專利名稱：涂布系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種向基板涂布流動性材料的涂布系統(tǒng)。
背景技術：
一直以來，都在對利用了有機EL(Electro Luminescence電致發(fā)光)的有機EL顯示裝置進行開發(fā)，例如，在使用了高分子有機EL材料的主動式矩陣驅動方式的有機EL顯示裝置的制造中，對玻璃基板(以下僅稱為“基板”)，依次進行TFT(Thin Film Transistor薄膜晶體管)電路的形成、成為陽極的ITO(Indium Tin Oxide氧化銦錫)電極的形成、隔壁的形成、含有空穴輸送材料的涂布液的涂布、由加熱處理進行的空穴輸送層的形成、含有有機EL材料的涂布液的涂布、由加熱處理進行的有機EL層的形成、陰極的形成、以及由絕緣膜的形成進行的密封。
在這種有機EL顯示裝置的制造中，以生產(chǎn)率的提高、裝置成本的降低和有機EL顯示裝置的高品質(zhì)化為目的，提出了各種技術。例如，在JP特開2003-142260號公報的制造裝置中，在機械臂的周圍呈大致圓周狀地配置對基板噴出含有有機空穴注入材料的油墨來進行涂布的噴墨裝置、噴出含有有機EL材料的油墨來進行涂布的噴墨裝置、和對涂布了油墨的基板進行加熱來形成空穴注入層和有機發(fā)光層的多個干燥爐，并連續(xù)進行各工序，從而實現(xiàn)有機EL元件的生產(chǎn)率的提高。
在JP特開2003-217844號公報的制造裝置中，呈直線狀配列搬送基板的多個搬送裝置，在這些搬送裝置的一側配置涂布含有空穴注入/輸送材料或者有機EL材料的油墨的噴墨裝置，在另一側配置對涂布了油墨的基板進行加熱處理的加熱裝置和冷卻裝置，從而，能夠抑制噴墨裝置和加熱裝置等之間的振動和熱的傳遞，實現(xiàn)發(fā)光元件的品質(zhì)提高。
在JP特開2004-111073號公報中，公開了一種薄膜形成裝置，該薄膜形成裝置具有涂布單元，其通過從噴嘴連續(xù)地噴出含有空穴輸送材料或者有機EL材料的液體并掃描噴嘴來對基板涂布液體；和烘培單元，其對涂布了該液體的基板進行加熱處理。在該薄膜形成裝置中，由于不包含必須實施氣體環(huán)境減壓的工序的單元，所以能實現(xiàn)裝置成本的降低和控制的簡單化。另外，在JP特開2004-111073號公報的薄膜形成裝置中，與由噴墨裝置進行涂布的JP特開2003-142260號公報和JP特開2003-217844號公報的裝置相比，能夠以高生產(chǎn)率對基板進行液體的均勻的涂布。
但是，在基板的表面，在應該涂布含有有機EL材料等的液體的涂布區(qū)域(即發(fā)光區(qū)域)的周圍，設置有安裝驅動電路的區(qū)域和由絕緣膜進行密封所需要的區(qū)域。在有機EL顯示裝置的制造中，在空穴輸送層和有機EL層的形成工序中，有可能在這些涂布區(qū)域周圍的區(qū)域(以下稱為“禁止涂布區(qū)域”)附著含有有機EL材料等的流動性材料，當在附著了流動性材料的狀態(tài)下進行后續(xù)工序時，有可能發(fā)生電極的特性惡化和密封不良等。
因此，為了防止在禁止涂布區(qū)域附著流動性材料，而在涂布單元設置具有與發(fā)光區(qū)域對應的開口的掩模板，經(jīng)由以和基板非接觸的狀態(tài)被保持的掩模板，在基板的上方涂布含有有機EL材料等的流動性材料，但是，流動性材料可能會進入到掩模板和基板之間，所以很難可靠地防止流動性材料附著在禁止涂布區(qū)域。
另外，當沒有用掩模板覆蓋禁止涂布區(qū)域而對基板涂布流動性材料時，因為在禁止涂布區(qū)域附著有流動性材料，所以需要除去附著在禁止涂布區(qū)域的流動性材料。但是，在有機EL顯示裝置中，如果在被涂布到基板上之后的有機EL材料等上附著了水分和溶劑等時，會給有機EL層帶來不良影響，從而不能利用邊緣沖洗(edge rinse)和酸清洗等使用溶劑的除去方法。另外，在由1張基板制造多個有機EL顯示裝置(進行多面取)時，禁止涂布區(qū)域也設置在基板的外周以外的部位，所以不能由邊緣清洗進行除去。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明面向對基板涂布流動性材料的涂布系統(tǒng)，主要目的在于容易得到僅在涂布區(qū)域涂布了流動性材料的基板。
涂布系統(tǒng)具有處理單元組；分度器，該分度器載置著由上述處理單元組進行處理前的未處理基板和由上述處理單元組進行處理后的處理完成基板；基板搬送機構，該基板搬送機構相對于上述分度器和上述處理單元組進行基板的交接，沿著從上述分度器開始經(jīng)由上述處理單元組的至少一部分至上述分度器為止的規(guī)定的搬送路徑，搬送上述基板，上述處理單元組包括涂布單元，該涂布單元從噴嘴向基板連續(xù)地噴出流動性材料，并使上述噴嘴相對基板相對地移動，來對上述基板上涂布上述流動性材料；和流動性材料除去單元，該流動性材料除去單元從上述基板的禁止涂布區(qū)域上除去上述流動性材料。根據(jù)本發(fā)明，能容易地得到僅在涂布區(qū)域涂布了流動性材料的基板。
在本發(fā)明的一個優(yōu)選的實施方式中，涂布系統(tǒng)的上述涂布單元向在上述禁止涂布區(qū)域粘貼了遮蔽膠帶的上述基板噴出上述流動性材料，對含有上述遮蔽膠帶的區(qū)域涂布上述流動性材料，上述流動性材料除去單元是通過從涂布了上述流動性材料的上述基板剝離上述遮蔽膠帶來從上述禁止涂布區(qū)域除去被涂布在了上述遮蔽膠帶上的流動性材料的膠帶剝離單元。由此，能防止流動性材料對禁止涂布區(qū)域的附著，能容易地得到僅在涂布區(qū)域涂布了流動性材料的基板。
在本發(fā)明的另一個優(yōu)選的實施方式中，涂布系統(tǒng)的上述處理單元組還包括在涂布上述流動性材料之前的上述基板上的上述禁止涂布區(qū)域粘貼上述遮蔽膠帶的膠帶粘貼單元。
在本發(fā)明的又一個實施方式中，上述膠帶剝離單元是也進行向涂布上述流動性材料之前的上述基板上的上述禁止涂布區(qū)域粘貼上述遮蔽膠帶的膠帶粘貼·剝離單元。
在本發(fā)明的一個方面中，涂布系統(tǒng)的上述涂布單元在上述基板上的包括上述禁止涂布區(qū)域的區(qū)域涂布上述流動性材料，上述流動性材料除去單元向被涂布在了上述禁止涂布區(qū)域的上述流動性材料照射能量波或者微粒子，來從上述禁止涂布區(qū)域上除去上述流動性材料。由此，除去附著在了禁止涂布區(qū)域的流動性材料，能容易地得到僅在涂布區(qū)域涂布了流動性材料的基板。
在本發(fā)明的另一個方面中，在涂布系統(tǒng)，通過上述除去單元向上述基板上的上述禁止涂布區(qū)域進行的上述能量波的照射是激光的照射。由此，能位置精度良好地除去流動性材料。
在本發(fā)明的又一個方面中，涂布系統(tǒng)具有處理單元組；分度器，該分度器載置著由上述處理單元組進行處理前的未處理基板和由上述處理單元組進行處理后的處理完成基板；基板搬送機構，該基板搬送機構相對于上述分度器和上述處理單元組進行基板的交接，沿著從上述分度器開始經(jīng)由上述處理單元組的至少一部分至上述分度器為止的規(guī)定的搬送路徑，搬送上述基板，上述處理單元組包括膠帶粘貼單元，該膠帶粘貼單元對基板上的禁止涂布區(qū)域粘貼遮蔽膠帶；涂布單元，該涂布單元從噴嘴向粘貼了上述遮蔽膠帶的上述基板連續(xù)地噴出流動性材料，并使上述噴嘴相對基板相對地移動，來對包括上述遮蔽膠帶的區(qū)域涂布上述流動性材料。
上述的目的和其他目的、特征、方式以及優(yōu)點通過參照附圖在以下進行的對本發(fā)明的詳細地說明就清楚了。


圖1是表示第一實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖2是表示基板的俯視圖。
圖3是表示分度器機械手和多級搬送機械手的圖。
圖4是表示空穴輸送膠帶單元的結構的俯視圖。
圖5是表示空穴輸送膠帶單元的結構的主視圖。
圖6是表示空穴輸送膠帶單元的結構的右視圖。
圖7是放大表示膠帶粘貼頭的主視圖。
圖8是放大表示膠帶剝離頭的主視圖。
圖9是表示有機EL涂布單元的結構的俯視圖。
圖10是表示有機EL涂布單元的結構的主視圖。
圖11是表示基板的俯視圖。
圖12是表示基板的剖面圖。
圖13是表示基板的剖面圖。
圖14是表示空穴輸送烘培單元的立體圖。
圖15A是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的圖。
圖15B是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的圖。
圖15C是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的圖。
圖15D是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的圖。
圖16是表示第二實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖17是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的一部分的圖。
圖18是表示第三實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖19是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的一部分的圖。
圖20是表示第四實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖21是表示第五實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖22是表示第六實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖23是表示第七實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖24是表示第八實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖25是表示第九實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖26是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖27是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖28是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖29是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖30是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖31是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖32是表示第十實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖33是表示空穴輸送除去單元的結構的主視圖。
圖34是放大表示除去頭的主視圖。
圖35是表示基板的俯視圖。
圖36是表示基板的剖面圖。
圖37是表示基板的剖面圖。
圖38A是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的圖。
圖38B是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的圖。
圖38C是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的圖。
圖39是表示第十一實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖40是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的一部分的圖。
圖41是表示第十二實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖42是表示涂布系統(tǒng)的動作的流程的一部分的圖。
圖43是表示第十三實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖44是表示第十四實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖45是表示第十五實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖46是表示第十六實施方式的涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖47是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖48是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖49是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖50是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
圖51是表示其它涂布系統(tǒng)的結構的圖。
具體實施例方式
圖1是表示本發(fā)明第一實施方式的涂布系統(tǒng)1的結構的圖。涂布系統(tǒng)1是對有機EL顯示裝置用的玻璃基板(以下僅稱為“基板”)涂布流動性材料的系統(tǒng)，在本實施方式中，在主動式矩陣驅動方式的有機EL顯示裝置用的基板上，涂布分別含有空穴輸送材料和有機EL材料的流動性材料(在以下的實施方式中也是同樣)。在涂布系統(tǒng)1中，在形成有TFT電路、ITO電極和隔壁的基板上形成有空穴輸送材料的層(以下稱為“空穴輸送層”)和有機EL材料的層(以下稱為“有機EL層”)。
在這里，“空穴輸送層”不僅指將空穴向有機EL層輸送的狹義的空穴輸送層，除了狹義的空穴輸送層，還包括進行空穴的注入的空穴注入層。另外，“空穴輸入材料”除了狹義的空穴輸送材料，還包括空穴注入材料。
如圖1所示，涂布系統(tǒng)1具有處理單元組2，其包括多個處理單元；分度器3，其作為裝載著由處理單元組2進行處理前的未處理基板和進行處理后的處理完成基板的基板搬入搬出部；多級搬送機械手4，其是相對于處理單元組2和分度器3進行基板的交接，沿從分度器3開始、經(jīng)過處理單元組2的至少一部分而到達分度器3的規(guī)定的搬送路徑來搬送基板的基板搬送機構。在涂布系統(tǒng)1中，在常壓下實施由處理單元組2的多個處理單元進行的基板的處理。
處理單元組2包括空穴輸送涂布單元21，其向基板連續(xù)地噴出含有空穴輸送材料的流動性材料即空穴輸送液，并對基板涂布空穴輸送液；空穴輸送烘培單元22，其通過對涂布了空穴輸送液的基板進行加熱而使空穴輸送液固定在基板上(即，使空穴輸送液干燥而使空穴輸送液所包含的空穴輸送材料緊固在基板上)，而在基板上形成空穴輸送材料的層(即空穴輸送層)；有機EL涂布單元24，其向形成了空穴輸送層的基板連續(xù)地噴出包含有機EL材料的流動性材料即有機EL液，并對基板涂布有機EL液；以及，有機EL烘培單元25，其通過對涂布了有機EL液的基板進行加熱而使有機EL液固定在基板上(即，使有機EL液干燥而使有機EL液所包含的有機EL材料緊固在基板上)，而在基板上的空穴輸送層上形成有機EL材料的層(即有機EL層)。
