專利名稱：表面安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種表面安裝裝置，其在將電子部件搭載到基板上 時，可以防止因搭載動作等而產(chǎn)生的粉塵等附著到基板或電子部件 (元件)上。
背景技術(shù)：
通常，通過使用表面安裝裝置，在被定位固定于規(guī)定位置的基 板上，搭載被保持在安裝于搭載頭上的吸附嘴上的部件，進(jìn)行安裝基 板的生產(chǎn)。
在該基板生產(chǎn)時，為了防止次品產(chǎn)生，防止粉塵(塵埃)附著到基 板或部件上是很重要的。
目前，作為防止塵埃等附著到生產(chǎn)基板上的方法，通過以下方 法應(yīng)對，即，將表面安裝裝置設(shè)置在凈化間內(nèi)，使整個生產(chǎn)環(huán)境為塵 埃極少的狀態(tài)進(jìn)行生產(chǎn)。
另外，如專利文獻(xiàn)1所示，已知通過以下方法應(yīng)對，即，在生
產(chǎn)裝置的頂部上設(shè)置利用HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾 器等產(chǎn)生凈化氣體的裝置，通過使凈化氣體從該裝置向下流出，由凈 化氣體充滿生產(chǎn)裝置內(nèi)部。
專利文獻(xiàn)l:特開平10-20478號公告

發(fā)明內(nèi)容
但是，在凈化間內(nèi)設(shè)置表面安裝裝置的現(xiàn)有方法中，當(dāng)向基板 上搭載電子部件時，因?yàn)榇钶d頭在基板上方高速地進(jìn)行XY移動，所 以有時會因該動作而產(chǎn)生塵埃。這種塵埃因?yàn)樵诒砻姘惭b裝置內(nèi)部產(chǎn) 生，所以即使凈化表面安裝裝置周圍的環(huán)境也沒有效果。
另外，如上述的表面安裝裝置那樣，在表面安裝裝置內(nèi)部的空
氣流被高速移動的搭載頭攪拌的情況下，因?yàn)楫a(chǎn)生的塵埃的運(yùn)動方向 是不規(guī)則的，所以即使是專利文獻(xiàn)1所示的使凈化氣體從生產(chǎn)裝置的 頂部向下流出而防止附著的方法，也不是有效的解決方法。
本發(fā)明的目的在于，可靠地防止因搭載動作等而在表面安裝裝 置內(nèi)產(chǎn)生的塵埃附著到基板等上。
本發(fā)明的表面安裝裝置具有 一對基板固定單元(22A、 22B)， 其相對配置，分別支撐固定基板(S)的相對端部；以及搭載頭(H)，其
可以上下移動，以將部件搭載到由該基板固定單元支撐固定的基板
上，其具有噴氣單元(30)，其接近一個基板固定單元配置，以從前
述基板上表面的上方且外側(cè)以簾狀噴射氣體；以及吸氣單元(34)，其 接近另一個基板固定單元配置，隔著前述基板與前述噴氣單元相對， 面向前述噴氣方向，以吸收從前述噴氣單元噴出的氣體，本發(fā)明通過 上述方法解決前述課題。
本發(fā)明可以采用沿前述基板的上表面噴射前述氣體的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明也可以采用下述結(jié)構(gòu)，前述噴氣單元由兩端開口的中空 圓筒部件構(gòu)成，在其長度方向上以規(guī)定的間隔貫穿設(shè)置用于噴出氣體 的噴射孔(30A)，前述噴射孔的噴氣范圍為，使得可以用氣體覆蓋由 前述基板固定單元支撐固定的基板的整個上表面。
本發(fā)明具有控制單元，其在利用前述搭載頭進(jìn)行部件向基板上 的搭載動作時，當(dāng)前述保持部件(50)位于前述噴氣范圍內(nèi)時，停止 由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣。
