專利名稱：一種晶片刻蝕設(shè)備的氣路控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體來說，涉及一種晶片刻蝕設(shè)備中氣路的控制方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工藝刻蝕的過程中，刻蝕設(shè)備會涉及到很多氣路，每一路氣體有各自的流量控制器和控制閥門，所有氣路有一個總的控制閥門。由于管理各個氣路的閥門和總的閥門邏輯比較復(fù)雜，為了準(zhǔn)確安全的控制各個氣路的流量和閥門的開合以及對總閥門的動作，設(shè)計了此氣路控制方法。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明的目的是提供一種晶片刻蝕設(shè)備中氣路的控制方法。
(二)技術(shù)方案為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采取以下方案本發(fā)明的晶片刻蝕設(shè)備包括一臺存儲了控制程序的工控機(jī)和一個與該工控機(jī)連接的受控硬件系統(tǒng)，該受控硬件系統(tǒng)包括多個氣路，每一個氣路都有單獨(dú)的流量控制器和控制閥門，所有的氣路由一個總閥門控制，該工控機(jī)用于執(zhí)行控制程序，并對受控硬件系統(tǒng)的整個工作過程進(jìn)行控制，本發(fā)明包括如下步驟設(shè)置一個總閥門狀態(tài)參數(shù)，該參數(shù)擁有一個初始值，當(dāng)任一氣路打開或者關(guān)閉時，該參數(shù)會發(fā)生相應(yīng)的變化，當(dāng)總閥門狀態(tài)參數(shù)的值變?yōu)槌跏贾禃r，總閥門關(guān)閉，所述總閥門狀態(tài)參數(shù)的變化規(guī)則如下，
當(dāng)任一氣路的狀態(tài)由關(guān)閉變?yōu)榇蜷_時，則總閥門參數(shù)做一次可逆的運(yùn)算；當(dāng)任一氣路的狀態(tài)由打開變?yōu)殛P(guān)閉時，則總閥門參數(shù)做以上運(yùn)算的逆運(yùn)算。
其中，還包括所述總閥門參數(shù)為一個初始值為零的計數(shù)器，當(dāng)任一氣路的狀態(tài)由關(guān)閉變?yōu)榇蜷_時，計數(shù)器相應(yīng)加一，當(dāng)任一氣路的狀態(tài)由打開變?yōu)殛P(guān)閉時，計數(shù)器減一。
(三)有益效果與已有技術(shù)相比，由于采用以上方案，本發(fā)明保證了對所有氣路操作的一致性，(刻蝕設(shè)備是一個安全性要求非常高的設(shè)備，設(shè)備昂貴，內(nèi)部有有毒氣體)，增加了人員和設(shè)備的安全性。


圖1是本發(fā)明的氣路系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；圖2是本發(fā)明氣路控制流程圖；具體實施方式
參照圖1，每條氣路都有一個進(jìn)氣口、一個手動控制閥、一個壓力傳感器、兩個閥門、一個質(zhì)量流量控制器組成，以第一條氣路為例，氣體可由進(jìn)氣口1進(jìn)入氣路，打開手動控制閥門11，氣體通過壓力傳感器21，壓力正常后，打開閥門31，氣體進(jìn)入質(zhì)量流量控制器41，通入的氣體到達(dá)一定量的時候，打開閥門51，氣體進(jìn)入總閥門30；參考圖2，氣路控制流程如下設(shè)置一個初始值為零的計數(shù)器，用于對當(dāng)前處于打開狀態(tài)的氣路進(jìn)行計數(shù)并根據(jù)該計數(shù)器的數(shù)值是否為零來控制總閥門的打開和關(guān)閉，其步驟是，為每一個氣路設(shè)置一個開關(guān)標(biāo)志，該開關(guān)標(biāo)志的初始狀態(tài)為關(guān)，當(dāng)打開一路氣體時，計數(shù)器增一，其開關(guān)標(biāo)志置為開狀態(tài)，同時打開總閥門；當(dāng)調(diào)整氣路的氣體流量時，不改變氣路的開關(guān)標(biāo)志狀態(tài)和計數(shù)器的值；當(dāng)關(guān)閉氣路時，對氣路的開關(guān)標(biāo)志進(jìn)行判斷，為開狀態(tài)，則設(shè)置為關(guān)狀態(tài)并且計數(shù)器減一，為關(guān)狀態(tài)，則保持不改變當(dāng)前的計數(shù)器數(shù)值；判斷計數(shù)器數(shù)值是否為零，若為零，則關(guān)閉總閥門，若不為零，則不關(guān)閉總閥門。
權(quán)利要求
1.一種晶片刻蝕設(shè)備中氣路的控制方法，所述晶片刻蝕設(shè)備包括一臺存儲了控制程序的工控機(jī)和一個與該工控機(jī)連接的受控硬件系統(tǒng)，該受控硬件系統(tǒng)包括多個氣路，每一個氣路都有單獨(dú)的流量控制器和控制閥門，所有的氣路由一個總閥門控制，該工控機(jī)用于執(zhí)行控制程序，并對受控硬件系統(tǒng)的整個工作過程進(jìn)行控制，其特征是所述方法包括如下步驟設(shè)置一個總閥門狀態(tài)參數(shù)，該參數(shù)擁有一個初始值，當(dāng)任一氣路打開或者關(guān)閉時，該參數(shù)會發(fā)生相應(yīng)的變化，當(dāng)總閥門狀態(tài)參數(shù)的值變?yōu)槌跏贾禃r，總閥門關(guān)閉。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述總閥門狀態(tài)參數(shù)的變化規(guī)則如下，當(dāng)任一氣路的狀態(tài)由關(guān)閉變?yōu)榇蜷_時，則總閥門參數(shù)做一次可逆的運(yùn)算；當(dāng)任一氣路的狀態(tài)由打開變?yōu)殛P(guān)閉時，則總閥門參數(shù)做以上運(yùn)算的逆運(yùn)算。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述總閥門參數(shù)為一個初始值為零的計數(shù)器，當(dāng)任一氣路的狀態(tài)由關(guān)閉變?yōu)榇蜷_時，計數(shù)器相應(yīng)加一，當(dāng)任一氣路的狀態(tài)由打開變?yōu)殛P(guān)閉時，計數(shù)器減一。
全文摘要
一種晶片刻蝕設(shè)備中氣路的控制方法，設(shè)置一個初始值為零的計數(shù)器，用于對當(dāng)前處于打開狀態(tài)的氣路進(jìn)行計數(shù)并根據(jù)該計數(shù)器的數(shù)值是否為零來控制總閥門的打開和關(guān)閉，為每一個氣路設(shè)置一個開關(guān)標(biāo)志，該開關(guān)標(biāo)志的初始狀態(tài)為關(guān)，當(dāng)打開一路氣體時，計數(shù)器增一，其開關(guān)標(biāo)志置為開狀態(tài)，同時打開總閥門；當(dāng)關(guān)閉氣路時，對氣路的開關(guān)標(biāo)志進(jìn)行判斷，為開狀態(tài)，則設(shè)置為關(guān)狀態(tài)并且計數(shù)器減一，為關(guān)狀態(tài)，則保持不改變當(dāng)前的計數(shù)器數(shù)值；判斷計數(shù)器數(shù)值是否為零，若為零，則關(guān)閉總閥門，若不為零，則不關(guān)閉總閥門。
文檔編號C30B33/00GK1848005SQ20051012645
公開日2006年10月18日 申請日期2005年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月9日
發(fā)明者楊榮輝 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司