圖2是表示基板9的俯視圖。在圖2中，在基板9上涂布空穴輸送液和有機EL液而形成空穴輸送層和有機EL層的區(qū)域(以下，稱為“涂布區(qū)域”)91，標記平行斜線。在本實施方式中，在基板9上設置有4涂布區(qū)域91，由1張基板9制造4個有機EL顯示裝置。由于4個涂布區(qū)域91周圍的格子狀區(qū)域92被利用在驅動電路的編入和后續(xù)工序中的由絕緣膜進行的密封等，所以是不應該形成有空穴輸送層或有機EL層的區(qū)域，以下稱為“禁止涂布區(qū)域92”。
如圖1所示，處理單元組2還包括空穴輸送膠帶單元23，其是在涂布空穴輸送液之前的基板9上的禁止涂布區(qū)域92(參照圖2)粘貼第一遮蔽膠帶，同時，將涂布了空穴輸送液的第一遮蔽膠帶從涂布了空穴輸送液之后的基板9剝離的膠帶粘貼·剝離單元；以及，有機EL膠帶單元26，其是在涂布有機EL液之前的基板9上的禁止涂布區(qū)域92粘貼第二遮蔽膠帶，同時，從涂布了有機EL液之后的基板9剝離第二遮蔽膠帶的膠帶粘貼·剝離單元。此外，在以下的說明中，根據(jù)需要，將第一遮蔽膠帶和第二遮蔽膠帶總稱為“遮蔽膠帶”。
在處理單元組2中，在多級搬送機械手4進行移動的直線狀的移動路徑41的一側，配列有空穴輸送涂布單元21、空穴輸送烘培單元22和空穴輸送膠帶單元23，在移動路徑41的另一側，配列有有機EL涂布單元24、有機EL烘培單元25和有機EL膠帶單元26。在涂布系統(tǒng)1中，處理單元組2中的空穴輸送膠帶單元23和有機EL膠帶單元26被配置在比其他任一個的處理單元(即，空穴輸送涂布單元21、空穴輸送烘培單元22、有機EL涂布單元24和有機EL烘培單元25)更接近分度器3的位置。
分度器3具有盒體載置部31，其載置有對多張基板9分別進行容納的多個盒體90；分度器機械手32，其被設置在處理單元組2側，進行相對盒體90的基板9的搬出和搬入。分度器3面向無塵室通路(省略圖示)，利用在無塵室通路移動的搬運裝置(省略圖示)，容納有處理前的未處理基板的盒體90被搬入分度器3，而被載置到盒體載置部31上，另外，容納有處理后的處理完成基板的盒體90從分度器3被搬出。
分度器機械手32在和多級搬送機械手4的移動路徑41大致垂直的直線狀的移動路徑33上移動而位于和各盒體90對應的位置。另外，通過分度器機械手32在和多級搬送機械手4之間進行基板9的交接，進行分度器3和處理單元組2之間的基板9的轉移。
圖3是表示分度器機械手32和多級搬送機械手4的圖。如圖3所示，分度器機械手32具有進退機構324、325，其使保持基板9的兩個手部321、322、手部321、322相對基臺部323單獨地進退；以及，基臺部移動機構(省略圖示)，其移動基臺部323。進退機構324、325是多關節(jié)手臂型，其使手部321、322在保持了姿勢的狀態(tài)下沿水平方向進退。分度器機械手32的基臺部323利用基臺部移動機構在移動路徑33(參照圖1)上沿水平方向移動并沿垂直方向升降，進而，以朝向垂直方向的旋轉軸為中心進行旋轉。
多級搬送機械手4，和分度器機械手32同樣地，具有進退機構424、425，其使保持基板9的保持部即兩個手部421、422、手部421、422相對基臺部423單獨地進退；以及，基臺部移動機構(省略圖示)，其移動基臺部423。進退機構424、425是多關節(jié)手臂型，其使手部421、422在保持了姿勢的狀態(tài)下沿水平方向進退?；_部423利用基臺部移動機構在移動路徑41上沿水平方向移動并沿垂直方向升降，進而，以朝向垂直方向的旋轉軸為中心進行旋轉。
在圖1所示的涂布系統(tǒng)1中，從分度器機械手32接受了基板9的多級搬送機械手4在移動路徑41上移動，訪問處理單元組2的各處理單元，保持基板9的手部421、422通過進退機構424、425進退，從而進行相對各處理單元的基板9的搬入以及搬出，進而，通過從多級搬送機械手4向分度器機械手32交接處理后的基板9，將基板9從處理單元組2搬出。這樣，在涂布系統(tǒng)1中，通過多級搬送機械手4，基板9沿著規(guī)定的搬送路徑被搬送。
在這里，“搬送路徑”是指由基板搬送機構所搬送的基板9進行移動的路徑。例如，像本實施方式那樣，在通過移動的多級搬送機械手4搬送基板9時，搬送路徑為在由手部421、422保持的狀態(tài)下多級搬送機械手4進行移動而使基板9移動的路徑、和手部421、422因進退機構424、425進退而使基板9移動的路徑，此外，在由被固定的多個搬送臂等而在各單元之間依次搬送基板9時，搬送路徑為由該多個的搬送臂來移動基板9的路徑。
圖4至圖6分別是表示空穴輸送膠帶單元23的結構的俯視圖、主視圖和右視圖。如圖4至圖6所示，空穴輸送膠帶單元23具有基板保持部231，其保持基板9；基板移動機構232，其移動基板9；膠帶粘貼頭233，其在涂布空穴輸送液之前的基板9上的禁止涂布區(qū)域92粘貼第一遮蔽膠帶；膠帶剝離頭234，其通過從涂布了空穴輸送液之后的基板9剝離第一遮蔽膠帶，而從禁止涂布區(qū)域92上除去被涂布在了第一遮蔽膠帶上的空穴輸送液；頭移動機構235，其對膠帶粘貼頭233和膠帶剝離頭234進行移動。
在空穴輸送膠帶單元23中，通過基板移動機構232，基板9和基板保持部231一起沿著軌道2321在水平方向移動，同時，以朝向垂直方向的旋轉軸為中心旋轉。另外，通過頭移動機構235，膠帶粘貼頭233和膠帶剝離頭234在基板9的移動范圍的上方，沿著軌道2351在水平方向移動?；?的移動方向，與膠帶粘貼頭233以及膠帶剝離頭234的移動方向，相互垂直。
圖7是放大表示膠帶粘貼頭233的內(nèi)部結構的主視圖。在圖7中，為了說明被容納在膠帶粘貼頭233的殼體2331的結構而描述殼體2331的內(nèi)部。在膠帶粘貼頭233中，利用在基帶82的一側的主面上保持有第一遮蔽膠帶81的具有雙層結構的膠帶8來粘貼第一遮蔽膠帶81。
如圖7所示，膠帶粘貼頭233具有卷繞未使用的膠帶8的供給卷盤2332；粘貼機構2333，其將第一遮蔽膠帶81從膠帶8分離出來而粘貼在基板9上；回收卷盤2334，其對第一遮蔽膠帶81被分離之后的膠帶8(即基帶82)進行卷繞并回收；以及，殼體2331，其容納這些結構。
在通過空穴輸送膠帶單元23在基板9上粘貼第一遮蔽膠帶81時，首先，基板9和膠帶粘貼頭233通過基板移動機構232和頭移動機構235(參照圖4至圖6)被移動而位于粘貼開始位置。接著，通過膠帶粘貼頭233的粘貼機構2333的切斷部2335，在膠帶8的與切斷部2335對向的一側，僅切斷第一遮蔽膠帶81。
被切斷的第一遮蔽膠帶81，通過供給卷盤2332和回收卷盤2334沿圖7中的逆時針方向旋轉，從而和基帶82一起被送到粘貼機構2333的膠帶分離構件2336的前端，在該前端，被導向大約和輸送來基帶82的方向相反的一側，從而第一遮蔽膠帶81從基帶82剝離，其前端部從殼體2331的下部開口2337向基板9移動。
與此同時，通過氣缸2338，粘貼輥2339經(jīng)由下部開口2337向下方移動，將第一遮蔽膠帶81的前端部從上側(即，和第一遮蔽膠帶81的粘接面相反的一側)按壓到基板9上進行粘貼。與此同時，通過基板移動機構232，基板9開始向圖7的左方向移動。并且，從供給卷盤2332繼續(xù)地送出膠帶8，同時基板9繼續(xù)移動，從而第一遮蔽膠帶81被粘貼在基板9上。
在膠帶粘貼頭233中，通過切斷部2335，再次僅切斷膠帶8上的第一遮蔽膠帶81，第一遮蔽膠帶81直到到后端部為止被粘貼在基板9上，從而完成第一遮蔽膠帶81的粘貼。此外，在膠帶粘貼頭233中，除了第一遮蔽膠帶81的前端部和后端部的粘貼時以外，粘貼輥2339也可以避讓到殼體2331內(nèi)。另外，第一遮蔽膠帶81的粘貼開始可以在供給膠帶8的同時以和膠帶8的供給速度相等的速度對正在移動的基板9進行。
如圖2所示，在空穴輸送膠帶單元23中，基板9的格子狀的禁止涂布區(qū)域92中，僅在與由基板移動機構232形成的基板9的移動方向平行延伸的區(qū)域(即，沿圖2中的上下方向延伸的區(qū)域)粘貼有第一遮蔽膠帶81，而在與基板9的移動方向垂直延伸的區(qū)域(即，沿圖2中的左右方向延伸的區(qū)域)不粘貼第一遮蔽膠帶81。如后面所述，在涂布系統(tǒng)1中，對于省略了第一遮蔽膠帶81的粘貼的區(qū)域，不進行空穴輸送液的涂布。
圖8是放大表示膠帶剝離頭234的內(nèi)部結構的主視圖。圖8也和圖7同樣，描述膠帶剝離頭234的殼體2341的內(nèi)部。在膠帶剝離頭234中，將寬度比第一遮蔽膠帶81大的剝離膠帶83粘結在第一遮蔽膠帶81上并舉起第一遮蔽膠帶81，從而進行來自基板9的第一遮蔽膠帶81的剝離。
如圖8所示，膠帶剝離頭234具有供給卷盤2342，其卷繞未使用的剝離膠帶83；粘結機構2343，其將剝離膠帶83粘結在基板9上的第一遮蔽膠帶81；回收卷盤2344，其對剝離膠帶83和被剝離膠帶83粘結的第一遮蔽膠帶81進行卷繞來回收；以及，殼體2341，其容納這些結構。
在通過空穴輸送膠帶單元23從基板9剝離第一遮蔽膠帶81時，首先，通過基板移動機構232和頭移動機構235(參照圖4至圖6)，基板9和膠帶剝離頭234被移動而位于剝離開始位置。即，作為剝離對象的第一遮蔽膠帶81的前端位于膠帶剝離頭234的殼體2341的下部開口2345的下方。
接著，利用氣缸2346，按壓輥2347經(jīng)由下部開口2345移動到下方，將剝離膠帶83從上側(即，和剝離膠帶83的粘接面相反的一側)按壓并粘結于第一遮蔽膠帶81的前端部。接著，通過基板移動機構232，基板9開始向圖8中的左方向移動。與此同時，供給卷盤2342和回收卷盤2344沿圖8中的順時針方向開始旋轉，剝離膠帶83從供給卷盤2342被送出的同時，按壓輥2347移動到上方而返回到原來的位置，由此被剝離膠帶83粘結的第一遮蔽膠帶81的前端部從基板9剝離。并且，剝離膠帶83從供給卷盤2342繼續(xù)地被送出的同時，基板9繼續(xù)移動，從而基板9上的第一遮蔽膠帶81被剝離膠帶83粘結的同時，從基板9剝離并被回收到回收卷盤2344。
在空穴輸送膠帶單元23中，由于通過剝離膠帶83對涂布了空穴輸送液的第一遮蔽膠帶81的上表面進行了覆蓋并從基板9的禁止涂布區(qū)域92上剝離第一遮蔽膠帶81，所以不會使附著在了第一遮蔽膠帶81上的空穴輸送液落在基板9上，能夠回收第一遮蔽膠帶81。在涂布系統(tǒng)1中，可以將空穴輸送膠帶單元23作為從基板9的禁止涂布區(qū)域92上除去空穴輸送液的流動性材料除去單元。此外，剝離膠帶83向第一遮蔽膠帶81的粘結開始可以在供給剝離膠帶83的同時，對以和剝離膠帶83的供給速度相等的速度正在移動的基板9進行。
由于有機EL膠帶單元26具有和圖4至圖6所示的空穴輸送膠帶單元23同樣的結構，所以省略圖示。有機EL膠帶單元26和空穴輸送膠帶單元23同樣，具有基板保持部，其保持基板9；基板移動機構，其移動基板9；膠帶粘貼頭，其在涂布有機EL液之前的基板9上的禁止涂布區(qū)域92上粘貼第二遮蔽膠帶；膠帶剝離頭，其通過從涂布了有機EL液之后的基板9剝離第二遮蔽膠帶，而從禁止涂布區(qū)域92上除去被涂布在了第二遮蔽膠帶上的有機EL液；頭移動機構，其移動膠帶粘貼頭和膠帶剝離頭。膠帶粘貼頭和膠帶剝離頭的內(nèi)部結構也和圖7以及圖8所示的空穴輸送膠帶單元23的膠帶粘貼頭233和膠帶剝離頭234同樣。
在有機EL膠帶單元26中，和空穴輸送膠帶單元23同樣地，基板9的格子狀的禁止涂布區(qū)域92中，僅在與基板9的移動方向平行延伸的區(qū)域粘貼有第二遮蔽膠帶，而在與基板9的移動方向垂直延伸的區(qū)域不粘貼第二遮蔽膠帶。如后面所述，在涂布系統(tǒng)1中，對于省略了第二遮蔽膠帶的粘貼的區(qū)域，不進行有機EL液的涂布。另外，和空穴輸送膠帶單元23同樣地，利用膠帶剝離頭由剝離膠帶覆蓋涂布了有機EL液的第二遮蔽膠帶的上表面并剝離第二遮蔽膠帶，由此不會使附著在了第二遮蔽膠帶上的有機EL液落在基板9上，能夠回收第二遮蔽膠帶。在涂布系統(tǒng)1中，可以將有機EL膠帶單元26作為從基板9的禁止涂布區(qū)域92上除去有機EL液的流動性材料除去單元。
圖9和圖10是表示有機EL涂布單元24的結構的俯視圖和主視圖。如圖10所示，有機EL涂布單元24具有基板保持部241，其內(nèi)置由未圖示的加熱器形成的加熱機構的同時，保持基板9；基板移動機構242，其使基板保持部241沿規(guī)定的移動方向(即，圖9中的上下方向)水平移動，同時以朝向垂直方向的軸為中心旋轉，另外，如圖9和圖10所示，還具有對準標記檢測部243，其拍攝并檢測形成在基板9上的對準標記(省略圖示)；涂布頭244，其向基板保持部241上的基板9噴出有機EL液而進行涂布；頭移動機構245，其在和基板保持部241的移動方向垂直的水平方向(即，圖9中的左右方向)移動涂布頭244；以及，控制部，其控制這些機構。
涂布頭244具有分別噴出有機EL液的3個噴嘴247a、247b、247c和向3個噴嘴247a～247c分別供給有機EL液的涂布液供給部248a、248b、248c。噴嘴247a～247c在圖9中的左右方向(即，涂布頭244的移動方向)呈大致直線狀地配列的同時，在圖9中的上下方向(即，基板9的移動方向)稍微錯開地配置。與圖9中的上下方向相關，噴嘴247a和噴嘴247b之間的距離、以及噴嘴247b和噴嘴247c之間的距離等于預先形成在基板9上的、沿圖9中的左右方向延伸的隔壁之間的間距(以下稱為“隔壁間距”)。
涂布液供給部248a具有儲存箱，其儲存有機EL液；泵，其從儲存箱吸引有機EL液；流量計，其檢測有機EL液的流量；以及，過濾器，其除去有機EL液中的異物，通過基于來自流量計的輸出由控制部來控制泵，從而有機EL液以預先設定的設定流量向噴嘴247a供給，向基板9被噴出(在涂布液供給部248b、248c、以及、噴嘴247b、247c也同樣)。在涂布頭244中，分別含有紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)相互顏色不同的3種有機EL材料的3種有機EL液，分別從3個涂布液供給部被供給到3個噴嘴247a～247c并被噴出。
在通過有機EL涂布單元24進行有機EL液的涂布時，首先，通過有機EL膠帶單元26在禁止涂布區(qū)域92(參照圖2)上粘貼了第二遮蔽膠帶的基版9被裝載到基板保持部241上并被保持，基于來自對準標記檢測部243的輸出來驅動基板移動機構242，使基板9位于在圖9中用實線所示的涂布開始位置。涂布頭244預先位于在圖9和圖10中用實線所示的位置。
接著，控制涂布液供給部248a～248c，從噴嘴247a～247c開始噴出有機EL液的同時，驅動頭移動機構245，開始移動涂布頭244(即，噴嘴247a～247c)。在有機EL涂布單元24中，從涂布頭244的3個噴嘴247a～247c向基板9連續(xù)地噴出3種有機EL液，同時，相對基板9從圖9中的左側向右側相對地移動噴嘴247a～247c，從而在基板9上條紋狀地涂布有機EL液。如上述那樣，在基板9上的涂布區(qū)域91預先形成多個隔壁，3種有機EL液被涂布在隔壁之間的相鄰的3個槽部。
當涂布頭244移動到在圖9和圖10中用雙點劃線表示的位置時，基板移動機構242被驅動，基板9和基板保持部241一起向圖9中的上側僅移動隔壁間距的3倍距離。并且，涂布頭244噴出有機EL液的同時，在圖9中從右側向左側移動，從而在基板9上呈條紋狀地涂布3種有機EL液。
圖11是表示基板9的俯視圖，圖12是圖11中的A-A的位置中的基板9的剖面圖。在有機EL涂布單元24中，通過反復進行涂布頭244沿左右方向的移動以及基板9的間距移動，如圖11和圖12所示，在基板9上的含有第二遮蔽膠帶84的區(qū)域(即，被粘貼在禁止涂布區(qū)域92上的第二遮蔽膠帶84上的區(qū)域、和涂布區(qū)域91的隔壁之間的槽部)條紋狀地涂布有機EL液93。此外，在圖11中，為了便于圖示，將被涂布在基板9上的有機EL液93的寬度和間距描述得比實際大。
在有機EL涂布單元24中，在進行有機EL液93的涂布期間，從涂布頭244的噴嘴247a～247c(參照圖9和圖10)連續(xù)地噴出有機EL液93。在有機EL涂布單元24中，相對于禁止涂布區(qū)域92中的與基板9的移動方向垂直延伸的區(qū)域(即，是在圖11中沿左右方向延伸的區(qū)域，省略了第二遮蔽膠帶84的粘貼的區(qū)域)，在使涂布頭244從基板9上避讓的狀態(tài)下，使基板9僅移動和該區(qū)域的寬度(即，圖11中的上下方向的寬度)相等的距離，從而能避免向該區(qū)域的有機EL液93的涂布。
