專利名稱：改進(jìn)的球植入裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及球植入設(shè)備5，在

圖1B、圖2和圖3中示出了它的一個(gè)實(shí)施例。在球 植入設(shè)備5的上游端是料斗裝載器25。通常，裝載器25包括上段、下段、料斗夾和推送 器，為了清楚起見(jiàn)并未示出整個(gè)過(guò)程。上段是在植入焊球之前插入裝有基板的料斗或板箱 (cassette)的位置。由滾筒和感應(yīng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的橡膠帶將滿載的料斗向料斗夾移動(dòng)。料斗夾 取出料斗并指向送往輸入傳送帶40的第一基板。 當(dāng)料斗夾指向送往傳送帶的每塊基板時(shí)，各塊基板被逐一推入輸送傳送帶40。 一 旦所有基板均已被送出，料斗夾就將空料斗放到下段，操作人員可以在此將空料斗取走。
輸入傳送帶40包括一對(duì)導(dǎo)軌41A、41B，由感應(yīng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)帶，入口滾筒，清潔 刷和真空模塊，朝向檢測(cè)傳感器和基板推送器，所有這些部件組合起來(lái)用于移動(dòng)基板通過(guò) 焊劑和球植入?yún)^(qū)域。 導(dǎo)軌41A、41B的寬度可以通過(guò)具有反饋的步進(jìn)電機(jī)調(diào)節(jié)，以符合在初始設(shè)置期間 嵌進(jìn)產(chǎn)品設(shè)計(jì)中(product recipe)的基板寬度。入口滾筒將每塊基板從料斗送入導(dǎo)軌 41A、41B，使導(dǎo)軌上的驅(qū)動(dòng)帶攜帶基板向前直到其到達(dá)停止件為止。傳感器檢測(cè)到在停止件 處有基板存在，由此朝向傳感器即可在該位置檢測(cè)基板的正確朝向。 停止件由氣缸用上/下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)以選擇性地允許或阻止基板移動(dòng)。沿輸入傳送帶 40還設(shè)有清潔刷和真空模塊，以清潔基板。 當(dāng)基板已經(jīng)準(zhǔn)備好被送往下游時(shí)，輸入傳送帶40移向焊劑/球植入?yún)^(qū)域30，以關(guān) 閉其自身和位于區(qū)域30內(nèi)的R-Y雙傳送帶65之間的間隙。 一旦進(jìn)行裝載，初始間隙對(duì)于 避免干擾R-Y雙傳送帶65的旋轉(zhuǎn)是有必要的。 該過(guò)程繼續(xù)進(jìn)行，伴隨著收回停止件，且由基板推送器將基板推入更靠近焊劑機(jī) 械手45的那條R-Y雙傳送帶65內(nèi)，直到基板沿著該條R-Y雙傳送帶65到達(dá)停止件為止。 基板推送器的水平X動(dòng)作由具有反饋的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)而上/下動(dòng)作由氣缸驅(qū)動(dòng)。
基準(zhǔn)圖像(fiducial vision)系統(tǒng)包括安裝在兩塊單獨(dú)的X_Y滑板上的兩組照相 機(jī)、光學(xué)器件和閃光燈。由于在基板的定位孔和定位銷(xiāo)之間仍有一定的空轉(zhuǎn)(free play)， 因此它在裝載基板時(shí)記錄沿雙傳送帶65的實(shí)際基板位置。該機(jī)械系統(tǒng)根據(jù)當(dāng)前的基板位 置自動(dòng)提供對(duì)初始貼裝位置的偏移。這就在基板上提供了更加穩(wěn)定的焊劑和焊球貼裝。
在本實(shí)施例中，R-Y機(jī)械手和雙傳送帶65包括兩塊直線滑板80、85，可旋轉(zhuǎn)的雙傳送帶70、75，旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)67，基板推送器，基板升降臺(tái)和頂板。雙傳送帶70、75被分別安 裝在由兩臺(tái)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的兩塊直線滑板80、85上，兩條傳送帶70、75能夠彼此獨(dú)立地沿 Y方向移動(dòng)，并且雙傳送帶70、 75能夠通過(guò)利用由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)一起旋轉(zhuǎn)。
由根據(jù)本實(shí)施例的裝置實(shí)施的過(guò)程已在圖6的流程圖和圖7A至圖7J的順序平面 圖中示出。在每條傳送帶上都裝有一組傳送帶推送器。當(dāng)裝載了一塊新基板235時(shí)，傳送 帶推送器用作停止件，并將停止位置設(shè)置為使基板定位孔與頂板定位銷(xiāo)相一致。傳送帶推 送器由具有反饋的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)。 在基板被通過(guò)基板升降臺(tái)提升以定位在頂板上后，傳送帶推送器返回其推送位 置。頂板具有兩個(gè)將精確定位基板的定位銷(xiāo)?？蛇x地，基板可以由升降臺(tái)利用真空固定而 無(wú)需使用頂板?；鶞?zhǔn)圖像系統(tǒng)記錄當(dāng)前的基板位置。然后，傳送帶236就將移動(dòng)至焊劑機(jī) 械手245的位置，用于在基板上涂敷焊劑。 使用焊劑是為了去除焊盤(pán)上的氧化物，以實(shí)現(xiàn)更好的連接和焊合，并用于在將基 板送至回流爐以熔化焊球完成焊合之前將焊球固定就位。 在涂敷了焊劑并且傳送帶返回中央位置之后，雙傳送帶將旋轉(zhuǎn)180。以使具有焊 劑的傳送帶更加接近植球機(jī)械手250。植球機(jī)械手隨后即將焊球貼裝到由焊劑固定就位的 焊盤(pán)上。 在植球時(shí)，雙傳送帶中的另外一條傳送帶被裝載新的基板242并通過(guò)焊劑機(jī)械手 245涂敷焊劑。傳送帶隨后返回中央位置，并且雙傳送帶再次旋轉(zhuǎn)180。以使載有具有焊球 的基板焊球的傳送帶與輸入傳送帶和植入后檢查傳送帶相對(duì)齊。 植入后檢查傳送帶隨后將移向左側(cè)，以關(guān)閉其自身和雙傳送帶之間的間隙。傳送 帶推送器將基板推出到植入后檢查傳送帶內(nèi)，并在停止件位置處停止，以阻止由傳送帶處 的基板推送器推入的新的基板被輸入。隨后對(duì)后續(xù)裝載至傳送帶的基板重復(fù)整個(gè)過(guò)程自 身。 