專利名稱：基板處理裝置和安裝器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板處理裝置和安裝器，用于將諸如集成電路(IC)等電子元件安裝到液晶板等的外邊緣部分上的過程中，特別是涉及在將元件安裝到大型液晶板上時(shí)用于執(zhí)行處理的基板處理裝置和安裝器。
背景技術(shù)：
近年來，以大液晶電視為代表的大型液晶板的需求量日益增加，并且產(chǎn)生了尺寸從小到大的各種液晶板。
傳統(tǒng)上，在液晶驅(qū)動(dòng)器(liquid crystal driver mounter)安裝器的各向異性導(dǎo)電膜(ACF)結(jié)合工序、預(yù)結(jié)合工序、最終結(jié)合工序等中，使用設(shè)置在這種液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器上的支撐臺(tái)，其中，該液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器用于將半導(dǎo)體元件結(jié)合到液晶板的外邊緣部分。通過將液晶板的外邊緣部分放在這種支撐臺(tái)上來執(zhí)行連接ACF帶和放置電子元件的工序。
同時(shí)，作為一種使電子元件放在液晶板的外邊緣部分上的精度得以提高的技術(shù)，公開了用于液晶板的安裝器，盡管在吸附支撐面和放置元件的部分之間存在高度差，所述安裝器還是可以在壓力的施加下平滑地連接元件，同時(shí)適當(dāng)?shù)乇３诌@種高度差(例如，參考日本公開專利申請(qǐng)No.05-228755)。
然而，因?yàn)榻鼛啄晷枨罅咳找嬖黾拥妮^大型液晶板具有長邊，所以存在下述問題，即相對(duì)小液晶板而言，在半導(dǎo)體元件所安裝的外邊緣部分處這種大型液晶板更易翹曲和彎曲，并且在元件安裝的每個(gè)結(jié)合工序中放置電子元件的精度會(huì)降低。例如，由于在元件所放置的外邊緣部分處有翹曲，所以存在的問題是，液晶板從支撐臺(tái)部分地凸起，并且當(dāng)通過壓力工具施加壓力時(shí)會(huì)相應(yīng)出現(xiàn)半導(dǎo)體元件移位、連接不良、液晶板玻璃損壞等問題。
并且，因?yàn)殡S著液晶板的尺寸變大其價(jià)格也增加，所以期望在液晶安裝器中出現(xiàn)電子元件連接不良的現(xiàn)象減少。
考慮到上述情況而提出本發(fā)明，本發(fā)明的目的是提供一種安裝器，即使在為大型液晶板執(zhí)行元件安裝等情形下，該安裝器也可以以更高的精度放置電子元件。
本發(fā)明的第二個(gè)目的是提供一種基板處理裝置，在用于諸如大型液晶板等基板的元件安裝等各種工序中，通過利用適用于各種尺寸的液晶板的吸附過程對(duì)外邊緣部分執(zhí)行翹曲校正，該基板處理裝置可以提高處理基板的精度。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置是用在將電子元件安裝到基板的外邊緣部分上的過程中的基板處理裝置，該裝置包括抽吸臺(tái)，其包括(i)用于吸附基板的外邊緣部分的下表面的抽吸部，和(ii)用于校正基板的外邊緣部分的下表面翹曲的平面部；真空路徑，它們與抽吸臺(tái)相連接；真空抽吸單元，其利用抽吸部真空吸附放在抽吸臺(tái)上的基板的外邊緣部分，并且該真空抽吸單元與至少一個(gè)真空路徑相連；和基片輸送單元，其可操作而保持和移動(dòng)基板，并將基板的外邊緣部分放置在所述抽吸臺(tái)上。
并且，根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置的特征在于，所述抽吸臺(tái)內(nèi)形成有用于連接真空路徑和抽吸部的中空部。
并且，根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置的特征在于，所述中空部由形成于抽吸臺(tái)內(nèi)部的下述中空部構(gòu)成第一中空部，其水平地形成為橫穿抽吸臺(tái)；和第二中空部，它們豎直地形成于抽吸臺(tái)以連接第一中空部和抽吸部，并且開閉單元由下述部件構(gòu)成第一截止閥，其以預(yù)定間距設(shè)置在第一中空部上；第二截止閥，它們?cè)O(shè)置在各個(gè)第二中空部上。
并且，根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置的特征在于，所述真空路徑包括與中空部相連接的下述真空路徑第一真空路徑，其沿縱向位于抽吸臺(tái)的中央部分；和第二真空路徑，其中一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的右端部，另一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的左端部，并且所述基板處理裝置還包括真空路徑確定單元，其根據(jù)是對(duì)基板的短邊還是長邊進(jìn)行處理而從第一真空路徑和第二真空路徑中確定將被使用的真空路徑。
利用上述結(jié)構(gòu)，因?yàn)榕c抽吸部相連的多個(gè)中空部形成于抽吸臺(tái)內(nèi)部，所以可以根據(jù)基板的尺寸通過利用開閉單元關(guān)閉或者打開中空部來改變吸附區(qū)。
并且，可以根據(jù)真空路徑確定單元作出的確定結(jié)果來改變將被使用的真空路徑，而真空路徑確定單元根據(jù)是處理諸如液晶板等基板的長邊還是短邊來作出確定結(jié)果。
以上說明中顯而易見的是，通過適當(dāng)?shù)匚酵膺吘壊糠忠钥煽康胤乐箍諝庑孤﹣硇ＵN曲，可以提高將電子元件放在從大到小的各種尺寸的液晶板上的精度。
另外，根據(jù)本發(fā)明的安裝器是將電子元件安裝到液晶板上的安裝器，該安裝器包括壓力頭，其將電子元件壓到液晶板的外邊緣部分上；支撐臺(tái)，當(dāng)壓力頭對(duì)電子元件施加壓力時(shí)，該支撐臺(tái)是用于從后面支撐液晶板的外邊緣部分的放置臺(tái)；抽吸臺(tái)，其靠近支撐臺(tái)且與支撐臺(tái)平行，并且該抽吸臺(tái)包括用于吸附液晶板的外邊緣部分的抽吸部；真空路徑，它們與抽吸臺(tái)相連接；真空抽吸單元，其真空吸附放在抽吸臺(tái)上的液晶板，并且該真空抽吸單元通過至少一個(gè)真空路徑與抽吸臺(tái)相連；和基片輸送單元，其可操作而保持和移動(dòng)基板，并將基板的外邊緣部分放置在所述抽吸臺(tái)上。
并且，根據(jù)本發(fā)明的安裝器的特征在于，所述抽吸臺(tái)內(nèi)形成有用于連接真空路徑和抽吸部的中空部。
并且，根據(jù)本發(fā)明的安裝器的特征在于，所述抽吸部是在上下方向呈柔性的抽吸墊，該抽吸墊以穿過抽吸臺(tái)頂面的方式沿抽吸臺(tái)的縱向以預(yù)定間距設(shè)置。
并且，根據(jù)本發(fā)明的安裝器的特征在于，該安裝器還包括打開和關(guān)閉中空部的開閉單元。
利用上述結(jié)構(gòu)，液晶板放在靠近支撐臺(tái)且與支撐臺(tái)平行的抽吸臺(tái)上，并且通過利用設(shè)置在抽吸臺(tái)上的抽吸部來吸附該液晶板，可以沿抽吸臺(tái)保持液晶板的外邊緣部分的平面度。因此，即使當(dāng)安裝器用于大型液晶板時(shí)，也可以在保持液晶板的平面度的同時(shí)安裝電子元件。