當基板9移動到在圖9中用雙點劃線表示的涂布結束位置時，停止來自噴嘴247a～247c的有機EL液93的噴出，結束對基板9的有機EL液93的涂布。并且，在上述的有機EL膠帶單元26中，通過從涂布了有機EL液93的基板9剝離第二遮蔽膠帶84，從而如圖13所示，僅在基板9的涂布區(qū)域91上殘留著有機EL液93。
由于空穴輸送涂布單元21具有和圖9以及圖10所示的有機EL涂布單元同樣的結構，所以省略圖示?？昭ㄝ斔屯坎紗卧?1和有機EL涂布單元24同樣，具有基板保持部，其保持基板9；基板移動機構，其移動并旋轉基板保持部；對準標記檢測部，其拍攝并檢測出對準標記；涂布頭，其向基板9涂布空穴輸送液；頭移動機構，其移動涂布頭；以及，控制部，其控制這些機構。
空穴輸送涂布單元21的涂布頭，和有機EL涂布單元24的涂布頭244同樣，具有分別噴出空穴輸送液的2個噴嘴和分別向3個噴嘴供給空穴輸送液的涂布液供給部，與基板9的移動方向相關的噴嘴的間距等于隔壁間距。在空穴輸送涂布單元21中，單一種類的空穴輸送液向3個噴嘴被供給并噴出，從而被涂布到基板9上的隔壁之間的相鄰的3個槽部。在空穴輸送涂布單元21中也和有機EL涂布單元同樣，相對于禁止涂布區(qū)域92中的省略了第一遮蔽膠帶81的粘貼的區(qū)域，在使涂布頭從基板9上避讓的狀態(tài)下，移動基板9，從而能避免空穴輸送液的涂布。
圖14是表示空穴輸送烘培單元22的立體圖。如圖14所示，空穴輸送烘培單元22具有對涂布了空穴輸送液的基板9進行加熱而使空穴輸送液固定在基板9上的加熱部221、以及將由加熱部221加熱的基板9冷卻至常溫的冷卻部222。在圖14中，為了便于圖示，使加熱部221和冷卻部22分離而進行描述，但是實際上，在冷卻部22上重疊加熱部221而配置。
加熱部221具有內(nèi)置了加熱器(省略圖示)的加熱板2211、和將加熱板2211容納在內(nèi)部的殼體2212，在殼體2212形成有被利用于基板9的搬入搬出的開口2213。在加熱部221中，在由加熱器加熱而處于高溫的加熱板2211上載置有基板9(或者，在加熱板2211上，被保持在和加熱板2211僅分離微小距離的位置)，來加熱基板9，溶劑成分從被涂布在基板9上的空穴輸送液蒸發(fā)，從而空穴輸送液固定在基板9上，在基板9上形成空穴輸送層。
冷卻部222具有在內(nèi)部流動著制冷劑的冷卻板2221、和將冷卻板2221容納在內(nèi)部的殼體2222，在殼體2222形成有被利用于基板9的搬入般出的開口2223。在冷卻部222中，由加熱部221加熱后的基板9被載置到冷卻板2221上并被冷卻，從而高溫的基板9能迅速地冷卻到常溫。
由于有機EL烘培單元25具有和圖14所示的空穴輸送烘培單元22同樣的結構，所以省略圖示。有機EL烘培單元25，和空穴輸送烘培單元22同樣，具有對涂布了有機EL液的基板9進行加熱而使有機EL液固定在基板9上的加熱部、和將由加熱部加熱后的基板9冷卻至常溫的冷卻部。加熱部具有內(nèi)置了加熱器的加熱板、和將加熱板容納在內(nèi)部的殼體，冷卻部具有在內(nèi)部流動著制冷劑的冷卻板、和將冷卻板容納在內(nèi)部的殼體。
有機EL烘培單元25也和空穴烘培單元22同樣，通過在加熱部的加熱板上載置基板9，從而溶劑成分從涂布在了基板9上的有機EL液蒸發(fā)，有機EL液固定在基板9上，在基板9上形成有機EL層。并且，通過將加熱后的基板9載置到冷卻部的冷卻板上，而將高溫的基板9迅速地冷卻到常溫。
接著，針對涂布系統(tǒng)1的動作進行說明。圖15A至圖15D是表示涂布系統(tǒng)1的動作的流程的圖。在圖1所示的涂布系統(tǒng)1中，容納有形成了TFT電路、ITO電極以及隔壁的多個基板9的盒體90，被預先載置到分度器3的盒體載置部31上，首先，由分度器3的分度器機械手32(參照圖3)，從盒體載置部31上的盒體90取出基板9，由多級搬送機械手4接受被分度器機械手32的手部321保持的基板9，并被手部421(參照圖3)保持(步驟S11)。
接著，多級搬送機械手4在移動路徑41上一直移動到空穴輸送膠帶單元23之前，被手部421所保持的基板9被搬入空穴輸送膠帶單元23，而被載置到基板保持部231(參照圖4)(步驟S12)。在空穴輸送膠帶單元23中，通過膠帶粘貼頭233(參照圖7)在基板9的禁止涂布區(qū)域92(參照圖2)粘貼第一遮蔽膠帶81(參照圖7)(步驟S13)。
當?shù)谝徽诒文z帶81的粘貼結束時，由多級搬送機械手4從空穴輸送膠帶單元23搬出基板9(步驟S14)，多級搬送機械手4則一直移動到空穴輸送涂布單元21的前面為止。并且，基板9被搬入到空穴輸送涂布單元21而被載置到基板保持部上(步驟S15)。在空穴輸送涂布單元21中，向在禁止涂布單元92上粘貼了第一遮蔽膠帶81的基板9噴出空穴輸送液，在禁止涂布區(qū)域92上的含有第一遮蔽膠帶81的基板9上的區(qū)域(即，第一遮蔽膠帶81上的區(qū)域、以及涂布區(qū)域91的隔壁之間的槽部)條紋狀地涂布空穴輸送液(步驟S16)。
當空穴輸送液的涂布結束時，基板9由多級搬送機械手4從空穴輸送涂布單元21被搬出(步驟S17)，再次被向空穴輸送膠帶單元23搬送，而被搬入空穴輸送膠帶單元23(步驟S21)。此時，基板9由多級搬送機械手4的手部421保持并搬送。另外，在基板9上，由空穴輸送涂布單元21涂布了的空穴輸送液的溶劑成分的一部分通過基板保持部的加熱機構而蒸發(fā)，空穴輸送液以某種程度干燥了的狀態(tài)(所謂半干的狀態(tài))附著在第一遮蔽膠帶81和涂布區(qū)域91上。在空穴輸送膠帶單元23中，通過膠帶剝離頭234(參照圖8)從被保持在基板保持部231的基板9剝離涂布了空穴輸送液的第一遮蔽膠帶81(步驟S22)。
當?shù)谝徽诒文z帶81被剝離時，基板9由多級搬送機械手4從空穴輸送膠帶單元23被搬出(步驟S23)，向空穴輸送烘培單元22搬送，并被搬入空穴輸送烘培單元22(步驟S24)。在基板9被從空穴輸送膠帶單元23向空穴輸送烘培單元22被搬送時，基板9由多級搬送機械手4的手部422(即，不同于從在空穴輸送涂布單元21向空穴輸送膠帶單元23搬送時進行保持的保持部的另一個保持部)保持。
在空穴輸送烘培單元22中，剝離了第一遮蔽膠帶81的基板9被載置到加熱部221的加熱板2211(參照圖14)上并被加熱，在基板9的涂布區(qū)域91中，被涂布在隔壁之間的槽部中的空穴輸送液固定在基板9(的ITO電極)上，而形成了空穴輸送層(步驟S25)。接著，基板9由多級搬送機械手4從加熱部221被搬出并被搬入冷卻部222，并被載置到冷卻板2221(參照圖14)上，冷卻至常溫(步驟S26)。
當基板9的冷卻結束時，基板9由多級搬送機械手4從空穴輸送烘培單元22被搬出(步驟S27)并被搬入有機EL膠帶單元26(步驟S31)。在有機EL膠帶單元26中，通過膠帶粘貼頭而在基板9的禁止涂布區(qū)域92上粘貼第二遮蔽膠帶84(步驟S32)。
當?shù)诙诒文z帶84的粘貼結束時，基板9由多級搬送機械手4從有機EL膠帶單元26被搬出(步驟S33)，并被搬入有機EL涂布單元24(步驟S34)。在有機EL涂布單元24中，向被保持在基板保持部241上的基板9噴出3種有機EL液，在禁止涂布區(qū)域92上的含有第二遮蔽膠帶84的基板9上區(qū)域(即，第二遮蔽膠帶84上、以及被形成在涂布區(qū)域91的隔壁之間的槽部的空穴輸送層上的區(qū)域)條紋狀地涂布3種有機EL液(步驟S35)。
當有機EL液的涂布結束時，基板9由多級搬送機械手4從有機EL涂布單元24被搬出(步驟S36)，再次被搬入有機EL膠帶單元26(步驟S41)。在基板9上，由有機EL涂布單元24涂布了的有機EL液的溶劑成分的一部分通過基板保持部241的加熱機構而蒸發(fā)，有機EL液以某種程度干燥了的狀態(tài)(所謂半干的狀態(tài))附著在第二遮蔽膠帶84和涂布區(qū)域91(的空穴輸送層)上。在有機EL膠帶單元26中，通過膠帶剝離頭從基板9剝離涂布了有機EL液的第二遮蔽膠帶84(步驟S42)。
當?shù)诙诒文z帶84被剝離時，基板9由多級搬送機械手4從有機EL膠帶單元26被搬出(步驟S43)，并被搬入有機EL烘培單元25(步驟S44)。在基板9被從有機EL膠帶單元26向有機EL烘培單元25搬送時，基板9由多級搬送機械手4的手部421、422中的、不同于被利用于從有機EL涂布單元24向有機EL膠帶單元26搬送基板9時的手部的手部來保持。
在有機EL烘培單元25中，剝離了第二遮蔽膠帶84的基板9由加熱部的加熱板被加熱，被涂布在基板9的空穴輸送層上的有機EL液固定在基板9(的空穴輸送層)上而形成了有機EL層(步驟S45)。接著，基板9由多級搬送機械手4從加熱部被搬出并被搬入冷卻部，由冷卻板冷卻至常溫(步驟S46)。
當在基板9的涂布區(qū)域91中，在空穴輸送層上所層疊的有機EL層的形成結束時，基板9由多級搬送機械手4從有機EL烘培單元25被搬出(步驟S47)，并被搬送到分度器3，由分度器機械手32接受，被容納在盒體載置部31上的盒體90(步驟S48)。在涂布系統(tǒng)1中，當在盒體90容納有規(guī)定張數(shù)的處理完成基板時，該盒體90被搬出到涂布系統(tǒng)1之外，由其他裝置進行陰極的形成以及由絕緣膜進行的密封，從而完成了有機EL顯示裝置的制造。
在以上說明的涂布系統(tǒng)1中，當關注空穴輸送層的形成所涉及的結構時，處理單元組2包括空穴輸送涂布單元21，其向在禁止涂布區(qū)域92粘貼了第一遮蔽膠帶81的基板9涂布空穴輸送液；空穴輸送膠帶單元23，其從涂布了空穴輸送液的基板9剝離第一遮蔽膠帶81。由此，在對基板9涂布空穴輸送液時，能夠可靠地防止空穴輸送液附著在基板9上的禁止涂布區(qū)域92，能夠容易地得到僅在涂布區(qū)域91上涂布了空穴輸送液的基板9。另外，由于能在一個系統(tǒng)內(nèi)進行空穴輸送液的涂布和第一遮蔽膠帶81的剝離，所以能夠縮短基板9的處理時間，同時能夠降低涂布系統(tǒng)1的制造成本(在本段落說明過的事項在以下第二至第九實施方式也同樣)。
在處理單元組2中，通過由空穴輸送膠帶單元23在基板9上的禁止涂布區(qū)域92上粘貼第一遮蔽膠帶81，從而也能在一個系統(tǒng)內(nèi)進行第一遮蔽膠帶81的粘貼，能進一步縮短基板9的處理時間，同時能進一步降低涂布系統(tǒng)1的制造成本。另外，由于空穴輸送膠帶單元23也是對基板9進行第一遮蔽膠帶81的粘貼的粘貼·剝離單元，所以能使涂布系統(tǒng)1的結構簡單化(在第二、第三、第七至第九實施方式也同樣)。
在涂布系統(tǒng)1中，處理單元組2還包括空穴輸送烘培單元22，該空穴輸送烘培單元22對剝離了第一遮蔽膠帶81的基板9進行加熱，使空穴輸送液固定在基板9上，從而能夠容易地得到使空穴輸送液僅固定在涂布區(qū)域91上的基板9。由于空穴輸送液的固定(即，空穴輸送層的形成)也能在一個系統(tǒng)內(nèi)進行，所以能進一步縮短基板9的處理時間，同時能進一步降低涂布系統(tǒng)1的制造成本(在第二至第九實施方式也同樣)。
接著，當關注有機EL層的形成所涉及的結構時，和空穴輸送層的形成所涉及的結構同樣，對由有機EL涂布單元24在禁止涂布區(qū)域92上粘貼了第二遮蔽膠帶84的基板9上涂布有機EL液，由有機EL膠帶單元26從基板9剝離第二遮蔽膠帶84，從而能夠容易地得到僅在涂布區(qū)域91上涂布了有機EL液的基板9。另外，由于能在一個系統(tǒng)內(nèi)進行有機EL液的涂布和第二遮蔽膠帶84的剝離，所以能夠實現(xiàn)基板9的處理時間的縮短和涂布系統(tǒng)1的制造成本的降低(在第四至第七實施方式也同樣)。
在處理單元組2中，通過由有機EL膠帶單元26在基板9上的禁止涂布區(qū)域92上粘貼第二遮蔽膠帶84，從而也能在一個系統(tǒng)內(nèi)進行第二遮蔽膠帶84的粘貼，能進一步縮短基板9的處理時間，同時能進一步降低涂布系統(tǒng)1的制造成本。另外，由于有機EL膠帶單元26也是對基板9進行第二遮蔽膠帶84的粘貼的粘貼·剝離單元，所以能使涂布系統(tǒng)1的結構簡單化(在第二、第三、第七實施方式也同樣)。
在涂布系統(tǒng)1中，處理單元組2還包括有機EL烘培單元25，其對剝離了第二遮蔽膠帶84的基板9進行加熱，使有機EL液固定在基板9上，從而能夠容易地得到使有機EL液僅固定在涂布區(qū)域91上的基板9。由于有機EL液的固定(即，有機EL層的形成)也能在一個系統(tǒng)內(nèi)進行，所以能進一步縮短基板9的處理時間，同時能進一步降低裝置的制造成本。(在第二至第九實施方式也同樣)。
在有機EL涂布單元24中，尤其能夠使分別含有3色有機EL材料的3種有機EL液并行地涂布在基板9上。由此，不需要為了涂布多個有機EL液而設置多個有機EL涂布單元，從而能夠實現(xiàn)涂布系統(tǒng)1的小型化。另外，由于能夠省略在多個有機EL涂布單元間的基板9的移動，所以還能縮短基板9的處理時間。進而，在涂布3種有機EL液前后，第二剝離膠帶84的粘貼和剝離僅進行一次，從而能進一步縮短基板9的處理時間(在第四、第七、第十、第十三和第十五實施方式也同樣)。
接著，當關注整個涂布系統(tǒng)1時，處理單元組2包括對基板9涂布空穴輸送液的空穴輸送涂布單元21和對基板9涂布有機EL液的有機EL涂布單元24，由此能夠在一個系統(tǒng)內(nèi)涂布空穴輸送液和有機EL液，所以能進一步縮短基板9的處理時間。涂布系統(tǒng)1特別適于對有機EL顯示裝置用的基板9涂布空穴輸送液和有機EL液的系統(tǒng)(在第二至第十六實施方式也同樣)。
在處理單元組2中，由空穴輸送膠帶單元23涂布了空穴輸送液的第一遮蔽膠帶81被從基板9剝離，由有機EL膠帶單元26涂布了有機EL液的第二遮蔽膠帶84被從基板9剝離。假設，由共用的膠帶單元涂布了空穴輸送液的第一遮蔽膠帶81和涂布了有機EL液的第二遮蔽膠帶84被剝離時，在膠帶單元附著了空穴輸送液的情況下，就有可能在其后被搬入的基板9上的固定前的有機EL液中混入空穴輸送液。在膠帶單元附著了有機EL液的情況下，就有可能在其后被搬入的基板9上的固定前的空穴輸送液中混入有機EL液。在涂布系統(tǒng)1中，通過在處理單元組2設置空穴輸送膠帶單元23和有機EL膠帶單元26，從而能可靠地防止基板9上的空穴輸送液和有機EL液的混合。進而，通過在處理單元組2設置多個膠帶粘貼·剝離單元，從而還能縮短基板9的處理時間(在第二至第九實施方式也同樣)。
但是，由于在空穴輸送液和有機EL液中使用不同的溶劑，所以在它們涂布時所使用的遮蔽膠帶的最優(yōu)的表面張力值各不相同。在涂布系統(tǒng)1中，通過在處理單元組2設置空穴輸送膠帶單元23和有機EL膠帶單元26，從而在空穴輸送液的涂布時所使用的第一遮蔽膠帶81、和在有機EL液的涂布時所使用的第二遮蔽膠帶84的表面張力值分別相對空穴輸送液和有機EL液的性質(zhì)可以取為適當?shù)闹怠Ｓ纱?，能進一步提高對基板9涂布空穴輸送液和有機EL液、以及由從基板9剝離遮蔽膠帶來除去空穴輸送液和有機EL液的質(zhì)量(在第二至第九實施方式也同樣)。
在涂布系統(tǒng)1中，處理單元組2中的空穴輸送膠帶單元23和有機EL膠帶單元26被配置在比其他任一個處理單元都要更接近分度器3的位置。由此，在處理單元組2中，能夠容易地將其他的空穴輸送涂布單元、空穴輸送烘培單元、有機EL涂布單元和有機EL烘培單元增設在多個處理單元的排列的外側(即，遠離分度器3一側)(在第二、第三、第七至第九實施方式也同樣)。
另外，在涂布系統(tǒng)1中，基板9由多級搬送機械手4從空穴輸送涂布單元21被搬送到空穴輸送膠帶單元23時，由手部421保持，從空穴輸送膠帶單元23被搬送到空穴輸送烘培單元22時，由手部422保持，因此能夠可靠地防止空穴輸送液經(jīng)由多級搬送機械手4(的手部421、422)附著在空穴輸送烘培單元22。其結果是，能夠可靠地防止不需要的空穴輸送液附著在被依次搬入空穴輸送烘培單元22的、第一遮蔽膠帶81被剝離之后的基板9(在第二、第三、第七至第九實施方式也同樣)。