圖5示出了焊劑涂敷方法的流程。焊劑池包括安裝在直線滑板上的一對(duì)掃掠式焊 劑敷抹器。焊劑敷抹器將形成焊劑層，其通過(guò)設(shè)定焊劑敷抹器的高度而具有預(yù)定的厚度。掃 掠動(dòng)作150通過(guò)使用速控電機(jī)而被驅(qū)動(dòng)，并且上/下動(dòng)作由一對(duì)氣缸驅(qū)動(dòng)。在掃掠150期 間，其中一個(gè)焊劑敷抹器將處在距離焊劑池固定高度的較低位置處，以形成具有確定厚度 的焊劑層。該焊劑厚度控制由焊劑工具拾取的焊劑量155和涂敷到基板160上的后續(xù)的焊 劑量。 焊劑機(jī)械手包括X和Z滑板以及安裝在X和Z滑板上的焊劑加工頭，其中X和Z 滑板由兩臺(tái)沿X方向和Z方向移動(dòng)的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。焊劑加工頭能夠水平旋轉(zhuǎn)以補(bǔ)償基板 的角度誤差，并且也可以由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。為了穩(wěn)定操作，焊劑機(jī)械手被安裝在機(jī)架上，與 攜帶焊劑工具的焊劑加工頭一起從焊劑池中拾取焊劑，并將焊劑涂敷在固定于R-Y雙傳送 帶內(nèi)的基板的焊盤(pán)上。 焊劑工具的陣列圖案對(duì)應(yīng)于基板上的焊盤(pán)的陣列圖案。焊劑工具能夠被輕易地拆 除轉(zhuǎn)而用于其他的基板產(chǎn)品以及用于進(jìn)行清洗和保養(yǎng)。其包括可伸縮的銷(xiāo)，以用于補(bǔ)償基 板的任意變形，并確保所有的銷(xiāo)都接觸到焊盤(pán)，以將焊劑傳輸至焊盤(pán)?？缮炜s機(jī)構(gòu)通過(guò)采用 彈簧或者海綿型材料而工作。 如圖4的流程圖中所示，球池包括安裝在由速控電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑板上的焊球容器和球補(bǔ)充模塊。球池模塊被安裝在能夠由具有反饋的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)沿Y方向移動(dòng)的滑板 上。這就允許微調(diào)以使球模板和吸球工具在Y方向內(nèi)匹配。焊球容器具有開(kāi)口的底座，焊 球?qū)⒃诖伺c球模板110接觸。球模板具有與基板內(nèi)的焊盤(pán)相同陣列模式的真空孔(vacuum 即erture)。 球模板的真空孔將保留會(huì)通過(guò)吸球工具115拾取的焊球。球模板可以被輕易地拆 除轉(zhuǎn)而用于不同的基板產(chǎn)品。球補(bǔ)充模塊具有用于焊球的儲(chǔ)存室，并且它向球容器提供焊 球，用于延長(zhǎng)操作而無(wú)需操作人員的輔助。 球機(jī)械手50包括X和Z滑板以及球加工頭，球加工頭安裝在X和Z滑板上，X和Z 滑板由兩臺(tái)沿X方向和Z方向移動(dòng)的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。球加工頭能夠水平旋轉(zhuǎn)以補(bǔ)償基板和 球模板的角度誤差，并由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。為了穩(wěn)定操作，并支撐帶有吸球工具的球加工頭， 球機(jī)械手50安裝在機(jī)架上，具有被圖案化為與基板內(nèi)的焊盤(pán)相同的陣列的真空孔。
吸球工具可以被拆除轉(zhuǎn)而用于其他的基板產(chǎn)品。其通過(guò)真空從球池115中拾取焊 球，移動(dòng)至球遺漏檢查部分120，并最終將焊球125放置在固定于R-Y雙傳送帶內(nèi)的基板焊 盤(pán)上。 在將焊球貼裝在基板125上之后，球加工頭就將吸球工具帶至吸球檢查部分135。 球遺漏檢查部分120和吸球檢查部分135都處在拾取和貼裝焊球的路徑內(nèi)，這可以降低檢 查的循環(huán)周期。 球遺漏檢查部分包括紅外發(fā)射器和紅外接收器。紅外發(fā)射器被安裝在球加工頭 內(nèi)，而紅外接收器被安裝在球加工頭從球池到R-Y傳送帶的路徑內(nèi)。可選地，紅外接收器可 以被安裝在球加工頭內(nèi)，而紅外發(fā)射器被安裝在球加工頭從球池到R-Y傳送帶的路徑內(nèi)。
在球加工頭已經(jīng)從球池上的球模板中拾取了焊球之后，它將經(jīng)過(guò)紅外發(fā)射器或接 收器。如果沒(méi)有遺漏的球，那么紅外線將無(wú)法通過(guò)真空孔，且紅外接收器將記錄額定電壓， 機(jī)械系統(tǒng)將顯示球遺漏檢查已經(jīng)通過(guò)。如果有遺漏的球，那么紅外線將通過(guò)真空孔且紅外 接收器將記錄較高的電壓，機(jī)械系統(tǒng)將顯示檢測(cè)到遺漏的球，并且該系統(tǒng)將卸下焊球并在 重新拾取焊球之前檢查吸附的球。如果在重新拾取后，仍然有遺漏的球，那么機(jī)械系統(tǒng)將提 示操作人員進(jìn)行協(xié)助。 吸球檢查裝置包括水平地安裝在球加工頭從R-Y傳送帶到球池的路徑內(nèi)的一對(duì) 激光發(fā)射器和激光接收器。在吸球工具已經(jīng)將焊球貼裝到基板上之后，球加工頭將攜帶吸 球工具在預(yù)定的高度通過(guò)激光束。如果有焊球粘附在吸球工具上，那么激光束將被部分阻 斷，并且激光接收器的讀數(shù)將表現(xiàn)出激光束的強(qiáng)度較弱并輸出在吸球工具上檢測(cè)到吸球的 信號(hào)。 吸球工具將試圖把吸附的焊球丟棄在廢料箱140中并重新再檢查吸球工具，如果
仍然檢測(cè)到吸球，那么系統(tǒng)將停機(jī)并提示操作人員進(jìn)行協(xié)助。如果沒(méi)有焊球粘附在吸球工
具上，那么激光接收器的讀數(shù)將沒(méi)有變化并且機(jī)械系統(tǒng)會(huì)顯示吸球檢查已通過(guò)。 植入后檢查31 (AMI)包括固定安裝的具有低角度環(huán)形光100的照相機(jī)105。照相
機(jī)是線掃描式照相機(jī)，可以捕捉飛行中的目標(biāo)的圖像并通過(guò)線性編碼器將目標(biāo)位置反饋給
圖像系統(tǒng)。線掃描式照相機(jī)具有的優(yōu)點(diǎn)是，它能夠在某一時(shí)刻圖像捕捉到大幅圖像，與普通
的區(qū)域掃描式照相機(jī)需要對(duì)大型目標(biāo)拍攝幾次相比要快得多。照相機(jī)將在其通過(guò)線性編碼