并且，因?yàn)榭梢酝ㄟ^開閉單元來調(diào)整含有抽吸部的區(qū)域的尺寸，所以根據(jù)液晶板的尺寸來執(zhí)行吸附，并且可以可靠地防止用于吸附的空氣的泄漏，其中，所述抽吸部是利用真空抽吸單元執(zhí)行吸附。
需要注意的是，為了達(dá)到上述目的，可以根據(jù)下面的說明來實(shí)現(xiàn)本發(fā)明基板處理方法，其中使用了與其步驟一致的上述基板處理裝置的特有組成元件；翹曲校正單元，其是基板處理裝置的抽吸臺(tái)本身；安裝方法，其中使用了與其步驟一致的安裝器的特有組成元件；和液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器，其配備有上述安裝器。
在諸如終端清潔、元件安裝和導(dǎo)線檢驗(yàn)等將電子元件安裝到各種大型液晶板的工序中，通過根據(jù)尺寸由小到大的液晶板的短邊和長邊的尺寸適當(dāng)?shù)貓?zhí)行吸附過程來校正各種液晶板的翹曲，根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置可以提高安裝工序的精度。
而且，即使在將電子元件安裝到大型液晶板上的情形下，通過保持液晶板外邊緣部分的平面度，根據(jù)本發(fā)明的安裝器也可以在元件安裝的時(shí)候提高放置元件的精度。
2004年7月8日提交的日本專利申請(qǐng)No.2004-202386和2004年8月20日提交的日本專利申請(qǐng)No.2004-241110的公開的全部?jī)?nèi)容(包括說明書、附圖和權(quán)利要求書)在此引作參考。


結(jié)合顯示本發(fā)明特定實(shí)施例的附圖閱讀下面對(duì)本發(fā)明的說明，可以更清楚地理解本發(fā)明的這些和其它目的、優(yōu)勢(shì)和特征。其中圖1A和圖1B是顯示根據(jù)第一實(shí)施例的液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器的總圖；圖2是顯示圖1B所示最終結(jié)合工序中的安裝器的放大透視圖；圖3A和圖3B分別是顯示根據(jù)本發(fā)明的安裝器的翹曲校正單元的俯視圖和側(cè)視圖；圖4是顯示通過安裝器將元件安裝到大型液晶板上的外視圖；圖5是顯示圖3A和圖3B所示的根據(jù)本發(fā)明的安裝器的放大剖視圖；圖6A和圖6B是顯示在根據(jù)第一實(shí)施例的安裝器的翹曲校正單元中如何校正液晶板翹曲的示意圖；圖7是顯示為了校正液晶板的翹曲，本發(fā)明的安裝器采用的操作步驟的流程圖；圖8是顯示利用根據(jù)第一實(shí)施例的變化形式的安裝器將半導(dǎo)體元件安裝在液晶板上的放大剖視圖；圖9是顯示在根據(jù)變化形式的安裝器的翹曲校正單元中用于調(diào)整偏光板厚度的操作步驟的流程圖；圖10是顯示根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置的放大透視圖；圖11是顯示通過基板處理裝置將元件安裝到大型液晶板上的外視圖；圖12A和圖12B是顯示在根據(jù)第二實(shí)施例的基板處理裝置的翹曲校正單元中如何校正液晶板翹曲的示意圖；圖13A和圖13B是顯示根據(jù)第二實(shí)施例的基板處理裝置的翹曲校正單元的側(cè)視圖；圖14A和圖14B是在翹曲校正單元中分別采用空氣截止閥和空氣通過閥的情形下的放大剖視圖；圖15是說明為了處理液晶板的柵極側(cè)和源極側(cè)，基板處理裝置采用的處理步驟的流程圖；
圖16是顯示為了校正液晶板柵極側(cè)的翹曲，第二實(shí)施例的基板處理裝置采用的操作步驟的流程圖；圖17是顯示為了校正液晶板源極側(cè)的翹曲，第二實(shí)施例的基板處理裝置采用的操作步驟的流程圖；圖18是顯示根據(jù)第三實(shí)施例的基板處理裝置的透視圖；圖19A和圖19B是顯示根據(jù)第三實(shí)施例的基板處理裝置的翹曲校正單元的側(cè)視圖；圖20是顯示為了校正液晶板柵極側(cè)的翹曲，第三實(shí)施例的基板處理裝置采用的操作步驟的流程圖；圖21是顯示為了校正液晶板源極側(cè)的翹曲，第三實(shí)施例的基板處理裝置采用的操作步驟的流程圖；和圖22是顯示終端清潔器的外視圖，該終端清潔器配備有根據(jù)本發(fā)明的翹曲校正單元。
具體實(shí)施例方式
下面參考

本發(fā)明的安裝器。
(第一實(shí)施例)圖1A和圖1B是顯示根據(jù)第一實(shí)施例的液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器的總圖。
用于生產(chǎn)線上的液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器執(zhí)行的過程是圖1A所示的第一工序，即將ACF帶結(jié)合到液晶板上的各向異性導(dǎo)電膜(ACF)結(jié)合工序101；圖1A所示的第二工序，即將諸如半導(dǎo)體元件等電子元件預(yù)結(jié)合到液晶板上的預(yù)結(jié)合工序102；和圖1B所示的第三工序，即將半導(dǎo)體元件最終結(jié)合到液晶板上的最終結(jié)合工序103。
通過ACF結(jié)合器(ACF bonder)101執(zhí)行ACF結(jié)合工序，該ACF結(jié)合器配備有支撐臺(tái)101a、翹曲校正單元101b、面板臺(tái)101c、XY工作臺(tái)101d、ACF供應(yīng)單元101e等。
首先，當(dāng)將液晶板輸送到ACF結(jié)合器101時(shí)，利用ACF連接頭將各向異性導(dǎo)電膜帶(下文稱其為“ACF帶”)與支撐臺(tái)101a上的液晶板相連接。ACF帶是含有尺寸約為3μm的導(dǎo)電粒子的膠粘帶，當(dāng)將半導(dǎo)體元件壓在液晶板上時(shí)，在這種ACF帶位于液晶板和這種半導(dǎo)體元件之間的狀態(tài)下，ACF帶用于通過所述導(dǎo)電粒子將半導(dǎo)體元件的電極與液晶板的電極電連接。因此，ACF帶的使用在驅(qū)動(dòng)器IC和液晶板之間提供了導(dǎo)電性。
并且，如圖1A所示，因?yàn)樵谠搶?shí)施例中ACF結(jié)合器101配備有翹曲校正單元101b，所以即使當(dāng)這種液晶板是大型液晶板時(shí)，也可以在安裝元件的時(shí)候校正液晶板的外邊緣部分的翹曲。
液晶板的類型包括，例如諸如液晶顯示基板(LCD基板)和等離子體顯示板基板(PDP基板)等玻璃基板；和含有柔性印刷電路基板(FPC基板)的基板。同時(shí)，半導(dǎo)體元件的類型包括IC芯片和多種半導(dǎo)體裝置等。
面板臺(tái)101c真空吸附并保持液晶板，以及旋轉(zhuǎn)和移動(dòng)液晶板以確定這種液晶板的放置位置。XY工作臺(tái)101d確定液晶板的放置位置從而將這種液晶板的外邊緣部分的外圍放在支撐臺(tái)101a和翹曲校正單元101b上。
然后，將液晶板輸送到預(yù)結(jié)合器(pre-bonder)102，該預(yù)結(jié)合器配備有元件供應(yīng)單元102a、支撐臺(tái)102b、XY工作臺(tái)102c等。
在預(yù)結(jié)合工序中，從使用卷帶式封裝(TCP)帶等的元件供應(yīng)單元102a所供應(yīng)的半導(dǎo)體元件被排列在位于支撐臺(tái)102b上的液晶板的外邊緣部分，然后所述半導(dǎo)體元件被放在已經(jīng)與液晶板相連接的ACF帶上。