本發(fā)明中的前述控制單元，在前述保持部件從上方通過前述氣 體噴射流之前，停止由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣，在部件搭載后，在 前述保持部件從下方通過前述氣體噴射流之后，開始由前述噴氣單元 進(jìn)行的噴氣。
本發(fā)明中的前述控制單元，前述控制單元在前述保持部件下降 到前述噴氣范圍內(nèi)之前，停止由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣。
本發(fā)明中的前述控制單元在前述保持部件的水平方向移動停止 時，停止由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣。
發(fā)明的效果
根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)樵诶脟姎鈫卧獙怏w向沿著基板上表面的 上方噴射，并從該基板外側(cè)利用噴氣單元以簾狀噴射氣體，同時，利 用相對設(shè)置的吸氣單元吸收所噴射的氣體，所以，將基板置于其中， 能夠可靠地形成沿著其上表面的簾狀的氣流(噴射流)，因?yàn)槔迷摎?流，即使是在裝置內(nèi)產(chǎn)生的塵埃，也可以防止其落到基板上，所以可 以可靠地防止塵埃附著到該基板等上。
另外，因?yàn)樵诒３植考奈阶斓鹊谋３植考挥跉夂焹?nèi)時， 使得氣體停止，所以由保持部件保持的部件不會因氣體而產(chǎn)生位置偏 移，另外，可以防止保持部件等位于噴氣范圍內(nèi)引起的氣體湍流，防 止由湍流引起的外部塵埃的流入或塵埃噴附到基板上。


圖1是表示本發(fā)明涉及的第1實(shí)施方式的要部的概略剖面圖。
圖2是放大表示該實(shí)施方式采用的桿狀噴嘴的斜視圖。
圖3是表示該實(shí)施方式采用的控制系統(tǒng)的概要的框圖。
圖4是表示該實(shí)施方式的作用的流程圖。
圖5是表示該實(shí)施方式的作用的時序圖。
圖6是表示該實(shí)施方式中的部件剛搭載之前的狀態(tài)的剖面圖。
圖7是表示該實(shí)施方式中的部件剛搭載之后的狀態(tài)的剖面圖。
圖8是表示本發(fā)明涉及的第2實(shí)施方式的要部的概略剖面圖。
圖9是表示本發(fā)明涉及的第3實(shí)施方式的要部的概略剖面圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對于本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)進(jìn)行說明。
圖i是表示具有本發(fā)明涉及的第1實(shí)施方式的表面安裝裝置的
基板定位固定部的概略剖面圖。
該圖1所示的基板定位固定部，是為了搭載部件而對基板進(jìn)行 固定的部件搭載部，構(gòu)成對安裝部件的基板S進(jìn)行傳送的裝置的一 部分。
該基板傳送裝置具有基準(zhǔn)側(cè)的支柱IOA，其被固定；以及從 動側(cè)的支柱IOB，其可以與進(jìn)行傳送的基板S的尺寸相配合而沿箭頭 A方向移動地相對配置。
在這些支柱IOA、 10B上，經(jīng)由被直動軸承16A、 16B引導(dǎo)的導(dǎo) 軌18A、 18B，可上下移動地支撐基準(zhǔn)側(cè)和從動側(cè)的傳送導(dǎo)軌14A、 14B，該基準(zhǔn)側(cè)和從動側(cè)的傳送導(dǎo)軌14A、 14B，分別在傳送方向巻 繞環(huán)狀的傳送帶12A、 12B。
另外，在上述支柱IOA、 10B的上端部固定夾緊部件20A、 20B， 利用這些夾緊部件20A、 20B和傳送導(dǎo)軌14A、 14B，形成前述基板 定位固定部，通過使這些傳送導(dǎo)軌14A、 14B上升，固定基板S。
