專利名稱：絲網(wǎng)印刷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及絲網(wǎng)印刷裝置，特別涉及使用了可根據(jù)掩模(mask)的部位而多級地改變彈性狀態(tài)的印刷用金屬掩模的絲網(wǎng)印刷裝置。
背景技術(shù)：
在專利文獻(xiàn)3中公開了現(xiàn)有的絲網(wǎng)印刷裝置的印刷方法，在專利文獻(xiàn)1或?qū)＠墨I(xiàn)2中公開了所使用的掩模。特別地，作為用在印刷中的掩模，使用不銹鋼制的薄板材料、通過蝕刻法或激光法加工圖案開口部分的方法、或者在導(dǎo)電性金屬表面上以抗蝕劑膜形成配線圖案、利用通過電鍍制作的添加法來形成包括圖案開口部分的金屬掩模，并使用這樣的金屬掩模。另外，在專利文獻(xiàn)1中公開了在層積了感光性樹脂層的導(dǎo)電性基板上，通過將紫外線的收斂光束直接在感光性樹脂層上照射·曝光、并且顯影，從而在形成與開口部分相當(dāng)?shù)膱D案之后，通過鎳或者鎳合金的電鍍來制作金屬掩模。
特開2005-175453號公報[專利文獻(xiàn)2]特開2000-313179號公報[專利文獻(xiàn)3]特開平8-34110號公報電極墊直徑120μm、節(jié)距150μm、一個CPU芯片的墊數(shù)為數(shù)千個的電極墊群，對于配置有數(shù)十個這樣的電極墊群的多個最后(取り)基板，通過印刷法形成凸塊，現(xiàn)有的掩模用于這樣的凸塊形成。使用上述掩模，在印刷完成之后，通過下降固定在載臺上的基板而實施離版動作，進(jìn)行印刷。
在上述印刷中，由于由多個開口部群所轉(zhuǎn)印的焊膏對金屬掩模的黏著力，從金屬掩模的周邊部分緩緩開始離版，最后金屬掩模的中央部分離版，該種現(xiàn)象的產(chǎn)生成為印刷膜厚偏差、印刷不足等的印刷不良產(chǎn)生的主要原因。
根據(jù)專利文獻(xiàn)2，作為金屬掩模的制作方法，通過在圖案的外側(cè)由半蝕刻形成階差部分，提高了印刷完畢后的基板和金屬掩模的離版特性，然而在根據(jù)該方法的離版中，即便對于基板整體設(shè)置同一深度的半蝕刻區(qū)域，由于當(dāng)墊數(shù)量較多時，因焊膏的黏著力，基板外周部分比基板中央部分更早離版，因而掩模相對基板傾斜的同時剝離的作用也根據(jù)基板的部位而變得不均勻，其結(jié)果是，有可能產(chǎn)生印刷缺陷。并且，如果在基板面?zhèn)?金屬掩模與基板接觸的一側(cè))設(shè)置半蝕刻，則在當(dāng)前作為主流的掩模版下清掃裝置自動清掃時，在由半蝕刻形成的凹凸部邊緣殘留焊錫粒子，在下一基板進(jìn)行印刷時，焊錫球再次附著在基板上，成為產(chǎn)生焊錫球不合格的主要原因。
并且，根據(jù)專利文獻(xiàn)3，在使用網(wǎng)目絲網(wǎng)印刷并打開絲網(wǎng)間隔的印刷方式中，具有這樣的效果通過與刮板移動同步地在與絲網(wǎng)和基板的基于焊膏材料的黏著力相抵消的方向上施加外力的設(shè)備，來去除伴隨刮板通過的月亮臉(moon face)現(xiàn)象(從與刮板移動方向成直角的方向的版周邊部分開始離版，然后遲一些中央部分才離版，因而在刮板行進(jìn)方向的后側(cè)出現(xiàn)月牙模樣的現(xiàn)象)。