專利名稱：搬運裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種搭載電子部件的帶狀的搬運裝置，特別是涉及從對置地卷繞有帶和保護片的卷筒，將帶與保護片分離后進行搬運的搬運裝置。
背景技術：
近年來，搭載電子部件的基板變得薄層化，伴隨著使用范圍的擴大，該尺寸也多樣化，厚度為12.5μm至50μm，寬度自35mm至250mm。這樣的基板從處理容易性以及高生產性出發(fā)，形成為長而且是薄膜狀的帶。該帶由于是長尺寸形狀，因此在曝光、清洗、蝕刻、檢查、以及組裝等的各處理工序間，雖然是在卷繞于卷筒的狀態(tài)下進行處理，但在各處理工序中會在帶的表面涂布抗蝕劑或電路用金屬薄膜，或者安裝電子部件。因此，在卷繞于卷筒的帶之間，安裝有與帶大致相同形狀的保護片，以防止帶的表面附著異物，和防止安裝于帶的電子部件的導線變形、損傷等。
另一方面，各處理工序中的處理對象僅僅是帶，保護片是不必要的。因此，在將帶搬運至各處理工序的搬運裝置中，從卷繞有帶與保護片的供給卷筒，將帶與保護片分離后送出，僅將帶搬運至處理工序。然后，在將處理完畢的帶卷繞到卷繞卷筒上時，再次使保護片夾裝于帶之間。
圖5為第一現(xiàn)有技術的搬運裝置的示意圖。
作為第一現(xiàn)有技術，如圖5所示，有搬運裝置100，其包括供給卷筒101，其以在卷繞的帶T1之間夾裝有保護片S1的狀態(tài)，卷繞有帶T1與保護片S1；卷繞從該供給卷筒101送出的帶T1的卷繞卷筒102；將從供給卷筒101送出的保護片S1與帶T1分離、并卷繞該保護片S1的卷繞卷筒103；卷繞有保護片S2的供給卷筒104，該保護片S2用于夾裝在卷繞于卷繞卷筒102的帶T1之間；以及設于作為帶T1的搬運系統(tǒng)的供給卷筒101與卷繞卷筒102之間的處理部105(例如專利文獻1～3)。在該搬運裝置100中，通過將帶T1與保護片S1分離后進行搬運，能夠在處理部105中僅處理帶T1。
在搬運裝置100中，在從供給卷筒101將保護片S1卷繞到卷繞卷筒103上時，要調整其張力。具體而言，(1)在專利文獻1中，在供給卷筒101與保護片用的卷繞卷筒103之間設有壓送滾子；(2)在專利文獻2中，將電動機經由離合器連結于保護片用的卷繞卷筒103的驅動軸上。另外，為了調節(jié)在卷繞卷筒103側卷繞的保護片S2的張力，(3)在專利文獻3中，通過對保護片S2使用由彈簧產生的彈力，來將張力施加在帶T1上。
圖6為第二現(xiàn)有技術的搬運裝置的示意圖。
作為第二現(xiàn)有技術，如圖6所示，有裝置200，其包括卷繞有帶T1與保護片S1的供給卷筒201；卷繞從該供給卷筒201送出的帶T1與保護片S1的卷繞卷筒202；從供給卷筒201至卷繞卷筒202的帶T1的搬運系統(tǒng)203；從供給卷筒201至卷繞卷筒202的保護片S1的搬運系統(tǒng)204；以及設于搬運系統(tǒng)203的檢查裝置205(例如，參照專利文獻4)。在該裝置200中，從供給卷筒送出的帶T1與保護片S1由各自的搬運系統(tǒng)203、204分別搬運，從而在檢查裝置205中能夠僅檢查帶T1。
特許第3663421號公報[專利文獻2]特開2004-193259號公報[專利文獻3]特開2005-93958號公報[專利文獻4]特開2005-5586號公報但是在第一現(xiàn)有技術中，如圖5所示，需要用于卷繞從供給卷筒101送出的保護片S1的專門的卷繞卷筒103，并且作為卷繞在該卷繞卷筒103上的保護片S1的張力調整裝置，還需要壓送滾子、離合器以及彈簧等，存在附帶設備變多的問題。當在卷繞處理后的帶T1時，為了在帶T1之間夾裝保護片S2，需要另外進行在卷繞卷筒102的附近設置保護片用的供給卷筒104的作業(yè)，因此存在作業(yè)效率差的問題。
另一方面，在第二現(xiàn)有技術中，如圖6所示，由于從供給卷筒201送出的保護片S1直接卷繞在卷繞卷筒202上，因而不需要附帶設備(圖5中的卷繞卷筒103等)。但是，由于供給卷筒201、檢查裝置205、卷繞卷筒202在水平方向上并列，因而會有裝置大型化、且需要有大的設置空間的問題。
并且，在裝置200中，由于在檢查裝置205的上方配置有搬運系統(tǒng)204，因而存在附著于保護片S1的灰塵會飛散至檢查裝置205的作業(yè)區(qū)域的問題。