也就是說，在該實(shí)施方式中，利用分別巻繞在進(jìn)行上下移動的 傳送導(dǎo)軌14A、14B上的傳送帶12A、12B，和固定在對應(yīng)的支柱IOA、 10B上的夾緊部件20A、 20B，形成相對設(shè)置的l對夾緊機(jī)構(gòu)(基板固 定單元)22A、 22B，其分別支撐并固定基板S的相對的端部。
另外，在該表面安裝裝置上設(shè)置帶有吸附嘴(保持部件)50的搭 載頭H，其設(shè)置為可以利用未圖示的脈沖電動機(jī)(X軸-Y軸電動機(jī)) 的驅(qū)動，在由上述夾緊機(jī)構(gòu)22A、 22B支撐并固定的基板S上方，沿 著XY軸方向(水平方向)移動，另外，該搭載頭H可以利用脈沖電動 機(jī)(Z軸電動機(jī))ZD沿著Z軸方向(上下方向)上下移動，利用這些驅(qū)動， 將前述保持部件50吸附保持的部件搭載到基板S上。另外，前述Z 軸電動機(jī)ZD僅在圖6中示出，在圖7及圖9中省略。
在該實(shí)施方式中，將桿狀噴嘴(氣體噴射單元)30經(jīng)由托架32A 固定在支柱10A上，該桿狀噴嘴30接近基準(zhǔn)側(cè)的夾緊機(jī)構(gòu)22A設(shè)置， 且相對于被支撐固定的基板S的上表面位于上方，從該基板S的外 側(cè)沿著基板S的上表面以簾狀噴射氣體。
另外，將集塵管(吸氣單元)34經(jīng)由托架32B固定在支柱IOB上， 該集塵管4接近從動側(cè)的夾緊機(jī)構(gòu)22B設(shè)置，隔著前述基板S與前 述桿狀噴嘴30的噴氣方向相對配置，在前述基板S的外側(cè)吸收氣體。
因此，從桿狀噴嘴30開始，從被基準(zhǔn)側(cè)的夾緊機(jī)構(gòu)22A夾持固 定的基板S —端部的外側(cè)噴射氣體，利用集塵管34，在被從動側(cè)的
夾緊機(jī)構(gòu)22B夾持固定的相對端部的外側(cè)吸收氣體，由此，氣體不 會直接噴附到基板S上，可以形成圖中箭頭所示的向左的簾狀的氣 流(噴射流)AC。
上述桿式噴嘴30如圖2放大所示，由兩端開口的直線狀中空圓 筒部件構(gòu)成，其構(gòu)造為，在其長度方向的直線上，隔著規(guī)定間隔穿透 設(shè)置用于噴出氣體的噴射孔30A。
該桿狀噴嘴30以如下長度形成，在該長度下，上述噴射孔30A 的氣體噴出范圍為夾緊機(jī)構(gòu)22A、 22B的傳送方向長度，即可以產(chǎn)生 下述寬度的簾狀氣流(以下記為氣簾)，該寬度可以對于被支撐固定的 最大尺寸的基板，實(shí)際上完全覆蓋整個上表面。
如前所述，桿狀噴嘴30的噴射孔(橫孔)30A，因?yàn)樵谏a(chǎn)基板S
的上側(cè)位置，從該基板外側(cè)向其上方橫向噴射凈化氣體，所以從上方 落下的塵埃等，會被該凈化空氣的氣流(氣簾)攜帶，在集塵管34附 近被由集塵機(jī)產(chǎn)生的吸收氣流捕捉，進(jìn)入集塵機(jī)內(nèi)部。
因此，如果考慮由重力引起的塵埃下落、噴出氣體的寬度等， 凈化氣體的噴出方向優(yōu)選沿水平方向或從水平方向向上一定量。
另外，在噴出的氣體的終點(diǎn)設(shè)置集塵管34，利用與該終點(diǎn)相連 的將風(fēng)扇和過濾器組合而成的集塵裝置46，由其過濾器進(jìn)行過濾。
下面，對于該實(shí)施方式的表面安裝裝置所具有的噴氣控制功能 進(jìn)行說明。