同樣，基板9由多級搬送機械手4從有機EL涂布單元24被搬送到有機EL膠帶單元26時，由手部421保持，從有機EL膠帶單元26被搬送到有機EL烘培單元25時，由手部422保持，所以能夠可靠地防止有機EL液經(jīng)由多級搬送機械手4(的手部421、422)附著在有機EL烘培單元25。其結果是，能夠可靠地防止不需要的有機EL液附著在被依次搬入有機EL烘培單元25的、第二遮蔽膠帶84被剝離之后的基板9(在第二、第三、第七至第九實施方式也同樣)。
在涂布系統(tǒng)1中，在處理單元組2中對基板9的處理都在常壓下進行，因此，能夠使涂布系統(tǒng)1的結構簡單化，能進一步降低制造成本(在第二至第九實施方式也同樣)。
接著，針對本發(fā)明的第二實施方式的涂布系統(tǒng)1a進行說明。圖16是表示涂布系統(tǒng)1a的結構的圖。如圖16所示，在涂布系統(tǒng)1a中，處理單元組2包括第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b、第三有機EL涂布單元24c來代替圖1所示的涂布系統(tǒng)1的有機EL涂布單元24，其中，第一有機EL涂布單元24a將含有紅色(R)的有機EL材料的有機EL液(以下稱為“有機EL液(R)”)涂布在基板9上；第二有機EL涂布單元24b將含有綠色(G)的有機EL材料的有機EL液(以下稱為“有機EL液(G)”)涂布在基板9上；第三有機EL涂布單元24c將含有藍色(B)的有機EL材料的有機EL液(以下稱為“有機EL液(B)”)涂布在基板9上。下面，根據(jù)需要，將第一有機EL涂布單元24a～第三有機EL涂布單元24c總稱為“有機EL涂布單元24a～24c”。另外，其他結構和圖1相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
有機EL涂布單元24a～24c的結構和圖9以及圖10所示的有機EL涂布單元24大致相同，但是，在這一點上不同與基板9的移動方向相關，涂布頭的3個噴嘴各自的間隔為基板9上的隔壁間距的3倍，從3個噴嘴噴出同色的有機EL液(即，是有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B)中的某一個，下面，在沒有必要區(qū)別這三種有機EL液的情況下，和第一實施方式同樣地，總稱為“有機EL液”)。
在第一有機EL涂布單元24a中，通過反復移動噴出有機EL液(R)的噴嘴和基板9，在第二遮蔽膠帶84上和涂布區(qū)域91上的隔壁之間的多個槽部條紋狀地涂布了有機EL液(R)。由第一有機EL涂布單元24a涂布的條紋狀的有機EL液(R)，與基板9的移動方向相關地空開隔壁間距的3倍的間隔而排列。換言之，在涂布了有機EL液(R)的兩個槽部之間夾著沒有涂布有機EL液(R)的兩個槽部。
第二有機EL涂布單元24b也是同樣，通過反復移動噴出有機EL液(G)的噴嘴和基板9，在含有涂布了有機EL液(R)的第二遮蔽膠帶84的基板9上的區(qū)域(即，涂布了有機EL液(R)的第二遮蔽膠帶84上的區(qū)域、和與涂布了有機EL液(R)的多個槽部的一側相鄰的多個槽部)，空開隔壁間距的3倍的間隔而條紋狀地涂布有機EL液(G)，第三有機EL涂布單元24c，也在涂布了有機EL液(R)的槽部和涂布了有機EL液(G)的槽部之間的槽部中，空開隔壁間距的3倍的間隔而條紋狀地涂布有機EL液(B)。
圖17是表示涂布系統(tǒng)1a的動作的流程的一部分的圖。圖17所示的動作(步驟S51～S59)的前后的動作的流程，分別和圖15A至圖15D所示的步驟S11～S33、以及步驟S41～S48相同。
在涂布系統(tǒng)1a中，和第一實施方式相同地，由分度器機械手32從分度器3的盒體90取出的基板9由多級搬送機械手4接受，并被搬入空穴輸送膠帶單元23，在禁止涂布區(qū)域92粘貼第一遮蔽膠帶81之后，從空穴輸送膠帶單元23被搬出(圖15A步驟S11～S14)。接著，基板9由多級搬送機械手4搬入到空穴輸送涂布單元21，在空穴輸送涂布單元21中，在包含禁止涂布區(qū)域92上的第一遮蔽膠帶81的基板9上的區(qū)域(即，第一遮蔽膠帶81上的區(qū)域、和涂布區(qū)域91的隔壁之間的槽部)涂布了空穴輸送液之后，從空穴輸送涂布單元21被搬出(步驟S15～S17)。
從空穴輸送涂布單元21搬出后的基板9，再次被搬入空穴輸送膠帶單元23，而涂布了空穴輸送液的第一遮蔽膠帶81被剝離，然后從空穴輸送膠帶單元23被搬出，并搬入到空穴輸送烘培單元22(步驟S21～S24)。并且，基板9由加熱部221加熱，由此空穴輸送液固定在基板9的涂布區(qū)域91上，形成空穴輸送層，然后，由冷卻部222冷卻至常溫的基板9從空穴輸送烘培單元22被搬出(步驟S25～S27)。
從空穴輸送烘培單元22被搬出的基板9，被搬入有機EL膠帶單元26，在禁止涂布區(qū)域92粘貼了第二遮蔽膠帶84之后，從有機EL膠帶單元26被搬出(步驟S31～S33)。
粘貼了第二遮蔽膠帶84的基板9，由多級搬送機械手4搬送，被搬入到第一有機EL涂布單元24a(圖17步驟S51)，在含有第二遮蔽膠帶84的基板9上的區(qū)域(即，第二遮蔽膠帶84上的區(qū)域、和在涂布區(qū)域91的隔壁之間的槽部所形成的空穴輸送層上的區(qū)域)條紋狀地涂布有機EL液(R)(步驟S52)。接著，基板9從第一有機EL涂布單元24a被搬出，并被搬入到第二有機EL涂布單元24b(步驟S53、S54)，條紋狀地涂布有機EL液(G)(步驟S55)。接著，基板9從第二有機EL涂布單元24b被搬出，并被搬入到第三有機EL涂布單元24c(步驟S56、S57)，條紋狀地涂布有機EL液(B)，從而結束對基板9的3種有機EL液(即，有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B))的涂布(步驟S58)當對基板9的3種有機EL液的涂布結束時，基板9由多級搬送機械手4從第三有機EL涂布單元24c被搬出(步驟S59)，再次被搬入到有機EL膠帶單元26(圖15D步驟S41)。在有機EL膠帶單元26中，從基板9剝離涂布了有機EL液的第二遮蔽膠帶84，然后，基板9從有機EL膠帶單元26被搬出，而被搬入到有機EL烘培單元25(步驟S42～S44)。
在有機EL烘培單元25中，基板9由加熱部加熱，由此有機EL液固定在基板9的涂布區(qū)域91上，形成有機EL層之后，基板9由冷卻部冷卻至常溫(步驟S45、S46)。之后，基板9從有機EL烘培單元25被搬出，向分度器3搬送，并由分度器機械手32接受(步驟S47、S48)。
在涂布系統(tǒng)1a中，由于處理單元組2包括對粘貼了第二遮蔽膠帶84的基板9分別依次涂布3種有機EL液的有機EL涂布單元24a～24c、和從涂布了3種有機EL液的基板9剝離第二遮蔽膠帶84的有機EL膠帶單元26，所以能夠容易地得到僅在涂布區(qū)域91涂布了有機EL液的基板9，能夠在縮短基板9的處理時間的同時降低涂布系統(tǒng)1a的制造成本(在第三、第五、第六、第八以及第九實施方式也同樣)。
如上所述，在處理單元組2中，3種有機EL液通過各自的處理單元即有機EL涂布單元24a～24c涂布在基板9上。因此，能將3種有機EL液在各自適合的涂布條件下涂布在基板9上，其結果是，能夠提高3種有機EL液的涂布質(zhì)量(在第三、第五、第六、第八、第九、第十一、第十二、第十四和第十六實施方式也同樣)。
此外，對粘貼了涂布過有機EL液(R)的第二遮蔽膠帶84狀態(tài)的基板9，依次涂布有機EL液(G)和有機EL液(B)，從而在由有機EL涂布單元24a～24c進行的3種有機EL液的涂布的前后，能夠使第二遮蔽膠帶84的粘貼和剝離僅進行一次，進一步縮短基板9的處理時間(在第五、第八和第九實施方式也同樣)。此外，在涂布系統(tǒng)1a中，有機EL液(R)、有機EL液(G)以及有機EL液(B)的涂布順序可以自由地變更。
接著，針對本發(fā)明的第三實施方式的涂布系統(tǒng)1b進行說明。圖18是表示涂布系統(tǒng)1b的結構的圖。如圖18所示，在涂布系統(tǒng)1b中，處理單元組2包括第一有機EL烘培單元25a、第二有機EL烘培單元25b、第三有機EL涂布單元25c來取代圖16所示的有機EL烘培單元25，其中，第一有機EL烘培單元25a對涂布了有機EL液(R)的基板9進行加熱；第二有機EL烘培單元25b對涂布了有機EL液(G)的基板9進行加熱；第三有機EL烘培單元25c對涂布了有機EL液(B)的基板9進行加熱。下面，根據(jù)需要，將第一有機EL烘培單元25a～第三有機EL烘培單元25c總稱為“有機EL烘培單元25a～25c”。有機EL烘培單元25a～25c的結構和圖14所示的空穴輸送烘培單元22相同。其他結構和圖16相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
圖19是表示涂布系統(tǒng)1b的動作的流程的一部分的圖。圖19所示的動作(步驟S61～S72)的前后的動作的流程和圖15A以及圖15B所示的步驟S11～S27、以及圖15D所示的步驟S48相同，所以在以下簡略說明。
在涂布系統(tǒng)1b中，由多級搬送機械手4從分度器機械手32接受到基板9之后，基板9按空穴輸送膠帶單元23、空穴輸送涂布單元21、空穴輸送膠帶單元23、空穴輸送烘培單元22的順序依次被搬送，從而對基板9進行第一遮蔽膠帶81的粘貼、空穴輸送液的涂布、第一遮蔽膠帶81的剝離、空穴輸送液的固定，在基板9上形成了空穴輸送層(步驟S11～S27)。
當形成空穴輸送層時，基板9由多級搬送機械手4按有機EL膠帶單元26、第一有機EL涂布單元24a、有機EL膠帶單元26和第一有機EL烘培單元25a的順序依次被搬送，對基板9進行第二遮蔽膠帶84的粘貼、有機EL液(R)的涂布、第二遮蔽膠帶84的剝離、和由基板9的加熱進行的有機EL液(R)的固定，在基板9的空穴輸送層上形成紅色(R)的有機EL材料的層(步驟S61～S64)。
接著，基板9由多級搬送機械手4按有機EL膠帶單元26、第二有機EL涂布單元24b、有機EL膠帶單元26和第二有機EL烘培單元25b的順序依次被搬送，對基板9進行第二遮蔽膠帶84的粘貼、有機EL液(G)的涂布、第二遮蔽膠帶84的剝離、和由基板9的加熱進行的有機EL液(G)的固定，在基板9的空穴輸送層上形成綠色(G)的有機EL材料的層(步驟S65～S68)。
進而，基板9由多級搬送機械手4按有機EL膠帶單元26、第三有機EL涂布單元24c、有機EL膠帶單元26和第三有機EL烘培單元25c的順序依次被搬送，對基板9進行第二遮蔽膠帶84的粘貼、有機EL液(B)的涂布、第二遮蔽膠帶84的剝離、和由基板9的加熱進行的有機EL液(B)的固定而在基板9的空穴輸送層上形成藍色(B)的有機EL材料的層(步驟S69～S72)。然后，從第三有機EL烘培單元25c搬出后的基板9向分度器3搬送，并由分度器機械手32接受(步驟S48)。
在涂布系統(tǒng)1b中，3種有機EL液分別由單獨的處理單元即有機EL涂布單元24a～24c涂布在基板9上，進而，分別涂布之后，分別由單獨的處理單元即有機EL烘培單元25a～25c加熱而固定在基板9上。因此，能夠將3種有機EL液在適合各自的涂布條件下涂布在基板9上，進而，能在適合各自的溫度條件下加熱。其結果是，能夠提高3種有機EL液的涂布和加熱處理的質(zhì)量(在第六和第十二實施方式同樣)。
接著，針對本發(fā)明的第四實施方式的涂布系統(tǒng)1c進行說明。圖20是表示涂布系統(tǒng)1c的結構的圖。如圖20所示，涂布系統(tǒng)1c具有在分度器3和處理單元組2之間、以及處理單元組2的各處理單元之間被配置的多個固定型的搬送臂4a作為搬送機構，來取代圖1所示的在移動路徑41移動的多級搬送機械手4。
另外，涂布系統(tǒng)1c的處理單元組2包括空穴輸送膠帶粘貼單元23a、空穴輸送膠帶剝離單元23b、以及有機EL膠帶粘貼單元26a、有機EL膠帶剝離單元26b來取代空穴輸送膠帶單元23和有機EL膠帶單元26，其中，空穴輸送膠帶粘貼單元23a在涂布空穴輸送液之前的基板9上粘貼第一遮蔽膠帶81；空穴輸送膠帶剝離單元23b通過從涂布了空穴輸送液的基板9剝離第一遮蔽膠帶81來從禁止涂布區(qū)域92(參照圖3)上除去被涂布在了第一遮蔽膠帶81上的空穴輸送液；有機EL膠帶粘貼單元26a在涂布有機EL液之前的基板9上粘貼第二遮蔽膠帶84；有機EL膠帶剝離單元26b通過從涂布了有機EL液的基板9剝離第二遮蔽膠帶84來從禁止涂布區(qū)域92上除去被涂布在了第二遮蔽膠帶84上的有機EL液。其他結構和圖1相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
空穴輸送膠帶粘貼單元23a為圖4至圖6所示的從空穴輸送膠帶單元23省略了膠帶剝離頭234的結構，空穴輸送膠帶剝離單元23b為從空穴輸送膠帶單元23省略了膠帶粘貼頭233的結構。有機EL膠帶粘貼單元26a以及有機EL膠帶剝離單元26b也為和空穴輸送膠帶粘貼單元23a以及空穴輸送膠帶剝離單元23b同樣的結構。
在涂布系統(tǒng)1c中，基板9通過多個搬送臂4a沿著從分度器3開始依次經(jīng)由空穴輸送膠帶粘貼單元23a、空穴輸送涂布單元21、空穴輸送膠帶剝離單元23b、空穴輸送烘培單元22、有機EL膠帶粘貼單元26a、有機EL涂布單元24、有機EL膠帶剝離單元26b以及有機EL烘培單元25至分度器3為止的規(guī)定的搬送路徑被搬送。并且，在各單元中，通過各自處理，從而和第一實施方式同樣，在基板9的涂布區(qū)域91形成有空穴輸送層和有機EL層。
在涂布系統(tǒng)1c中，處理單元組2除了包括從基板9的禁止涂布區(qū)域92除去流動性材料(即，空穴輸送液和有機EL液)的流動性材料除去單元即空穴輸送膠帶剝離單元23b和有機EL膠帶剝離單元26b，還包括空穴輸送膠帶粘貼單元23a和有機EL膠帶粘貼單元26a，從而也能夠在一個系統(tǒng)內(nèi)對基板9進行遮蔽膠帶的粘貼和遮蔽膠帶的剝離，能夠縮短基板9的處理時間的同時，能夠降低涂布系統(tǒng)1c的制造成本(在第五和第六實施方式也同樣)。
在涂布系統(tǒng)1c中，將基板9從空穴輸送膠帶剝離單元23b向空穴輸送烘培單元22搬送的搬送臂4a不同于從空穴輸送涂布單元21向空穴輸送膠帶剝離單元23b搬送的搬送臂4a，因此能可靠地防止空穴輸送液經(jīng)由搬送臂4a附著在空穴輸送烘培單元22上。其結果是，能可靠地防止沒用的空穴輸送液附著在被依次搬入空穴輸送烘培單元22的、剝離了第一遮蔽膠帶81之后的基板9上(在第五和第六實施方式也同樣)。
同樣，將基板9從有機EL膠帶剝離單元26b向有機EL烘培單元25搬送的搬送臂4a不同于從有機EL涂布單元24向有機EL膠帶剝離單元26b搬送的搬送臂4a，所以能可靠地防止有機EL液經(jīng)由搬送臂4a附著在有機EL烘培單元25上。其結果是，能可靠地防止沒用的有機EL液附著在被依次搬入有機EL烘培單元25的、剝離了第二遮蔽膠帶84之后的基板9上(在第五和第六實施方式也同樣)。
圖21和圖22是表示本發(fā)明的第五以及第六實施方式的涂布系統(tǒng)1d以及涂布系統(tǒng)1e的結構的圖。如圖21和圖22所示，涂布系統(tǒng)1d和涂布系統(tǒng)1e分別具有和第二實施方式的涂布系統(tǒng)1a(參照圖16)和第三實施方式的涂布系統(tǒng)1b(參照圖18)大致相同的結構，但是在這一點上不同設置有多個搬送臂4a來取代多級搬送機械手4；設置有空穴輸送膠帶粘貼單元23a、空穴輸送膠帶剝離單元23b以及有機EL膠帶粘貼單元26a、有機EL膠帶剝離單元26b來取代空穴輸送膠帶單元23以及有機EL膠帶單元26。其他結構和圖16和圖18相同，在以下的說明中標記相同的附圖標記。