而且，在裝置200的搬運系統(tǒng)203中，在供給卷筒201與檢查裝置205之間，在檢查裝置205與卷繞卷筒202之間等，使帶T1松弛以調整其張力，另一方面在搬運系統(tǒng)204中，由于僅在卷繞卷筒202的近前調整保護片S1的張力，因此難以使帶T1的移動與保護片S1的移動同步。因此具有卷繞卷筒202上的帶T1與保護片S1的卷繞的平衡會惡化的問題。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明的課題在于提供一種搬運裝置，其解決上述問題，不設置附帶設備且使裝置比現(xiàn)有技術更小型，并且，防止了灰塵飛散到處理臺的作業(yè)區(qū)域中。另外，提供一種能夠以良好的平衡來卷繞帶與保護片的搬運裝置。
為了解決該等問題，第一觀點的搬運裝置，將帶狀的工件搬運至沿鉛直方向設置的處理臺，并且該搬運裝置以處理臺為界配置于一側，所述搬運裝置包括供給卷筒，其送出所卷繞的工件和與該工件對置地卷繞的保護片；卷繞卷筒，其設于供給卷筒的下方，卷繞從供給卷筒送出的工件；工件搬運單元，其將工件從供給卷筒經由處理臺搬運至卷繞卷筒；以及保護片搬運單元，其以供給卷筒為基點向與處理臺不同的方向迂回，將保護片從供給卷筒搬運至卷繞卷筒。
根據(jù)這樣的結構，從供給卷筒送出的工件通過工件搬運單元由處理臺對表面進行處理，并同時被搬運至卷繞卷筒。并且，從供給卷筒送出的保護片通過保護片搬運單元被搬運至卷繞卷筒。即，從供給卷筒送出的工件和保護片通過各自的搬運單元搬運后，以再次合在一起的狀態(tài)卷繞在卷繞卷筒上。因此，可不需要用于卷繞保護片的專門的卷筒。
并且，由于在供給卷筒的下方設置卷繞卷筒，因此與現(xiàn)有技術相比，工件搬運系統(tǒng)在水平方向上的長度變短，從而能夠使裝置小型化。
而且，保護片搬運單元由于設置成從供給卷筒至卷繞卷筒向與處理臺不同的方向迂回，因此即使在灰塵附著于保護片的情況下，也能夠防止灰塵飛散到處理臺的作業(yè)區(qū)域中。
第二觀點的搬運裝置中，保護片搬運單元具有保護片張力調整單元，該保護片張力調整單元由以下部分構成引導從供給卷筒送出的保護片的第一滾子；將保護片導向卷繞卷筒的第二滾子；以及調整第一滾子與第二滾子之間的保護片的張力的第一充氣容器。
根據(jù)這樣的結構，通過保護片張力調整單元來調整帶的張力，從而能夠在穩(wěn)定的張力下搬運保護片。
第三觀點的搬運裝置中，從供給卷筒經由處理臺搬運至卷繞卷筒的工件、和從供給卷筒搬運至卷繞卷筒的保護片，經由供給卷筒和卷繞卷筒構成閉環(huán)。
根據(jù)這樣的結構，可以不需要用于卷繞保護片的專門的卷筒。
在第四觀點中，所述搬運裝置還包括第一檢測器，其檢測從處理臺向卷繞卷筒搬運的工件在寬度方向上的位置；以及第二檢測器，其檢測從供給卷筒向卷繞卷筒搬運的保護片在寬度方向上的位置，根據(jù)第一檢測器與第二檢測器的結果，使卷繞到卷繞卷筒的工件與保護片在寬度方向上一致。
根據(jù)這樣的結構，能夠在使帶T的寬度方向與保護片S的寬度方向正確地對齊的狀態(tài)下，將兩者卷繞到卷繞卷筒上。
在第五觀點中，工件搬運單元包括第一張力調整單元，其設于供給卷筒與處理臺之間，用于調整供給至處理部的工件的張力；以及第二張力調整單元，其設于處理臺與卷繞卷筒之間，用于調整卷繞到卷繞卷筒的工件的張力，第一張力調整單元具有引導從供給卷筒送出的帶的第三滾子；向處理臺側引導帶的第四滾子；以及調整第三滾子與第四滾子之間的帶的張力的第二充氣容器，第二張力調整單元具有引導來自處理臺側的帶的第五滾子；將帶導向卷繞卷筒的第六滾子；以及調整第五滾子與第六滾子之間的帶的張力的第三充氣容器。
根據(jù)這樣的結構，通過第一張力調整單元和第二張力調整單元來調整張力，從而能夠以穩(wěn)定的張力搬運帶。
根據(jù)本發(fā)明的搬運裝置具有以下的優(yōu)良效果。
(1) 由于構成為能夠將從供給卷筒送出的工件與保護片以再次合在一起的狀態(tài)卷繞到卷繞卷筒上，因此不需要保護片專用的卷繞卷筒等附帶設備。
(2) 由于在供給卷筒的下方設置卷繞卷筒，因此與現(xiàn)有技術相比，能夠使裝置小型化。
(3) 保護片搬運單元通過向與處理臺不同的方向迂回，即使在灰塵附著于保護片的情況下，也可防止灰塵飛散到處理臺的作業(yè)區(qū)域中。