器掃描基板位置時(shí)獲取基板的圖像，同時(shí)基板在具有打開(kāi)的低角度環(huán)形光的照相機(jī)下方移動(dòng)。圖像檢查將檢查遺漏的球、多余的球、球的直徑、球間距以及球到盤(pán)的距離。
植入后檢查傳送帶包括具有驅(qū)動(dòng)帶的一對(duì)導(dǎo)軌、基板升降臺(tái)和安裝在由速控電機(jī) 驅(qū)動(dòng)的直線滑板上的加工頂板。導(dǎo)軌的寬度可以通過(guò)具有反饋的步進(jìn)電機(jī)調(diào)節(jié)，并且它對(duì) 應(yīng)于在初始設(shè)置期間嵌進(jìn)產(chǎn)品設(shè)計(jì)的基板寬度。在將基板從R-Y傳送帶送入AMI 31傳送 帶之前，AMI傳送帶將移向左側(cè)以封閉自身和R-Y雙傳送帶之間的間隙。該間隙對(duì)于避免 干擾R-Y雙傳送帶的旋轉(zhuǎn)是有必要的。 在AMI傳送帶上，基板將通過(guò)基板升降臺(tái)被升起以放置在頂板上。頂板將在線掃 描式照相機(jī)下方移動(dòng)以獲取圖像。頂板被連接至線性編碼器，以在照相機(jī)獲取圖像的同時(shí) 反饋基板的位置。在獲取圖像之后，基板將被下降到傳送帶上并且驅(qū)動(dòng)帶將基板向下游移 動(dòng)至多路分配器35。 多路分配器35包括一對(duì)具有驅(qū)動(dòng)帶的導(dǎo)軌和安裝在由具有反饋的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) 的直線滑板上的基板推送器。導(dǎo)軌的寬度可以通過(guò)具有反饋的步進(jìn)電機(jī)調(diào)節(jié)，并且它對(duì)應(yīng) 于在初始設(shè)置期間嵌進(jìn)產(chǎn)品設(shè)計(jì)的基板寬度。在獲取圖像之后，通過(guò)的基板將被向下游輸 送至回流爐，而未通過(guò)的基板將被送至廢棄模塊32。 回流爐包括一條緩慢移動(dòng)的寬金屬鏈傳送帶，其攜帶基板通過(guò)爐內(nèi)不同的加熱和
冷卻區(qū)域。多路分配器通過(guò)標(biāo)引基板而將回流爐的寬傳送帶上的基板分配到傳送帶上不同
位置的通道。通常，根據(jù)傳送帶的寬度，使用3到5條通道來(lái)平均分配回流爐傳送帶上的基
板。廢棄的基板隨后即被送往廢棄模塊32供操作人員重新加工。 可以被加入到裝置和加工過(guò)程中的更多特征包括 參用于熔化焊球以完成到焊盤(pán)的粘合的回流爐； 參用于清洗和干燥基板以去除焊劑和任意污染物的清洗機(jī)； 參卸載機(jī)，其包括嵌套式傳送帶(Nestling Conveyor)、多路加固機(jī)、卸載傳送帶、 緩沖柜和料斗處理器。 嵌套式傳送帶包括在取決于基板寬度的3到5條通道內(nèi)的一組滾筒?；鍖那?洗機(jī)巻入滾筒的通道內(nèi)。基板將由每條通道內(nèi)的停止件停止，直到多路加固機(jī)被定位至該 通道并且停止件被降低以允許基板在上方傳輸通過(guò)為止。 多路加固機(jī)包括一對(duì)具有驅(qū)動(dòng)帶的導(dǎo)軌，其被安裝在由具有反饋的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) 的直線滑板上。導(dǎo)軌的寬度可以通過(guò)具有反饋的步進(jìn)電機(jī)調(diào)節(jié)，并且它對(duì)應(yīng)于在初始設(shè)置 期間嵌進(jìn)產(chǎn)品設(shè)計(jì)的基板寬度。多路加固機(jī)將通過(guò)定位至各條通道而從嵌套式傳送帶的不 同通道接收基板。 在收到基板后，它將定位至卸載傳送帶，并且停止件被降低以允許基板在上方傳 輸至卸載傳送帶。 緩沖柜包括用于在沒(méi)有空料斗或在料斗處理器處發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)收集基板的金屬盤(pán)。 緩沖柜的目的在于防止由于回流爐和清洗機(jī)的傳送帶會(huì)連續(xù)不斷地向嵌套式傳送帶輸送 基板而在嵌套式傳送帶處發(fā)生堵塞。 卸載傳送帶包括一對(duì)具有驅(qū)動(dòng)帶地導(dǎo)軌和基板卸載推送器。導(dǎo)軌的寬度可以通過(guò) 具有反饋的步進(jìn)電機(jī)調(diào)節(jié)，并且它對(duì)應(yīng)于在初始設(shè)置期間嵌進(jìn)產(chǎn)品設(shè)計(jì)的基板寬度。卸載 傳送帶從多路加固機(jī)接收基板，并隨后通過(guò)卸載推送器將其送至料斗。 料斗卸載器包括上段、下段和料斗夾。上段是插入空料斗或板箱的位置。由滾筒
12和電機(jī)驅(qū)動(dòng)的橡膠帶將空料斗移向料斗夾。料斗夾隨后取出料斗，并將第一基板槽導(dǎo)引至 卸載傳送帶。 卸載推送器將基板推入料斗內(nèi)的第一基板槽。料斗夾隨后導(dǎo)引下一個(gè)基板槽。重 復(fù)該過(guò)程直到料斗裝滿位置。 一旦料斗已滿，料斗夾就將滿載的料斗置于下段，滿載的料斗 在此即可由操作人員取走。 參照?qǐng)D8和圖9A至圖9G，示出了用于通過(guò)平移和旋轉(zhuǎn)的組合來(lái)選擇性地移動(dòng)目標(biāo) 的旋轉(zhuǎn)傳送帶260。該旋轉(zhuǎn)傳送帶260不僅可以應(yīng)用于上述的設(shè)備和方法，而且還可以應(yīng)用 于多種不同于本發(fā)明的焊球設(shè)備的應(yīng)用場(chǎng)合。在這樣的情況下，將該設(shè)備獨(dú)立于前述的設(shè) 備和方法進(jìn)行介紹。但是，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)該理解根據(jù)本發(fā)明這種應(yīng)用的旋轉(zhuǎn)傳送 帶260也可以滿足前述的傳送帶65的要求。 圖8示出了整套旋轉(zhuǎn)傳送裝置的一半，為了清楚起見(jiàn)省略了另一半。應(yīng)該理解以 下的描述可以應(yīng)用于另一半，他們共同作用以發(fā)揮整套裝置260的功效。
