測試，可得到良好的抗氧化性，再經(jīng)85℃/RH85％高溫高濕實驗后，以膠帶進行剝離試驗，可得到良好的附著性的驗證。
本發(fā)明的電極基板應(yīng)用銅鎳鋅合金形成具有抗氧化性佳及高附著性的特點的保護層，或用以形成具有抗氧化性佳、電阻值低、導(dǎo)電性佳及高附著性的特點的導(dǎo)線、電極或輔助電極，尤其適用于例如有機電激發(fā)光顯示器的平面顯示器，可避免受到清洗或蝕刻階段的損壞，提高產(chǎn)品良率和可靠度。
上述實施例僅是為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請專利范圍所述為準，而非僅限于上述實施例。
權(quán)利要求
1.一種平面顯示器的電極基板，其特征在于，包含一基板、一電極層、一導(dǎo)線層以及一保護層，電極層與導(dǎo)線層是設(shè)置于基板之上，保護層是設(shè)置于電極層及/或?qū)Ь€層之上，且保護層的材質(zhì)至少包含銅、鎳以及鋅；其中銅含量為50至80重量百分比，鎳含量為5至20重量百分比，鋅含量為15至30重量百分比，且總重量百分比為100％。
2.如權(quán)利要求1所述的平面顯示器的電極基板，其特征在于，所述保護層的材質(zhì)更包含貴金屬，其是選自鉑、金及鈀至少其中之一。
3.如權(quán)利要求2所述的平面顯示器的電極基板，其特征在于，所述貴金屬含量為0.1至5.0重量百分比。
4.如權(quán)利要求1所述的平面顯示器的電極基板，其特征在于，所述保護層的材質(zhì)更包含耐蝕性金屬，其是選自鈦、鋁、鈷、鉻及其混合物至少其中之一。
5.如權(quán)利要求4所述的平面顯示器的電極基板，其特征在于，所述耐蝕性金屬含量為0.01至1.0重量百分比。
6.如權(quán)利要求1所述的平面顯示器的電極基板，其特征在于，所述平面顯示器是為有機電激發(fā)光顯示器。
7.一種平面顯示器的電極基板，其特征在于，包含一基板、一電極層以及一導(dǎo)線層，電極層與導(dǎo)線層是設(shè)置于基板之上，且電極層及/或?qū)Ь€層的材質(zhì)至少包含銅、鎳以及鋅；其中銅含量為50至80重量百分比，鎳含量為5至20重量百分比，鋅含量為15至30重量百分比，且總重量百分比為100％。
8.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極基板，其特征在于，所述電極層及/或?qū)Ь€層的材質(zhì)更包含貴金屬，其是選自鉑、金及鈀至少其中之一。
9.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極基板，其特征在于，所述電極層及/或?qū)Ь€層的材質(zhì)更包含耐蝕性金屬，其是選自鈦、鋁、鈷、鉻及其混合物至少其中之一。
10.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極基板，其特征在于，所述平面顯示器是為有機電激發(fā)光顯示器。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種平面顯示器的電極基板包含一基板、一電極層、一導(dǎo)線層以及一保護層，電極層與導(dǎo)線層是設(shè)置于基板之上，保護層是設(shè)置于電極層及/或?qū)Ь€層之上，且保護層的材質(zhì)至少包含銅(Cu)、鎳(Ni)以及鋅(Zn)；其中銅含量為50至80重量百分比，鎳含量為5至20重量百分比，鋅含量為15至30重量百分比，且總重量百分比為100％。
文檔編號H05K1/00GK1921729SQ200510096549
公開日2007年2月28日 申請日期2005年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月24日
發(fā)明者張毅, 黃添旺, 曾雍益 申請人:錸寶科技股份有限公司