(4) 能夠將保護片與工件以在寬度方向上一致的方式卷繞到卷繞卷筒上。
(5) 由于保護片搬運單元具有保護片張力調整單元，工件搬運單元具有第一、第二張力調整單元，因此能夠使工件與保護片的張力穩(wěn)定，從而能夠以良好的平衡卷繞工件與保護片。


圖1為表示本實施方式的搬運裝置與曝光裝置的整體立體圖。
圖2為表示本實施方式的搬運裝置與曝光裝置的一部分的示意圖。
圖3為表示本實施方式的搬運機構中的導引滾子41c的放大剖面圖。
圖4a至圖4c為本實施方式的變形例的搬運裝置及曝光裝置的一部分的示意圖。
圖5為第一現(xiàn)有技術的搬運裝置的示意圖。
圖6為第二現(xiàn)有技術的搬運裝置的示意圖。
標號說明2供給卷筒；3帶搬運系統(tǒng)；4保護片搬運系統(tǒng)；5卷繞卷筒；3 1第一張力調整單元；31a第二充氣容器；31b、31c導引滾子；32臺導引滾子；33第二張力調整單元；33a第三充氣容器；33b、33c導引滾子；41第三張力調整單元；41a第一充氣容器；41b、41c導引滾子；51a、51b第一、第二傳感器；A搬運裝置；E曝光裝置；S保護片；T帶。
具體實施例方式
以下，參照

本發(fā)明的最佳實施方式。
圖1為表示本實施方式的搬運裝置與曝光裝置的整體立體圖，圖2為表示本實施方式的搬運裝置與曝光裝置的示意圖。
如圖1所示，本實施方式的搬運裝置A是僅將送出的帶T(工件)與保護片S中的帶T搬運至曝光裝置E(處理部)的曝光臺14(處理臺)的裝置。首先，對帶T、保護片S以及曝光裝置E依次進行說明。
<帶T、保護片S的結構>
帶T為薄膜狀的基板，其經過曝光、清洗、蝕刻、以及檢查等各處理工序而成為搭載電子部件的基板。這里，是作為在曝光工序中掛在曝光裝置E上的帶進行說明，但掛有帶T的處理工序并不限于此。該帶T例如具有寬度250mm、厚度25μm、以及長度200m的尺寸，有時在寬度方向兩側沿長度方向設有以預定間隔形成的多個穿孔f。
另外，保護片S是由保護帶T的表面的薄紙等形成的片體，其夾裝于卷繞在卷筒上的帶T之間。該保護片S形成為與帶T大致相同的形狀。
<曝光裝置E的結構>
曝光裝置E為將掩模M的圖案曝光在由搬運單位A以一塊為一個單位逐塊搬運的帶T上的裝置。該曝光裝置E包括光源系統(tǒng)11；保持配置于該光源系統(tǒng)的光軸上的掩模M的掩模保持框12；與該掩模保持框12隔開預定距離配置的投影光學系統(tǒng)13；以及配置于從該投影光學系統(tǒng)13送來的照射光的光路上的曝光臺14。而且曝光裝置E包括用于在曝光之前使帶T與掩模M的匹配標記(未圖示)的位置對準的攝像裝置15；對所拍攝的匹配標記進行圖像處理的圖像處理裝置16；以及裝置控制裝置17。
光源系統(tǒng)11向掩模M照射包含預定波長的紫外線的光。光源系統(tǒng)11由以下部分構成燈11a；設置成覆蓋該燈11a的下表面?zhèn)鹊臋E圓面鏡11b；改變由該橢圓面鏡11b所反射的照射光的方向的反射鏡11c；以及調整由該反射鏡11c所反射的照射光的照度分布的透鏡11d。
掩模保持框12為在使掩模M沿鉛直方向立起的狀態(tài)下保持掩模M的支承框，其設置成與投影光學系統(tǒng)13對置。掩模保持框12具有用于使掩模M沿與投影光學系統(tǒng)13的入射光軸正交的垂直方向移動的驅動機構。在掩模M上繪有投影到帶T上的相當于一塊份的電路圖案，并且，在預定位置設置有進行與帶T的對位的匹配標記、識別掩模本身的識別標記等。
投影光學系統(tǒng)13具有入射側凸透鏡13a和出射側凸透鏡13b，所述入射側凸透鏡13a和出射側凸透鏡13b設置成使入射光和出射光的光軸與透鏡中心一致。根據(jù)該投影光學系統(tǒng)13，入射的照射光透過入射側凸透鏡13a和出射側凸透鏡13b并從出射側凸透鏡13b射出，并照射在帶T上。而且，在本實施方式中是使用投影光學系統(tǒng)13，但適用于本發(fā)明的光學系統(tǒng)并不特別限定。
曝光臺14定位于與投影光學系統(tǒng)13相隔預定距離的位置上，臺面14a沿鉛直方向配置，從而臺面14a與來自投影光學系統(tǒng)13的照射光的光軸正交。通過這樣的配置，可使搬運系統(tǒng)與光學系統(tǒng)的安裝位置在水平方向上的長度變短，從而使得搬運裝置A小型化。