在圖21所示的涂布系統(tǒng)1d中，和第二實施方式相同，在空穴輸送層的形成結束之后，對粘貼了第二遮蔽膠帶84的基板9，依次涂布有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B)，在剝離第二遮蔽膠帶84之后，進行加熱處理，形成有機EL層。
在圖22所示的涂布系統(tǒng)1e中，在基板9的涂布區(qū)域91形成空穴輸送層之后，基板9由多個搬送臂4a依次被搬入有機EL膠帶粘貼單元26a、第一有機EL涂布單元24a、有機EL膠帶剝離單元26b、第一有機EL烘培單元25a、有機EL膠帶粘貼單元26a、第二有機EL涂布單元24b、有機EL膠帶剝離單元26b、第二有機EL烘培單元25b、有機EL膠帶粘貼單元26a、第三有機EL涂布單元24c、有機EL膠帶剝離單元26b以及第三有機EL烘培單元25c，由此對有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B)分別進行對基板9的涂布以及加熱處理。
圖23是表示本發(fā)明的第七實施方式的涂布系統(tǒng)1f的結構的圖。如圖23所示，在涂布系統(tǒng)1f中，處理單元組2除了包括圖1所示的涂布系統(tǒng)1的多個處理單元，還包括暫時保持在處理單元組2的處理途中的基板9的緩沖單元27。其他結構和圖1相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
在處理單元組2中，在各處理單元中的處理時間不同。例如，在空穴輸送烘培單元22和有機EL烘培單元25中的基板9的加熱和冷卻所需要的時間比在空穴輸送涂布單元21和有機EL涂布單元24中的空穴輸送液和有機EL液的涂布所需要的時間長，另外，也比在空穴輸送膠帶單元23和有機EL膠帶單元26中的遮蔽膠帶的粘貼和剝離所需要的時間長。
在涂布系統(tǒng)1f中，將處理途中的基板9暫時容納在緩沖單元27的盒體(省略圖示)來保持，由此在進行多個基板9的處理時，調(diào)整各處理單元之間的處理時間(即，生產(chǎn)節(jié)拍時間)的差，靈活地掌握基板9的處理順序，所以能縮短基板9的處理時間。例如，將搬送途中的基板9暫時容納在緩沖單元27，而優(yōu)先基板9相對處理時間長的空穴輸送烘培單元22和有機EL烘培單元25的搬入搬出。從這個角度，優(yōu)選緩沖單元27配置在最接近空穴輸送烘培單元22和有機EL烘培單元25的位置。
另外，在空穴輸送烘培單元22中，在對一張基板9進行加熱處理期間，將空穴輸送液的涂布以及第一遮蔽膠帶81的剝離結束后的后續(xù)的基板9預先容納在緩沖單元27，從而在空穴輸送涂布單元21中能對多個基板9連續(xù)地進行空穴輸送液的涂布。在空穴輸送涂布單元21中，當停止空穴輸送液的噴出時，因為在再開始噴出時的流量等的穩(wěn)定上需要一些時間，所以在對多個基板9進行涂布時，優(yōu)選在等待基板9搬入的期間內(nèi)也不停止噴出。因此，假設當?shù)却?搬入的時間長時，空穴輸送液的使用量增大。在涂布系統(tǒng)1f中，通過設置緩沖單元27，從而能實現(xiàn)對多個基板9的連續(xù)的涂布，能夠降低空穴輸送液的使用量(對有機EL液的涂布也同樣)。
圖24是表示本發(fā)明的第八實施方式的涂布系統(tǒng)1g的結構的圖。如圖24所示，在涂布系統(tǒng)1g中，處理單元組2除了包括圖16所示的涂布系統(tǒng)1a的多個處理單元，還包括暫時保持處理途中的基板9的緩沖單元27。其他結構和圖16相同，在以下的說明中，標上相同的附圖標記。
在涂布系統(tǒng)1g的空穴輸送涂布單元21中，對基板9的涂布區(qū)域91的所有的槽部進行空穴輸送液的涂布，但是，在第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b以及第三有機EL涂布單元24c中，分別對1/3的個數(shù)的槽部進行有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B)的涂布。因此，在空穴輸送涂布單元21中的處理時間約為在各個有機EL涂布單元24a～24c中的處理時間的3倍。在涂布系統(tǒng)1g中，也能夠通過緩沖單元27調(diào)整這種在各單元中的處理時間的差。
圖25是表示本發(fā)明的第九實施方式的涂布系統(tǒng)1h的結構的圖。如圖25所示，涂布系統(tǒng)1h的處理單元組2包括空穴輸送膠帶單元23、3個空穴輸送涂布單元21以及空穴輸送烘培單元22作為空穴輸送層的形成所涉及的處理單元，包括有機EL膠帶單元26、第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b、第三有機EL涂布單元24c以及有機EL烘培單元25作為有機EL層的形成所涉及的處理單元。處理單元組2還具有暫時保持處理途中的基板9的緩沖單元27a。緩沖單元27a為沿著處理單元的配列延伸的橫向長的形狀。
在處理單元組2中，空穴輸送層的形成所涉及的處理單元被配列在緩沖單元27a的一側，有機EL層的形成所涉及的處理單元被配列在另一側。涂布系統(tǒng)1h具有兩臺多級搬送機械手4作為基板9的搬送機構，在空穴輸送層的形成所涉及的多個處理單元和緩沖單元27a之間、以及有機EL層的形成所涉及的多個處理單元和緩沖單元27a之間分別設置有移動多級搬送機械手4的移動路徑41。
在涂布系統(tǒng)1h中，在空穴輸送烘培單元22的內(nèi)部設置有3個加熱部(省略圖示)，由3個空穴輸送涂布單元21涂布了空穴輸送液的3張基板9在第一遮蔽膠帶81剝離之后，由3個加熱部同時進行加熱，而形成空穴輸送層。空穴輸送層的形成所涉及的處理結束了的3張基板9，通過一方的多級搬送機械手4而被搬送到緩沖單元27a，通過另一方的多級搬送機械手4從緩沖單元27a被取出，按順序被搬送到有機EL層的形成所涉及的處理單元，而形成了有機EL層。
在涂布系統(tǒng)1h中，夾持緩沖單元27a來分離配置空穴輸送層的形成所涉及的處理單元和有機EL層的形成所涉及的處理單元，從而能調(diào)整空穴輸送層和有機EL層的形成所涉及的處理時間的差，同時，能夠抑制空穴輸送層的形成所涉及的處理單元和有機EL層的形成所涉及的處理單元之間的環(huán)境的移動。其結果是，能夠提高對基板9的處理的質(zhì)量。
接著，表示涂布系統(tǒng)的其他例子。在以下的例子中，從處理單元組2省略了空穴輸送層的形成所涉及的處理單元，在其他系統(tǒng)和裝置等即外部進行了空穴輸送層的形成的基板9被搬入到涂布系統(tǒng)。
圖26所示的涂布系統(tǒng)11a具有分度器3、多級搬送機械手4和處理單元組2，處理單元組2包括有機EL膠帶單元26、有機EL涂布單元24和有機EL烘培單元25各兩個。圖27所示的涂布系統(tǒng)11b的處理單元組2包括兩個有機EL膠帶單元26、第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b、第三有機EL涂布單元24c和有機EL烘培單元25。圖28所示的涂布系統(tǒng)11c的處理單元組2包括第一有機EL烘培單元25a、第二有機EL烘培單元25b以及第三有機EL烘培單元25c來取代圖27所示的有機EL烘培單元25。
圖29所示的涂布系統(tǒng)11d具有分度器3、多個搬送臂4a以及處理單元組2。在涂布系統(tǒng)11d中，基板9被依次搬送到有機EL膠帶粘貼單元26a、有機EL涂布單元24、有機EL膠帶剝離單元26b以及有機EL烘培單元25并被處理，從而在基板9上形成有機EL層。在圖30所示的涂布系統(tǒng)11e中，基板9被依次搬送到有機EL膠帶粘貼單元26a、第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b、第三有機EL涂布單元24c、有機EL膠帶剝離單元26b以及有機EL烘培單元25。
在圖31所示的涂布系統(tǒng)11f中，基板9被依次搬送到有機EL膠帶粘貼單元26a、第一有機EL涂布單元24a、有機EL膠帶剝離單元26b、第一有機EL烘培單元25a、有機EL膠帶粘貼單元26a、第二有機EL涂布單元24b、有機EL膠帶剝離單元26b、第二有機EL烘培單元25b、有機EL膠帶粘貼單元26a、第三有機EL涂布單元24c、有機EL膠帶剝離單元26b以及第三有機EL烘培單元25c。
在以上說明過的涂布系統(tǒng)中，從容易得到僅在基板9上的涂布區(qū)域91涂布了有機EL液的基板9這個角度，可以從處理單元組2省略粘貼第二遮蔽膠帶84的有機EL膠帶粘貼單元26a(或者，有機EL膠帶單元26的膠帶粘貼頭)(在空穴輸送液的涂布也同樣)。在該情況下，在涂布系統(tǒng)搬入在系統(tǒng)的外部粘貼了第二遮蔽膠帶84的基板9。
相反，可以從處理單元組2省略有機EL膠帶剝離單元26b(或者，有機EL膠帶單元26的膠帶剝離頭)，可以在涂布系統(tǒng)的外部進行第二遮蔽膠帶84的剝離。即使在該情況下，處理單元組2包括在基板9上粘貼第二遮蔽膠帶84的有機EL膠帶粘貼單元26a(或者，有機EL膠帶單元26的膠帶粘貼頭)和涂布有機EL液的有機EL涂布單元，由此在基板9涂布有機EL液時，能夠可靠地防止有機EL液附著在基板9上的禁止涂布區(qū)域92(在空穴輸送液的涂布也同樣)。
另外，在要求涂布系統(tǒng)小型化的情況下，可以通過1個膠帶粘貼·剝離單元涂布空穴輸送液前后進行的第一遮蔽膠帶81的粘貼和剝離以及涂布有機EL液前后進行的第二遮蔽膠帶84的粘貼和剝離。
此外，在上述實施方式的涂布系統(tǒng)中，也可以對基板9的整個禁止涂布區(qū)域92進行遮蔽膠帶的粘貼。例如，在空穴輸送膠帶單元23中，在一個方向延伸的區(qū)域粘貼有第一遮蔽膠帶81，通過基板移動機構232，基板9僅旋轉了90°之后，在與已經(jīng)粘貼了第一遮蔽膠帶81的區(qū)域垂直的區(qū)域粘貼有第一遮蔽膠帶81。這樣，禁止涂布區(qū)域92中，在空穴輸送涂布單元21沒有進行空穴輸送液的涂布的區(qū)域也粘貼第一遮蔽膠帶81，從而能防止因某種異常等而使異物附著在該區(qū)域(在有機EL膠帶單元26也同樣)。
接著，針對本發(fā)明第十實施方式的涂布系統(tǒng)1j進行說明。圖32是表示涂布系統(tǒng)1j的結構的圖。涂布系統(tǒng)1j也和第一實施方式同樣，是在有機EL顯示裝置用的基板9(參照圖2)涂布流動性材料的系統(tǒng)。在涂布系統(tǒng)1j中，不對基板9進行遮蔽膠帶的粘貼和剝離(在第十一至第十六實施方式也同樣)。
如圖32所示，在涂布系統(tǒng)1j中，處理單元組2包含空穴輸送除去單元28和有機EL除去單元29來取代圖1所示的涂布系統(tǒng)1的空穴輸送膠帶單元23和有機EL膠帶單元26。其中，空穴輸送除去單元28是從由空穴輸送涂布單元21涂布了空穴輸送液的基板9(參照圖2)的禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液的流動性材料除去單元；有機EL除去單元29是從由有機EL涂布單元24涂布了有機EL液的基板9的禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液的流動性材料除去單元。其他結構和圖1同樣，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
在空穴輸送除去單元28中，通過向被涂布在了基板9上的禁止涂布區(qū)域92上的空穴輸送液照射能量波，來從禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液。在有機EL除去單元29中也同樣，通過向被涂布在了基板9上的禁止涂布區(qū)域92上的有機EL液照射能量波，來從禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液。在本實施方式中，通過空穴輸送除去單元28和有機EL除去單元29向基板9上的禁止涂布區(qū)域92進行的能量波的照射是由激光的照射帶來的光能量的照射，禁止涂布區(qū)域92上的空穴輸送液和有機EL液由激光燒蝕來氣化，而從禁止涂布區(qū)域92上被除去(在第十一至第十六實施方式也同樣)。
在處理單元組2中，在多級搬送機械手4移動的直線狀的移動路徑41的一側，配列有空穴輸送涂布單元21、空穴輸送烘培單元22以及空穴輸送除去單元28，在移動路徑41的另一側，配列有有機EL涂布單元24、有機EL烘培單元25和有機EL除去單元29。在涂布系統(tǒng)1j中，處理單元組2中的空穴輸送除去單元28和有機EL除去單元29配置在比其他任一個處理單元(即，空穴輸送涂布單元21、空穴輸送烘培單元22、有機EL涂布單元24和有機EL烘培單元25)更接近分度器3的位置。
圖33是表示空穴輸送除去單元28的結構的主視圖。空穴輸送除去單元28具有基板保持部281，其保持基板9；基板移動機構282，其使基板9在相互垂直的兩個水平方向(即，圖4中的左右方向和縱深方向)移動；除去頭283，其對基板9的禁止涂布區(qū)域92照射激光，來除去所涂布的空穴輸送液；控制部284，其控制這些機構。
圖34是放大表示除去頭283的內(nèi)部結構的主視圖。在圖5中，為了說明除去頭283的被容納在殼體2830的結構，所以描述殼體2830的內(nèi)部。如圖5所示，除去頭283具有激光照射部2831，其出射激光；吸引部2832，其吸引由激光燒蝕而被氣化后的除去物(即，空穴輸送液)；殼體2830，其容納這些機構。
激光照射部2831具有激光振蕩器2833，其使高強度的脈沖激光振蕩；放大光學系統(tǒng)2834，其放大來自激光振蕩器2833的激光；掩模2835，其將來自放大光學系統(tǒng)2834的激光的剖面形狀整形成狹縫狀(寬度窄的矩形狀)；縮小光學系統(tǒng)2836，其使由掩模2835整形的激光會聚并導向基板9。在圖5中，用虛線表示從激光振蕩器2833導向基板9的激光的主軸。吸引部2832具有向基板9突出的吸引噴嘴2837，在被照射了來自激光照射部2831的激光的基板9上的區(qū)域的上方吸引周圍氣體。
在由圖33所示的空穴輸送除去單元28從基板9上的禁止涂布區(qū)域92(參照圖2)除去空穴輸送液時，首先，由基板移動機構282移動基板9，而位于除去開始位置。即，基板9的禁止涂布區(qū)域92的端部位于除去頭283的縮小光學系統(tǒng)2836的下方。
接著，在基板9靜止了的狀態(tài)下，開始由吸引部2832進行的吸引，同時開始從激光照射部2831向禁止涂布區(qū)域92照射脈沖激光。在禁止涂布區(qū)域92中，通過反復進行激光的照射，從而反復產(chǎn)生激光燒蝕，由此，附著在基板9的禁止涂布區(qū)域92上的空穴輸送液被氣化而被除去。被氣化后的空穴輸送液由吸引部2832和周圍的氣體一起被吸引。其結果是，防止氣化了的空穴輸送液再次附著在基板9和空穴輸送除去單元28上。
在空穴輸送除去單元28中，當規(guī)定脈沖數(shù)的激光被照射在基板9上的一個照射區(qū)域時，由基板移動機構282移動基板9，從而在禁止涂布區(qū)域92中的被照射激光的區(qū)域發(fā)生移動。并且，通過反復進行激光的照射和基板9的移動，從而對基板9上的整個禁止涂布區(qū)域92照射激光，除去附著在了禁止涂布區(qū)域92上的空穴輸送液。
由于有機EL除去單元29具有和圖33所示的空穴輸送除去單元28同樣的結構，所以省略圖示。有機EL除去單元29和空穴輸送除去單元28同樣，具有基板保持部，其保持基板9；基板移動機構，其使基板9移動；除去頭，其對基板9的禁止涂布區(qū)域92照射激光，來除去所涂布的有機EL液；控制部，其控制這些結構。
除去頭的內(nèi)部結構也和圖34所示的空穴輸送除去單元28的除去頭283相同。在有機EL除去單元29也和空穴輸送除去單元28同樣，通過由來自除去頭的激光照射部的脈沖激光的照射來進行的激光燒蝕，而從基板9的禁止涂布區(qū)域92使有機EL液氣化來除去，并由吸引部對氣化了的有機EL液和周圍的氣體一起進行吸引，從而防止被除去了的有機EL液再次附著在基板9和有機EL除去單元29上。
