專利名稱：八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
最近幾年平板顯示技術(shù)有了極大的發(fā)展，在高清晰度電視、計算機(jī)顯示器、汽車終端顯示設(shè)備以及軍事用頭盔目視鏡等應(yīng)用目標(biāo)的推動下，顯示技術(shù)正在朝向高分辨率、低工作電壓、平板化、大型化方向發(fā)展。場致發(fā)射顯示器是將真空微電子技術(shù)應(yīng)用于顯示設(shè)備方面而制作的發(fā)光器件，具有視角寬、響應(yīng)速度快，分辨率高以及光效率高等優(yōu)點(diǎn)。利用碳納米管陰極而制作的場致發(fā)射顯示器則更是一種新型的平板顯示設(shè)備，是充分利用碳納米管冷陰極的場致發(fā)射原理而構(gòu)造出來的，業(yè)已成為了目前國際平板顯示領(lǐng)域的熱門話題。
在三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，目前大多數(shù)顯示器都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的結(jié)構(gòu)模式，其制作工藝簡單，柵極控制作用顯著，但是柵極電流比較大，柵極電壓居高不下，這是其不利之處。但無論是哪一種控制模式，實(shí)質(zhì)上都是利用柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓來在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。而進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓就成為了器件制作人員努力的方向，也符合低壓平板器件的質(zhì)量體系要求。無論是直接減小柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，還是對碳納米管陰極的形狀加以改進(jìn)，或是更改柵極結(jié)構(gòu)的控制模式，都是降低柵極工作電壓的具體手段。那么，在實(shí)際器件的制作過程中，究竟采用何種控制模式，究竟如何進(jìn)一步降低柵極的工作電壓，等等，就成為了急需解決的現(xiàn)實(shí)問題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及八字型斜柵控結(jié)構(gòu)。
所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，其下表面為平面，和陰極引線層緊密接觸；提升一層的側(cè)面為垂直于阻滯層的豎直面，提升一層的上表面為平面，但在中心位置存在一個向下凹陷的半球型形狀，提升一層上表面的周圍形成一個平面圓環(huán)型形狀；在提升一層上頂部半球型形狀的上面印刷銀漿層形成提升二層；提升二層呈現(xiàn)一個尖頂圓錐狀形狀，坐落于提升一層中半球型形狀的上面；提升一層的側(cè)面上印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升一層的整個側(cè)面；提升一層上頂面的圓環(huán)型形狀的上面以及提升二層的表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅存在于提升一層上頂面的圓環(huán)型形狀的上面，以及整體提升二層的上表面上；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；間隔層中存在斜面孔，暴露出陰極導(dǎo)電層、提升一層和提升二層；間隔層中斜面孔的內(nèi)側(cè)壁是一個斜坡面，與間隔層上表面交界處的截面為一個中空的圓型面，此處的直徑最小，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止；間隔層的上表面大部分為平面，但是在環(huán)繞斜面孔周圍處其上表面也形成一個傾斜面，即從斜面孔的邊緣處開始，其高度逐漸降低，形成一個與斜面孔內(nèi)側(cè)壁相呼應(yīng)的傾斜面，直至到達(dá)間隔層平面部分位置為止；間隔層上表面斜坡面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層大部分都位于間隔層上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿著斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；環(huán)繞在斜面孔周圍的調(diào)控柵極層的截面呈現(xiàn)一種八字型形狀；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層以及位于斜坡面上的調(diào)控柵極層，但不能覆蓋處于懸空狀態(tài)的調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下
1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層上面制出金屬層，刻蝕成陰極引線層；4)提升一層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；5)陰極覆蓋層[5]的制作在提升一層側(cè)面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；6)提升二層[6]的制作在提升一層上頂部印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在提升二層表面上以及提升一層的圓環(huán)型上頂面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)間隔層[8]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；9)調(diào)控柵極層[9]的制作在間隔層上表面的斜坡面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；10)柵極引線層[10]的制作在間隔層上表面上制出一個金屬層，刻蝕形成柵極引線層；11)柵極覆蓋層[11]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；12)八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；
14)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝到一起，并將消氣劑[19]放入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)中，分別制作了調(diào)控柵極層和柵極引線層結(jié)構(gòu)部分。其中柵極引線層用于將外界電壓傳遞到器件內(nèi)部，而調(diào)控柵極層則是用于控制碳納米管陰極的電子發(fā)射。呈現(xiàn)八字型形狀的調(diào)控柵極層能夠同時控制提升一層上頂部的圓環(huán)型碳納米管陰極和提升二層上表面上的尖椎型碳納米管陰極，極大地提高了柵極結(jié)構(gòu)的控制效率。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。
其次，在八字型斜柵控結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在陰極導(dǎo)電層的上面，而陰極導(dǎo)電層則分別制作在提升一層的上頂部以及提升二層的表面上?？梢詷O大地增加碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射。同時更改了碳納米管陰極的形狀，充分利用了碳納米管陰極的邊緣位置能夠發(fā)射出大量電子的特有現(xiàn)象，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率。
此外，在所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有八字型斜柵控結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明，但并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[10]、碳納米管[12]以及八字型斜柵控結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[19]附屬元件。
所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、陰極引線層[3]、提升一層[4]、陰極覆蓋層[5]、提升二層[6]、陰極導(dǎo)電層[7]、間隔層[8]、調(diào)控柵極層[9]、柵極引線層[10]、柵極覆蓋層[11]和碳納米管[12]部分。