并且，曝光臺14連接于未圖示的真空泵的配管，其構成為吸附并固定帶T。在曝光臺14上，帶T被逐塊搬運，在帶T與掩模M的對位完畢之后，進行曝光。
攝像裝置15為用于取得帶T的定位標記與掩模M的定位標記的單元，其由半反射鏡和CCD攝像機等構成。該攝像裝置15在曝光時退避，配置在離開光路的位置上。
圖像處理裝置16將從攝像裝置15輸入的定位標記的圖像數(shù)據(jù)輸出至裝置控制裝置17。
并且，裝置控制裝置17根據(jù)來自圖像處理裝置16的圖像數(shù)據(jù)，來控制帶搬運系統(tǒng)3的導引滾子31c、臺導引滾子32、32以及導引滾子33b，以使帶T與掩模M的標記的位置匹配。而且，裝置控制裝置17還控制掩模保持框12的掩模M的驅動機構。并且，裝置控制裝置17在保護片S與帶T卷繞到卷繞卷筒5上時，控制保護片搬運系統(tǒng)4的導引滾子41c，以使兩者在寬度方向不會錯開。
<搬運裝置A的結構>
接著，對搬運裝置A的結構進行說明。以下，以圖2所示的搬運裝置A的狀態(tài)為基準，來定義上下左右的方向進行說明。
如圖1和圖2所示，搬運裝置A包括供給卷筒2、搬運帶T的帶搬運系統(tǒng)3(帶搬運單元)、搬運保護片S的保護片搬運系統(tǒng)4(保護片搬運單元)以及卷繞卷筒5。
《供給卷筒2》在供給卷筒2上，卷繞有帶T，并且與該帶T對置地卷繞有保護片S。該供給卷筒2例如是直徑為600mm的卷筒。該供給卷筒2通過由電動機等驅動未圖示的驅動軸，而向順時針方向旋轉。由此，從供給卷筒2送出的帶T與保護片S經由不同的搬運系統(tǒng)(帶搬運系統(tǒng)3、保護片搬運系統(tǒng)4)到達卷繞卷筒5。
《帶搬運系統(tǒng)3》如圖2所示，帶搬運系統(tǒng)3為將帶T從供給卷筒2搬運至卷繞卷筒5的系統(tǒng)，曝光裝置E配置于其中途。在該帶搬運系統(tǒng)3中具有設于供給卷筒2與搬運裝置A之間的第一張力調整單元31；將帶T引導向曝光裝置E的曝光臺14的一對臺導引滾子32、32；以及設于曝光裝置E與卷繞卷筒5之間的第二張力調整單元33。
第一張力調整單元31配置于供給卷筒2的右斜下方，其由一對導引滾子31b、31c(第三滾子、第四滾子)以及配置于它們之間的、調整帶T的張力的第二充氣容器31a所構成。第二充氣容器31a形成為盒子狀，其通過使卷掛于導引滾子31b、31c上的帶T由于自重而在其內部松弛成U字形，來調整輸送至曝光裝置E的帶T的張力。由此不會在帶T上產生過度的負荷或松弛。
導引滾子31c可以是能夠沿軸向移動的結構，以使帶T以正確的姿態(tài)輸送至曝光臺14。
臺導引滾子32、32配置于曝光臺14的上方和下方，用于將帶T引導向曝光裝置E的曝光臺14的臺面14a。即，在該臺導引滾子32、32之間的帶T的搬運方向沿著臺面14a而成為鉛直方向。而且，配置于上方的臺導引滾子32配置于導引滾子31c的右斜下方。關于臺導引滾子32、32，必須將正確的帶T送至臺導引滾子32、32，必須使在臺導引滾子32、32與帶T之間不會因產生滑動而使進給量產生偏差。因此，臺導引滾子32、32最好是真空抽吸帶T的結構。并且，臺導引滾子32、32最好使?jié)L子本身由ABS等樹脂制成，以便吸收微小振動。
如圖2所示，第二張力調整單元33配置于第一張力調整單元3 1的下方，由一對導引滾子33b、33c(第五滾子、第六滾子)以及設于它們之間的、調整帶T的張力的第三充氣容器33a所構成。第三充氣容器33a形成為盒子狀，其通過使卷掛于導引滾子33b、33c的帶T由于自重而在其內部松弛成U字形，來調整搬運至卷繞卷筒5的帶T的張力。由此，不會在帶T上產生過度的負荷或松弛。而且，上游側的導引滾子33b配置在下側的臺導引滾子32的左斜上方。
導引滾子33b可以為能夠沿軸向移動的結構，以便將帶T以正確的姿態(tài)輸送至曝光臺14。通過使導引滾子31b與上述的導引滾子31c成對地沿軸向移動，能夠修正帶T的寬度方向的偏差量，或修正帶T的傾斜度(姿態(tài))。
《保護片搬運系統(tǒng)4》保護片搬運系統(tǒng)4設置成從供給卷筒2起，朝向與帶搬運系統(tǒng)3拉出的方向不同的方向(左方向)并且向下方拉出。即使灰塵附著在保護片S上，也能夠防止該灰塵飛散至設于帶搬運系統(tǒng)3的曝光裝置E的曝光臺14上。