根據(jù)本實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)傳送裝置260包括繞固定點(diǎn)330旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)連桿270。旋轉(zhuǎn) 連桿270進(jìn)一步包括滑板280，滑板280上裝有傳送裝置托架310。當(dāng)裝置260被應(yīng)用于焊 球球植入設(shè)備和方法時(shí)，傳送裝置托架適用于接收和傳輸基板。否則，傳送裝置托架310可 以根據(jù)目標(biāo)用途而應(yīng)用于接合其他目標(biāo)。 傳送裝置托架310被置于滑板280的第一端290附近，它也靠近旋轉(zhuǎn)傳送帶與平 齊于Y軸的致動(dòng)器360的支架400的接合處。傳送裝置托架310的中心點(diǎn)320確定了浮 點(diǎn)，通過(guò)該浮點(diǎn)即可描述旋轉(zhuǎn)連桿270的動(dòng)作。具體地，如下面將要介紹的那樣，浮點(diǎn)320 的移動(dòng)在本實(shí)施例中確定了圓形路徑335。應(yīng)該理解，在落入本發(fā)明保護(hù)范圍的配置中，路 徑335可以根據(jù)所需應(yīng)用確定出不同形狀的范圍。 未示出的是被設(shè)置在另一組滑板上相對(duì)端300處的相同的傳送裝置托架，它同樣 也可以和類(lèi)似的致動(dòng)器接合(未示出)。 Y-致動(dòng)器360通過(guò)螺紋裝置偏置旋轉(zhuǎn)連桿270，從而通過(guò)Y-致動(dòng)器360旋轉(zhuǎn)在 底板380內(nèi)的滾珠螺桿370。裝有旋轉(zhuǎn)連桿270的支架通過(guò)對(duì)應(yīng)的螺紋連接接合滾珠螺桿 370。通過(guò)防止支架400旋轉(zhuǎn)，由Y-致動(dòng)器360的致動(dòng)旋轉(zhuǎn)滾珠螺桿370，它由此造成支架 的直線移動(dòng)。由此支架400和旋轉(zhuǎn)連桿270的旋轉(zhuǎn)組裝就至少部分地導(dǎo)致了連接件270的 旋轉(zhuǎn)。 裝置260進(jìn)一步包括安裝至底板380的X-致動(dòng)器340。底板380以及Y-致動(dòng)器 360可以沿導(dǎo)軌385A、385B自由移動(dòng)。底板380以與Y-致動(dòng)器360安裝至支架400類(lèi)似的 方式，也就是通過(guò)滾珠螺桿350安裝至X-致動(dòng)器340和導(dǎo)軌385A、385B。因此，通過(guò)X-致 動(dòng)器340的致動(dòng)造成底板380和Y-致動(dòng)器360沿導(dǎo)軌385A、385B的直線移動(dòng)。這樣一來(lái)， X-致動(dòng)器340就因此可以通過(guò)偏置底板380和Y-致動(dòng)器360而影響旋轉(zhuǎn)連桿270的移動(dòng)。
圖9A至圖9G示出了旋轉(zhuǎn)傳送裝置260的移動(dòng)順序。與圖8類(lèi)似，裝置260的另 一半為了清楚起見(jiàn)而被省略。 該過(guò)程在傳送裝置托架310處于第一位置時(shí)開(kāi)始，第一位置在該情況下為沿Y-軸 向下。支架400通過(guò)Y-致動(dòng)器360被置于沿Y-軸完全伸展開(kāi)的位置。底板380通過(guò)X-致 動(dòng)器340被置于其目標(biāo)路徑的左側(cè)位置，以使滑板280平行于Y軸?？s回滑板280，以將傳 送裝置托架310保持在前述的第一位置。
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圖9B示出了各個(gè)部件隨著同時(shí)偏置X和Y致動(dòng)器340、360的位置改變。Y_致動(dòng) 器360已經(jīng)隨著X-致動(dòng)器340部分收回底板380而部分收回支架。這導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)連桿260 旋轉(zhuǎn)，在此情況下，旋轉(zhuǎn)大約45。?；灞３衷谑栈匚恢脙?nèi)，因此傳送裝置托架310會(huì)沿圓 形路徑335行進(jìn)。 通過(guò)致動(dòng)器340、360進(jìn)一步偏置將旋轉(zhuǎn)連桿270轉(zhuǎn)過(guò)90° (圖9C)。通過(guò)翻轉(zhuǎn)
X-致動(dòng)器340的方向，底板380被伸展，并同時(shí)收回Y-致動(dòng)器360。這導(dǎo)致傳送器托架310
首先旋轉(zhuǎn)至135。(圖9D)并隨后旋轉(zhuǎn)至180。(圖9E)以使其被轉(zhuǎn)向沿Y-軸。在該位置，致動(dòng)器340、360被固定。隨后，滑板280被逐步伸展(圖9F，圖9G)以
將傳送器托架310移至先前步驟中遵循的圓形路徑335之外。在此，傳送器托架310可以
將目標(biāo)輸送至獨(dú)立于旋轉(zhuǎn)傳送裝置260的位置，或者可選地允許目標(biāo)在處于托架內(nèi)的同時(shí)
經(jīng)受加工處理或接收另一個(gè)目標(biāo)。 可以理解的是，在發(fā)生上述過(guò)程的同時(shí)，處于相對(duì)側(cè)的傳送裝置托架(未示出)也 會(huì)類(lèi)似地反向移動(dòng)目標(biāo)。因此，旋轉(zhuǎn)傳送裝置同時(shí)控制兩個(gè)目標(biāo)的加工，這樣具有降低瓶頸 的效果。 可以理解的是通過(guò)致動(dòng)器而伸展和收回的速率和程度控制著由傳送裝置托架所 遵循的路徑。因此，這些速率和動(dòng)作的改變可以確定出不同形狀的路徑，包括橢圓形路徑、 矩形路徑或者甚至是一種遵循正弦曲線的路徑。 可以進(jìn)一步理解的是致動(dòng)器可以是導(dǎo)螺桿或滾珠螺桿或由伺服電機(jī)或具有線性 編碼器的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的帶式機(jī)構(gòu)。 進(jìn)一步還可以理解的是在本實(shí)施例中，該機(jī)構(gòu)使用了兩個(gè)致動(dòng)器而不是通常的三 個(gè)致動(dòng)器來(lái)操作三個(gè)自由度(X， Y， e) 圖10A至圖10C示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的焊球制備模塊505。該模塊包括 通過(guò)支架516安裝在殼體518內(nèi)的焊球模板515。焊球模板適合從焊球容器510中接收大 量的焊球，并以預(yù)定的陣列配置固定在凹口 517內(nèi)。 焊球容器510包括空腔507，其中裝有焊球用于在其縱向沿X軸掃過(guò)512時(shí)沿模板 515分配至焊球模板515。特別地，焊球容器510包括圍繞空腔507的容器殼體525。