然而，對于使用了在凸塊電極形成中所用的金屬掩模的接觸印刷法(絲網(wǎng)間距為零)，由于以零間距進(jìn)行印刷，在刮板通過之后不出現(xiàn)由于絲網(wǎng)張力導(dǎo)致的離版，因此不能期待通過使用真空吸附、磁力等從刮板側(cè)開始吸附掩模來提高離版特性的效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，電極墊直徑120μm、節(jié)距為150μm、一個CPU芯片的墊數(shù)為數(shù)千個的電極墊群，對于配置有數(shù)十個這樣的電極墊群的多個最后(取り)基板，通過印刷法形成凸塊，在用于這樣的凸塊形成的超精細(xì)圖案印刷中，提高填充焊膏和離版性能，能夠快速、高成品率、穩(wěn)定生產(chǎn)達(dá)到總數(shù)十萬個部位/基板的凸塊電極。提供一種精細(xì)節(jié)距印刷方法和絲網(wǎng)印刷裝置，進(jìn)一步在更加精細(xì)化、高密度化的基板安裝中，為了確保超鄰接節(jié)距印刷中的轉(zhuǎn)印量，有必要進(jìn)一步提高印刷性能和離版性能，用戶可簡單地使用，并且能夠獲得安定的印刷性。
本發(fā)明的特征在于，在利用絲網(wǎng)印刷法的在焊錫糊印刷中，具有掩模，具有多個對于多個載置在被印刷基板上的每個零件圖案、或者成為預(yù)定面積的每個圖案的掩模構(gòu)件片，以與掩模主體不同的厚度、或者不同的材料、或者不同的彈性系數(shù)，來連接各掩模構(gòu)件片間；以及離版調(diào)整設(shè)備，可與據(jù)上述連接狀況相配合再現(xiàn)任意的離版曲線。
另外，作為另一方法的特征在于，在利用絲網(wǎng)印刷法的焊錫膏印刷中，將載置于被印刷基板上的每個零件圖案、或者成為預(yù)定面積的每個圖案中的各掩模構(gòu)件片分組，以不同的厚度或者不同的彈性系數(shù)連接上述各組間，上述連接部分的厚度從掩模中央部分到周邊部分分段地變薄，或者連接部分的彈性系數(shù)從掩模中央部分到周邊部分分段地降低，并且具有可與上述連接狀況相配合再現(xiàn)任意的離版曲線的離版調(diào)整設(shè)備。
作為本發(fā)明的效果而列出下面的項目。
(1)在接觸印刷法中，由于穩(wěn)定的離版性能而可實現(xiàn)提高印刷的成品率，對印刷品質(zhì)的穩(wěn)定化和減少不合格作出了貢獻(xiàn)。
(2)在高縱橫尺寸比的超精細(xì)節(jié)距印刷中，通過提高離版性能而確保轉(zhuǎn)印量，使印刷膜的厚度穩(wěn)定化。


圖1是表示絲網(wǎng)印刷裝置的一例的正面圖。
圖2是表示絲網(wǎng)印刷裝置的一例的側(cè)面圖。
圖3是表示離版的一例的圖。
圖4是表示離版的一例的圖。
圖5是表示金屬掩模的一例的圖。
圖6是表示離版速度線圖的一例的圖。
圖7是表示金屬掩模的一例的圖。
圖8是金屬掩模的連接構(gòu)造概念圖。
圖9是表示金屬掩模的制作實施例的圖。
具體實施例方式
使用圖1、圖2，說明本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)。圖1(a)示出了從絲網(wǎng)印刷裝置的正面看到的結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。并且在圖1(b)中示出了(a)的控制系統(tǒng)。在圖2(a)中示出了從側(cè)面觀察絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)。并且在圖2(b)中以從側(cè)面觀察絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)示出了印刷中的狀態(tài)。