該保護片搬運系統(tǒng)4為將保護片S從供給卷筒2搬運至卷繞卷筒5的系統(tǒng)，其具有第三張力調整單元41。
第三張力調整單元41(保護片張力調整單元)配置于供給卷筒2的左斜下方，其由一對導引滾子41b、41c(第一滾子、第二滾子)以及設于它們之間的、調整保護片S的張力的第一充氣容器41a所構成。第一充氣容器41a，形成為盒子狀，其通過使卷掛于導引滾子41b、41c上的帶T由于自重而在其內部松弛成U字形，來調整搬運至卷繞卷筒5的保護片S的張力。由此，不會在保護片S上產生過度的負荷或松弛。而且，在第一充氣容器41a中，構成為能夠使帶T比在第二充氣容器31a和第三充氣容器33a松弛得更長。另外，上游側的導引滾子41b設置在供給卷筒2的左斜下方，并且下游側的導引滾子41c設置在卷繞卷筒5的左斜上方。而且，保護片搬運系統(tǒng)4除了第三張力調整單元41之外，還可具有多個導引滾子。
《導引滾子41c的結構》圖3為表示第三張力調整單元41中的導引滾子41c的放大剖面圖。
圖3所示的導引滾子41c是這樣的滾子將保護片S從第一充氣容器41a向卷繞卷筒5輸送(參照圖2)，并且具有能夠使保護片S沿箭頭b所示的寬度方向(箭頭a所示的軸向)移動的工件位置調整單元142。導引滾子41c包括用于搬運保護片S的可自由旋轉的滾子本體141；通過滾珠絲杠144的旋轉而沿軸向移動的螺母145；與該螺母145一體地移動的鍵軸146；與該鍵軸146一體地移動的支軸147；以及介于該支軸147與滾子本體141之間的軸承148。
工件位置調整單元142通過使?jié)L子本體141的位置沿軸向(保護片S的寬度方向)移動，來調整處理部51中的保護片S的位置。該工件位置調整單元142包括電動機M1、滾珠絲杠144、螺母145、鍵軸146、以及支軸147。
在使?jié)L子本體141旋轉的同時，圖3所示的電動機M1根據(jù)裝置控制裝置17的控制信號而正轉和反轉，以使?jié)L子本體141沿箭頭a所示的軸向(保護片S的寬度方向)移動。由此，卷掛于滾子本體141的保護片S沿箭頭b所示的寬度方向移動。正轉和反轉量根據(jù)來自后述的檢測帶T在寬度方向上的位置的第一傳感器51a、以及檢測保護片S在寬度方向上的位置的第二傳感器51b的位置信號而運算求出。
裝置殼體143為保持電動機M1并貫穿有電動機軸M1a的部件，裝置殼體143固定在適當?shù)奈恢蒙?。導引滾子41c通過該裝置殼體143被保持在預定的位置上。
滾珠絲杠144連結于電動機M1的電動機軸M1a，并與電動機軸M1a一體地旋轉。而且，在該滾珠絲杠144與電動機軸M1a之間，可以插設減速齒輪機構。
螺母145的中央部的內螺紋部螺合于滾珠絲杠144。螺母145的外周面安裝于形成有鍵槽的圓筒狀的鍵軸146內，通過該滾珠絲杠144的旋轉，螺母145沿箭頭a所示的軸向移動。
圖3所示的鍵軸146安裝于螺母145的外周部，并與螺母145一體地旋轉，同時該鍵軸146沿箭頭a所示的軸向移動。
支軸147緊固于鍵軸146的底面部，支軸147在與鍵軸146一起沿軸向移動的同時并旋轉，支軸1 47的兩端部由軸承1 48軸支承。
滾子本體141與軸承148一起沿箭頭a所示的軸向移動，其卷繞保護片S，并且是在兩端部具有突緣部的管筒形狀。該滾子本體141，至少其滾子表面141a由合成樹脂形成，以吸收微振動。
以上結構的導引滾子41c，通過電動機M1的旋轉，而使由滾珠絲杠144、鍵軸146、支軸147以及軸承148構成的中介部件進行旋轉運動和直進運動，由此來使?jié)L子本體141沿軸向移動，從而能夠調整保護片S的位置。具有能夠這樣沿軸向移動的滾子本體141的導引滾子41c，通過使?jié)L子本體141的位置沿軸向移動，可使帶T的寬度方向與保護片S的寬度方向正確地對齊。
而且，圖3所示的導引滾子41c是通過電動機M1僅使支軸147直接旋轉的結構，但其也可以是這樣的結構通過別的電動機或者線性滑動機構等(未圖示)使導引滾子41c整體沿軸向移動。
并且，上述的導引滾子31c和導引滾子33b也可以為與該導引滾子41c相同的結構。
《卷繞卷筒5》
卷繞卷筒5與供給卷筒2一起相對于曝光臺14配置在水平方向上的一側(曝光臺14的左側)，而且配置于供給卷筒2的下方。由此，能夠縮短搬運裝置A在水平方向上的長度尺寸，可使裝置小型化。卷繞卷筒5通過由電動機等驅動未圖示的驅動軸，而向順時針方向旋轉。由此，卷繞卷筒5交替地卷繞從帶搬運系統(tǒng)3搬運的帶T以及從保護片搬運系統(tǒng)4搬運的保護片S。
