專利名稱：一種等離子淋浴器的燈絲引線機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種等離子淋浴器的燈絲引線結(jié)構(gòu)，用于等離子淋浴器的燈絲引線。屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在100nm或更高水平的離子注入工藝中，通常都應(yīng)用等離子淋浴技術(shù)，消除晶片表面的靜電積累，提高注入工藝性能。等離子淋浴用的等離子淋浴燈絲通過的電流大，需定期更換燈絲，因此燈絲引線結(jié)構(gòu)應(yīng)具有電流流通能力強(qiáng)，拆裝方便的特點(diǎn)。本發(fā)明具有了以上特點(diǎn)，完全適應(yīng)等離子淋浴燈絲的使用要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明等離子淋浴器引線機(jī)構(gòu)采用一公一母的快插式連接結(jié)構(gòu)，裝拆便捷，且能導(dǎo)通大電流。燈絲連接端設(shè)計(jì)柔性連接件，適應(yīng)能力強(qiáng)。
該機(jī)構(gòu)由以下部件構(gòu)成燈絲裝夾機(jī)構(gòu)1，兩個(gè)銅連接條2，兩導(dǎo)線條3，兩螺母4，兩絕緣套5，公水冷引線端子6，母引線頭7，公引線頭8，母水冷引線端子9，四個(gè)壓片10。如圖1所示。
所述的燈絲裝夾機(jī)構(gòu)1上裝夾燈絲。
所述的銅連接條2分別用螺釘連接在導(dǎo)線條3上，其中一節(jié)彎成圓弧狀，能增大連接彈性，使連接更可靠。
所述的導(dǎo)線條3一端與銅連接條2相連，另一端卡在公水冷引線端子6和母水冷引線端子9的槽內(nèi)，起中間導(dǎo)電作用。
所述的螺母4與公水冷引線端子6和母水冷引線端子9螺紋端連接，和兩壓片10一塊把導(dǎo)線條3鎖緊在公水冷引線端子6和母水冷引線端子9的槽內(nèi)。
所述的絕緣套5套在公水冷引線端子6和母水冷引線端子9外，起絕緣作用。
所述的公水冷引線端子6與母引線頭7對(duì)接配合，所述的母引線頭7內(nèi)孔卡裝公水冷引線端子6；所述的公引線頭8與母水冷引線端子9配裝。
所述的壓片10分別壓在導(dǎo)線條3上下，與螺母接觸，防止擰螺母時(shí)帶動(dòng)導(dǎo)線條3轉(zhuǎn)動(dòng)而使其方向錯(cuò)位，壓緊導(dǎo)線條3。


圖1為等離子淋浴器燈絲引線機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為等離子淋浴器燈絲引線機(jī)構(gòu)的三維造型圖。
圖1中，燈絲裝夾機(jī)構(gòu)1，兩個(gè)銅連接條2，兩導(dǎo)線條3，兩螺母4，兩絕緣套5，公水冷引線端子6，母引線頭7，公引線頭8，母水冷引線端子9，四個(gè)壓片10。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)發(fā)明的限定。
如圖1和圖2，一種新型的等離子淋浴器的燈絲引線機(jī)構(gòu)，由燈絲裝夾機(jī)構(gòu)1，兩個(gè)銅連接條2，兩導(dǎo)線條3，兩螺母4，兩絕緣套5，公水冷引線端子6，母引線頭7，公引線頭8，母水冷引線端子9，四個(gè)壓片10組成。
燈絲裝夾機(jī)構(gòu)1上裝燈絲，兩個(gè)銅連接條2一段做成圓弧型，增大連接柔性，導(dǎo)線條3采用卡入式螺母鎖緊連接，使連接更可靠，絕緣套5用有機(jī)玻璃材質(zhì)，既有好的絕緣性，又能觀察調(diào)節(jié)位置。母引線頭7和公水冷引線端子6以及公引線頭8和母水冷引線端子9都設(shè)計(jì)成一公一母快插入式，使裝拆方便，所用材料為錫青銅，既耐磨導(dǎo)電能力又強(qiáng)。
權(quán)利要求
1.一種等離子淋浴器的燈絲引線機(jī)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)由下列部件構(gòu)成燈絲裝夾機(jī)構(gòu)(1)，兩個(gè)銅連接條(2)，兩導(dǎo)線條(3)，兩螺母(4)，兩絕緣套(5)，公水冷引線端子(6)，母引線頭(7)，公引線頭(8)，母水冷引線端子(9)，四個(gè)壓片(10)；所述的燈絲裝夾機(jī)構(gòu)(1)上裝夾燈絲；所述的銅連接條(2)分別用螺釘連接在導(dǎo)線條(3)上，其中一節(jié)彎成圓弧狀；所述的導(dǎo)線條(3)一端與銅連接條(2)相連，另一端卡在公水冷引線端子(6)和母水冷引線端子(9)的槽內(nèi)，起中間導(dǎo)電作用；所述的螺母(4)與公水冷引線端子(6)和母水冷引線端子(9)螺紋端連接，和壓片(10)一塊把導(dǎo)線條(3)鎖緊在公水冷引線端子(6)和母水冷引線端子(9)的槽內(nèi)；所述的絕緣套(5)套在公水冷引線端子(6)和母水冷引線端子(9)外，起絕緣作用；所述的公水冷引線端子(6)與母引線頭(7)對(duì)接配合，所述的公引線頭(8)與母水冷引線端子(9)配裝；所述的壓片(10)分別壓在導(dǎo)線條(3)上下。
全文摘要
本發(fā)明等離子淋浴器燈絲引線機(jī)構(gòu)，采用一公一母的快插式連接結(jié)構(gòu)，裝拆便捷，并且導(dǎo)通電流大，燈絲連接端設(shè)計(jì)柔性連接件，適應(yīng)能力強(qiáng)。
文檔編號(hào)H05F3/04GK101043785SQ20061006558
公開日2007年9月26日 申請(qǐng)日期2006年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月22日
發(fā)明者唐景庭, 彭立波, 王迪平 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司