預(yù)結(jié)合器102配備有元件供應(yīng)單元102a，該元件供應(yīng)單元通過盤或者TCP帶(利用模具將半導(dǎo)體元件從所述帶切掉)獲得放在液晶板的外邊緣部分的半導(dǎo)體元件。
接著，執(zhí)行最終結(jié)合工序，即將半導(dǎo)體元件與液晶板進(jìn)行最終的結(jié)合。圖1B所示的最終結(jié)合器(final-bonder)103配備有翹曲校正單元201、支撐臺(tái)203、壓力頭204、面板臺(tái)205、片材供應(yīng)單元206和XY工作臺(tái)207等。
通過利用壓力頭204施加熱和壓力，最終結(jié)合器103對(duì)已經(jīng)經(jīng)過預(yù)結(jié)合的半導(dǎo)體元件與液晶板的外邊緣部分執(zhí)行最終的結(jié)合，所述壓力頭用于通過支撐臺(tái)203來按壓電子元件。并且，因?yàn)楸景l(fā)明包括翹曲校正單元201，所以可以在通過校正大型液晶板外邊緣部分的翹曲而保持該液晶板平面度的同時(shí)，執(zhí)行最終結(jié)合工序。
在真空吸附液晶板的同時(shí)，面板臺(tái)205和XY工作臺(tái)207一起通過沿預(yù)定方向旋轉(zhuǎn)和移動(dòng)液晶板來輸送該液晶板，并且確定該液晶板的放置位置。
在最終結(jié)合工序中，配備有兩個(gè)最終結(jié)合器103，例如，一個(gè)在液晶板的豎直方向，另一個(gè)在液晶板的水平方向。需要注意的是，可以用在最終結(jié)合工序的壓力方法包括集體壓力方法，即利用壓力頭單元將壓力集體地施加到電子元件上；和單獨(dú)壓力方法，即利用壓力頭204將壓力單獨(dú)地施加到電子元件上。利用作為控制器的操作面板來操作ACF結(jié)合器101、預(yù)結(jié)合器102和最終結(jié)合器103。
還需要注意的是，雖然設(shè)置在本發(fā)明的安裝器上的翹曲校正單元201被應(yīng)用于圖1A和圖1B中的ACF結(jié)合器101和最終結(jié)合器103，但是也可以將該翹曲校正單元應(yīng)用于預(yù)結(jié)合器102。本發(fā)明的翹曲校正單元可以有效用于諸如預(yù)結(jié)合工序和最終結(jié)合工序等尤其要求高放置精度的工序中。
圖2是顯示圖1B所示最終結(jié)合工序中的安裝器103的放大透視圖。
安裝器103配備有翹曲校正單元201、支撐臺(tái)203、壓力頭204等。用于吸附液晶板的多個(gè)波紋墊(accordion pads)202設(shè)置在翹曲校正單元201上。該翹曲校正單元201與支撐臺(tái)203平行設(shè)置，在它們之間有大約20mm的距離，并且它們的縱向長度相等。
將液晶板外邊緣部分的外圍放在翹曲校正單元201上，通過利用波紋墊202吸附液晶板可以保持液晶板外邊緣部分的平面度。需要注意的是，在圖2中，翹曲校正單元201被固定結(jié)合到支撐臺(tái)203上。
在半導(dǎo)體元件的結(jié)合過程中，當(dāng)壓力施加到半導(dǎo)體元件上時(shí)，支撐臺(tái)203是用于從后面支撐液晶板的外邊緣部分的臺(tái)架。壓力頭204通過給半導(dǎo)體元件施加壓力和熱而將半導(dǎo)體元件最終結(jié)合到液晶板的外邊緣部分上。需要注意的是，在圖2中，壓力頭204使用單獨(dú)壓力方法將壓力單獨(dú)地施加到電子元件上。
圖3A和圖3B分別是顯示根據(jù)本發(fā)明的安裝器103的翹曲校正單元201的俯視圖和側(cè)視圖。
參考圖3A(翹曲校正單元201的俯視圖)，用作抽吸部的波紋墊202沿縱向以大約30mm的預(yù)定間距設(shè)置。為了執(zhí)行真空吸附，通過內(nèi)孔301a將波紋墊202與真空抽吸單元連接，所述內(nèi)孔設(shè)置在翹曲校正單元201的內(nèi)部。
參考圖3B(翹曲校正單元201的側(cè)視圖)，每個(gè)波紋墊202的頂面被設(shè)計(jì)為在將液晶板放在翹曲校正單元201上之前比翹曲校正單元201的頂面高出例如大約2.5mm。通過允許波紋墊202以下述方式真空吸附放在翹曲校正單元201上的液晶板的外邊緣部分，即該波紋墊202根據(jù)液晶板外邊緣部分的形狀而與該液晶板可靠接觸，使得這種結(jié)構(gòu)可以校正液晶板的翹曲。此處的波紋墊202是商業(yè)上可獲得的由橡膠制成的波紋墊，并且波紋墊202的直徑為例如大約10mm。
為了調(diào)整真空吸附區(qū)的尺寸，空氣截止閥301設(shè)置在每個(gè)波紋墊202之間，用于控制含有將被使用的內(nèi)孔301a的區(qū)域的尺寸。通過根據(jù)液晶板的尺寸打開或者關(guān)閉空氣截止閥301而改變含有將要用于真空吸附的波紋墊202的區(qū)域的尺寸，可以可靠地防止在吸附的時(shí)候空氣從波紋墊202泄漏。
圖4是顯示通過安裝器將元件安裝到大型液晶板401上的外視圖。此處，“大型液晶板”是指，例如20英寸板或者諸如34英寸板(773mm×433mm)和25英寸板(573mm×321mm)等更大的液晶板。同時(shí)，“小液晶板”是指，例如諸如15英寸板(315mm×239mm)等小于20英寸的液晶板。
圖5是顯示圖3A和圖3B所示的根據(jù)本發(fā)明的安裝器103的放大剖視圖。
如圖5所示，首先將液晶板401的外邊緣部分向上移動(dòng)到支撐臺(tái)203的上方，然后沿箭頭所指的方向向下移動(dòng)以放在翹曲校正單元201和支撐臺(tái)203上。因此，液晶板401的外邊緣部分被放在波紋墊202上，該墊202以其頂面高于翹曲校正單元201的頂面的方式進(jìn)行設(shè)置。
圖6A和圖6B是顯示在根據(jù)該實(shí)施例的安裝器的翹曲校正單元201中如何校正液晶板401的翹曲的示意圖。
參考圖6A(顯示液晶板401外邊緣部分的翹曲被校正之前的側(cè)視圖)，液晶板401放在波紋墊202上。因?yàn)檫@種大型液晶板401由多片彼此層壓的玻璃制成，所以液晶板401的中央沿縱向是彎曲的，并且該液晶板的外邊緣部分呈圖6A所示的波形。
參考圖6B(顯示液晶板401外邊緣部分的翹曲被校正之后的側(cè)視圖)，通過利用波紋墊202真空吸附液晶板401，可以可靠地校正液晶板401的翹曲和保持該液晶板外邊緣部分的平面度。
圖7是顯示為了校正液晶板401的翹曲本發(fā)明的安裝器103采用的操作步驟的流程圖。
首先，根據(jù)將在其上安裝液晶驅(qū)動(dòng)器的液晶板401的尺寸調(diào)整以下區(qū)域的尺寸，即在翹曲校正單元201上含有將要用于真空吸附的波紋墊202的區(qū)域(S701)。
接著，通過將液晶板401的外邊緣部分放在翹曲校正單元201和支撐臺(tái)203上的方式，利用XY工作臺(tái)207和面板臺(tái)205輸送液晶板401(S702)。
然后，利用設(shè)置在翹曲校正單元201上的波紋墊202吸附液晶板401的外邊緣部分從而校正翹曲(S703)。
最后，在翹曲被校正以后，執(zhí)行電子元件與液晶板401的最終結(jié)合(S704)。
如上所述，根據(jù)該實(shí)施例的安裝器配備有翹曲校正單元201，該翹曲校正單元201與支撐臺(tái)203平行，在支撐臺(tái)203上執(zhí)行元件與液晶板401的最終結(jié)合。并且，通過利用設(shè)置在翹曲校正單元201上的波紋墊202吸附液晶板401的外邊緣部分，可以保持明顯翹曲和彎曲的大型液晶板401的外邊緣部分的平面度，并因此提高在最終結(jié)合工序和預(yù)結(jié)合工序中放置電子元件的精度。