而且，卷繞于該卷繞卷筒5的帶T與保護片S，由于分別由第二張力調整單元33和第三張力調整單元41將張力調整得很均勻，因此在卷繞卷筒5上的卷繞姿態(tài)接近正確的圓形。
即，通過這樣使帶T與保護片S經由供給卷筒2和卷繞卷筒5而構成閉環(huán)，就不需要現(xiàn)有技術的保護片專用的卷繞卷筒等。
在卷繞卷筒5的周圍設有檢測帶T在寬度方向上的位置的第一傳感器51a；和檢測保護片S在寬度方向上的位置的第二傳感器51b。卷繞于卷繞卷筒5上的帶T與保護片S在寬度方向上有偏差是造成帶T損傷的原因，并且在卷繞姿態(tài)的側面容易產生高低差，從而使灰塵容易滯留。因此通過第一傳感器51a和第二傳感器51b來檢測帶T與保護片S在寬度方向上的位置。另外，通過使導引滾子41c沿滾子的軸向移動，來使帶T的寬度方向與保護片S的寬度方向正確地對齊。
<曝光裝置E和搬運裝置A的動作>
接著，沿著帶T和保護片S的搬運路徑，對各裝置的動作進行說明。首先，在搬運裝置A上設置卷繞了帶T和保護片S的供給卷筒2，并且設置空的卷繞卷筒5。然后，從供給卷筒2向帶搬運系統(tǒng)3送出帶T，并且向保護片搬運系統(tǒng)4送出保護片S。
從供給卷筒2送出的帶T被搬運至右斜下方的第一張力調整單元31。帶T在第一張力調整單元31中由導引滾子31b、31c將其搬運方向引導為向右。然后，帶T在由第二充氣容器31a調整其張力后搬運至曝光裝置E。由此，在曝光裝置E的上游側能夠防止由于自重等而引起的帶T的張力不均衡。
在曝光裝置E中，帶T由臺導引滾子32、32將搬運方向轉換成鉛直方向。在曝光裝置E中，根據(jù)曝光光學系統(tǒng)的性能而存在可曝光的面積，因此帶T每次以與該面積相當?shù)膲K進行搬運，以便使其與曝光光學系統(tǒng)匹配。具體而言，通過個別地控制臺導引滾子32、32等使它們旋轉，來調整臺導引滾子32、32保持帶T的位置，從而使位置匹配。這里，由于帶T既薄又寬，因此當搬運、停止每一曝光塊時，其前進程度每次都會略微變化，因此產生無法使位置匹配的問題，這里通過用第一張力調整單元31來調整帶T的張力，能夠消除該問題。并且，當帶T產生傾斜度(姿態(tài))時，通過使導引滾子31c和導引滾子33b沿軸向移動，就能夠進行調整。
然后，帶T在曝光裝置E的曝光臺14上使其位置匹配了之后，被臨時固定，并從投影光學系統(tǒng)13照射曝光光。由此結束帶T的曝光工序。然后，經曝光處理后的帶T被搬運至不影響下一次的帶的曝光處理的位置上。
接著，帶T由下側的臺導引滾子32與導引滾子33b引導，從而將搬運方向轉換成左斜上方，然后被搬運至第二張力調整單元33。帶T在第二張力調整單元33中由導引滾子33b、33c將其搬運方向引導成向左。然后，帶T通過第三充氣容器33a調整其張力，之后卷繞在卷繞卷筒5上。當帶T卷繞到卷繞卷筒5上時，由第一傳感器51a檢測帶T在寬度方向上的位置。
另一方面，從供給卷筒2送出的保護片S被搬運至左斜下方的第三張力調整單元41。保護片S在第三張力調整單元41中由導引滾子41b、41c將其搬運方向引導成向右。然后，保護片S通過第一充氣容器41a調整其張力，之后其方向轉換成向右斜下方，朝向卷繞卷筒5。在保護片S卷繞到卷繞卷筒5上時，由第二傳感器51b檢測保護片S在寬度方向上的位置。裝置控制裝置17將控制信號發(fā)送至導引滾子41c的電動機M1，以使保護片S的寬度方向與帶T的寬度方向一致。通過導引滾子41c沿軸向的移動，保護片S也沿寬度方向移動。調整了寬度方向的位置的保護片S與帶T一起被卷繞到卷繞卷筒5上，以使保護片S夾裝在帶T之間。
這樣，帶T與保護片S在均勻的張力下卷繞到卷繞卷筒5上。由此，可保持兩者良好的卷繞平衡。
而且，由于在曝光處理中對帶T的位置進行控制、或者是將保護片S夾裝于帶T之間，帶T的張力會變得不均勻，但是在本實施方式中，由于用第二張力調整單元33調整帶T的張力，因此能夠穩(wěn)定地進行帶T的卷繞。由此，能夠使卷繞姿態(tài)為圓形而不是橢圓形。并且，由于帶T與保護片S是以在寬度方向上一致的方式被卷繞，因而卷繞姿態(tài)的側面也是均勻的。