利用圖3所示的控制系統(tǒng)，向前述桿狀噴嘴30提供凈化空氣。 即，從由初壓表示的壓縮機(jī)36通過空氣過濾器38提供的凈化空氣， 經(jīng)由由控制裝置40控制的電磁閥42、和限速閥或減壓閥等節(jié)流閥44， 提供給前述桿狀噴嘴30后，從在該桿狀噴嘴30上以直線狀排列而形 成的噴射孔30A噴射，同時，經(jīng)由前述集塵管34的集塵口(吸氣口) 被吸收，由集塵機(jī)46處理。對于由該控制裝置40執(zhí)行的具體的控制 動作如后詳述。
上述壓縮機(jī)36為產(chǎn)生恒定的氣體壓力(初壓)的氣體供給源，從 這里提供的氣體通過過濾器38，根據(jù)需要通過未圖示的除霧器等， 由此可以過濾為干燥、凈化的狀態(tài)。此外，作為生成該凈化空氣之前 的工序，只有在工廠或凈化間中具有的功能，則可以使用該功能。另 外，過濾種類可以根據(jù)所要求的凈化程度，采用不同種類或粗細(xì)等的 裝置。
通過過濾器38而成為凈化狀態(tài)的氣體，經(jīng)過電磁閥42，由節(jié)流 閥44降低流量或壓力，成為調(diào)整為需要的流量、壓力的凈化氣體， 從桿狀噴嘴30直線地向基板的上方橫向噴射，即噴射到沿著前述的 基板上表面的上方。
從桿狀噴嘴30噴出的凈化氣體，橫向通過基板的上方，由此成 為所謂的氣簾，可以攜帶因搭載頭的移動動作等產(chǎn)生并從上方向生產(chǎn) 基板落下的塵埃，向橫向吹起。
可以調(diào)節(jié)節(jié)流閥44，以使得上述流量或壓力可以根據(jù)所設(shè)置的 表面安裝裝置的大小，例如桿狀噴嘴30與集塵管34間的距離，或外 部環(huán)境等進(jìn)行調(diào)節(jié)。
在該實(shí)施方式中，在利用前述控制裝置40，由搭載頭H進(jìn)行向 基板S上的部件搭載動作時，當(dāng)搭載頭H位于氣簾(噴氣范圍)內(nèi)時， 停止噴氣。即，進(jìn)行下述的控制在保持有部件P的保持部件50從 上方通過前述氣體的噴射流AC之前，停止由前述桿狀噴嘴30進(jìn)行 的氣體噴射，在部件搭載后，在該保持部件50從下方通過前述氣體 噴射流AC之后，開始由前述桿狀噴嘴30進(jìn)行的氣體噴射。
另外，對于部件供給裝置(部件吸附位置)，為了也使得沒有來自 其驅(qū)動部等的粉塵飛揚(yáng)，雖未圖示，但可以設(shè)置與圖l等所示同樣的 桿狀噴嘴及集塵管，同樣地進(jìn)行控制。
下面，參照圖4的流程圖及圖5的時序圖，說明該實(shí)施方式涉 及的控制動作。圖中，X軸、Y軸表示與使搭載頭H在各軸方向上 移動對應(yīng)的伺服電動機(jī)或脈沖電動機(jī)等驅(qū)動電動機(jī)(X軸電動機(jī)-Y軸 電動機(jī))，Z軸表示使得搭載頭上的保持部件50上下移動的Z軸電動 機(jī)Z D ，另外，e軸表示使保持部件5 0自身軸向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動電動機(jī)(未 圖示)。
另外，后述的X軸Y軸電動機(jī)停止的檢測，根據(jù)向兩個電動機(jī) 的驅(qū)動信號的有無由軟件進(jìn)行。
首先，利用Z軸電動機(jī)ZD使保持部件50上升到待機(jī)位置(步驟 1、 2)。然后，為了形成氣簾，同時使由集塵管34進(jìn)行的吸收和由桿 狀噴嘴30進(jìn)行的噴氣成為開啟狀態(tài)(步驟3、 4)，然后，獲取存儲在 程序中的部件吸附位置的坐標(biāo)(步驟5)，確認(rèn)當(dāng)前位置的坐標(biāo)后(步驟 6)，在定時tl驅(qū)動X軸、Y軸的各個電動機(jī)，使搭載頭H向吸附位 置移動(步驟7)。在該搭載頭H的XY移動過程中，因?yàn)槿菀讖拇钶d 頭周邊產(chǎn)生粉塵，所以如上所述，將氣體噴出和氣體吸收開啟，在基 板S上方形成氣簾。由此，可以防止粉塵附著到基板上。