并且，因?yàn)椴y墊202以其頂面高于翹曲校正單元201的頂面的方式進(jìn)行設(shè)置，所以可以可靠地限制和吸附放在翹曲校正單元201上的液晶板401的外邊緣部分。
另外，通過根據(jù)液晶板401的尺寸而打開和關(guān)閉空氣截止閥301，可以防止空氣泄漏。
(變化形式)接著，說明在根據(jù)本發(fā)明的安裝器中使用翹曲校正單元的變化形式。
圖8是顯示利用根據(jù)該變化形式的安裝器103將半導(dǎo)體元件安裝在液晶板上的放大剖視圖。
如圖8所示，液晶板401由層壓玻璃制成，該層壓玻璃包括諸如陣列基板401d和彩色濾光基板401c等兩層基板，以及應(yīng)用于層壓玻璃表面上的偏光板(deflecting plate)401e和保護(hù)膜401b。
半導(dǎo)體元件401a放在液晶板401的陣列基板401d的外邊緣部分上。這在支撐臺(tái)203的頂面和翹曲校正單元201的頂面之間產(chǎn)生了高度差，其厚度等于偏光板401e的厚度。需要注意的是，偏光板401e厚度容差的不同在很大程度上取決于液晶板401，并且液晶板401厚度的改變?nèi)Q于液晶板的類型。
因此，通過使支撐臺(tái)203的頂面和翹曲校正單元201(其通過吸附來支撐液晶板401)的頂面之間存在等于偏光板401e的厚度的高度差，可以防止在半導(dǎo)體元件的結(jié)合過程中液晶板401由于偏光板401e的厚度而從翹曲校正單元201部分凸起和移位。并且，也可以利用彈簧吸附液晶板401，不過彈簧的吸附力比波紋墊202的吸附力小。
因此，根據(jù)該變化形式的安裝器，可以提高放置半導(dǎo)體元件的精度，這是因?yàn)樵诼N曲校正單元201中考慮了偏光板401e的厚度的基礎(chǔ)上執(zhí)行最終結(jié)合工序。
圖9是顯示在根據(jù)該變化形式的安裝器103的翹曲校正單元201中用于調(diào)整偏光板401e厚度的操作步驟的流程圖。
首先，確定液晶板401的偏光板401e的厚度(S901)，然后在考慮該偏光板401e的厚度的基礎(chǔ)上確定和調(diào)整翹曲校正單元201的高度(S902)。接著，將液晶板401輸送到波紋墊202上(S903)，并且利用波紋墊202真空吸附該液晶板401(S904)。此后，利用壓力頭204執(zhí)行半導(dǎo)體元件的最終結(jié)合(S905)。
如上所述，根據(jù)該變化形式，放置精度得以提高，這是因?yàn)榭梢栽诳紤]構(gòu)成液晶板401的偏光板401e的厚度的基礎(chǔ)上調(diào)整翹曲校正單元201的高度，并且可以自動(dòng)適應(yīng)根據(jù)液晶板401而改變的高度差。
需要注意的是，雖然在假設(shè)將翹曲校正單元201用于安裝器的基礎(chǔ)上對(duì)該實(shí)施例進(jìn)行了說明，但是翹曲校正單元201的應(yīng)用并不限于此。因此，可以將翹曲校正單元201用于例如終端清潔器和導(dǎo)線檢驗(yàn)器，所述終端清潔器是在將IC安裝到液晶板上之前使用，所述導(dǎo)線檢驗(yàn)器是在安裝IC之后使用。還需要注意的是，不僅可以將翹曲校正單元201用于大型液晶板的安裝處理，而且可以將其用于小液晶板的安裝處理。
(第二實(shí)施例)圖10是顯示根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置1000的放大透視圖。
需要注意的是，在第二實(shí)施例中，利用安裝器103的附圖來說明基板處理裝置1000，如第一實(shí)施例所述，安裝器103執(zhí)行半導(dǎo)體元件與液晶板的最終結(jié)合，但是基板處理裝置1000可以是終端清潔器和導(dǎo)線檢驗(yàn)器等，該終端清潔器用于在將IC安裝到液晶板上之前清潔液晶板的外邊緣部分，該導(dǎo)線檢驗(yàn)器用于在安裝IC之后檢驗(yàn)卷帶式自動(dòng)接合(TAB)的導(dǎo)線位置。還需要注意的是，根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置1000特別適用于通過同一裝置處理大型液晶板的長邊和短邊。并且，第二實(shí)施例涉及下述情形，即源極側(cè)(液晶板的長邊)的長度與翹曲校正單元的吸附區(qū)的長度相等的情形。
如圖10所示，最終結(jié)合工序中的基板處理裝置1000配備有翹曲校正單元201、支撐臺(tái)203、壓力頭204、空氣截止閥1301等。
通過利用壓力頭204施加熱和壓力，該基板處理裝置1000對(duì)已經(jīng)經(jīng)過預(yù)結(jié)合的半導(dǎo)體元件與液晶板的外邊緣部分執(zhí)行最終的結(jié)合，所述壓力頭用于通過支撐臺(tái)203來按壓電子元件。并且，因?yàn)楸景l(fā)明包括翹曲校正單元201，所以可以在通過校正大型液晶板外邊緣部分的翹曲而保持該液晶板平面度的同時(shí)，執(zhí)行最終結(jié)合工序。
并且，在吸附液晶板的同時(shí)，基板處理裝置1000在面板臺(tái)上旋轉(zhuǎn)和移動(dòng)該液晶板，以至液晶板的縱向和橫向都由同一裝置處理。
翹曲校正單元201與支撐臺(tái)203平行設(shè)置，在它們之間有大約20mm的距離，并且它們的縱向長度相等。翹曲校正單元201配備有用于吸附液晶板的多個(gè)波紋墊202。這些波紋墊202沿縱向以大約30mm的預(yù)定間距設(shè)置。為了執(zhí)行真空吸附，通過設(shè)置在翹曲校正單元201內(nèi)部的中空部(下文將根據(jù)圖12A和圖12B對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)說明)將波紋墊202與用作真空源的真空抽吸單元連接。
并且，通過將對(duì)應(yīng)于液晶板401的源極側(cè)和柵極側(cè)的外邊緣部分放在支撐臺(tái)203和翹曲校正單元201上，以及通過利用波紋墊202吸附該外邊緣部分，可以保持液晶板的外邊緣部分的平面度。
在半導(dǎo)體元件的結(jié)合過程中，當(dāng)壓力施加到半導(dǎo)體元件上時(shí)，支撐臺(tái)203是用于從后面支撐液晶板的外邊緣部分的臺(tái)架。壓力頭204通過給半導(dǎo)體元件施加壓力和熱而將半導(dǎo)體元件最終結(jié)合到液晶板的外邊緣部分上。需要注意的是，在圖10中，壓力頭204使用單獨(dú)壓力方法將壓力單獨(dú)地施加到半導(dǎo)體元件上。
另外，在本發(fā)明中，真空路徑1001、1002和1003形成于翹曲校正單元201的三個(gè)位置處翹曲校正單元的中下部、右端部和左端部。并且，基板處理裝置1000配備有用作真空路徑確定單元的控制器，所述真空路徑確定單元根據(jù)基板數(shù)據(jù)從多個(gè)真空路徑1001、1002和1003中確定將被使用的真空路徑。因此，通過控制器從這些真空路徑1001、1002和1003中分別選擇將要用于液晶板401的長邊和短邊的真空路徑，可以準(zhǔn)確地確定設(shè)置在翹曲校正單元201上的抽吸墊的吸附區(qū)。
需要注意的是，雖然在圖10中翹曲校正單元201被固定到支撐臺(tái)203上，但是通過利用塊件在翹曲校正單元201的左側(cè)和右側(cè)固定它，可以容易地更換該翹曲校正單元201。