所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，其下表面為平面，和陰極引線層緊密接觸；提升一層的側(cè)面為垂直于阻滯層的豎直面，提升一層的上表面為平面，但在中心位置存在一個向下凹陷的半球型形狀，提升一層上表面的周圍形成一個平面圓環(huán)型形狀；在提升一層上頂部半球型形狀的上面印刷銀漿層形成提升二層；提升二層呈現(xiàn)一個尖頂圓錐狀形狀，坐落于提升一層中半球型形狀的上面；提升一層的側(cè)面上印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升一層的整個側(cè)面；提升一層上頂面的圓環(huán)型形狀的上面以及提升二層的表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅存在于提升一層上頂面的圓環(huán)型形狀的上面，以及整體提升二層的上表面上；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；間隔層中存在斜面孔，暴露出陰極導(dǎo)電層、提升一層和提升二層；間隔層中斜面孔的內(nèi)側(cè)壁是一個斜坡面，與間隔層上表面交界處的截面為一個中空的圓型面，此處的直徑最小，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止；間隔層的上表面大部分為平面，但是在環(huán)繞斜面孔周圍處其上表面也形成一個傾斜面，即從斜面孔的邊緣處開始，其高度逐漸降低，形成一個與斜面孔內(nèi)側(cè)壁相呼應(yīng)的傾斜面，直至到達(dá)間隔層平面部分位置為止；間隔層上表面斜坡面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層大部分都位于間隔層上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿著斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；環(huán)繞在斜面孔周圍的調(diào)控柵極層的截面呈現(xiàn)一種八字型形狀；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層以及位于斜坡面上的調(diào)控柵極層，但不能覆蓋處于懸空狀態(tài)的調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)提升一層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；5)陰極覆蓋層[5]的制作在提升一層的側(cè)面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；6)提升二層[6]的制作在提升一層上頂部印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；
7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在提升二層的表面上以及提升一層的圓環(huán)型上頂面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)間隔層[8]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；9)調(diào)控柵極層[9]的制作在間隔層上表面的斜坡面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；10)柵極引線層[10]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；11)柵極覆蓋層[11]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；12)八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝到一起，將消氣劑[19]放入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑附屬元件[19]；其特征在于在陰極玻璃面板上有柵極引線層[10]、碳納米管[12]以及八字型斜柵控結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面印刷的銀漿層形成提升一層；提升一層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，其下表面為平面，和陰極引線層緊密接觸；提升一層側(cè)面為垂直于阻滯層的豎直面，提升一層上表面為平面，但在中心位置存在一個向下凹陷的半球型形狀，提升一層上表面的周圍形成一個平面圓環(huán)型形狀；在提升一層上頂部半球型形狀的上面印刷銀漿層形成提升二層；提升二層呈現(xiàn)一個尖頂圓錐狀形狀，坐落于提升一層中半球型形狀的上面；提升一層的側(cè)面上印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升一層的整個側(cè)面；提升一層上頂面的圓環(huán)型形狀的上面以及提升二層的表面上刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅存在于提升一層上頂面的圓環(huán)型形狀的上面，以及整體提升二層的上表面上；阻滯層上面印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層下表面為平面，覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；間隔層中存在斜面孔，暴露出陰極導(dǎo)電層、提升一層和提升二層；間隔層中斜面孔的內(nèi)側(cè)壁是一個斜坡面，與間隔層上表面交界處的截面為一個中空的圓型面，此處直徑最小，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止；間隔層的上表面大部分為平面，但是在環(huán)繞斜面孔周圍處其上表面也形成一個傾斜面，即從斜面孔的邊緣處開始，其高度逐漸降低，形成一個與斜面孔內(nèi)側(cè)壁相呼應(yīng)的傾斜面，直至到達(dá)間隔層平面部分位置為止；間隔層上表面斜坡面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層大部分都位于間隔層上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿著斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；環(huán)繞在斜面孔周圍的調(diào)控柵極層的截面呈現(xiàn)一種八字型形狀；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極引線層以及位于斜坡面上的調(diào)控柵極層，但不能覆蓋處于懸空狀態(tài)的調(diào)控柵極層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向相互垂直；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
4.一種八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)提升一層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升一層；5)陰極覆蓋層[5]的制作在提升一層的側(cè)面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；6)提升二層[6]的制作在提升一層上頂部印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升二層；7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在提升二層的表面上以及提升一層的圓環(huán)型上頂面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)間隔層[8]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；9)調(diào)控柵極層[9]的制作在間隔層上表面的斜坡面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；10)柵極引線層[10]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；11)柵極覆蓋層[11]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；12)八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝到一起，將消氣劑[19]放到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種八字型斜柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及八字型斜柵控結(jié)構(gòu)；能夠增強(qiáng)柵極結(jié)構(gòu)的控制效率，提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率和電子發(fā)射數(shù)量，有利于提高器件的圖像質(zhì)量；具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號H05B33/14GK101080123SQ200710054638
公開日2007年11月28日 申請日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院