焊球容器510被設(shè)置為沿模板515和焊球容器510之間的流體界面而被支撐。流 體界面由流體界面設(shè)備建立，該設(shè)備主要包括用于接收壓縮空氣的入口 520。這通過(guò)靠在模 板的行走面(running surface) 519上的空氣柱(air column)(如圖11A中所示)相連通 以將焊球容器510與模板515分開(kāi)預(yù)定的氣隙。在優(yōu)選的實(shí)施例中，該氣隙可以是0. 3mm 的數(shù)量級(jí)，但是在任何情況下都應(yīng)根據(jù)要通過(guò)焊球容器510分配的焊球的尺寸而確定。因 此該間隙可以小至50微米，并且能夠被本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)焊球直徑所確定的最優(yōu) 間隙而建立。 焊球容器510被設(shè)置用于通過(guò)使用由速控電機(jī)550控制的傳送裝置546沿縱向方 向掃過(guò)512。因此在流體界面保持預(yù)定間隙的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)掃過(guò)512效果的運(yùn)動(dòng)由沿直線滑板 570的速控電機(jī)實(shí)現(xiàn)。 而且，通過(guò)操作步進(jìn)電機(jī)540，模板515能夠相對(duì)于焊球拾取頭(未示出)側(cè)移 (Y-軸)而與安裝在殼體518和模板515之間的引導(dǎo)螺桿565相連。因此，為了進(jìn)一步容許 微調(diào)，通過(guò)使用該裝置，步進(jìn)電機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)精確動(dòng)作。提供支架516固定模板515的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于使模板515能夠輕易地從設(shè)備505上拆除。因此，僅僅通過(guò)更換模板515以使安裝 在設(shè)備內(nèi)的不同模板匹配不同的基板類(lèi)型，設(shè)備505就能夠被用于各種不同的基板。
模板515的一個(gè)特征是在模板的相對(duì)兩端加入了末端區(qū)域534，以使容器510的 "行程(r皿)"不僅包括模板515而且還包括末端區(qū)域534。這樣提供了很多優(yōu)點(diǎn)，包括確保 了焊球的分配范圍得以保持，并且不會(huì)受到容器510接近其行程末端時(shí)的減速和加速的影 響。通過(guò)將陣列517設(shè)置在行程總長(zhǎng)度的中間部分，分配速率即可在整個(gè)長(zhǎng)度上保持恒定， 并且通過(guò)提供這些末端區(qū)域534即可使焊球的分配不受任何加速因素的影響。而且，模板 515可能會(huì)由于模板經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間使用后的變形而無(wú)法完美地匹配端板535的平面度。通過(guò) 最小化容器515在端板535上方的"行程"，也就降低了對(duì)焊球和容器殼體525的損害。
設(shè)備505進(jìn)一步包括端板535，容器可以位于其上方以允許取出模板515。因此容 器只有在機(jī)器行程的末端才會(huì)移動(dòng)至端板以允許進(jìn)行維護(hù)或如上所述更換模板。
參照?qǐng)D11A至圖11C，示出了焊球容器殼體525，為了清楚起見(jiàn)去除了多個(gè)部件。如 圖能夠看出，容器殼體525包圍空腔507以使得在沿模板515掃過(guò)運(yùn)動(dòng)512時(shí)，焊球能夠通 過(guò)容器直接落在模板上并因此準(zhǔn)確地在模板515的凹口 517內(nèi)構(gòu)成陣列。
根據(jù)本發(fā)明的流體界面裝置在此具體化為進(jìn)入容器殼體525內(nèi)的通道并通過(guò)向 下延伸到模板的行走面519上的空氣柱580離開(kāi)的進(jìn)氣口 。應(yīng)該理解可以通過(guò)調(diào)節(jié)經(jīng)過(guò)位 于凹口 581內(nèi)的空氣柱580的氣流來(lái)調(diào)節(jié)間隙以控制所述流動(dòng)。 測(cè)量氣隙所依據(jù)的基準(zhǔn)點(diǎn)來(lái)自從模板515的行走面519。由于在容器殼體525和 行走面519之間沒(méi)有物理接觸，因此行走面519的實(shí)際表面制備對(duì)于氣隙的維護(hù)來(lái)說(shuō)并不 重要。這與通過(guò)與整個(gè)模塊505的任意部分相接觸而使殼體525運(yùn)行通過(guò)模板的系統(tǒng)形成 對(duì)照。需要保持間隙的設(shè)備的機(jī)械加工必須要給予所需的間隙特別高的容差以實(shí)現(xiàn)所需的 質(zhì)量。因?yàn)樵谌萜鳉んw525和模板515之間的這種非接觸，所以機(jī)械加工方面的這種高度 的容差對(duì)于根據(jù)本發(fā)明的裝置來(lái)說(shuō)是不需要的。為此模塊的直線滑板和殼體518類(lèi)似地可 以被加工成普通容差，從而可以顯著的降低設(shè)備的生產(chǎn)成本。 在本發(fā)明另一實(shí)施例中，在氣壓或隨后的陣列完成有變化的情況下，在容器殼體 525的下表面590上設(shè)置凸起585。在去除氣壓時(shí)，容器殼體525將會(huì)落下與模板的行走面 519相接觸。下表面590上的凸起585將因此保持一定間隙，下表面590的一部分直接位于 焊球陣列517上面。而且對(duì)于該優(yōu)選實(shí)施例，還進(jìn)一步設(shè)有安全裝置以防止污染或損壞焊 球陣列517。進(jìn)一步應(yīng)該理解如果要操作焊球容器510，例如由操作人員接觸容器殼體525 并因此克服保持氣隙的氣體壓力，那么容器殼體525將不能被推入焊球陣列517內(nèi)，以防止 意外的損壞。 提供該流體界面進(jìn)一步的優(yōu)點(diǎn)包括降低維護(hù)成本和增加設(shè)備的商用壽命。由于沒(méi) 有接觸表面，即容器殼體525保持模板515的清潔，則在正常環(huán)境下要求高容差并因此會(huì)經(jīng) 受更加快速的磨損的表面不會(huì)經(jīng)受磨損。 圖11A中所示的空氣柱580由其中設(shè)有多個(gè)孔的槽581表示。槽581位于下側(cè)面 590的相對(duì)端以對(duì)應(yīng)于模板的行走面519。但是應(yīng)該理解，空氣柱也可以根據(jù)為了保持流體 界面所需的氣流而采用不同的配置。因此盡管圖IIA示出了兩個(gè)狹長(zhǎng)的槽并有對(duì)應(yīng)于這些 槽的孔，但是其他的各種配置也將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍并且可以被本領(lǐng)域普通技術(shù)人員 意識(shí)到。