在主體框架上設(shè)置有版架支撐件，在版架支撐件上設(shè)置展開了具有印刷圖案作為開口部分的絲網(wǎng)的掩模20。在掩模20的上方，配置有刮板頭2，在刮板頭2上安裝有刮板3。刮板頭2通過由球狀螺絲和電動機(jī)構(gòu)成的刮板移動機(jī)構(gòu)6而可在水平方向上移動，刮板3通過刮板升降機(jī)構(gòu)4而可在上下方向上移動。在掩模20的下方與其相對地設(shè)置有載置并且保持作為印刷對象物的基板21的印刷臺10。該印刷臺10包括在水平方向移動基板21并進(jìn)行和掩模20的對位的XYθ臺11，以及從接收傳送帶26接收基板21并且使基板21靠近或者接觸絲網(wǎng)表面的臺升降機(jī)構(gòu)12。在印刷臺10的上面設(shè)置有基板接收傳送帶26，將由基板搬入傳送帶25搬入的基板21傳送給印刷臺10，印刷完成之后向基板搬出傳送帶27排出基板21。
在全自動絲網(wǎng)印刷裝置1中具有使掩模20和基板21自動對位的功能。即，由CCD攝像機(jī)13對分別設(shè)置在掩模20和基板21上的用于對位的標(biāo)記進(jìn)行拍攝，進(jìn)行圖像處理后求出位置偏差量，然后驅(qū)動XYθ臺11對其偏差量進(jìn)行補(bǔ)正，進(jìn)行對位。
并且，具備用于各部分驅(qū)動的印刷控制部分36、處理來自CCD攝像機(jī)13的圖像信號的圖像輸入部分37等的印刷機(jī)控制部30，其設(shè)置在印刷機(jī)主體框的內(nèi)部，進(jìn)行用于控制的數(shù)據(jù)的改寫、印刷條件的變更等的數(shù)據(jù)輸入部分50、用于監(jiān)控印刷狀況等、或者取入的標(biāo)識標(biāo)記的顯示部分40配置在印刷機(jī)的外側(cè)。
來自圖像輸入部分37的信號在相關(guān)值計算部31中，使用記錄有預(yù)先登錄的形狀數(shù)據(jù)等的詞典部分38的數(shù)據(jù)，求出類似形狀的相關(guān)值。在形狀推定部分32中根據(jù)相關(guān)值和詞典部分的數(shù)據(jù)而推定形狀。在位置坐標(biāo)演算部分33中求出在形狀推定部分32推定的形狀的位置，在尺寸計算部分34中求出實際尺寸。在該尺寸計算部分34中，如果測量的是對位標(biāo)記，則求出對位標(biāo)記位置偏差量?；谠撉蟮玫臄?shù)據(jù)，在XYθ臺控制部分35中，為了修正偏差而在XYθ臺的各驅(qū)動部分內(nèi)生成驅(qū)動信號。
在印刷機(jī)控制部分30中，具有控制離版曲線的離版控制部分，根據(jù)生產(chǎn)的基板的安裝密度、開口直徑的不同以及使用的金屬掩模部件的各處的彈性系數(shù)的不同而可簡單地選擇設(shè)定合適的離版曲線。
下面說明本發(fā)明的印刷裝置的動作。
如圖2(a)所示，被印刷焊錫糊的基板21由基板搬入傳送帶25供給基板接收傳送帶26，并固定在印刷臺10上的預(yù)定位置?；骞潭ê?，向預(yù)先登錄設(shè)定的基板標(biāo)記移動CCD攝像機(jī)13。接著，CCD攝像機(jī)13對設(shè)置在基板21和掩模20上的用于位置識別的標(biāo)記(未圖示)進(jìn)行拍攝，并輸送到印刷機(jī)控制部分30。輸入到控制部分內(nèi)的圖像輸入部分37的圖像信號利用相關(guān)值演算部分31、形狀推定部分32使用預(yù)先登錄在詞典部分38的數(shù)據(jù)等來識別標(biāo)記，在位置坐標(biāo)演算部分33、尺寸計算部分34中求出掩模20和基板21的位置偏差量，XYθ臺控制部分35基于該結(jié)果使XYθ臺11動作，進(jìn)行相對掩模20的基板21的位置修正、對位。