圖11是顯示通過基板處理裝置1000將元件安裝到大型液晶板401上的外視圖。此處，“大型液晶板”是指，例如20英寸板或者諸如34英寸板(773mm×433mm)和25英寸板(573mm×321mm)等更大的液晶板。同時(shí)，“小液晶板”是指，例如諸如15英寸板(315mm×239mm)等小于20英寸的液晶板。
液晶板的類型包括，例如諸如液晶顯示基板(LCD基板)和等離子顯示板基板(PDP基板)等玻璃基板；和含有柔性印刷電路基板(FPC基板)的基板。同時(shí)，半導(dǎo)體元件401a的類型包括IC芯片和多種半導(dǎo)體裝置等。
需要注意的是，雖然圖11顯示的是電子元件被安裝在液晶板的三側(cè)上，但是在小液晶板的情形下可以將電子元件安裝在液晶板的兩側(cè)上，例如長邊和短邊。
圖12A和圖12B是顯示在根據(jù)第二實(shí)施例的基板處理裝置1000的翹曲校正單元201中如何校正液晶板401的翹曲的示意圖。
參考圖12A(顯示液晶板401外邊緣部分的翹曲被校正之前的側(cè)視圖)，液晶板401被放在波紋墊202上。因?yàn)檫@種大型液晶板401由多片彼此層壓的玻璃制成，所以液晶板401的中央沿縱向是彎曲的，并且該液晶板的外邊緣部分呈圖12A所示的波形。每個(gè)波紋墊202的頂面被設(shè)計(jì)為在將液晶板放在翹曲校正單元201上之前比翹曲校正單元201的頂面高出例如大約2.5mm。通過波紋墊202根據(jù)液晶板外邊緣部分的形狀而與該液晶板可靠接觸的方式，這種結(jié)構(gòu)可以真空吸附放在翹曲校正單元201上的液晶板的外邊緣部分。此處的波紋墊202是商業(yè)上可獲得的由橡膠制成的波紋墊，并且波紋墊202的直徑為，例如大約10mm。
參考圖12B(顯示液晶板401外邊緣部分的翹曲被校正之后的側(cè)視圖)，通過利用波紋墊202真空吸附液晶板401，可以可靠地校正液晶板401的翹曲和保持該液晶板外邊緣部分的平面度。
圖13A和圖13B是顯示根據(jù)第二實(shí)施例的基板處理裝置1000的翹曲校正單元的側(cè)視圖。
用作空氣流通路徑的中空部包括形成于翹曲校正單元201內(nèi)部的下列中空部形成于水平方向的中空部；和形成于豎直方向的中空部，其在形成于水平方向的中空部和各個(gè)抽吸墊之間延伸。中空部的中部、右端部和左端部與真空路徑1001至1003相連接。
并且，空氣截止閥以穿過中空部的方式設(shè)置在中空部上。利用下述空氣截止閥，即其包括未形成通孔的空氣截止閥和形成有通孔而允許空氣通過的空氣通過閥，可以調(diào)整液晶板的吸附位置，并且通過將具有通孔的空氣截止閥旋轉(zhuǎn)90°或者沿軸向移動(dòng)，可以打開和關(guān)閉空氣的流通路徑。
參考圖13A(顯示在為液晶板401的柵極側(cè)執(zhí)行安裝過程的情形下的側(cè)視圖)，用作真空路徑確定單元的控制器根據(jù)液晶板的柵極側(cè)寬度適當(dāng)?shù)仃P(guān)閉空氣截止閥1301，從而中斷路徑。當(dāng)為柵極側(cè)執(zhí)行安裝過程時(shí)，只利用真空路徑1002吸附液晶板。
參考圖13B(顯示在為液晶板401的源極側(cè)執(zhí)行安裝過程的情形下的側(cè)視圖)，當(dāng)為源極側(cè)執(zhí)行安裝過程時(shí)，控制器把將被使用的真空路徑變?yōu)檎婵章窂?001至1003。通過在經(jīng)過這種改變之后執(zhí)行吸附過程，可以吸附液晶板的外邊緣部分而不導(dǎo)致任何空氣泄漏，并且可以校正翹曲。
圖14A和圖14B是在根據(jù)本發(fā)明的翹曲校正單元201中分別采用空氣截止閥和空氣通過閥的情形下的放大剖視圖。
參考圖14A(顯示在翹曲校正單元201采用空氣截止閥1301的情形下的剖視圖)，因?yàn)檫@種空氣截止閥1301沒有通孔，所以可以中斷空氣的通路。同時(shí)，參考圖14B(顯示在翹曲校正單元201采用空氣通過閥1401的情形下的剖視圖)，因?yàn)樾纬捎性试S空氣通過并且符合真空路徑的直徑的通孔，所以空氣的通路未被中斷。需要注意的是，除了利用這兩種類型的閥(也就是說圖14A和圖14B所示的空氣截止閥1301和空氣通過閥1401)之外，將具有通孔的一種閥旋轉(zhuǎn)90°或者沿軸向移動(dòng)，可以達(dá)到同樣的功能。
圖15是說明為了處理液晶板401的柵極側(cè)和源極側(cè)，根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置1000采用的處理步驟的流程圖。
首先，當(dāng)將液晶板401輸送到基板處理裝置1000時(shí)，為液晶板401的柵極側(cè)執(zhí)行安裝過程(S1501)。
接著，在第二個(gè)實(shí)施例中，為了為液晶板的三側(cè)執(zhí)行安裝過程，利用XY工作臺(tái)和面板臺(tái)將液晶板旋轉(zhuǎn)180°(S1502)，以便為另一端的柵極側(cè)執(zhí)行安裝過程(S1503)。
然后，利用面板臺(tái)等將液晶板旋轉(zhuǎn)90°(S1504)，再為液晶板的源極側(cè)執(zhí)行安裝過程(S1505)。需要注意的是，可以首先為液晶板的源極側(cè)執(zhí)行安裝過程。
圖16是顯示為了校正液晶板401的柵極側(cè)的翹曲，本發(fā)明的基板處理裝置1000采用的操作步驟的流程圖。
首先，根據(jù)將在其上安裝液晶驅(qū)動(dòng)器的液晶板401的柵極側(cè)的端部寬度，用作真空路徑確定單元的控制器適當(dāng)?shù)仃P(guān)閉空氣截止閥1301(S1601)。接著，通過將液晶板401的外邊緣部分放在翹曲校正單元201和支撐臺(tái)203上的方式，利用面板臺(tái)輸送液晶板401(S1602)。然后，利用真空路徑1002、通過用作抽吸部的波紋墊202吸附液晶板401的外邊緣部分而糾正該液晶板的翹曲(S1603)，在所述翹曲糾正以后將電子元件結(jié)合到液晶板401上(S1604)。
圖17是顯示為了校正液晶板401源極側(cè)的翹曲，本發(fā)明的基板處理裝置1000采用的操作步驟的流程圖。
首先，通過將液晶板401的外邊緣部分放在翹曲校正單元201和支撐臺(tái)203上的方式，利用面板臺(tái)輸送液晶板401(S1701)。然后，用作真空路徑確定單元的控制器確定將要使用真空路徑是真空路徑1001至1003，并且利用這幾個(gè)真空路徑真空吸附液晶板401的外邊緣部分(S1702)。最后，將電子元件結(jié)合到液晶板401的外邊緣部分上(S1703)。
如上所述，根據(jù)該實(shí)施例的基板處理裝置1000，翹曲校正單元201與支撐臺(tái)203平行，在支撐臺(tái)203上為液晶板401執(zhí)行最終結(jié)合工序，并且，在翹曲校正單元201利用用于真空吸附的波紋墊202吸附液晶板401的外邊緣部分。
這種結(jié)構(gòu)可以保持明顯翹曲和彎曲的大型液晶板401的外邊緣部分的平面度，并因此在用于液晶板的每個(gè)工序中提高放置電子元件的精度。
并且，根據(jù)第二實(shí)施例的基板處理裝置1000，真空路徑設(shè)置在翹曲校正單元的三個(gè)位置處，并且用作真空路徑確定單元的控制器根據(jù)是為液晶板的柵極側(cè)還是源極側(cè)執(zhí)行安裝過程來改變將被使用的真空路徑。并且，控制器關(guān)閉位于液晶板的各個(gè)柵極側(cè)端部附近的空氣截止閥。
因此，通過在吸附液晶板時(shí)可靠地防止空氣泄漏等方式，上述結(jié)構(gòu)可以提高基板處理的精度。