由X軸.Y軸電動機(jī)進(jìn)行的向水平方向的移動完成(步驟8)之后， 在t2停止氣體的噴出及氣體的吸收(步驟9、 10)。到此時的由X軸-Y 軸電動機(jī)進(jìn)行的移動完成、氣體吸收和噴出停止之后，使Z軸電動 機(jī)ZD動作，獲取吸附高度數(shù)據(jù)(步驟11)，利用Z軸電動機(jī)ZD使保 持部件50下降(步驟12)。但是，在前述保持部件50對部件P的保持 力(吸附力)很大，不擔(dān)心因氣簾引起部件P的位置偏移的情況下，也 可以不使氣體停止。
在由Z軸電動機(jī)ZD進(jìn)行的保持部件50的下降完成的時刻t3， 開啟保持部件的真空，吸附部件P(步驟13 15)。然后，使Z軸上升， 在其上升完成(步驟16、 17)之后，如果再次將氣體的吸收和噴出開啟 (步驟18、 19)，則XY軸可以移動。
此時，同時使由激光器構(gòu)成的部件識別裝置成為開啟狀態(tài)(步驟 S20)，使保持部件旋轉(zhuǎn)e(步驟21)，檢測保持部件的部件吸附位置與 電子部件P的中心位置的偏移，并進(jìn)行角度校正計(jì)算(步驟22)。然后， 獲取搭載坐標(biāo)數(shù)據(jù)(步驟23)，在t4開始搭載頭的XY移動(步驟24)， 在其移動過程中的t5、 t6，為了角度校正而使6軸再次旋轉(zhuǎn)，校正搭 載角度，同時對搭載頭到達(dá)的XY坐標(biāo)值進(jìn)行校正(步驟25)。
在搭載頭到達(dá)校正坐標(biāo)的時刻t7，使XY軸停止(步驟26)，之 后，在t8使氣體吸收和噴出也停止(步驟27、 28)。與此同時，獲取 搭載高度數(shù)據(jù)(步驟29)，開始Z軸的下降，如果下降到所獲取的高 度(步驟30、 31)，則在時刻t9將保持部件50的真空關(guān)閉，完成搭 載(步驟32)。然后，返回步驟l，在上述t9的Z軸上升之后，在t10
使氣體的吸收和噴出成為開啟狀態(tài)，然后，進(jìn)行XY軸的移動，向下 一個部件吸附位置移動(步驟2 7)。
通常，為了搭載到基板S上而由安裝在搭載頭H上的保持部件 50吸附的元件(電子部件P)，以部件P的中心位置相對于保持部件 50的中心位置偏移的狀態(tài)被吸附。因此，部件P在吸附的狀態(tài)下利 用激光或由照相機(jī)進(jìn)行的攝像檢測偏移量，以搭載到對該偏移量進(jìn)行 校正后的位置上。
因此，在搭載時，在被保持部件50吸附的元件通過從桿狀噴嘴 30向基板上方噴出的凈化氣流時，有因該氣流(氣簾)而產(chǎn)生微小偏移 的危險性。
因此，利用前述的控制動作，如圖6所示，在搭載頭H移動到 搭載坐標(biāo)，使保持部件50下降而將元件P向基板S上搭載的定時， 將通常為開的電磁閥42關(guān)閉，如圖7所示，可以使向基板上方的凈 化氣體的噴出暫時停止。由此，如圖所示，可以防止在將部件P搭 載到基板S上的情況下，由氣體引起的部件P的位置偏移的產(chǎn)生。
此外，通過在Z軸電動機(jī)ZD上設(shè)置編碼器或在搭載頭H的規(guī) 定上下位置上設(shè)置位置檢測單元，可以檢測搭載頭H在氣簾位置的 正上或正下的上下位置，根據(jù)該檢測，可以控制前述氣體噴射的停止。
根據(jù)以上詳述的該實(shí)施方式，可以得到以下效果。
(1) 通過使凈化氣體通過基板上方，可以保護(hù)在生產(chǎn)裝置內(nèi)部產(chǎn) 生的塵埃不會落到生產(chǎn)基板上。
(2) 通過在生產(chǎn)基板附近設(shè)置集塵管，可以收集產(chǎn)生的塵埃，不 會將其排放到生產(chǎn)裝置之外。
(3) 通過在電子部件搭載的定時將凈化氣體關(guān)閉，可以抑制搭載 精度的降低。