如圖2(b)所示，對位動作結(jié)束后，CCD攝像機(jī)13退避預(yù)定量直至與印刷臺10不干涉的位置。根據(jù)來自印刷控制部分36的信號而CCD攝像機(jī)退避，該退避結(jié)束后，臺升降機(jī)構(gòu)12動作，印刷臺10上升，使基板21和掩模20接觸。然后，通過由圓柱體形成的刮板升降機(jī)構(gòu)4而刮板3下降到掩模20表面上，刮板頭2通過刮板移動機(jī)構(gòu)6在水平方向上移動。通過刮板頭2的移動而提供給掩模20上的焊錫糊在刮板3的壓力下，填充到掩模20的開口部分，轉(zhuǎn)印在基板21上。刮板3在水平方向上行進(jìn)一定距離之后上升。然后，印刷臺10下降，基板21與掩模20脫離，填充到掩模20的開口部分的焊錫糊轉(zhuǎn)印在基板21上。然后，印刷有焊錫糊的基板21經(jīng)由基板搬出傳送帶27而送至下一工序。
并且在基板21和掩模20的相對同一部位上設(shè)置有兩個以上的用于識別對位的標(biāo)記，通過具有上下方向的兩個視野的特殊的CCD攝像機(jī)13，從下面開始識別掩模20的標(biāo)記，從上面開始識別基板21的標(biāo)記，讀取預(yù)定部位的標(biāo)記的所有的位置坐標(biāo)，演算·補(bǔ)正基板21相對掩模20的偏差量，使基板21相對掩模20進(jìn)行對位。
在印刷機(jī)控制部分中，具有控制未圖示的印壓的印壓控制部分，根據(jù)生產(chǎn)的基板的安裝密度、或者開口直徑的不同以及使用的刮板3的彈性系數(shù)而可簡單的選擇設(shè)定合適的印壓。并且，進(jìn)行反饋控制使得經(jīng)由掩模20而抵壓在基板21上的刮板3端部的壓力不變化。
下面對本發(fā)明的用于絲網(wǎng)印刷裝置的金屬掩模和離版控制部分進(jìn)行說明。
在圖3中示出了模式化了典型的離版例子的圖。并且，圖中的箭頭表示搭載有基板21的臺10的移動方向。圖3(a)表示在離版開始前的狀態(tài)下掩模接觸整個基板面L0的狀態(tài)。圖3(b)表示在臺10開始下降、開始離版的狀態(tài)下，掩模的接觸區(qū)域為L1(非接觸區(qū)域是L1×2)，離版量為h的狀態(tài)。圖3(c)表示開始離版并且使臺下降，從而在絲網(wǎng)框上升預(yù)定量的狀態(tài)下掩模和基板的接觸區(qū)域為L2(被接觸區(qū)域是L2×2)，離版量h’的狀態(tài)。
圖4表示本發(fā)明的掩模的概略結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的掩模20由版框20w和絲網(wǎng)20s構(gòu)成。圖4的四角形部分表示與集合了基板21的電極墊群的一個器件(或者圖案)對應(yīng)的掩模構(gòu)件片60。在掩模構(gòu)件片60上，對應(yīng)于形成在基板21上的電極墊群，設(shè)置有多個開口60a，從開口60a供給焊錫膏。
如圖3所示，從掩模20的周邊部分向中央部分緩緩地開始離版，因此在掩模表面相對基板表面傾斜的狀態(tài)下進(jìn)行離版。所以，在相對于掩模開口的個別墊部分內(nèi)，從掩模20與基板21表面全面接觸的狀態(tài)變?yōu)閺耐庵芊较蛳蛑醒氩糠?、與基板之間形成角度并進(jìn)行剝離。因此利用現(xiàn)有的掩模，在周邊部分和中央部分的離版狀態(tài)不一樣，成為在印刷結(jié)果中產(chǎn)生不足等的印刷不良的主要原因。在現(xiàn)有的金屬掩模的例子中，通過激光法或蝕刻法進(jìn)行孔加工的情況下使用不銹鋼延展材料，然而在超精細(xì)節(jié)距印刷用途中，為了通過添加法制作，材料是鎳。