另外，當送出保護片S時，若在保護片S上施加較強的張力，會影響最重要的帶T的送出量，從而無法穩(wěn)定地卷繞曝光處理后的帶T，但在本實施方式中，由于用第三張力調整單元41調整帶T的張力，因而不會影響卷繞卷筒5的卷繞動作。
如上所述，本實施方式的搬運裝置A可得到以下的效果。
在本實施方式的搬運裝置A中，從供給卷筒2送出的帶T與保護片S，在由各自的搬運系統(tǒng)(帶搬運系統(tǒng)3、保護片搬運系統(tǒng)4)搬運后，以再次合在一起的狀態(tài)卷繞到卷繞卷筒5上。由此，不需要現(xiàn)有技術中那樣的附帶設備。
在搬運裝置A中，由于供給卷筒2和卷繞卷筒5相對于曝光臺1 4配置于水平方向上的一側，因此與將供給卷筒2和卷繞卷筒5沿水平方向設置的現(xiàn)有技術相比，能夠縮小尺寸(水平方向上的長度)，能夠使裝置小型化。
在搬運裝置A中，保護片搬運系統(tǒng)4從供給卷筒2起朝向與帶搬運系統(tǒng)3拉出的方向不同的方向而且朝下方拉出，由此，即使灰塵附著于保護片S上，也能夠防止該灰塵飛散至設于帶搬運系統(tǒng)3的曝光臺14的作業(yè)區(qū)域中。
帶T在搬運至曝光裝置E之前，由于通過第一張力調整單元31來調整張力，因此可進行高品質的曝光處理，從而能夠穩(wěn)定地制造出高品質的產品。并且，通過第二張力調整單元33與第三張力調整單元41而調整成張力均勻的帶T與保護片S，卷繞在卷繞卷筒5上，因此在穩(wěn)定的張力下能夠使兩者的卷繞保持良好的平衡。并且，能夠使帶T與保護片S以在寬度方向上完全一致的方式卷繞。
在搬運裝置A中，由于分別設置了帶搬運系統(tǒng)3和保護片搬運系統(tǒng)4，因此，即使保護片S在中途因事故而被切斷等，也不會影響帶T的搬運動作，因此可穩(wěn)定地制造出高品質的產品。
以上，對本實施方式的搬運裝置A進行了說明，但本發(fā)明不限于該實施方式，而能夠以各種方式實施。
圖4(a)至圖4(c)為表示本實施方式的變形例的搬運裝置和曝光裝置的一部分的示意圖。在實施方式中，在搬運裝置A中構成為使供給卷筒2和卷繞卷筒5分別向順時針方向旋轉(參照圖2)，但是各卷筒的旋轉方向并無限定，也可以如圖4(a)所示，在搬運裝置A1中構成為使供給卷筒2A向順時針方向旋轉，而使卷繞卷筒5A向逆時針方向旋轉。并且，也可以如圖4(b)所示，在搬運裝置A2中構成為使供給卷筒2B和卷繞卷筒5B都向逆時針方向旋轉。此外，也可以如圖4(c)所示，在搬運裝置A3中構成為使供給卷筒2C向逆時針方向旋轉，而使卷繞卷筒5C向順時針方向旋轉。
另外，在實施方式中，搬運帶T的導引滾子31c和導引滾子33b、以及搬運保護片S的導引滾子41c能夠沿滾子的軸向移動，但是也可以使其它所有滾子都能夠沿軸向移動。
權利要求
1.一種搬運裝置，其將帶狀的工件搬運至沿鉛直方向設置的處理臺，并且該搬運裝置以上述處理臺為界配置于一側，其特征在于，所述搬運裝置包括供給卷筒，其送出所卷繞的上述工件和與該工件對置地卷繞的保護片；卷繞卷筒，其設于上述供給卷筒的下方，卷繞從上述供給卷筒送出的上述工件；工件搬運單元，其將上述工件從上述供給卷筒經由上述處理臺搬運至上述卷繞卷筒；以及保護片搬運單元，其以上述供給卷筒為基點向與上述處理臺不同的方向迂回，將上述保護片從上述供給卷筒搬運至上述卷繞卷筒。
2.如權利要求1所述的搬運裝置，其特征在于，上述保護片搬運單元具有保護片張力調整單元，該保護片張力調整單元由以下部分構成引導從上述供給卷筒送出的上述保護片的第一滾子；將上述保護片導向上述卷繞卷筒的第二滾子；以及調整上述第一滾子與上述第二滾子之間的上述保護片的張力的第一充氣容器。
3.如權利要求1或2所述的搬運裝置，其特征在于，從上述供給卷筒經由上述處理臺搬運至上述卷繞卷筒的上述工件、和從上述供給卷筒搬運至上述卷繞卷筒的上述保護片，經由上述供給卷筒和上述卷繞卷筒構成閉環(huán)。
4.如權利要求1或2所述的搬運裝置，其特征在于，所述搬運裝置還包括第一檢測器，其檢測從上述處理臺向上述卷繞卷筒搬運的上述工件在寬度方向上的位置；以及第二檢測器，其檢測從上述供給卷筒向上述卷繞卷筒搬運的上述保護片在寬度方向上的位置，根據(jù)上述第一檢測器與上述第二檢測器的結果，使卷繞到上述卷繞卷筒的上述工件與保護片的寬度方向一致。
