專利名稱：一種導(dǎo)流筒升降機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體硅單晶生長用的導(dǎo)流筒升降機(jī)構(gòu)。
二背景技術(shù)：
硅單晶是制造集成電路和太陽能電池的主要原料，硅單晶的制備 (生長)是在真空工作室內(nèi)將塊狀多晶原材料放入坩堝中，通過加熱 器將原材料熔化，然后，通過籽晶引導(dǎo)，生長出理想的單晶；為了穩(wěn) 定快速生長出高質(zhì)量的合格單晶，同時(shí)實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗，單晶生長熱系 統(tǒng)中安裝了導(dǎo)流筒，而導(dǎo)流筒的增設(shè)限制了在坩堝中的裝料量，降低 了生產(chǎn)效率。
現(xiàn)有技術(shù)中的導(dǎo)流筒是固定安裝在保溫蓋上的，沒有升降移動(dòng)功 能，這樣就減少了裝料量，直接影響每爐晶體的產(chǎn)量。
三、 技術(shù)內(nèi)容 針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡 單，使用方便，效果明顯的硅單晶生長用的導(dǎo)流筒升降機(jī)構(gòu)，以提高 硅單晶生產(chǎn)的單爐產(chǎn)量，提高生產(chǎn)效率，節(jié)能降耗。
本發(fā)明的硅單晶生長用的導(dǎo)流筒升降機(jī)構(gòu)，包括支撐座2焊接在 工作室筒壁l上，減速器3通過鍵4與驅(qū)動(dòng)軸9連接，密封圈7、 8、 法蘭6與支撐座2實(shí)現(xiàn)真空密封，過度套10與支撐座2、驅(qū)動(dòng)軸9之 間間隙配合，工作軸11與驅(qū)動(dòng)軸9之間撥叉連接，并與過度套10間隙配合，弧形轉(zhuǎn)臂14與支座13固定在一起，通過圓柱銷12與工作軸11 相連接，過度板與弧形轉(zhuǎn)臂14連在一起，并通過連接板16、銷軸 18、連接座17與導(dǎo)流筒15相連；
本發(fā)明的創(chuàng)新之處在于導(dǎo)流筒15是通過安裝在工作室筒壁1上的 旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，依靠減速器3旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)弧形轉(zhuǎn)臂14，從而實(shí)現(xiàn)導(dǎo)流筒15的 弧形提升。在裝料時(shí)，旋轉(zhuǎn)手輪5將導(dǎo)流筒15升起，裝入更多的原材 料，待原材料熔化后，再將導(dǎo)流筒15降到工作需求位置，從而提高單 爐裝料量，提高生產(chǎn)效率，節(jié)能降耗。 四
圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1的A-A剖視參見圖l、圖2所示，包括支撐座2焊接在工作室筒壁1上，減速 器3通過鍵4與驅(qū)動(dòng)軸9連接，密封圈7、 8、法蘭6與支撐座2實(shí)現(xiàn) 真空密封，過度套10與支撐座2、驅(qū)動(dòng)軸9之間間隙配合，工作軸ll 與驅(qū)動(dòng)軸9之間撥叉連接，并與過度套10間隙配合，弧形轉(zhuǎn)臂14與支 座13固定在一起，通過圓柱銷12與工作軸11相連接，過度板與弧形 轉(zhuǎn)臂14連在一起，并通過連接板16、銷軸18、連接座17與導(dǎo)流筒15 相連；
工作時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)手輪5使減速器3旋轉(zhuǎn)，通過鍵4、驅(qū)動(dòng)軸9、工作 軸ll、圓柱銷12、支座13帶動(dòng)弧形轉(zhuǎn)臂14旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)，并通過連接板 16、銷軸18、連接座17帶動(dòng)導(dǎo)流筒15的升降。 五具體實(shí)施例方式
附圖3為本發(fā)明的具體實(shí)施例； 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明型的內(nèi)容作進(jìn)一步說明參見圖l、圖3所示，包括支撐座2焊接在工作室筒壁1上，減速器3 通過鍵4與驅(qū)動(dòng)軸9連接，密封圈7、 8、法蘭6與支撐座2實(shí)現(xiàn)真空 密封，過度套10與支撐座2、驅(qū)動(dòng)軸9之間間隙配合，工作軸ll與驅(qū) 動(dòng)軸9之間撥叉連接，并與過度套10間隙配合，弧形轉(zhuǎn)臂14與支座 13固定在一起，通過圓柱銷12與工作軸11相連接，過度板與弧形轉(zhuǎn) 臂14連在一起，并通過連接板16、銷軸18、連接座17與導(dǎo)流筒15相 連；