圖12和圖13示出了用于安裝至焊球貼裝機(jī)(未示出)的轉(zhuǎn)接板，其有助于安裝 包括焊球和焊劑拾取頭的各種設(shè)備焊球。在缺少單一工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的情況下，安裝固定件會(huì)因 制造商不同而有所變化。根據(jù)本實(shí)施例的轉(zhuǎn)接板通過(guò)幫助安裝各種制造商的設(shè)備而解決了 缺少工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的問(wèn)題。具體地，圖12A和圖12B是為了用于焊球拾取，提供了各種有助于連 接以及確保封裝安全的特征。具體地，轉(zhuǎn)接板605包括具有中心孔615的鋁質(zhì)主體610。在 主體610內(nèi)設(shè)置的是定位孔630，來(lái)自各種設(shè)備的凸起均可插入定位孔。在每個(gè)定位孔630 內(nèi)是鋼襯套635，如果來(lái)自不同制造商的凸起變化明顯，那么可以輕易地更換襯套。在任何 情況下，鋼襯套635都可以被加工成多種規(guī)格，以使它們能夠容許用于單個(gè)襯套的不同尺 寸或形狀的凸起。襯套由鋼制成，以與鋁質(zhì)主體610相比，提供高度的耐磨損性。而且，由 于這些襯套可以替換并且相對(duì)便宜，在用于容許不同制造商的設(shè)備，或者用于替換過(guò)度磨 損的設(shè)備而更換鋼襯套的同時(shí)保持鋁質(zhì)主體610的完整，從而與它的相對(duì)昂貴的制造相協(xié) 調(diào)。而且，工具鎖(tool 1ock)650有必要的話也可以被替換以容許特定制造商的規(guī)格。因 此，可以選擇工具鎖650以滿足盡可能廣泛的制造商連接規(guī)格。而且，工具鎖650可以被替 換為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，以拓寬轉(zhuǎn)接板605的可應(yīng)用性，而不會(huì)帶來(lái)對(duì)每一種改變生產(chǎn)新主體610的 額外成本。 為了確保準(zhǔn)確安裝，主體610還包括要插入所需機(jī)器中的特定凹口內(nèi)的定位銷(xiāo) 640。彈性接合部分，例如具有彈簧加載凸起625的壓配合設(shè)備620能夠被用于壓裝入相關(guān) 設(shè)備并且被安全和準(zhǔn)確地固定就位而無(wú)需比較耗時(shí)的緊固件。在利用壓配合部分620將轉(zhuǎn) 接板605固定安裝在設(shè)備內(nèi)的同時(shí)，彈簧加載凸起625也允許其被快速拆除和替換，或者被 修改例如替換工具鎖650或鋼襯套635。 圖12A和圖12B中所示的轉(zhuǎn)接板605需要提供真空源(vacuum supply)并且相應(yīng) 地鋁質(zhì)主體610在其一面帶有真空入口 655，其通過(guò)多個(gè)真空孔645接收真空供應(yīng)。在本實(shí) 施例中，共有八個(gè)這樣的真空孔645等間距地繞轉(zhuǎn)接板605的相對(duì)面分布，并具有內(nèi)部通道 (未示出)以保持真空孔645和真空源655之間的連通。因此通過(guò)簡(jiǎn)單地壓裝，轉(zhuǎn)接板605 即可被裝入焊球拾取以及與其相連的適當(dāng)設(shè)備中。 該配置同樣可以應(yīng)用于圖13A和圖13B所示的焊劑拾取中，其中也存在具有鋼襯 套635的定位孔630。而且也存在定位銷(xiāo)640和工具鎖650以用于連接各種設(shè)備。而且，壓 配合設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)是提供了具有彈簧加載的凸起625的類(lèi)似的彈性部分630。
由于對(duì)于焊劑拾取來(lái)說(shuō)不需要真空源，因此轉(zhuǎn)接板665不需要加入焊球拾取的轉(zhuǎn) 接板605的真空源特征。但是，焊劑拾取轉(zhuǎn)接板665的主體680仍然在主體680內(nèi)加入了 空腔685，類(lèi)似于焊球拾取轉(zhuǎn)接板605的主體610內(nèi)的空腔660。因?yàn)閷?duì)于該應(yīng)用來(lái)說(shuō)缺少 了真空源，因此空腔685可以相對(duì)較大，從而進(jìn)一步降低了轉(zhuǎn)接板605的重量。
圖14示出了將焊劑710輸送至板722上的焊劑池740的配置。目的在于將焊劑 敷抹器735降低到設(shè)定高度并沿仍在板722上的焊劑池740掃過(guò)745，并因此將焊劑池740 平滑到已知的厚度，用于收集和輸送至基板。這通常是通過(guò)在容納腔內(nèi)具有焊劑710的注 射器700實(shí)現(xiàn)的。壓力720通過(guò)由氣壓下壓的柱塞715而加至焊劑710。因此焊劑710被 推入出料腔705以通過(guò)噴嘴725排出，從而將焊劑730輸送至焊劑池740。難度在于去除了 壓力720之后，焊劑仍然會(huì)存留在出料腔705內(nèi)，并且由于重力會(huì)以不受控的方式滴下，從 而由滴下的焊劑750在各種部件例如焊劑敷抹器735上造成污染。這種污染可以被傳遞到隨后的焊劑池，并可以隨即被傳遞至基板，造成在連接焊球期間大量的產(chǎn)品報(bào)廢。由于焊劑 是有粘性的，它能夠吸附異物，這將會(huì)影響焊球貼裝的準(zhǔn)確度。而且如果焊劑被不小心沉積 到焊球拾取頭或焊球容器上，那么整套機(jī)器的運(yùn)行都會(huì)由于被焊劑污染的焊球?qū)⑦B接到與 其接觸的任意表面而受到影響。圖15示出了該問(wèn)題的一種解決方案，即通過(guò)引入第二壓力 源755將空氣壓力直接注入出料腔705。通過(guò)入口 755注入的空氣在可控的環(huán)境下將過(guò)多 的焊劑從噴嘴噴出，例如進(jìn)入廢料箱中，或者如果通過(guò)入口 755的壓力充分可控，那么就將 殘留的焊劑倒入焊劑池740內(nèi)。結(jié)果是在入口 755上方的焊劑的最低部分760使得出料腔 足夠清潔(765)，從而不會(huì)再有焊劑以不受控的方式滴下。因此通過(guò)入口 755加入第二壓力 源就避免了焊劑的非受控滴落帶來(lái)的嚴(yán)重的污染問(wèn)題。