圖35是表示基板9的俯視圖，圖36是在圖35中的B-B的位置的基板9的剖面圖。在圖32所示的有機EL涂布單元24中，通過反復進行涂布頭244(參照圖9和圖10)向左右方向的移動和基板9的間距移動，從而如圖35和圖36所示，在基板9上的含有禁止涂布區(qū)域92的區(qū)域(即，禁止涂布區(qū)域92中的涂布區(qū)域91的左右的區(qū)域、和涂布區(qū)域91的隔壁之間的槽部)，條紋狀地涂布有機EL液93。此外，在圖35中，為了便于圖示，基板9上所涂布的有機EL液93的寬度和間距描述得比實際大。
在有機EL涂布單元24中，在進行有機EL液93的涂布期間，從涂布頭244的噴嘴247a～247c(參照圖9和圖10)連續(xù)地噴出有機EL液93。在有機EL涂布單元24中，禁止涂布區(qū)域92中，對在與基板9的移動方向垂直延伸的區(qū)域(即，在圖35中沿左右方向延伸的區(qū)域)，在使涂布頭244從基板9上避讓的狀態(tài)下，基板9僅移動和該區(qū)域寬度(即，圖35中的上下方向的寬度)相等的距離，從而能避免有機EL液93向該區(qū)域涂布。
在涂布系統(tǒng)1j中，在上述的有機EL除去單元29，通過從基板9的禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液93，從而如圖37所示，僅在基板9的涂布區(qū)域91上殘存著有機EL液93(在空穴輸送涂布單元21和空穴輸送除去單元28中的空穴輸送液的涂布和除去也同樣)。
接著，針對涂布系統(tǒng)1j的動作進行說明。圖38A至圖38C是表示涂布系統(tǒng)1j的動作的流程的圖。在圖32所示的涂布系統(tǒng)1j中，容納有形成了TFT電路、ITO電極以及隔壁的多個基板9的盒體90，被預先載置到分度器3的盒體載置部31上，首先，由分度器3的分度器機械手32(參照圖3)，從盒體載置部31上的盒體90取出基板9，由多級搬送機械手4接受被分度器機械手32的手部321保持的基板9，并被手部421(參照圖3)保持(步驟S81)。
接著，多級搬送機械手4在移動路徑41上一直移動到空穴輸送涂布單元21之前，被手部421保持的基板9被搬入到空穴輸送涂布單元21，而被載置到基板保持部(步驟S82)。在空穴輸送涂布單元21中，向基板9噴出空穴輸送液，在含有禁止涂布區(qū)域92上的基板9上的區(qū)域(即，涂布區(qū)域91的隔壁之間的槽部和禁止涂布區(qū)域92)，條紋狀地涂布空穴輸送液(步驟S83)。
當空穴輸送液的涂布結束時，基板9由多級搬送機械手4從空穴輸送涂布單元21搬出(步驟S84)，再向空穴輸送除去單元28被搬送，而被搬入空穴輸送除去單元28(步驟S85)。此時，基板9由多級搬送機械手4的手部421保持并搬送。另外，在基板9上，由空穴輸送涂布單元21涂布了的空穴輸送液的溶劑成分的一部分通過基板保持部的加熱機構蒸發(fā)，空穴輸送液以某種程度干燥了的狀態(tài)(所謂半干的狀態(tài))附著在禁止涂布區(qū)域92和涂布區(qū)域91上。在空穴輸送除去單元28中，通過由來自除去頭283(參照圖34)的激光地照射進行的激光燒蝕，從被保持在基板保持部281的基板9的禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液(步驟S86)。
當空穴輸送液從禁止涂布區(qū)域92被除去時，基板9由多級搬送機械手4從空穴輸送除去單元28被搬出(步驟S87)，向空穴輸送烘培單元22搬送，并被搬入空穴輸送烘培單元22(步驟S91)。在基板9從空穴輸送除去單元28向空穴輸送烘培單元22被搬送時，基板9由多級搬送機械手4的手部422(即，不同于在從空穴輸送涂布單元21向空穴輸送除去單元28搬送時進行保持的保持部的另一個保持部)保持。
在空穴輸送烘培單元22中，從禁止涂布區(qū)域92除去了空穴輸送液的基板9，被載置到加熱部221的加熱板2211(參照圖14)上，并被加熱，在涂布區(qū)域91中，被涂布在隔壁之間的槽部中的空穴輸送液固定在基板9(的ITO電極)上，而形成了空穴輸送層(步驟S92)。接著，基板9由多級搬送機械手4從加熱部221搬出，而被搬入冷卻部222，并被載置到冷卻板2221(參照圖14)上，冷卻至常溫(步驟S93)。
當基板9的冷卻結束時，基板9由多級搬送機械手4從空穴輸送烘培單元22搬出(步驟S94)，而被搬入有機EL涂布單元24(步驟S95)。在有機EL涂布單元24中，向被保持在基板保持部241的基板9噴出3種有機EL液，在含有禁止涂布區(qū)域92的基板9上的區(qū)域(即，禁止涂布區(qū)域92和涂布區(qū)域91的在隔壁之間槽部形成的空穴輸送層上的區(qū)域)，條紋狀地涂布3種有機EL液(步驟S96)。
當有機EL液的涂布結束時，基板9由多級搬送機械手4從有機EL涂布單元24搬出(步驟S97)，再被搬入有機EL除去單元29(步驟S101)。在基板9上，由有機EL涂布單元24涂布了的有機EL液的溶劑成分的一部分通過基板保持部241的加熱機構蒸發(fā)，有機EL液以某種程度干燥了的狀態(tài)(所謂半干的狀態(tài))附著在禁止涂布區(qū)域92和涂布區(qū)域91(的空穴輸送層)上。在有機EL除去單元29中，通過由來自除去頭的激光的照射進行的激光燒蝕，來從被保持在基板保持部上的基板9的禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液(步驟S102)。
當從禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液時，基板9由多級搬送機械手4從有機EL除去單元29搬出(步驟S103)，并被搬入有機EL烘培單元25(步驟S104)。在基板9從有機EL除去單元29向有機EL烘培單元25被搬送時，基板9由多級搬送機械手4的手部4212、422中的、和被利用于從有機EL涂布單元24向有機EL除去單元29搬送基板9時的手部不同的手部保持。
在有機EL烘培單元25中，從禁止涂布區(qū)域92除去了有機EL液的基板9由加熱部的加熱板加熱，被涂布在基板9的空穴輸送層上的有機EL液固定在基板9(的空穴輸送層)上，而形成了有機EL層(步驟S105)。接著，基板9由多級搬送機械手4從加熱部搬出，并被搬入冷卻部，由冷卻板冷卻至常溫(步驟S106)。
當在基板9的涂布區(qū)域91中，在空穴輸送層上所層疊的有機EL層的形成結束時，基板9由多級搬送機械手4從有機EL烘培單元25搬出(步驟S107)，并被搬送到分度器3，由分度器機械手32接受，被容納在盒體載置部31上的盒體90(步驟S108)。在涂布系統(tǒng)1j中，當在盒體90容納有規(guī)定張數(shù)的處理完成基板時，該盒體90被搬出到涂布系統(tǒng)1j之外，由其他裝置進行陰極的形成以及由絕緣膜進行的密封，從而完成了有機EL顯示裝置的制造。
在以上說明的涂布系統(tǒng)1j中，當關注空穴輸送層的形成所涉及的結構時，處理單元組2包括空穴輸送涂布單元21，其向基板9涂布空穴輸送液；空穴輸送除去單元28，其從涂布了空穴輸送液的基板9的禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液。由此，除去附著在禁止涂布區(qū)域92上的空穴輸送液，容易得到僅在涂布區(qū)域91上涂布了空穴輸送液的基板9。另外，由于包括對基板9進行加熱而使空穴輸送液固定在基板9上的空穴輸送烘培單元22，從而能容易地得到僅在涂布區(qū)域91固定空穴輸送液而形成了空穴輸送層的基板9。進而，由于能在一個系統(tǒng)內(nèi)進行空穴輸送液的涂布、來自禁止涂布區(qū)域92的空穴輸送液的除去、和空穴輸送液的固定，所以能夠縮短基板9的處理時間，同時能夠降低涂布系統(tǒng)1j的制造成本(在本段落說明過的事項在以下第十一至第十六實施方式也同樣)。
在空穴輸送除去單元28中，從由空穴輸送烘培單元22加熱前的基板9的禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液，即，由于能在空穴輸送液固定在基板9上之前將其除去，所以能夠容易地除去空穴輸送液(在第十一、第十三至第十六實施方式也同樣)。
另外，在空穴輸送除去單元28中，通過由激光的照射進行的激光燒蝕來除去空穴輸送液。在激光照射中，由于可以高精度地確定照射激光的區(qū)域，所以能位置精度良好地除去空穴輸送液。另外，在照射控制了波長的激光時，由于不會產(chǎn)生有可能對空穴輸送液給予影響的臭氧(O3)，所以能實現(xiàn)高品質(zhì)的空穴輸送層的形成(在第十一至第十六實施方式中也同樣)。
接著，當關注有機EL層的形成所涉及的結構時，和空穴輸送層的形成所涉及的結構相同，由有機EL涂布單元24在基板9上涂布有機EL液，由有機EL除去單元29從禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液，從而除去附著在禁止涂布區(qū)域92上的有機EL液，能夠容易地得到僅在涂布區(qū)域91涂布了有機EL液的基板9。另外，由有機EL烘培單元25將有機EL液固定在基板9的涂布區(qū)域91，從而能夠容易地得到僅在涂布區(qū)域91固定有機EL液而形成了有機EL層的基板9。進而，由于能在一個系統(tǒng)內(nèi)進行有機EL液的涂布、來自禁止涂布區(qū)域92的有機EL液的除去、和有機EL液的固定，所以能夠縮短基板9的處理時間，同時能夠降低涂布系統(tǒng)1j的制造成本(在第十三和第十五實施方式也同樣)。
在有機EL除去單元29中，從由有機EL烘培單元25加熱前的基板9的禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液，即，由于能在有機EL液固定在基板9上之前將其除去，所以能夠容易地除去有機EL液(在第十一、第十三至第十六實施方式也同樣)。
另外，在有機EL除去單元29中，也和空穴輸送除去單元28同樣，通過由激光的照射進行的激光燒蝕來除去有機EL液，從而能位置精度良好地除去有機EL液。另外，在照射控制了波長的激光時，由于不會產(chǎn)生有可能對有機EL液給予影響的臭氧，所以能實現(xiàn)高品質(zhì)的有機EL層的形成(在第十一至第十六實施方式中也同樣)。
在處理單元組2中，由空穴輸送除去單元28從基板9的禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液，由有機EL除去單元29從禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液。假設，由共用的除去單元進行空穴輸送液的除去和有機EL液的除去時，在除去單元附著了空穴輸送液的情況下，空穴輸送液就有可能混入在其后被搬入的基板9上的固定前的有機EL液。另外，在除去單元附著了有機EL液的情況下，有機EL液就有可能混入在其后被搬入的基板9上的固定前的空穴輸送液。在涂布系統(tǒng)1j中，通過在處理單元組2設置空穴輸送除去單元28和有機EL除去單元29，從而能可靠地防止基板9上的空穴輸送液和有機EL液的混合。進而，通過在處理單元組2設置多個除去單元，也能縮短基板9的處理時間(在第十一至第十六實施方式也同樣)。
但是，在空穴輸送液和有機EL液中，用于進行有效地除去的激光特性(例如，波長和頻率、(激光)通量等)不同。在涂布系統(tǒng)1j中，通過在處理單元組2設置空穴輸送除去單元28和有機EL除去單元29，從而將空穴輸送液和有機EL液分別由具有不同特性的激光除去，所以能分別有效地進行空穴輸送液的除去和有機EL液的除去(在第十一至第十六實施方式也同樣)。
在涂布系統(tǒng)1j中，處理單元組2中的空穴輸送除去單元28和有機EL除去單元29配置在比其他處理單元更接近分度器3的位置。由此，在處理單元組2中，能夠將其他空穴輸送涂布單元、空穴輸送烘培單元、有機EL涂布單元和有機EL烘培單元容易地增設在多個處理單元的陣列的外側(即，遠離分度器3一側)(在第十一、第十二、第十五和第十六實施方式也同樣)。
另外，在涂布系統(tǒng)1j中，基板9由多級搬送機械手4從空穴輸送涂布單元21被搬送到空穴輸送涂布單元28時，由手部421(參照圖3)保持，從空穴輸送除去單元28被搬送到空穴輸送烘培單元22時，由手部422(參照圖3)保持，所以能夠可靠地防止空穴輸送液經(jīng)由多級搬送機械手4(的手部421、422)附著在空穴輸送烘培單元22。其結果是，能夠可靠地防止沒用的空穴輸送液附著在被依次搬入空穴輸送烘培單元22的基板9(在第十一、第十二、第十五和第十六實施方式也同樣)。
同樣，基板9由多級搬送機械手4從有機EL涂布單元24被搬送到有機EL除去單元29時，由手部421保持，從有機EL除去單元29被搬送到有機EL烘培單元25時，由手部422保持，所以能夠可靠地防止有機EL液經(jīng)由多級搬送機械手4(的手部421、422)附著在有機EL烘培單元25。其結果是，能夠可靠地防止沒用的有機EL液附著在被依次搬入有機EL烘培單元25的基板9(在第十一、第十二、第十五和第十六實施方式也同樣)。
在涂布系統(tǒng)1j中，處理單元組2中的對基板9的處理都在常壓下進行，所以，能夠使涂布系統(tǒng)1j的結構簡單化，能進一步降低制造成本(在第十一至第十六實施方式也同樣)。
接著，針對本發(fā)明的第十一實施方式的涂布系統(tǒng)1k進行說明。圖39是表示涂布系統(tǒng)1k的結構的圖。如圖39所示，在涂布系統(tǒng)1k中，處理單元組2包括圖16所示的第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b、第三有機EL涂布單元24c來代替圖32所示的涂布系統(tǒng)1j的有機EL涂布單元24。其他結構和圖32相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
在第一有機EL涂布單元24a中，通過反復進行噴出有機EL液(R)的噴嘴和基板9的移動，從而在禁止涂布區(qū)域92和涂布區(qū)域91上的隔壁之間的多個槽部條紋狀地涂布有機EL液(R)。由第一有機EL涂布單元24a涂布的條紋狀的有機EL液(R)，與基板9的移動方向相關，空開隔壁間距的3倍的間隔配列。換言之，在涂布了有機EL液(R)的兩個槽部之間夾著沒有涂布有機EL液(R)的兩個槽部。
第二有機EL涂布單元24b也是同樣，通過反復進行噴出有機EL液(G)的噴嘴和基板9的移動，從而在含有涂布了有機EL液(R)的禁止涂布區(qū)域92的基板9上的區(qū)域(即，與涂布了有機EL液(R)的多個槽部的一側相鄰的多個槽部、和涂布了有機EL液(R)的禁止涂布區(qū)域92)，空開隔壁間距的3倍的間隔條紋狀地涂布有機EL液(G)，第三有機EL涂布單元24c，也在涂布了有機EL液(R)的槽部和涂布了有機EL液(G)的槽部之間的槽部，空開隔壁間距的3倍的間隔而條紋狀地涂布有機EL液(B)。
圖40是表示涂布系統(tǒng)1k的動作的流程的一部分的圖。圖40所示的動作(步驟S111～S119)的前后的動作的流程分別和圖38A至圖38C所示的步驟S81～S94和步驟S101～S108相同。
在涂布系統(tǒng)1k，和第十實施方式相同，由分度器機械手32從分度器3的盒體90取出的基板9由多級搬送機械手4接受，并搬入空穴輸送涂布單元21，在空穴輸送涂布單元21中，在含有禁止涂布區(qū)域92的基板9上的區(qū)域涂布了空穴輸送液之后，從空穴輸送涂布單元21被搬出(圖38A步驟S81～S84)。
從空穴輸送涂布單元21搬出的基板9被搬入空穴輸送除去單元28，從禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液，然后從空穴輸送除去單元28搬出，搬入到空穴輸送烘培單元22(步驟S85～S91)。并且，基板9由加熱部221加熱，從而空穴輸送液固定在基板9的涂布區(qū)域91上，形成空穴輸送層，由冷卻部222冷卻到常溫的基板9從空穴輸送烘培單元22被搬出(步驟S92～S94)。