而且，因?yàn)閮H僅通過改變將被使用的真空路徑，本發(fā)明的基板處理裝置1000可以校正柵極側(cè)和源極側(cè)的翹曲，所以可以有效用作通過同一工序處理源極側(cè)和柵極側(cè)的裝置。
需要注意的是，通常利用完全相同的最終結(jié)合器來執(zhí)行最終結(jié)合工序，所述最終結(jié)合器沿直線設(shè)置以便為液晶板的兩側(cè)，也就是說一個(gè)源極側(cè)和一個(gè)柵極側(cè)執(zhí)行結(jié)合工序。因此，在電子元件所安裝的基板的尺寸發(fā)生變化的情形下，僅僅通過改變最終結(jié)合器的吸附區(qū)的設(shè)置，就可以支撐液晶板的長邊或者短邊。
(第三實(shí)施例)
下面參考

本發(fā)明的基板處理裝置1000的另一個(gè)實(shí)施例。需要注意的是，第三實(shí)施例的特征在于，所采用的吸附方法用于液晶板的源極側(cè)長度比翹曲校正單元的吸附區(qū)的長度更短的情形。
圖18是顯示根據(jù)第三實(shí)施例的基板處理裝置1000的透視圖。
如圖18中的對(duì)角線所示，在液晶板401的源極側(cè)長度比翹曲校正單元201沿縱向的長度更短以及液晶板401的源極側(cè)放在翹曲校正單元201上的情形下，在翹曲校正單元201的兩端部存在未使用的波紋墊202。需要注意的是，基板處理裝置1000的其他元件與上述圖10所示的元件相同，因此未對(duì)這些元件進(jìn)行詳細(xì)的說明。
圖19A和圖19B是顯示根據(jù)第三實(shí)施例的基板處理裝置1000的翹曲校正單元的側(cè)視圖。
用作空氣流通路徑的中空部、空氣截止閥1301和1902、以及真空路徑1001至1003的結(jié)構(gòu)與上述圖13A和圖13B所示相應(yīng)部件的結(jié)構(gòu)相同。
參考圖19A(顯示在為液晶板401的柵極側(cè)執(zhí)行安裝過程的情形下翹曲校正單元201的側(cè)視圖)，通過根據(jù)液晶板的柵極側(cè)寬度關(guān)閉空氣截止閥1301而中斷空氣的通路。當(dāng)為柵極側(cè)執(zhí)行安裝過程時(shí)，只利用真空路徑1002來吸附液晶板。
參考圖19B(顯示在為液晶板401的源極側(cè)執(zhí)行安裝過程的情形下翹曲校正單元201的側(cè)視圖)，通過根據(jù)液晶板的源極側(cè)寬度關(guān)閉空氣截止閥1902而中斷空氣的通路。然后，在用于源極側(cè)的安裝過程中，在吸附過程被執(zhí)行之前，用作真空路徑確定單元的控制器將將被使用的真空路徑從一個(gè)真空路徑1002改為真空路徑1001至1003。因?yàn)橐壕О宓耐膺吘壊糠忠赃m當(dāng)?shù)姆绞奖晃蕉鴽]有導(dǎo)致空氣從位于未放置液晶板的翹曲校正單元的兩端部的波紋墊泄漏，所以這可以校正翹曲。
圖20是顯示為了校正液晶板401的柵極側(cè)的翹曲，本發(fā)明的基板處理裝置1000采用的操作步驟的流程圖。
首先，根據(jù)將在其上安裝液晶驅(qū)動(dòng)器的液晶板401的柵極側(cè)寬度，關(guān)閉位于一區(qū)域端部的空氣截止閥1301，所述區(qū)域含有用于真空吸附的波紋墊202。并且，根據(jù)液晶板的源極側(cè)長度關(guān)閉位于源極側(cè)兩端部的空氣截止閥1902(S2001)。
隨后在S2002至S2004中執(zhí)行的過程與第二實(shí)施例的圖16所示的過程S1602至S1604相同，因此不對(duì)此進(jìn)行說明。
圖21是顯示為了校正液晶板401的源極側(cè)的翹曲，本發(fā)明的基板處理裝置1000采用的操作步驟的流程圖。
首先，根據(jù)將在其上安裝液晶驅(qū)動(dòng)器的液晶板401的柵極側(cè)寬度，關(guān)閉位于一區(qū)域端部的空氣截止閥1301，所述區(qū)域含有用于真空吸附的波紋墊202。并且，根據(jù)液晶板的源極側(cè)長度關(guān)閉位于源極側(cè)兩端部的空氣截止閥1902(S2101)。隨后在S2102至S2104中執(zhí)行的過程與上述圖17所示的過程S1702至S1704相同，因此不對(duì)此進(jìn)行說明。
如上所述，即使在液晶板401的源極側(cè)長度比翹曲校正單元201的吸附區(qū)的長度更短的情形下，通過將空氣截止閥1301和1902都關(guān)閉而中斷空氣的通路，除了產(chǎn)生第二實(shí)施例獲得的效果之外，根據(jù)第三實(shí)施例的基板處理裝置1000還可以防止空氣從位于未放置液晶板401的部分的抽吸式墊泄漏，并且可以利用同一裝置以適當(dāng)?shù)姆绞教幚硪壕О?01的柵極側(cè)和源極側(cè)。
圖22是顯示終端清潔器2200的外視圖，該終端清潔器配備有根據(jù)本發(fā)明的翹曲校正單元2205。
終端清潔器2200是在將電子元件安裝到液晶板上的工序之前用于清潔外邊緣部分的頂面和底面的裝置，其中電子元件將安裝在該外邊緣部分上。這種終端清潔器2200配備有識(shí)別照相機(jī)2201，其獲得液晶板位置的圖像以便校正液晶板的位置；清潔頭2202，其利用清潔布清洗液晶板的外邊緣部分；支撐臺(tái)2203，將要清洗的液晶板的外邊緣部分的外圍放在該支撐臺(tái)上；面板臺(tái)2204，其作用如下，(i)沿X向、Y向、Z向和θ向確定液晶板的位置，(ii)通過旋轉(zhuǎn)液晶板將液晶板的位置改為柵極側(cè)或者源極側(cè)，(iii)在進(jìn)行清洗的時(shí)候通過真空吸附來牢固保持放在其上的液晶板；翹曲校正單元2205，在進(jìn)行清洗的時(shí)候該翹曲校正單元校正液晶板外邊緣部分的翹曲；等。
與上述實(shí)施例的情形一樣，翹曲校正單元2205配備有波紋墊2205a、空氣截止閥2205b和空氣通過閥，所述波紋墊用于校正液晶板的翹曲，所述空氣截止閥和空氣通過閥用于根據(jù)液晶板的尺寸來改變吸附區(qū)的尺寸。在用于液晶板的源極側(cè)和柵極側(cè)的過程中，根據(jù)控制器所確定的應(yīng)該使用哪個(gè)或者哪些真空路徑來改變吸附區(qū)的尺寸。
這種結(jié)構(gòu)使終端清潔器2200可以在同一裝置中清洗源極側(cè)和柵極側(cè)，同時(shí)在翹曲校正單元2205中校正外邊緣部分的翹曲。
上述實(shí)施例已經(jīng)對(duì)本發(fā)明的基板處理裝置進(jìn)行了說明，這些實(shí)施例是假設(shè)在同一最終結(jié)合器或者終端清潔器中執(zhí)行柵極側(cè)和源極側(cè)的放置過程，但是需要注意的是，本發(fā)明的基板處理裝置可以用于，例如諸如導(dǎo)線檢驗(yàn)器等裝置，在結(jié)合電子元件以后使用所述導(dǎo)線檢驗(yàn)器。
雖然上面只詳細(xì)說明了本發(fā)明的一些示例性實(shí)施例，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以容易地認(rèn)識(shí)到，在不從本質(zhì)上偏離本發(fā)明的新穎性內(nèi)容和優(yōu)勢(shì)的前提下可以對(duì)所述實(shí)施例進(jìn)行許多修改。因此，認(rèn)為所有這些修改都包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