以往，在金屬掩模中開口數(shù)多、焊錫糊黏著性高的情況下，在離版時如圖4所示，離版從位于最外周部分的一點(diǎn)點(diǎn)劃線(1)部分內(nèi)的圖案部分開始，接著一點(diǎn)點(diǎn)劃線(2)部分的圖案離版。最后中央部分(一點(diǎn)點(diǎn)劃線(3)部分的圖案部分)離版。如前面說明的那樣，電極墊部分直徑120μm、節(jié)距150μm、一個CPU芯片的墊數(shù)為數(shù)千個的電極墊，對于配置有數(shù)十個集中了這樣的電極墊的器件60的多個最后(取り)基板，通過印刷法形成凸塊，本發(fā)明的掩模用于這樣的凸塊形成。
圖5示出了本發(fā)明的用于絲網(wǎng)印刷裝置的金屬掩模。對多個掩模構(gòu)件片60進(jìn)行分組，使用大框連接組1-3間。在本實施例中，連接部分20d1、20d2、20d3各個的厚度形成為滿足關(guān)系掩模基本厚度t＞連接部分20d3的掩模厚度t3＞連接部分20d2的掩模厚度t2＞連接部分20d1的掩模厚度t1。即，通過改變連接部分掩模的厚度，從掩模20的中央部分向外周部分對多個掩模構(gòu)件片進(jìn)行分組，并且提高連接各組的連接部分的彈性的柔軟性。因此在離版時，即便從位于掩模20的最外周的掩模構(gòu)件片60的組(1)開始剝離的作用力起作用的情況下，在組(1)的區(qū)域內(nèi)，對應(yīng)于基板21的各電極墊部分和相對應(yīng)的掩模20的掩模構(gòu)件片60的黏著力比作用在連接部上的阻力大的情況下，能夠保持掩模20與基板21接近平行狀態(tài)的姿勢而進(jìn)行離版。組(1)區(qū)域的離版動作結(jié)束后，接下來開始組(2)區(qū)域的離版。此處，與上述同樣地在組(2)區(qū)域內(nèi)，掩模20與基板21可保持接近平行狀態(tài)的姿勢而進(jìn)行離版。組(2)區(qū)域的離版動作結(jié)束后，開始組(3)區(qū)域的離版，與上述同樣地在組(3)的區(qū)域內(nèi)，掩模20與基板21可保持接近平行狀態(tài)的姿勢而進(jìn)行離版。圖6示出了離版速度線圖。
如圖6所示，通過在掩模構(gòu)件片60的各組1-3的離版時，設(shè)定使載臺下降的初速度·目標(biāo)速度·加速度·距離等的印刷臺下降控制參數(shù)，對各個區(qū)域設(shè)定合適的連接部分的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)，使得各組1-3的各區(qū)域的離版動作在保持掩模20相對基板21接近平行的狀態(tài)的同時可通過分別適應(yīng)的離版條件而進(jìn)行控制。離版動作條件可通過程序設(shè)定而維持到N個階段并進(jìn)行控制，因此可進(jìn)行與基板和掩模設(shè)計相對應(yīng)的任意的離版控制。即，通過根據(jù)彈性數(shù)據(jù)控制臺的下降狀態(tài)而可以調(diào)整離版。