從空穴輸送烘培單元22搬出的基板9由多級搬送機械手4搬送，被搬入到第一有機EL涂布單元24a(圖40步驟S111)，在含有禁止涂布區(qū)域92的基板9上的區(qū)域(即禁止涂布區(qū)域92上和空穴輸送層上的區(qū)域)，條紋狀地涂布有機EL液(R)(步驟S112)。接著，基板9從第一有機EL涂布單元24a被搬出，而被搬入到第二有機EL涂布單元24b(步驟S113、S114)，條紋狀地涂布有機EL液(G)(步驟S115)。接著，基板9從第二有機EL涂布單元24b被搬出，而被搬入到第三有機EL涂布單元24c(步驟S116、S117)，條紋狀地涂布有機EL液(B)，從而結束對基板9的3種有機EL液(即，有機EL液(R)、有機EL液(G)以及有機EL液(B))的涂布(步驟S118)。
當對基板9的3種有機EL液的涂布結束時，基板9由多級搬送機械手4從第三有機EL涂布單元24c被搬出(步驟S119)，再被搬入到有機EL除去單元29(圖38C步驟S101)。在有機EL除去單元29中，同時進行從禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B)的操作，然后，基板9從有機EL除去單元29被搬出，而被搬入到有機EL烘培單元25(步驟S102～S104)。
在有機EL烘培單元25中，基板9由加熱部加熱，從而有機EL液固定在基板9的涂布區(qū)域91上，形成有機EL層之后，基板9由冷卻部冷卻到常溫(步驟S105、S106)。之后，基板9從有機EL烘培單元25被搬出，向分度器3搬送，并由分度器機械手32接受(步驟S107、S108)。
在涂布系統(tǒng)1k中，由于處理單元組2包括對基板9分別依次涂布3種有機EL液的有機EL涂布單元24a～24c、和從基板9的禁止涂布區(qū)域92除去3種有機EL液的有機EL除去單元29，所以能夠容易地除去附著在禁止涂布區(qū)域92上的有機EL液，能夠容易地得到僅在涂布區(qū)域91涂布了有機EL液的基板9。另外，由于包括對基板9加熱而使有機EL液固定的有機EL烘培單元25，所以能夠容易地得到僅在涂布單元91固定有機EL液而形成有機EL層的基板9。進而，能夠縮短基板9的處理時間的同時，能夠降低涂布系統(tǒng)1k的制造成本(在第十二、第十四和第十六實施方式也同樣)。
如上所述，在處理單元組2中，由1個有機EL除去單元29同時進行從禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B)的操作，從而能更加縮短基板9的處理時間(在第十四和第十六實施方式也同樣)。此外，在涂布系統(tǒng)1k中，有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B)的涂布順序可以自由地變更。
接著，針對本發(fā)明的第十二實施方式的涂布系統(tǒng)1m進行說明。圖41是表示涂布系統(tǒng)1m的結構的圖。如圖41所示，在涂布系統(tǒng)1m中，處理單元組2包括圖18所示的第一有機EL烘培單元25a、第二有機EL烘培單元25b、第三有機EL烘培單元25c來取代圖39所示的有機EL烘培單元25，其他結構和圖39相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
圖42是表示涂布系統(tǒng)1m的動作的流程的一部分的圖。圖42所示的動作(步驟S121～S127)的前后的動作的流程和圖38A至圖38C所示的步驟S81～S94、以及步驟S118相同，所以在以下簡略說明。
在涂布系統(tǒng)1m中，由多級搬送機械手4從分度器機械手32接受基板9之后，基板9被依次搬入空穴輸送涂布單元21、空穴輸送除去單元28、空穴輸送烘培單元22，從而對基板9進行空穴輸送液的涂布、從禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液、以及空穴輸送液的固定，在基板9上形成了空穴輸送層(步驟S81～S94)。
當形成空穴輸送層時，基板9由多級搬送機械手4依次被搬送到第一有機EL涂布單元24a和第一有機EL烘培單元25a，對基板9進行有機EL液(R)的涂布和由基板9的加熱進行的有機EL液(R)的固定，在基板9的空穴輸送層上形成紅色(R)的有機EL材料的層(步驟S121、S122)。
接著，基板9由多級搬送機械手4依次被搬送到第二有機EL涂布單元24b和第二有機EL烘培單元25b，對基板9進行有機EL液(G)的涂布和由基板9的加熱進行的有機EL液(G)的固定，在基板9的空穴輸送層上形成綠色(G)的有機EL材料的層(步驟S123、S124)。
進而，基板9由多級搬送機械手4依次被搬送到第三有機EL涂布單元24c和第三有機EL烘培單元25c，對基板9進行有機EL液(B)的涂布和由基板9的加熱進行的有機EL液(B)的固定，在基板9的空穴輸送層上形成藍色(B)的有機EL材料的層(步驟S125、S126)。
當3種有機EL液的涂布和固定結束時，基板9從第三有機EL烘培單元25c被搬出，而被搬入有機EL除去單元29，在有機EL除去單元29中，對固定在禁止涂布區(qū)域92上的3種有機EL液照射激光，進行有機EL液的除去(步驟S127)。然后，從有機EL除去單元29搬出的基板9向分度器3被搬送，并由分度器機械手32接受(步驟S108)。
在涂布系統(tǒng)1m中，由1個有機EL除去單元29同時除去分別單獨地被涂布的3種有機EL液，從而能更加縮短基板9的處理時間。
接著，針對本發(fā)明的第十三實施方式的涂布系統(tǒng)1n進行說明。圖43是表示涂布系統(tǒng)1n的結構的圖。如圖43所示，涂布系統(tǒng)1n具有圖20所示的固定型的多個搬送臂4a作為搬送機構，來取代圖32所示的在移動路徑41移動的多級搬送機械手4。其他結構和圖32相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
在涂布系統(tǒng)1n中，基板9通過多個搬送臂4a沿著從分度器3開始依次經(jīng)由空穴輸送涂布單元21、空穴輸送除去單元28、空穴輸送烘培單元22、有機EL涂布單元24、有機EL除去單元29和有機EL烘培單元25至分度器3為止的規(guī)定的搬送路徑被搬送。并且，在各單元中，通過分別被處理，從而和第十實施方式同樣，在基板9的涂布區(qū)域91形成空穴輸送層和有機EL層。
在涂布系統(tǒng)1n中，將基板9從空穴輸送除去單元28向空穴輸送烘培單元22搬送的搬送臂4a，和從空穴輸送涂布單元21向空穴輸送除去單元28搬送的搬送臂4a不同，所以能可靠地防止空穴輸送液經(jīng)由搬送臂4a附著在空穴輸送烘培單元22。其結果是，能可靠地防止沒用的空穴輸送液附著在被依次搬入空穴輸送烘培單元22的基板9上(在第十四實施方式也同樣)。
同樣，將基板9從有機EL除去單元29向有機EL烘培單元25搬送的搬送臂4a，和從有機EL涂布單元24向有機EL除去單元29搬送的搬送臂4a不同，所以能可靠地防止有機EL液經(jīng)由搬送臂4a附著在有機EL烘培單元25。其結果是，能可靠地防止沒用的有機EL液附著在被依次搬入有機EL烘培單元25的基板9上(在第十四實施方式也同樣)。
圖44是表示本發(fā)明的第十四實施方式的涂布系統(tǒng)1p的結構的圖。如圖44所示，涂布系統(tǒng)1p具有和第十一實施方式的涂布系統(tǒng)1k(參照圖39)大致相同的結構，但是在這一點上不同設置有多個搬送臂4a來取代多級搬送機械手4。其他結構和圖39相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
在圖44所示的涂布系統(tǒng)1p，和第十一實施方式相同，對完成了形成空穴輸送層后的基板9依次涂布有機EL液(R)、有機EL液(G)和有機EL液(B)，在從禁止涂布區(qū)域92除去了3種有機EL液之后進行加熱處理而形成有機EL層。
圖45是表示本發(fā)明的第十五實施方式的涂布系統(tǒng)1q的結構的圖。如圖45所示，在涂布系統(tǒng)1q中，處理單元組2除了包括圖32所示的涂布系統(tǒng)1j的多個處理單元，還包括暫時保持在處理單元組2的處理途中的基板9的緩沖單元27。其他結構和圖32相同，在以下的說明中標上相同的附圖標記。
在處理單元組2中，各處理單元中的處理時間不同。例如，在空穴輸送烘培單元22和有機EL烘培單元25中的基板9的加熱和冷卻所需要的時間，長于在空穴輸送涂布單元21和有機EL涂布單元24中的空穴輸送液和有機EL液的涂布所需要的時間，另外，長于在空穴輸送除去單元28和有機EL除去單元29中的空穴輸送液和有機EL液的除去所需要的時間。
在涂布系統(tǒng)1q中，將處理途中的基板9暫時容納在緩沖單元27的盒體(省略圖示)來保持，從而在進行多個基板9的處理時，調(diào)整各處理單元之間的處理時間(即，生產(chǎn)節(jié)拍時間)的差，靈活地掌握基板9的處理順序，所以能縮短基板9的處理時間。例如，將搬送途中的基板9暫時容納在緩沖單元27，而優(yōu)先基板9相對處理時間長的空穴輸送烘培單元22和有機EL烘培單元25的搬入搬出。從這個角度，優(yōu)選緩沖單元27配置在最接近空穴輸送烘培單元22和有機EL烘培單元25的位置。
另外，在空穴輸送烘培單元22中，在對一張基板9進行加熱處理期間，將結束了空穴輸送液的涂布以及從禁止涂布區(qū)域92的除去之后的后續(xù)的基板9預先容納在緩沖單元27，從而在空穴輸送涂布單元21中能對多個基板9連續(xù)地進行空穴輸送液的涂布。在空穴輸送涂布單元21中，當停止空穴輸送液的噴出時，因為在再開始噴出時的流量等的穩(wěn)定上需要一些時間，所以在對多個基板9進行涂布時，優(yōu)選在等待基板9搬入的期間也不停止噴出。因此，假設當?shù)却?搬入的時間長時，空穴輸送液的使用量增大。在涂布系統(tǒng)1q中，通過設置緩沖單元27，從而能實現(xiàn)對多個基板9的連續(xù)的涂布，能夠降低空穴輸送液的使用量(對有機EL液的涂布也同樣)。
圖46是表示本發(fā)明的第十六實施方式的涂布系統(tǒng)1r的結構的圖。如圖46所示，涂布系統(tǒng)1r的處理單元組2包括空穴輸送除去單元28、3個空穴輸送涂布單元21以及空穴輸送烘培單元22作為空穴輸送層的形成所涉及的處理單元，包括有機EL除去單元29、第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b、第三有機EL涂布單元24c以及有機EL烘培單元25作為有機EL層的形成所涉及的處理單元。處理單元組2還具有暫時保持處理途中的基板9的緩沖單元27a。緩沖單元27a為沿著處理單元的配列延伸的橫向長的形狀。
在處理單元組2中，空穴輸送層的形成所涉及的處理單元被配列在緩沖單元27a的一側，有機EL層的形成所涉及的處理單元被配列在另一側。涂布系統(tǒng)1r具有兩臺多級搬送機械手4作為基板9的搬送機構，在空穴輸送層的形成所涉及的多個處理單元和緩沖單元27a之間、以及有機EL層的形成所涉及的多個處理單元和緩沖單元27a之間分別設置有移動多級搬送機械手4的移動路徑41。
在涂布系統(tǒng)1r中，在空穴輸送烘培單元22的內(nèi)部設置有3個加熱部(省略圖示)，由3個空穴輸送涂布單元21涂布了空穴輸送液的3張基板9，在進行了從禁止涂布區(qū)域92除去有機EL液的操作之后，由3個加熱部同時進行加熱，形成了空穴輸送層?？昭ㄝ斔蛯拥男纬伤婕暗奶幚斫Y束后的3張基板9，通過一方的多級搬送機械手4而被容納到緩沖單元27a，通過另一方的多級搬送機械手4從緩沖單元27a被取出，依次搬送到有機EL層的形成所涉及的處理單元，從而形成有機EL層。
在涂布系統(tǒng)1r中，夾持緩沖單元27a來分離地配置空穴輸送層的形成所涉及的處理單元和有機EL層的形成所涉及的處理單元，從而能調(diào)整空穴輸送層和有機EL層的形成所涉及的處理時間的差，同時，能夠抑制空穴輸送層的形成所涉及的處理單元和有機EL層的形成所涉及的處理單元之間的環(huán)境的移動。其結果是，能夠提高對基板9進行處理的質(zhì)量。
接著，表示涂布系統(tǒng)的其他例子。在以下的例子中，從處理單元組2省略了空穴輸送層的形成所涉及的處理單元，在其他系統(tǒng)和裝置等外部形成了空穴輸送層的基板9被搬入到涂布系統(tǒng)。
圖47所示的涂布系統(tǒng)11g具有分度器3、多級搬送機械手4和處理單元組2，處理單元組2包括有機EL除去單元29、有機EL涂布單元24和有機EL烘培單元25各兩個。圖48所示的涂布系統(tǒng)11h的處理單元組2，包括兩個有機EL除去單元29、第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b、第三有機EL涂布單元24c和有機EL烘培單元25。圖49所示的涂布系統(tǒng)11j的處理單元組2包括第一有機EL烘培單元25a、第二有機EL烘培單元25b和第三有機EL烘培單元25c來取代圖48所示的有機EL烘培單元25。
圖50和圖51所示的涂布系統(tǒng)11k、11m具有分度器3、多個搬送臂4a和處理單元組2。在涂布系統(tǒng)11k中，基板9依次被搬送到有機EL涂布單元24、有機EL除去單元29以及有機EL烘培單元25并被處理，從而在基板9上形成有機EL層。在涂布系統(tǒng)11m中，基板9依次被搬送到第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b、第三有機EL涂布單元24c、有機EL除去單元29以及有機EL烘培單元25。
在第十至第十六實施方式的涂布系統(tǒng)1j～1r中，在空穴輸送除去單元28和有機EL除去單元29中的空穴輸送液和有機EL液的除去未必限于由激光的照射來進行，例如，可以由等離子體或電暈等其他能量波的照射來進行。另外，也可以由干冰(CO2)等微粒子的照射進行的等離子體法來進行。此外，在要求涂布系統(tǒng)的小型化時，可以由1個除去單元進行從禁止涂布區(qū)域92除去空穴輸送液和有機EL液的操作。
在涂布系統(tǒng)1j～1r中，也可以對基板9的整個禁止涂布區(qū)域92進行激光照射。例如，在空穴輸送除去單元28中，對沿禁止涂布區(qū)域92中的一個方向延伸的區(qū)域照射激光，除去空穴輸送液，通過基板移動機構282，基板9僅旋轉了90°之后，對與該一個方向垂直地延伸的區(qū)域照射激光。這樣，在禁止涂布區(qū)域92中的空穴輸送涂布單元21沒有進行空穴輸送液的涂布的區(qū)域也照射激光，從而能除去因某種異常等而附著在該區(qū)域的異物(在有機EL除去單元29等中也同樣)。
以上，針對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但是，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，可以進行各種變更。
例如，在第七、第八和第十五實施方式的涂布系統(tǒng)1f、1g、1r中，可以在處理單元組2包括多個緩沖單元27。另外，緩沖單元27可以設置在具有其他結構的處理單元組2，例如，可以設置在圖26至圖28所示的涂布系統(tǒng)11a～11c、以及圖47至圖49所示的涂布系統(tǒng)11g、11h、11j的處理單元組2。
緩沖單元27還可以設置在第二、第三、第十一和第十二實施方式的涂布系統(tǒng)1a、1b、1k和1m。在涂布系統(tǒng)1a、1b、1k和1m的空穴輸送涂布單元21中，對基板9的涂布區(qū)域91的所有槽部進行空穴輸送液的涂布，但是，在第一有機EL涂布單元24a、第二有機EL涂布單元24b和第三有機EL涂布單元24c中，分別對1/3個數(shù)的槽部進行有機EL液(R)、有機EL液(G)和有機EL液(B)涂布。因此，空穴輸送涂布單元21中的處理時間分別為在有機EL涂布單元24a～24c的處理時間的大約3倍左右。在涂布系統(tǒng)1a、1b、1k和1m中，也能夠由緩沖單元27來調(diào)整這樣在各單元中的處理時間的差。
