專利名稱：人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，特別涉及半導(dǎo)體硅單晶生長和鍺單晶生長用的晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)是把擔(dān)負(fù)信號(hào)傳輸?shù)碾娝h(huán)安裝在支撐軸承的上部，定心套安裝在旋轉(zhuǎn)軸的上部，這樣使得旋轉(zhuǎn)軸的旋出部分較長，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)性差。另外，定心套安裝在旋轉(zhuǎn)軸的上部安裝更換十分不便。
發(fā)明目的針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明的發(fā)明目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，效果明顯的人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，以提高人工晶體生長的穩(wěn)定性、可靠性，并方便安裝和維修。
技術(shù)內(nèi)容本發(fā)明的人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)軸(5)通過軸承座12、壓蓋(11)、旋緊螺母(6)、軸承(7)、軸承(14)和固定螺母(15)安裝在基座(1)上，起信號(hào)傳輸作用的電刷環(huán)(4)通過緊定螺釘(13)安裝固定在旋轉(zhuǎn)軸(5)上，并在兩個(gè)支撐軸承之間，楔形帶輪(9)通過鍵(10)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸(5)旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸(5)上設(shè)置有走線槽(8)，電刷環(huán)(4)的輸出線穿過走線槽(8)引到旋轉(zhuǎn)軸(5)的上部，以便控制元器件?；?1)上有一個(gè)開孔(3)，以方便安裝與出線。安裝在基座(1)上的撥叉(2)與電刷環(huán)(4)的定環(huán)(外環(huán))接觸，以便使電刷環(huán)的輸入線相對(duì)固定。由于本發(fā)明帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的是一根鋼絲繩軟軸，因此，在旋轉(zhuǎn)軸(5)的下端安裝一個(gè)定心套(16)，確保鋼絲繩軟軸的對(duì)中性，提高旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性。
有益效果本發(fā)明的創(chuàng)新之處在于起信號(hào)傳輸作用的電刷環(huán)(4)通過緊定螺釘(13)安裝固定在旋轉(zhuǎn)軸(5)上，并在兩個(gè)支撐軸承之間，縮短了旋轉(zhuǎn)軸的旋出部分，在旋轉(zhuǎn)軸(5)的下端安裝一個(gè)定心套(16)，確保鋼絲繩軟軸的對(duì)中性，從而了提高旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的具體實(shí)施例。
附圖中，1是基座，2是安裝在基座(1)上的撥叉，3基座(1)上的一個(gè)開孔，4是電刷環(huán)，5是旋轉(zhuǎn)軸，6是旋緊螺母，7是軸承，8是走線槽，9是楔形帶輪，10是通過鍵，11是壓蓋，12是軸承座，13是螺釘，14是軸承，15是固定螺母，16是定心套。
參見圖1所示，包括旋轉(zhuǎn)軸(5)通過軸承座(12)、壓蓋(11)、旋緊螺母(6)、軸承(7)、軸承(14)和固定螺母(15)安裝在基座(1)上，起信號(hào)傳輸作用的電刷環(huán)(4)通過緊定螺釘(13)安裝固定在旋轉(zhuǎn)軸(5)上，并在兩個(gè)支撐軸承之間，楔形帶輪(9)通過鍵(10)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸(5)旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸(5)上設(shè)置有走線槽(8)，電刷環(huán)(4)的輸出線穿過走線槽(8)引到旋轉(zhuǎn)軸(5)的上部，以便控制上部的電氣控制系統(tǒng)?；?1)上有一個(gè)開孔(3)，以方便安裝與出線。安裝在基座(1)上的撥叉(2)與電刷環(huán)(4)的定環(huán)(外環(huán))接觸，以便使電刷環(huán)的輸入線相對(duì)固定。由于本發(fā)明帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的是一根鋼絲繩軟軸，因此，在旋轉(zhuǎn)軸(5)的下端安裝一個(gè)定心套(16)，確保鋼絲繩軟軸的對(duì)中性，提高旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性。
具體實(shí)施例方式