另外，在圖5的金屬掩模中，多個掩模構(gòu)件片60分為組1-3，各組間的連接部分的各彈性系數(shù)(掩模剛性)的關(guān)系取為連接部分20d3的彈性系數(shù)k3＞連接部分20d2的彈性系數(shù)k2＞連接部分20d1的彈性系數(shù)k1。因此從掩模20的中央部分到外周部分、掩模構(gòu)件片60的連接部分的掩模剛性降低(柔軟性變高)。因此在離版時，即便在使位于掩模20的最外周的掩模構(gòu)件片60的組1開始剝落的作用力起作用的情況下，當(dāng)各墊部分的掩模20與基板21的黏著力比作用在連接部分的阻力大時，能夠保持與基板的平行狀態(tài)而進(jìn)行離版。因此，與上述同樣地按照組1-3的順序在各個區(qū)域中的離版動作中，掩模20可保持相對基板21接近平行狀態(tài)而進(jìn)行離版。并且，在各離版區(qū)域中，通過設(shè)定在組1-3的離版時使臺下降的初速度·目標(biāo)速度·加速度·距離等的印刷臺下降控制參數(shù)，設(shè)定分別合適的數(shù)據(jù)，組1-3的各區(qū)域中的離版動作在保持相對基板21的掩模20的姿勢為接近水平的狀態(tài)的同時可通過分別適宜的離版條件而進(jìn)行控制。
圖7中示出了對于剛性不同的連接部分、不是在多個掩模構(gòu)件片群的每一個而是每個掩模構(gòu)件片上設(shè)置連接部分進(jìn)行連接的方式的掩模。只是，在本實施例中，也將預(yù)定區(qū)域的連接部分(20d1、20d2、20d3)的板厚、材質(zhì)或者彈性系數(shù)設(shè)定為相同。即，根據(jù)掩模構(gòu)件片60的位置，制作連接部分的合成相同的部分并進(jìn)行分組。
根據(jù)本方式，由于可使每個掩模構(gòu)件片的周邊的連接部分剛性均一，可使每個掩模構(gòu)件片離版時的姿勢穩(wěn)定。
圖5或者圖7的例子中的連接部分的結(jié)構(gòu)，通過半蝕刻來改換溝的深度，從而能夠廉價地制作。并且，不僅僅是半蝕刻，通過以任意的長度或者任意的間隔配置與半蝕刻部分貫通的狹縫狀開口部分，可非常靈活地設(shè)定每個區(qū)域的連接。進(jìn)一步地，連接部分可采取由被填充的尼龍網(wǎng)目絲網(wǎng)等、與金屬掩模材料同一金屬以外的不同材料構(gòu)成的連接結(jié)構(gòu)。只是在該情況下，認(rèn)為不出現(xiàn)由制版時的張力引起的圖案位置錯位的問題。另外，對于印刷面優(yōu)選采用沒有凸凹的結(jié)構(gòu)。假設(shè)在掩模印刷面上存在凸凹時，為了在刮板側(cè)能夠吸收凸凹而降低刮板的硬度，或者在凸凹部分內(nèi)設(shè)置切槽以使刮板追隨凸凹即可。
并且，優(yōu)選地，在半蝕刻部分以及用于涂敷焊膏的開口部分以外的開口部分內(nèi)，通過使用粘結(jié)材料等進(jìn)行填充從而使得不向不需要印刷的部位轉(zhuǎn)印焊膏。在半蝕刻等中，當(dāng)在掩模上具有階差部分時，印刷動作時焊膏殘留在階差部分上，這是由于殘渣焊膏的干燥等導(dǎo)致連續(xù)生產(chǎn)中焊膏黏度變化所致。并且當(dāng)在版下清理掩模時，可防止進(jìn)行多余的殘渣焊膏除去作業(yè)。
圖8示出了本發(fā)明的掩模的連接結(jié)構(gòu)概念。圖8(a)是通過半蝕刻而在厚度上設(shè)置階差的內(nèi)容。并且，如圖8(a)所示，當(dāng)掩模20在掩模構(gòu)件片間形成階差20d時，變?yōu)閳D8(b)所示的等價地以彈簧連接的狀態(tài)。然后，如圖8(c)所示，可變形。因此，通過這樣構(gòu)成，在印刷時可柔軟地追隨其形狀(凸凹)，在離版時可對每個圖案確保平行，可進(jìn)行超精細(xì)節(jié)距印刷，能夠確保各圖案內(nèi)的厚度的均一性。