在將有機EL液(R)、有機EL液(G)、有機EL液(B)分別涂布到基板9的有機EL涂布單元24a～24c中，可以設置1個或2個、或者4個以上(在空穴輸送涂布單元21中也同樣)。另外，在同時涂布有機EL液(R)、有機EL液(G)和有機EL液(B)的有機EL涂布單元24中，噴嘴的個數(shù)可以是3的倍數(shù)。
此外，在上述的涂布系統(tǒng)中，未必一定需要涂布3種有機EL液，也可以涂布1種或2種、或者4種以上的有機EL液。另外，在涂布系統(tǒng)中，也可以從處理單元2省略有機EL層的形成所涉及的處理單元而只進行空穴輸送層的形成。
在上述實施方式的涂布系統(tǒng)中，成為涂布對象的基板未必限于有機EL顯示裝置用的玻璃基板，另外，所涂布的流動性材料也可以是空穴輸送液和有機EL液以外的材料。涂布系統(tǒng)可以使用于流動性材料對被利用于例如液晶顯示裝置和等離子體顯示裝置的基板的涂布。
詳細地描述并說明了本發(fā)明，上述的說明是例示性的而不是限定性的。因此，可以理解為，只要不脫離本發(fā)明的范圍，可以進行各種變形和形式。
權利要求
1.一種涂布系統(tǒng)，其對基板涂布流動性材料，其特征在于，具有處理單元組；分度器，其裝載著由上述處理單元組進行處理前的未處理基板和由上述處理單元組進行處理后的處理完成基板；基板搬送機構，其對上述分度器和上述處理單元組進行基板的交接，沿著從上述分度器開始經(jīng)由上述處理單元組的至少一部分而直至上述分度器的規(guī)定的搬送路徑，搬送上述基板，上述處理單元組包括涂布單元，其從噴嘴向基板連續(xù)地噴出流動性材料，并使上述噴嘴相對于上述基板相對地移動，而在上述基板上涂布上述流動性材料；和流動性材料除去單元，其從上述基板的禁止涂布區(qū)域上除去上述流動性材料。
2.如權利要求1所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述涂布單元向在上述禁止涂布區(qū)域粘貼了遮蔽膠帶的上述基板噴出上述流動性材料，對包含有上述遮蔽膠帶的區(qū)域涂布上述流動性材料，上述流動性材料除去單元是通過從涂布了上述流動性材料的上述基板剝離上述遮蔽膠帶來從上述禁止涂布區(qū)域上除去被涂布在上述遮蔽膠帶上的流動性材料的膠帶剝離單元。
3.如權利要求2所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括對剝離了上述遮蔽膠帶的上述基板進行加熱來使上述流動性材料固定在上述基板上的烘培單元。
4.如權利要求3所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述基板搬送機構具有保持部，其在將上述基板從上述涂布單元向上述膠帶剝離單元搬送時保持該基板；另一個保持部，其在將上述基板從上述膠帶剝離單元向上述烘培單元搬送時保持該基板。
5.如權利要求2至4中任一項所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括在上述流動性材料被涂布之前的上述基板上的上述禁止涂布區(qū)域粘貼上述遮蔽膠帶的膠帶粘貼單元。
6.如權利要求5所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組中的上述膠帶粘貼單元和/或上述膠帶剝離單元被配置在比其他任一個處理單元都更接近上述分度器的位置。
7.如權利要求2至4中任一項所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述膠帶剝離單元是也進行向涂布上述流動性材料之前的上述基板上的上述禁止涂布區(qū)域粘貼上述遮蔽膠帶的膠帶粘貼·剝離單元。
8.如權利要求2至4中任一項所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括暫時保持上述基板的緩沖單元。
9.如權利要求2至4中任一項所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述基板是有機電致發(fā)光顯示裝置用的玻璃基板。
10.如權利要求9所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述流動性材料包含空穴輸送材料。
11.如權利要求9所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述流動性材料包含有機電致發(fā)光材料。
12.如權利要求11所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述涂布單元具有分別噴出多種流動性材料的多個噴嘴，上述多種流動性材料分別包含顏色相互不同的多種有機電致發(fā)光材料。
13.如權利要求11所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個涂布單元，上述涂布單元將包含一種顏色的有機電致發(fā)光材料的第一流動性材料涂布在上述基板上，上述另一個涂布單元將包含和上述一種顏色不同的另一種顏色的有機電致發(fā)光材料的第二流動性材料涂布在上述基板上。
14.如權利要求13所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述另一個涂布單元在包含由上述涂布單元進行了上述第一流動性材料的涂布的上述遮蔽膠帶的上述區(qū)域進行上述第二流動性材料的涂布。
15.如權利要求3所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括在上述流動性材料被涂布之前的上述基板上的上述禁止涂布區(qū)域粘貼上述遮蔽膠帶的膠帶粘貼單元、另一個涂布單元和另一個烘培單元，上述涂布單元將包含一種顏色的有機電致發(fā)光材料的第一流動性材料涂布在上述基板上，上述另一個涂布單元將包含和上述一種顏色不同的另一種顏色的有機電致發(fā)光材料的第二流動性材料涂布在上述基板上，上述基板搬送機構按上述膠帶粘貼單元、上述涂布單元、上述膠帶剝離單元、上述烘培單元、上述膠帶粘貼單元、上述另一個涂布單元、上述膠帶剝離單元和上述另一個烘培單元的順序搬送上述基板。
16.如權利要求9所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個涂布單元，上述涂布單元將包含空穴輸送材料的第一流動性材料涂布在上述基板上，上述另一個涂布單元將包含有機電致發(fā)光材料的第二流動性材料涂布在上述基板上。
17.如權利要求16所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個膠帶剝離單元，上述膠帶剝離單元從上述基板將涂布了上述第一流動性材料的第一遮蔽膠帶剝離，上述另一個膠帶剝離單元從上述基板將涂布了上述第二流動性材料的第二遮蔽膠帶剝離。
18.如權利要求8所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個涂布單元和另一個膠帶剝離單元，上述涂布單元和上述膠帶剝離單元被配列在上述緩沖單元的一側，同時，上述另一個涂布單元和上述另一個膠帶剝離單元被配列在上述緩沖單元的另一側，上述涂布單元將包含空穴輸送材料的第一流動性材料涂布在上述基板上，上述膠帶剝離單元從上述基板將涂布了上述第一流動性材料的第一遮蔽膠帶剝離，上述另一個涂布單元將包含有機電致發(fā)光材料的第二流動性材料涂布在上述基板上，上述另一個膠帶剝離單元從上述基板將涂布了上述第二流動性材料的第二遮蔽膠帶剝離。
19.如權利要求1所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述涂布單元在上述基板上的包括上述禁止涂布區(qū)域的區(qū)域涂布上述流動性材料，上述流動性材料除去單元向被涂布在上述禁止涂布區(qū)域的上述流動性材料照射能量波或者微粒子，而從上述禁止涂布區(qū)域上除去上述流動性材料。
20.如權利要求19所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括對涂布了上述流動性材料的上述基板進行加熱來使上述流動性材料固定在上述基板上的烘培單元。
21.如權利要求19或20所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括暫時保持上述基板的緩沖單元。
22.如權利要求19或20所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組中的上述流動性材料除去單元被配置在比其他任一個處理單元都更接近上述分度器的位置。
23.如權利要求19或20所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，通過上述流動性材料除去單元向上述基板上的上述禁止涂布區(qū)域進行的上述能量波的照射是激光的照射。
24.如權利要求19或20所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述基板是有機電致發(fā)光顯示裝置用的玻璃基板。
25.如權利要求24所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述流動性材料包含空穴輸送材料。
26.如權利要求24所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述流動性材料包含有機電致發(fā)光材料。
27.如權利要求19或20所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述流動性材料除去單元從由上述烘培單元加熱之前的上述基板除去上述流動性材料。
28.如權利要求27所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述基板搬送機構具有保持部，其在將上述基板從上述涂布單元向上述流動性材料除去單元搬送時保持該基板；另一個保持部，其在將上述基板從上述流動性材料除去單元向上述烘培單元搬送時保持該基板。
29.如權利要求26所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述涂布單元具有分別噴出多種流動性材料的多個噴嘴，上述多種流動性材料分別包含顏色相互不同的多種有機電致發(fā)光材料。
30.如權利要求26所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個涂布單元，上述涂布單元將包含一種顏色的有機電致發(fā)光材料的第一流動性材料涂布在上述基板上，上述另一個涂布單元將包含和上述一種顏色不同的另一種顏色的有機電致發(fā)光材料的第二流動性材料涂布在上述基板上。
31.如權利要求30所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述流動性材料除去單元從上述禁止涂布區(qū)域同時進行上述第一流動性材料的去除和上述第二流動性材料的去除。
32.如權利要求31所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個烘培單元，上述基板搬送機構按上述涂布單元、上述烘培單元、上述另一個涂布單元、上述另一個烘培單元和上述流動性材料除去單元的順序搬送上述基板。
33.如權利要求24所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個涂布單元，上述涂布單元將包含空穴輸送材料的第一流動性材料涂布在上述基板上，上述另一個涂布單元將包含有機電致發(fā)光材料的第二流動性材料涂布在上述基板上。
34.如權利要求33所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個流動性材料除去單元，上述流動性材料除去單元從上述禁止涂布區(qū)域除去上述第一流動性材料，上述另一個流動性材料除去單元從上述禁止涂布區(qū)域除去上述第二流動性材料。
35.如權利要求21所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括另一個涂布單元和另一個流動性材料除去單元，上述涂布單元和上述流動性材料除去單元被配列在上述緩沖單元的一側，同時，上述另一個涂布單元和上述另一個流動性材料除去單元被配列在上述緩沖單元的另一側，上述涂布單元將包含空穴輸送材料的第一流動性材料涂布在上述基板上，上述流動性材料除去單元從上述禁止涂布區(qū)域除去上述第一流動性材料，上述另一個涂布單元將包含有機電致發(fā)光材料的第二流動性材料涂布在上述基板上，上述另一個流動性材料除去單元從上述禁止涂布區(qū)域除去上述第二流動性材料。
36.如權利要求19或20所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，由上述處理單元組進行的上述基板的處理在常壓下進行。
37.一種涂布系統(tǒng)，其對基板涂布流動性材料，其特征在于，具有處理單元組；分度器，其裝載著由上述處理單元組進行處理前的未處理基板和由上述處理單元組處理后的處理完成基板；基板搬送機構，其對上述分度器和上述處理單元組進行基板的交接，沿著從上述分度器開始經(jīng)由上述處理單元組的至少一部分而直至上述分度器的規(guī)定的搬送路徑，搬送上述基板，上述處理單元組包括膠帶粘貼單元，其在基板上的禁止涂布區(qū)域粘貼遮蔽膠帶，涂布單元，其從噴嘴向粘貼了上述遮蔽膠帶的上述基板連續(xù)地噴出流動性材料，并使上述噴嘴相對于上述基板相對地移動，而在包括上述遮蔽膠帶的區(qū)域涂布上述流動性材料。
38.如權利要求37所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述處理單元組還包括暫時保持上述基板的緩沖單元。
39.如權利要求37或38所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述基板是有機電致發(fā)光顯示裝置用的玻璃基板。
40.如權利要求39所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述流動性材料包含空穴輸送材料。
41.如權利要求39所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，上述流動性材料包含有機電致發(fā)光材料。
全文摘要
一種涂布系統(tǒng)(1)，具有處理單元組(2)、分度器(3)和多級搬送機械手(4)，處理單元組(2)包括有機EL膠帶單元(26)、有機EL涂布單元(24)、和有機EL烘培單元(25)。在涂布系統(tǒng)(1)中，在處理單元組(2)，通過有機EL膠帶單元(26)在基板的禁止涂布區(qū)域粘貼第二遮蔽膠帶，通過有機EL涂布單元(24)在包括禁止涂布區(qū)域的基板上的區(qū)域涂布有機EL液。并且，通過由流動性材料除去單元即有機EL膠帶單元(26)剝離第二遮蔽膠帶，從而能容易地得到僅在涂布區(qū)域涂布了有機EL液的基板。然后，通過由有機EL烘培單元(25)進行對基板的加熱處理，從而有機EL液固定在基板上，而形成了有機EL層。
文檔編號H05B33/10GK1939602SQ20061013898
公開日2007年4月4日 申請日期2006年9月22日 優(yōu)先權日2005年9月27日
發(fā)明者川越理史, 增市干雄, 吉田順一, 松家毅, 高村幸宏, 上野博之 申請人:大日本網(wǎng)目版制造株式會社