附圖2為本發(fā)明的具體實(shí)施例；下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明參見圖2所示，將卷揚(yáng)提升機(jī)構(gòu)安裝在本發(fā)明中空心旋轉(zhuǎn)軸(5)的上端，電刷環(huán)(4)的輸出線與上部的電氣控制系統(tǒng)相連接，鋼絲繩軟軸通過空心旋轉(zhuǎn)軸(5)的中心孔，穿過定心套(16)的中心孔提拉生長人工晶體?？招男D(zhuǎn)軸(5)通過軸承座(12)、壓蓋(11)、旋緊螺母(6)、軸承(7)、軸承(14)和固定螺母(15)安裝在基座(1)上，起信號(hào)傳輸作用的電刷環(huán)(4)通過緊定螺釘(13)安裝固定在空心旋轉(zhuǎn)軸(5)上，并在兩個(gè)支撐軸承之間，楔形帶輪(9)通過鍵(10)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸(5)旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸(5)上設(shè)置有走線槽(8)，電刷環(huán)(4)的輸出線穿過走線槽(8)引到空心旋轉(zhuǎn)軸(5)的上部，與上部的電氣控制系統(tǒng)相連接?；?1)上有一個(gè)開孔(3)，以方便安裝與出線。安裝在基座(1)上的撥叉(2)與電刷環(huán)(4)的定環(huán)(外環(huán))接觸，以便使電刷環(huán)的輸入線相對(duì)固定。由于本發(fā)明帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的是一根鋼絲繩軟軸，因此，在空心旋轉(zhuǎn)軸(5)的下端安裝一個(gè)定心套(16)，確保鋼絲繩軟軸的對(duì)中性，提高旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性。
本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造容易，安裝使用方便，工作穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)，廣泛用于各類人工晶體生長設(shè)備中的晶體提拉生長運(yùn)動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，由旋轉(zhuǎn)軸等組成，其特征在于旋轉(zhuǎn)軸(5)通過軸承座(12)、壓蓋(11)、旋緊螺母(6)、軸承(7)、軸承(14)和固定螺母(15)安裝在基座(1)上，起信號(hào)傳輸作用的電刷環(huán)(4)通過緊定螺釘(13)安裝固定在旋轉(zhuǎn)軸(5)上，并在兩個(gè)支撐軸承之間，楔形帶輪(9)通過鍵(10)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸(5)旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸(5)上設(shè)置有走線槽(8)，電刷環(huán)(4)的輸出線穿過走線槽(8)引到旋轉(zhuǎn)軸(5)的上部，以便控制元器件?；?1)上有一個(gè)開孔(3)，以方便安裝與出線。安裝在基座(1)上的撥叉(2)與電刷環(huán)(4)的定環(huán)(外環(huán))接觸，以便使電刷環(huán)的輸入線相對(duì)固定。由于本發(fā)明帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的是一根鋼絲繩軟軸，因此，在旋轉(zhuǎn)軸(5)的下端安裝一個(gè)定心套(16)，確保鋼絲繩軟軸的對(duì)中性，提高旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于起信號(hào)傳輸作用的電刷環(huán)(4)安裝固定在旋轉(zhuǎn)軸(5)上，并在兩個(gè)支撐軸承之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于在旋轉(zhuǎn)軸(5)的下端安裝一個(gè)定心套(16)，確保鋼絲繩軟軸的對(duì)中性，提高旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種人工晶體生長用晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，特別涉及半導(dǎo)體硅單晶生長和鍺單晶生長用的晶體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；包括擔(dān)負(fù)信號(hào)傳輸?shù)碾娝h(huán)安裝在支撐軸承的上部，定心套安裝在旋轉(zhuǎn)軸的上部，這樣使得旋轉(zhuǎn)軸的旋出部分較長，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)性差；另外，定心套安裝在旋轉(zhuǎn)軸的上部安裝更換十分不便；將卷揚(yáng)提升機(jī)構(gòu)安裝在本發(fā)明中空心旋轉(zhuǎn)軸的上端，鋼絲繩軟軸通過空心旋轉(zhuǎn)軸的中心孔，穿過安裝在旋轉(zhuǎn)軸下部的定心套的中心孔提拉生長人工晶體；提高人工晶體生長中旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性、可靠性，并方便安裝和維修，可廣泛用于各類人工晶體生長設(shè)備中的晶體提拉生長運(yùn)動(dòng)。
文檔編號(hào)C30B15/30GK101070609SQ20061004011
公開日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2006年5月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月8日
發(fā)明者馮金生, 李留臣 申請(qǐng)人:江蘇華盛精細(xì)陶瓷科技有限公司