工業(yè)實(shí)用性根據(jù)本發(fā)明的安裝器特別適用于液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器中執(zhí)行的ACF結(jié)合工序、預(yù)結(jié)合工序和最終結(jié)合工序，所述液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器用于將半導(dǎo)體元件安裝到大型液晶板上，并且根據(jù)本發(fā)明的安裝器也適用于在上述工序之前和之后所采用的終端清潔器和導(dǎo)線檢驗(yàn)器等中。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，其在將電子元件安裝到基板的外邊緣部分上的過程中使用，所述裝置包括抽吸臺(tái)，其包括(i)用于吸附基板的外邊緣部分的下表面的抽吸部，和(ii)用于校正基板的外邊緣部分的下表面翹曲的平面部；真空路徑，它們與所述抽吸臺(tái)相連接；和真空抽吸單元，其可操作以利用所述抽吸部真空吸附放在所述抽吸臺(tái)上的基板的外邊緣部分，并且所述真空抽吸單元與至少一個(gè)真空路徑相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述抽吸臺(tái)內(nèi)形成有用于連接真空路徑和抽吸部的中空部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，所述抽吸部是在上下方向呈柔性的抽吸墊，所述抽吸墊以穿過所述抽吸臺(tái)的頂面的方式沿所述抽吸臺(tái)的縱向以預(yù)定間距設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于，所述抽吸部以下述方式設(shè)置每個(gè)所述抽吸部的頂面比所述抽吸臺(tái)的頂面高。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，還包括開閉單元，其可操作以打開和關(guān)閉所述中空部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于，還包括支撐臺(tái)，其是用于支撐基板的外邊緣部分的下表面的放置臺(tái)；其中，所述抽吸臺(tái)的縱向長度與所述支撐臺(tái)的縱向長度相等。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于，所述中空部由形成于所述抽吸臺(tái)內(nèi)的下述中空部構(gòu)成第一中空部，其水平地形成為橫穿所述抽吸臺(tái)；和第二中空部，它們豎直地形成于所述抽吸臺(tái)上以連接所述第一中空部和所述抽吸部；并且所述開閉單元由下述部件構(gòu)成第一截止閥，它們以預(yù)定間距設(shè)置在所述第一中空部上；和第二截止閥，它們?cè)O(shè)置在各個(gè)第二中空部上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，所述開閉單元是空氣通過閥，所述空氣通過閥以穿過所述中空部的方式設(shè)置，并且每個(gè)所述空氣通過閥在與所述中空部相應(yīng)的位置處具有通孔，以便控制每個(gè)所述抽吸部的打開和關(guān)閉。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板處理裝置，其特征在于，所述真空路徑包括與中空部相連接的下述真空路徑第一真空路徑，其沿縱向位于抽吸臺(tái)的中央部分；和第二真空路徑，其中一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的右端部，另一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的左端部；并且所述基板處理裝置還包括真空路徑確定單元，其可操作以根據(jù)是對(duì)基板的短邊還是長邊進(jìn)行處理而從所述第一真空路徑和第二真空路徑中確定將被使用的真空路徑。
10.一種用于基板處理裝置的翹曲校正單元，所述基板處理裝置用在將電子元件安裝到基板的外邊緣部分上的過程中，所述翹曲校正單元包括用于校正基板的外邊緣部分的下表面翹曲的平面部；其中，基板處理裝置包括真空路徑，它們與所述翹曲校正單元相連接；和真空抽吸單元，其可操作以利用設(shè)置在所述翹曲校正單元上的抽吸部真空吸附放在所述翹曲校正單元上的基板的外邊緣部分；在所述翹曲校正單元內(nèi)形成有用于連接真空路徑和抽吸部的中空部。
11.一種安裝器，其用于將電子元件安裝到液晶板上，所述安裝器包括壓力頭，其將電子元件壓到液晶板的外邊緣部分上；支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)是在所述壓力頭對(duì)電子元件施加壓力時(shí)從后面支撐液晶板的外邊緣部分的放置臺(tái)；抽吸臺(tái)，其靠近且平行于所述支撐臺(tái)設(shè)置，并且所述抽吸臺(tái)包括用于吸附液晶板的外邊緣部分的抽吸部；真空路徑，它們與所述抽吸臺(tái)相連接；和真空抽吸單元，其可操作以真空吸附放在所述抽吸臺(tái)上的液晶板，并且所述真空抽吸單元通過至少一個(gè)所述真空路徑與所述抽吸臺(tái)相連。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的安裝器，其特征在于，所述抽吸臺(tái)內(nèi)形成有用于連接真空路徑和抽吸部的中空部。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的安裝器，其特征在于，所述抽吸部是在上下方向呈柔性的抽吸墊，所述抽吸墊以穿過所述抽吸臺(tái)的頂面的方式沿所述抽吸臺(tái)的縱向以預(yù)定間距設(shè)置。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的安裝器，其特征在于，所述抽吸部以下述方式設(shè)置每個(gè)所述抽吸部的頂面比所述抽吸臺(tái)的頂面高。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的安裝器，其特征在于，還包括高度調(diào)節(jié)單元，其可操作以調(diào)節(jié)所述抽吸臺(tái)的高度，從而使所述支撐臺(tái)的頂面與放在所述支撐臺(tái)上的液晶板的外邊緣部分的下表面高度相同。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的安裝器，其特征在于，還包括開閉單元，其可操作以打開和關(guān)閉所述中空部。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的安裝器，其特征在于，所述抽吸臺(tái)的縱向長度與所述支撐臺(tái)的縱向長度相等。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的安裝器，其特征在于，所述中空部由形成于所述抽吸臺(tái)內(nèi)的下述中空部構(gòu)成第一中空部，其水平地形成為橫穿所述抽吸臺(tái)；和第二中空部，它們豎直地形成于所述抽吸臺(tái)上以連接所述第一中空部和所述抽吸部；并且所述開閉單元由下述部件構(gòu)成第一截止閥，它們以預(yù)定間距設(shè)置在所述第一中空部上；和第二截止閥，它們?cè)O(shè)置在各個(gè)第二中空部上。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的安裝器，其特征在于，所述開閉單元是空氣通過閥，所述空氣通過閥以穿過所述中空部的方式設(shè)置，并且每個(gè)所述空氣通過閥在與所述中空部相應(yīng)的位置處具有通孔，以便控制每個(gè)所述抽吸部的打開和關(guān)閉。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的安裝器，其特征在于，所述真空路徑包括與中空部相連接的下述真空路徑第一真空路徑，其沿縱向位于抽吸臺(tái)的中央部分；和第二真空路徑，其中一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的右端部，另一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的左端部；并且所述安裝器還包括真空路徑確定單元，其可操作以根據(jù)是對(duì)液晶板的短邊還是長邊進(jìn)行處理而從所述第一真空路徑和第二真空路徑中確定將被使用的真空路徑。