下面，在圖8中說明本發(fā)明涉及的第2實(shí)施方式的表面安裝裝置。
該實(shí)施方式的表面安裝裝置，除了在桿狀噴嘴30的內(nèi)側(cè)(附近) 安裝塵埃粒子計(jì)52外，其機(jī)械結(jié)構(gòu)與前述第1實(shí)施方式的情況相同。 在該實(shí)施方式中，利用前述控制裝置40進(jìn)行下述控制在通常時將前述圖3所示的電磁閥42關(guān)閉，不進(jìn)行氣體的噴射，在由塵埃 粒子計(jì)52檢測到塵埃超過一定密度的情況下，幵啟電磁閥42，以進(jìn) 行氣體噴出。
由此，通過根據(jù)粉塵的檢測進(jìn)行開啟或關(guān)閉，可以只在產(chǎn)生粉 塵時由桿狀噴嘴30進(jìn)行氣體噴射，可以減少前述副作用，即，氣流 使搭載的元件P或吸附在保持部件端部的元件活動等。
下面，在圖9中說明本發(fā)明涉及的第3實(shí)施方式的表面安裝裝置。
該實(shí)施方式的部件安裝裝置，在從桿狀噴嘴30噴出凈化氣體的 噴出孔30A的前段位置(內(nèi)部)設(shè)置電離器54，以從該桿狀噴嘴30中 噴出離子化后的氣體。
由此，其具有下述功能當(dāng)將元件P搭載到基板S上時，下降 的元件P和保持部件50在被離子化的氣流中通過，并可以根據(jù)情況 使元件P暫時在離子氣流中停止，以去除元件P的帶電。此時，在 由于部件尺寸較小等的原因，部件P的吸附位置可能會因氣流而偏 移的情況下，可以通過降低氣體噴出壓力等進(jìn)行應(yīng)對。
部件供給裝置(帶式供給器的帶子或托盤)通常由絕緣體形成，因 由帶式供給器的進(jìn)給引起的摩擦等產(chǎn)生的靜電會使元件P帶電，在 這種狀態(tài)下，其釋放到周圍的量很少。另外，通常，因?yàn)槲酱钶d用 的保持部件50相對于安裝裝置電氣絕緣，機(jī)械上也是分離的狀態(tài)， 所以，即使保持部件50吸附元件，也不會消除元件的帶電。
因此，在以這種帶電狀態(tài)將元件搭載到生產(chǎn)基板上的情況下， 因?yàn)榛錝為導(dǎo)電性，所以，元件上的電荷將迅速放電到生產(chǎn)基板 上，由于此時的放電，有時會損壞元件本身。
根據(jù)該實(shí)施方式，因?yàn)橥ㄟ^噴出離子化的氣體可以中和帶電， 所以可以防止元件受損。即，通過使凈化氣體離子化，在處理粉塵的 基礎(chǔ)上，還兼具有防止元件帶電的功能。
以上，對于本發(fā)明具體地進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于前述實(shí) 施方式所示。
例如，分別接近前述實(shí)施方式所示的基準(zhǔn)側(cè)和從動側(cè)的各個夾
緊機(jī)構(gòu)22A、 22B設(shè)置的、桿狀噴嘴30和集塵管34的位置關(guān)系可以 相反，或者，也可以不直接固定在傳送導(dǎo)軌的支柱IOA、 IOB上，而 是設(shè)置為經(jīng)由其它部件固定而使凈化氣體流過生產(chǎn)基板上方。
另外，桿狀噴嘴如圖2所示，其構(gòu)造為，在中空的管狀部件上， 以一定間距開有橫孔30A，通過從管的兩端(或一端)噴入凈化氣體， 從這些橫孔30A大致均勻地噴出淋浴狀(簾狀)氣體，但不限于此，只 要可以得到同樣功能、性能的噴嘴類型，包括孔的形狀在內(nèi)，當(dāng)然可 以采用多種構(gòu)造的噴嘴。
而且，例如只要在用于部件吸附的保持部件下降時，不停止氣 體噴出或吸入，通過進(jìn)行氣體離子化就可以進(jìn)行噴嘴的帶電消除，避 免靜電損壞吸附的元件。如果保持部件在到達(dá)吸附部件的最低點(diǎn)的時 刻將氣體關(guān)閉，則可以在上升時避免氣體對元件的影響。