權(quán)利要求
一種將焊球陣列安裝至集成電路的多塊基板的方法，包括以下步驟將第一基板送至裝載位置處的第一板；將第一板橫向地平移至焊劑接收位置；將焊劑涂敷至所述第一基板；將所述板返回裝載位置；將第一板旋轉(zhuǎn)180°，以使第一板處于焊球接收位置，和將焊球安裝至第一板。
2. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述旋轉(zhuǎn)步驟包括與第一板一起同時(shí)旋轉(zhuǎn)第二板，以使第一板位于球接收位置，而第二板位于裝載位置。
3. 如權(quán)利要求2所述的方法，進(jìn)一步包括以下步驟 在第二板處于裝載位置時(shí)將第二基板送至第二板； 將第二板橫向地平移至焊劑接收位置； 將焊劑涂敷至所述第二基板； 將所述第二板返回裝載位置。
4. 如權(quán)利要求3所述的方法，進(jìn)一步包括以下步驟同時(shí)旋轉(zhuǎn)第二板和第一板，以使第二板處于球接收位置，并且第一板返回裝載位置；將焊球安裝至第二板，禾口從第一板拆下第一基板。
5. 如權(quán)利要求4所述的方法，進(jìn)一步包括以下步驟 在第一板處于裝載位置時(shí)將第三基板送至第一板； 將第一板橫向地平移至焊劑接收位置； 將焊劑涂敷至所述第三基板； 將所述第一板返回裝載位置；同時(shí)旋轉(zhuǎn)第一板和第二板，以使第一板處于球接收位置，并且第二板返回裝載位置；將焊球安裝至第一板，禾口從第二板拆下第二基板。
6. 如上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中所述涂敷焊劑的步驟包括以下步驟 使焊劑敷抹器以預(yù)定高度掃過(guò)表面；將焊劑模板壓至該表面，以在模板上獲得焊劑；將所述焊劑模板置于基板，和由此將焊劑以由模板確定的圖案涂敷至基板。
7. 如上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中在基板上安裝焊球的步驟包括以下步 將焊球掃過(guò)球模板；將焊球以與基板上要求的方位相匹配的方位置于球模板的真空孔內(nèi)； 將吸球工具帶至模板附近； 從模板的孔清除焊球；將焊球以與模板的方位相同的方位接合在所述吸球工具的孔內(nèi)； 將吸球工具和焊球一起帶至基板附近，和以預(yù)定方位將焊球安裝至基板。
8. 如權(quán)利要求7所述的方法，在將焊球與吸球工具相接合之后和在將吸球工具帶至基 板附近之前，進(jìn)一步包括以下步驟檢查吸球工具，以確定是否有孔遺漏了對(duì)應(yīng)的焊球。
9. 如權(quán)利要求7或8所述的方法，在基板上安裝焊球之后，進(jìn)一步包括以下步驟檢查吸球工具，以確定是否仍然有孔還具有對(duì)應(yīng)的焊球。
10. —種用于將焊球陣列安裝至集成電路的多塊基板的設(shè)備，包括 用于在裝載位置接收第一基板的第一板；所述第一板適合于從基板裝載位置橫向地平移至焊劑接收位置；所述第一板進(jìn)一步適合于從基板裝載位置旋轉(zhuǎn)180° ，以使第一板處于焊球接收位置，和將焊球安裝至第一板。
11. 如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，進(jìn)一步包括可以和第一板一起同時(shí)旋轉(zhuǎn)的第二板，以使第一板位于球接收位置，而第二板位于裝 載位置。
12. 如權(quán)利要求10或11所述的設(shè)備，其中焊劑接收位置包括 焊劑敷抹器，適合于以預(yù)定高度掃過(guò)表面；焊劑模板，用于壓至該表面，以在模板上獲得焊劑，并將所述焊劑以由模板確定的圖案 涂敷至基板。
13. 如權(quán)利要求10至12中的任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述焊球接收位置包括 球模板，具有方位與基板上要求的方位相匹配的真空孔，所述孔適合于接收焊球； 吸球工具，設(shè)置為將被帶至模板附近，以使吸球工具能夠?qū)⒑盖蛟谇蚰０宓念A(yù)定方位安裝至基板。
14. 一種旋轉(zhuǎn)傳送裝置，包括第一致動(dòng)器和第二致動(dòng)器，第一致動(dòng)器設(shè)置為以往復(fù)運(yùn)動(dòng)移動(dòng)第二致動(dòng)器； 旋轉(zhuǎn)連桿，適合于繞旋轉(zhuǎn)固定件旋轉(zhuǎn)，并在第一端可旋轉(zhuǎn)地安裝至第二致動(dòng)器，以使第 二致動(dòng)器被設(shè)置為以往復(fù)運(yùn)動(dòng)移動(dòng)該第一端；所述旋轉(zhuǎn)連桿具有安裝在所述第一端附近的傳送裝置托架。
15. 如權(quán)利要求14所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中旋轉(zhuǎn)連桿進(jìn)一步包括滑板，以允許傳送 裝置托架與旋轉(zhuǎn)固定件一起做相對(duì)的直線移動(dòng)。
16. 如權(quán)利要求14或15所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中第一致動(dòng)器和第二致動(dòng)器被設(shè)置為 互相作用，以使傳送裝置托架能夠遵循圓形路徑。
17. 如權(quán)利要求16所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中由傳送裝置托架遵循的圓形路徑包括第 一點(diǎn)和直徑上相對(duì)的第二點(diǎn)。
18. 如權(quán)利要求15至17中的任意一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中滑板被設(shè)置為將傳送 裝置托架從第二點(diǎn)在直徑上延伸至第三點(diǎn)。
19. 如權(quán)利要求15至18中的任意一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中滑板被設(shè)置為將傳送 裝置托架從第一點(diǎn)在直徑上延伸至第四點(diǎn)。