21.一種液晶驅(qū)動(dòng)器安裝器，包括將電子元件安裝到液晶板上的安裝器，其中，所述安裝器包括壓力頭，其將電子元件壓到液晶板的外邊緣部分上；支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)是在所述壓力頭對(duì)電子元件施加壓力時(shí)從后面支撐液晶板的外邊緣部分的放置臺(tái)；抽吸臺(tái)，其靠近且平行于所述支撐臺(tái)設(shè)置，并且所述抽吸臺(tái)包括用于吸附液晶板的外邊緣部分的抽吸部；真空路徑，它們與所述抽吸臺(tái)相連接；和真空抽吸單元，其可操作以真空吸附放在所述抽吸臺(tái)上的液晶板，并且所述真空抽吸單元通過至少一個(gè)所述真空路徑與所述抽吸臺(tái)相連；其中，所述抽吸臺(tái)內(nèi)形成有用于連接真空路徑和抽吸部的中空部。
22.一種基板處理方法，其用于在將電子元件安裝到基板的外邊緣部分上的過程中所使用的基板處理裝置；其中，所述基板處理裝置包括抽吸臺(tái)，其包括(i)用于吸附基板的外邊緣部分的下表面的抽吸部，和(ii)用于校正基板的外邊緣部分的下表面翹曲的平面部；真空路徑，它們與抽吸臺(tái)相連接；和真空抽吸單元，其可操作以利用抽吸部真空吸附放在抽吸臺(tái)上的基板的外邊緣部分，所述真空抽吸單元與至少一個(gè)真空路徑相連；所述基板處理方法包括將基板放在抽吸臺(tái)上；和真空吸附放在抽吸臺(tái)上的基板的外邊緣部分，所述真空吸附是在真空抽吸單元與抽吸部相連的狀態(tài)下執(zhí)行的。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的基板處理方法，其特征在于，在抽吸臺(tái)內(nèi)形成有中空部，所述中空部由下述中空部構(gòu)成第一中空部，其水平地形成為橫穿所述抽吸臺(tái)；和第二中空部，它們豎直地形成于所述抽吸臺(tái)上以連接所述第一中空部和所述抽吸部；所述真空路徑包括與中空部相連接的下述真空路徑第一真空路徑，其沿縱向位于抽吸臺(tái)的中央部分；和第二真空路徑，其中一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的右端部，另一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的左端部；所述基板處理裝置還包括開閉單元，其可操作以打開和關(guān)閉中空部，所述開閉單元由下述截止閥構(gòu)成第一截止閥，其以預(yù)定間距設(shè)置在第一中空部上；和第二截止閥，它們?cè)O(shè)置在各個(gè)第二中空部上；和真空路徑確定單元，其可操作以根據(jù)是對(duì)基板的短邊還是長邊進(jìn)行處理而從第一真空路徑和第二真空路徑中確定將被使用的真空路徑；所述基板處理方法還包括根據(jù)基板的尺寸打開和關(guān)閉第一截止閥或者第二截止閥；和從第一真空路徑和第二真空路徑中確定將被使用的真空路徑。
24.一種安裝方法，其用于將電子元件安裝到液晶板上的安裝器；其中，所述安裝器包括壓力頭，其將電子元件壓到液晶板的外邊緣部分上；支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)是在所述壓力頭對(duì)電子元件施加壓力時(shí)從后面支撐液晶板的外邊緣部分的放置臺(tái)；抽吸臺(tái)，其靠近且平行于所述支撐臺(tái)設(shè)置，并且所述抽吸臺(tái)包括用于吸附液晶板的外邊緣部分的抽吸部；真空路徑，它們與所述抽吸臺(tái)相連接；和真空抽吸單元，其可操作以真空吸附放在抽吸臺(tái)上的液晶板，所述真空抽吸單元與所述抽吸部相連；所述安裝方法包括將液晶板放在支撐臺(tái)和抽吸臺(tái)上；和真空吸附放在抽吸臺(tái)上的液晶板的外邊緣部分，所述真空吸附是在真空抽吸單元與抽吸部相連的狀態(tài)下執(zhí)行的。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的安裝方法，其特征在于，在抽吸臺(tái)內(nèi)形成有中空部，所述中空部由下述中空部構(gòu)成第一中空部，其水平地形成為橫穿所述抽吸臺(tái)；和第二中空部，它們豎直地形成于所述抽吸臺(tái)上以連接所述第一中空部和所述抽吸部；所述真空路徑包括與中空部相連接的下述真空路徑第一真空路徑，其沿縱向位于抽吸臺(tái)的中央部分；和第二真空路徑，其中一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的右端部，另一個(gè)第二真空路徑位于抽吸臺(tái)的左端部；所述安裝器還包括開閉單元，其可操作以打開和關(guān)閉中空部，所述開閉單元由下述截止閥構(gòu)成第一截止閥，它們以預(yù)定間距設(shè)置在所述第一中空部上；和第二截止閥，它們?cè)O(shè)置在各個(gè)第二中空部上；和真空路徑確定單元，其可操作以根據(jù)是對(duì)液晶板的短邊還是長邊進(jìn)行處理而從第一真空路徑和第二真空路徑中確定將被使用的真空路徑；所述安裝方法還包括根據(jù)液晶板的尺寸打開和關(guān)閉第一截止閥或者第二截止閥；和從第一真空路徑和第二真空路徑中確定將被使用的真空路徑。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種最終結(jié)合器(103)，其配備有翹曲校正單元(201)，其與支撐臺(tái)(203)平行設(shè)置且距離該支撐臺(tái)(203)大約20mm，并且該翹曲校正單元包括用于吸附液晶板的波紋墊(202)；支撐臺(tái)(203)，在連接半導(dǎo)體元件的過程中，當(dāng)將壓力施加到液晶板的外邊緣部分時(shí)，該支撐臺(tái)用于從后面支撐液晶板；和壓力頭(204)，其通過給半導(dǎo)體元件施加壓力和熱而將半導(dǎo)體元件最終結(jié)合到液晶板的外邊緣部分上。
文檔編號(hào)H05K13/00GK1981567SQ20058002299
公開日2007年6月13日 申請(qǐng)日期2005年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月8日
發(fā)明者村田崇彥, 辻慎治郎, 小田原広造, 片野良一郎 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社