權(quán)利要求
1.一種表面安裝裝置，其具有一對基板固定單元，其相對配置，分別支撐固定基板的相對端部；以及搭載頭，其可以上下移動，以將部件搭載到由該基板固定單元支撐固定的基板上，其特征在于，具有噴氣單元，其接近一個基板固定單元配置，從前述基板上表面的上方在外側(cè)以簾狀噴射氣體；以及吸氣單元，其接近另一個基板固定單元配置，隔著前述基板與前述噴氣單元相對，面向前述噴氣方向，以吸收從前述噴氣單元噴出的氣體。
2. 如權(quán)利要求1所述的表面安裝裝置，其特征在于， 沿前述基板的上表面噴射前述氣體。
3. 如權(quán)利要求1所述的表面安裝裝置，其特征在于， 前述噴氣單元由兩端開口的中空圓筒部件構(gòu)成，在其長度方向上以規(guī)定的間隔貫穿設(shè)置用于噴出氣體的噴射孔，前述噴射孔的噴氣 范圍為，使得可以用氣體覆蓋由前述基板固定單元支撐固定的基板的 整個上表面。
4. 如權(quán)利要求1所述的表面安裝裝置，其特征在于， 前述搭載頭具有可裝卸地保持前述部件的保持部件， 該表面安裝裝置具有控制單元，其在利用前述搭載頭進(jìn)行部件向基板上的搭載動作時，當(dāng)前述保持部件位于前述噴氣范圍內(nèi)時，停 止由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣。
5. 如權(quán)利要求4所述的表面安裝裝置，其特征在于，前述控制單元，在前述保持部件從上方通過前述氣體噴射流之 前，停止由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣，在部件搭載后，在前述保持部 件從下方通過前述氣體噴射流之后，開始由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣。
6. 如權(quán)利要求4所述的表面安裝裝置，其特征在于， 前述控制單元在前述保持部件下降到前述噴氣范圍內(nèi)之前，停止由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣。
7. 如權(quán)利要求4所述的表面安裝裝置，其特征在于， 前述控制單元在前述保持部件的水平方向移動停止時，停止由前述噴氣單元進(jìn)行的噴氣。
8. 如權(quán)利要求4所述的表面安裝裝置，其特征在于， 前述控制單元在由前述噴氣單元進(jìn)行的噴射停止的同時，也停止由前述吸氣單元進(jìn)行的吸氣。
9. 如權(quán)利要求1所述的表面安裝裝置，其特征在于， 前述噴氣單元或吸氣單元固定配置在基板固定單元上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種表面安裝裝置，其即使在裝置內(nèi)產(chǎn)生塵埃，也可靠防止其附著在部件搭載時定位并固定的基板上。表面安裝裝置具有一對基板固定單元(22A、22B)，其相對配置，分別支撐固定基板S的相對端部；以及搭載頭，其將由所安裝的吸附嘴保持的部件，搭載到由該基板固定單元支撐固定的基板上，該表面安裝裝置具有噴氣單元(30)，其接近一個基板固定單元(22A)配置，沿著被支撐固定的基板S的上表面的上方，從該基板的外側(cè)以簾狀噴射氣體；以及吸氣單元(34)，其接近另一個基板固定單元(22B)配置，與前述噴氣方向相反地，在前述基板S的外側(cè)吸收氣體。
文檔編號H05K13/04GK101198248SQ20071019902
公開日2008年6月11日 申請日期2007年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月8日
發(fā)明者西川尚 申請人:Juki株式會社