在圖9中示出了可獲得同樣結(jié)果的結(jié)構(gòu)。如圖9(a)所示，通過半蝕刻，以半球狀的方式增加中央部分的厚度、使端部的厚度變薄，從而可獲得同樣的效果。在圖9(b)中，通過半蝕刻在連接部分上設(shè)置階差，同時在所形成的階差部分內(nèi)填充樹脂材料或者樹脂制的粘合劑20a，使得掩模表面為均一的高度，從而使焊膏的涂敷變得容易。另外，如圖9(a)所示，通過使用樹脂制的粘合劑20a接合各圖案部位，改變接合部分的彈性而使離版變得容易。
根據(jù)本發(fā)明，在掩模離版的過程中，掩模各區(qū)域相對基板能夠保持接近水平的狀態(tài)而進(jìn)行適宜的離版。并且，對于基板的凸凹，掩模的跟隨性變好，掩模變得容易焊接在基板上，從而可以期待降低通過刮板填充焊膏時的滲漏所引起的不良的效果。
權(quán)利要求
1.一種絲網(wǎng)印刷裝置，包括承載被印刷基板的載臺；設(shè)置于上述載臺的上部且具有多個開口的掩模；以及從上述掩模的上部將焊錫糊壓入上述開口并在上述基板上進(jìn)行印刷的刮板，其特征在于上述絲網(wǎng)印刷裝置構(gòu)成為上述掩模具有連接部分，該連接部分針對上述被印刷基板承載的每個零件圖案、或者成為預(yù)定面積的每個圖案，以與上述掩模構(gòu)件片不同的厚度、或者不同的材料、或者不同的彈性系數(shù)，來連接與各圖案相對應(yīng)的掩模構(gòu)件片間。
2.一種絲網(wǎng)印刷裝置，經(jīng)由掩模將焊錫膏印刷在基板面上，其特征在于，上述掩模具有連接部分，集合對于被印刷基板上承載的每個零件圖案、或者成為預(yù)定面積的每個圖案的多個掩模構(gòu)件片，從掩模中央向周邊區(qū)分為多個組，該連接部分采用與掩模構(gòu)件片不同的厚度連接上述組間；上述連接部分的厚度從掩模中央部分到周邊部分方向分段地變薄。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2記載的絲網(wǎng)印刷裝置，其特征在于，具有離版調(diào)整設(shè)備，該離版調(diào)整設(shè)備可與上述連接部分相配合再現(xiàn)任意的離版曲線。
4.一種絲網(wǎng)印刷裝置，經(jīng)由具有預(yù)定開口的掩模在基板上涂敷焊錫膏，其特征在于具有掩模，以不同于上述掩模構(gòu)件片的彈性系數(shù)，連接與被印刷基板承載的每個零件圖案、或者成為預(yù)定面積的每個圖案相對應(yīng)的各掩模構(gòu)件片，連接部分彈性系數(shù)從掩模中央部分到周邊部分方向分段地降低；以及離版調(diào)整設(shè)備，可與上述連接狀況相配合再現(xiàn)任意的離版曲線。
全文摘要
提供一種絲網(wǎng)印刷裝置。在利用絲網(wǎng)印刷法的凸塊電極形成中，由于通過多個開口部分群轉(zhuǎn)印的焊膏對于金屬掩模的粘著力，離版從金屬掩模的周邊部分緩緩開始，最后金屬掩模的中央部分離版，該種現(xiàn)象的產(chǎn)生是造成印刷膜厚度誤差、印刷不足等的印刷不良的主要原因。以與上述掩模構(gòu)件片不同的厚度、或者不同的材料、或者不同的彈性系數(shù)，連接載置在被印刷基板上的每個零件圖案、或者成為預(yù)定面積的每個圖案中的各掩模構(gòu)件片，并配置有與上述連接狀況相配合能夠再現(xiàn)任意的離版曲線的離版調(diào)整設(shè)備。
文檔編號H05K3/34GK101045360SQ20071008490
公開日2007年10月3日 申請日期2007年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月28日
發(fā)明者向井范昭, 和田正文, 本間真 申請人:株式會社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)