工作時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)手輪5使減速器3旋轉(zhuǎn)，通過鍵4、驅(qū)動(dòng)軸9、工作 軸ll、圓柱銷12、支座13帶動(dòng)弧形轉(zhuǎn)臂14旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)，并通過連接板 16、銷軸18、連接座17帶動(dòng)導(dǎo)流筒15的升降。
導(dǎo)流筒15在A位置是生長晶體時(shí)的正確位置，裝料時(shí)，將導(dǎo)流筒 15提升至B位置，原材料裝至B位置裝料量，待原材料熔化后，再將 導(dǎo)流筒15降到A位置，這樣就比導(dǎo)流筒15不會(huì)升降時(shí)多裝了原材 料，增加了單爐的裝料量，提高了生產(chǎn)效率。
本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、制造容易、使用方便、效果明顯、工作穩(wěn)定 可靠等特點(diǎn)，可以提高半導(dǎo)體硅單晶生長的單爐產(chǎn)量，提高生產(chǎn)效 率，節(jié)能降耗。廣泛適用于半導(dǎo)體硅單晶生長和鍺單晶生長設(shè)備中。
權(quán)利要求
1、一種人工晶體生長用導(dǎo)流筒升降機(jī)構(gòu)，包括支撐座2焊接在工作室筒壁1上，減速器3通過鍵4與驅(qū)動(dòng)軸9連接，密封圈7、8、法蘭6與支撐座2實(shí)現(xiàn)真空密封，過度套10與支撐座2、驅(qū)動(dòng)軸9之間間隙配合，工作軸11與驅(qū)動(dòng)軸9之間撥叉連接，并與過度套10間隙配合，弧形轉(zhuǎn)臂14與支座13固定在一起，通過圓柱銷12與工作軸11相連接，過度板與弧形轉(zhuǎn)臂14連在一起，并通過連接板16、銷軸18、連接座17與導(dǎo)流筒15相連；轉(zhuǎn)動(dòng)手輪5使減速器3旋轉(zhuǎn)，通過鍵4、驅(qū)動(dòng)軸9、工作軸11、圓柱銷12、支座13帶動(dòng)弧形轉(zhuǎn)臂14旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)，并通過連接板16、銷軸18、連接座17帶動(dòng)導(dǎo)流筒15的升降。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的人工晶體生長用導(dǎo)流筒升降機(jī)構(gòu)，其特 征在于導(dǎo)流筒15的升降是通過轉(zhuǎn)臂14的旋轉(zhuǎn)完成的。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體硅單晶生長用的導(dǎo)流筒升降機(jī)構(gòu)，包括支撐座2焊接在工作室筒壁1上，減速器3通過鍵4與驅(qū)動(dòng)軸9連接，密封圈7、8、法蘭6與支撐座2實(shí)現(xiàn)真空密封，過渡套10與支撐座2、驅(qū)動(dòng)軸9之間間隙配合，工作軸11與驅(qū)動(dòng)軸9之間撥叉連接，并與過渡套10間隙配合，弧形轉(zhuǎn)臂14與支座13固定在一起，通過圓柱銷12與工作軸11相連接，過渡板與弧形轉(zhuǎn)臂14連在一起，并通過連接板16、銷軸18、連接座17與導(dǎo)流筒15相連；工作時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)手輪5使減速器3旋轉(zhuǎn)，通過鍵4、驅(qū)動(dòng)軸9、工作軸11、圓柱銷12、支座13帶動(dòng)弧形轉(zhuǎn)臂14旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)，并通過連接板16、銷軸18、連接座17帶動(dòng)導(dǎo)流筒15的升降。該發(fā)明的應(yīng)用，可以提高半導(dǎo)體硅單晶生長的單爐產(chǎn)量，提高生產(chǎn)效率，節(jié)能降耗。廣泛適用于半導(dǎo)體硅單晶生長和鍺單晶生長設(shè)備中。
文檔編號(hào)C30B35/00GK101418464SQ200710180388
公開日2009年4月29日 申請(qǐng)日期2007年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月24日
發(fā)明者 馮, 李留臣 申請(qǐng)人:常州華盛天龍機(jī)械有限公司