5.如權利要求3所述的搬運裝置，其特征在于，所述搬運裝置還包括第一檢測器，其檢測從上述處理臺向上述卷繞卷筒搬運的上述工件在寬度方向上的位置；以及第二檢測器，其檢測從上述供給卷筒向上述卷繞卷筒搬運的上述保護片在寬度方向上的位置，根據(jù)上述第一檢測器與上述第二檢測器的結果，使卷繞到上述卷繞卷筒的上述工件與保護片的寬度方向一致。
6.如權利要求1或2所述的搬運裝置，其特征在于，上述工件搬運單元包括第一張力調整單元，其設于上述供給卷筒與上述處理臺之間，用于調整供給至上述處理部的上述工件的張力；以及第二張力調整單元，其設于上述處理部與上述卷繞卷筒之間，用于調整卷繞到上述卷繞卷筒的上述工件的張力，上述第一張力調整單元具有引導從上述供給卷筒送出的上述帶的第三滾子；向上述處理臺側引導上述帶的第四滾子；以及調整上述第三滾子與上述第四滾子之間的上述帶的張力的第二充氣容器，上述第二張力調整單元具有引導來自上述處理臺側的上述帶的第五滾子；將上述帶導向上述卷繞卷筒的第六滾子；以及調整上述第五滾子與上述第六滾子之間的上述帶的張力的第三充氣容器。
7.如權利要求3所述的搬運裝置，其特征在于，上述工件搬運單元包括第一張力調整單元，其設于上述供給卷筒與上述處理臺之間，用于調整供給至上述處理部的上述工件的張力；以及第二張力調整單元，其設于上述處理部與上述卷繞卷筒之間，用于調整卷繞到上述卷繞卷筒的上述工件的張力，上述第一張力調整單元具有引導從上述供給卷筒送出的上述帶的第三滾子；向上述處理臺側引導上述帶的第四滾子；以及調整上述第三滾子與上述第四滾子之間的上述帶的張力的第二充氣容器，上述第二張力調整單元具有引導來自上述處理臺側的上述帶的第五滾子；將上述帶導向上述卷繞卷筒的第六滾子；以及調整上述第五滾子與上述第六滾子之間的上述帶的張力的第三充氣容器。
8.如權利要求4所述的搬運裝置，其特征在于，上述工件搬運單元包括第一張力調整單元，其設于上述供給卷筒與上述處理臺之間，用于調整供給至上述處理部的上述工件的張力；以及第二張力調整單元，其設于上述處理部與上述卷繞卷筒之間，用于調整卷繞到上述卷繞卷筒的上述工件的張力，上述第一張力調整單元具有引導從上述供給卷筒送出的上述帶的第三滾子；向上述處理臺側引導上述帶的第四滾子；以及調整上述第三滾子與上述第四滾子之間的上述帶的張力的第二充氣容器，上述第二張力調整單元具有引導來自上述處理臺側的上述帶的第五滾子；將上述帶導向上述卷繞卷筒的第六滾子；以及調整上述第五滾子與上述第六滾子之間的上述帶的張力的第三充氣容器。
9.如權利要求5所述的搬運裝置，其特征在于，上述工件搬運單元包括第一張力調整單元，其設于上述供給卷筒與上述處理臺之間，用于調整供給至上述處理部的上述工件的張力；以及第二張力調整單元，其設于上述處理部與上述卷繞卷筒之間，用于調整卷繞到上述卷繞卷筒的上述工件的張力，上述第一張力調整單元具有引導從上述供給卷筒送出的上述帶的第三滾子；向上述處理臺側引導上述帶的第四滾子；以及調整上述第三滾子與上述第四滾子之間的上述帶的張力的第二充氣容器，上述第二張力調整單元具有引導來自上述處理臺側的上述帶的第五滾子；將上述帶導向上述卷繞卷筒的第六滾子；以及調整上述第五滾子與上述第六滾子之間的上述帶的張力的第三充氣容器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種搬運裝置，其使裝置小型化，并防止了灰塵飛散到處理臺的作業(yè)區(qū)域，能以良好的平衡來卷繞帶與保護片。搬運裝置(A)將帶(T)搬運至沿鉛直方向設置的曝光臺(14)，并且該搬運裝置(A)以曝光臺(14)為界配置于一側，所述搬運裝置(A)包括供給卷筒(2)，其送出帶(T)；卷繞卷筒(5)，其設于供給卷筒(2)的下方，卷繞帶(T)；保護片搬運系統(tǒng)(4)，其經由曝光臺(14)將帶(T)從供給卷筒(2)搬運至卷繞卷筒(5)，在供給卷筒(2)上卷繞著與帶(T)對置設置的保護片(S)，搬運裝置(A)具有保護片搬運系統(tǒng)(4)，該保護片搬運系統(tǒng)(4)向與曝光臺(14)不同的方向迂回，將保護片(S)從供給卷筒(2)搬運至卷繞卷筒(5)。
文檔編號H05K3/00GK101093366SQ20071009106
公開日2007年12月26日 申請日期2007年4月6日 優(yōu)先權日2006年6月20日
發(fā)明者佐藤仁 申請人:株式會社Orc制作所