20. 如權(quán)利要求15至19中的任意一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中該第一端通過(guò)與第二致動(dòng)器直接接合的支架而被安裝至第二致動(dòng)器。
21. 如權(quán)利要求15至20中的任意一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中第二致動(dòng)器通過(guò)直接 安裝至第一致動(dòng)器的致動(dòng)器板而被安裝至第一致動(dòng)器。
22. 如權(quán)利要求20所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中在由第二致動(dòng)器致動(dòng)時(shí)，支架被設(shè)置為 沿致動(dòng)器板往復(fù)移動(dòng)。
23. 如權(quán)利要求20至22中的任意一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中第一致動(dòng)器和第二致 動(dòng)器是旋轉(zhuǎn)滾珠螺桿的旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器，并且以螺紋配置分別接合致動(dòng)器板和支架，以使旋轉(zhuǎn) 致動(dòng)器的致動(dòng)引起致動(dòng)器板和支架的直線移動(dòng)。
24. 如權(quán)利要求15至23中的任意一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，進(jìn)一步包括第三致動(dòng)器， 第一致動(dòng)器設(shè)置為以往復(fù)運(yùn)動(dòng)移動(dòng)第三致動(dòng)器；旋轉(zhuǎn)連桿適合在第二端被旋轉(zhuǎn)安裝至第三致動(dòng)器，以使第三致動(dòng)器被設(shè)置為以往復(fù)運(yùn) 動(dòng)移動(dòng)該第二端；所述旋轉(zhuǎn)連桿具有安裝在該第二端附近的第二傳送裝置托架。
25. 如權(quán)利要求24所述的旋轉(zhuǎn)傳送裝置，其中第一致動(dòng)器沿第一軸移動(dòng)第二致動(dòng)器， 并且第二致動(dòng)器沿第二軸移動(dòng)該第一端，所述第一和第二軸設(shè)置為彼此垂直。
26. —種模板裝置，包括 用于接收焊球的模板；用于容納多個(gè)焊球的容器殼體，所述容器殼體設(shè)置為在所述模板上移動(dòng)并在所述模板 內(nèi)分配焊球；禾口流體界面設(shè)備，用于在模板和容器殼體之間提供流體界面。
27. 如權(quán)利要求26所述的模板裝置，其中容器殼體密封放入焊球的空腔，所述殼體進(jìn) 一步包括在所述殼體下側(cè)面的孔，通過(guò)該孔將焊球分配至模板。
28. 如權(quán)利要求26或27所述的模板裝置，其中流體界面將容器殼體保持在所述模板上 方的預(yù)定距離處。
29. 如權(quán)利要求26至28中的任意一項(xiàng)所述的模板裝置，其中所述流體界面的流體是空氣。
30. 如權(quán)利要求26至29中的任意一項(xiàng)所述的模板裝置，其中流體界面設(shè)備與容器殼體 一體形成，流體界面設(shè)備包括與外部空氣源相連通的進(jìn)氣口 、下側(cè)面內(nèi)的多個(gè)孔，空氣通過(guò) 這些孔離開(kāi)以形成流體界面，所述孔和入口通過(guò)至少一條氣體通道相連。
31. 如權(quán)利要求30所述的模板裝置，其中所述孔被設(shè)置為兩組，所述組位于所述下側(cè) 面的相對(duì)端附近。
32. 如權(quán)利要求30或31所述的模板裝置，其中所述流體界面被設(shè)置在所述孔和所述模 板的行走面之間。
33. 如權(quán)利要求26至32中的任意一項(xiàng)所述的模板裝置，其中容器殼體被安裝在直線滑 板上，用于沿模板移動(dòng)容器殼體。
34. 如權(quán)利要求26至33中的任意一項(xiàng)所述的模板裝置，其中所述下側(cè)面進(jìn)一步包括將 下側(cè)面的中間部分與孔分離的兩個(gè)脊部，以使下側(cè)面的中間部分在分配所述焊球期間位于 所述相對(duì)端的上方。
35. —種用于將焊劑輸送至焊劑池的輸送設(shè)備，包括焊劑容納腔；用于向容納腔內(nèi)容納的焊劑施加壓力的第一壓力源； 出料腔，和噴嘴，以使得焊劑在壓力下從容納腔移動(dòng)通過(guò)出料腔，并離開(kāi)噴嘴； 其中出料腔包括用于向出料腔內(nèi)的焊劑施加壓力的第二壓力源。
36. 如權(quán)利要求35所述的設(shè)備，其中焊劑容納腔包括注射器筒，且第一壓力源包括可 選擇操作的柱塞，該柱塞設(shè)置為沿該筒下滑，以向容納腔內(nèi)的焊劑施加壓力。
37. 如權(quán)利要求35或36所述的設(shè)備，其中第二壓力源包括與加壓空氣源連通的入口， 以使得在第二壓力源啟動(dòng)時(shí)，加壓空氣被施加至出料腔內(nèi)的焊劑，以迫使所述焊劑離開(kāi)出 料腔，并從所述噴嘴出來(lái)。
38. 如權(quán)利要求35至37中的任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，進(jìn)一步包括用于測(cè)量筒內(nèi)焊劑量的 傳感器，以使得在到達(dá)預(yù)定的最小量時(shí)，傳感器輸出信號(hào)，以提示操作人員移去所述筒。
39. —種用于將拾取頭安裝至焊球貼裝機(jī)的轉(zhuǎn)接板裝置，該轉(zhuǎn)接板包括 具有中心孔的板；彈性接合部分，具有位于所述板周邊外緣上的用于彈性地接合焊球貼裝機(jī)內(nèi)對(duì)應(yīng)凹口 的多個(gè)彈性可壓縮凸起；多個(gè)定位孔，位于所述板第一面上，設(shè)置為與拾取頭的凸起相對(duì)應(yīng)，禾口 用于可釋放地接合拾取頭的接合部分。
40. 如權(quán)利要求39所述的轉(zhuǎn)接板，其中進(jìn)一步包括一個(gè)面上的入口和相對(duì)的第二面上 的出口，第二面具有連接所述入口和出口的通道，以通過(guò)所述板傳遞真空。
41. 如權(quán)利要求39或40所述的轉(zhuǎn)接板，進(jìn)一步包括用于插入定位孔內(nèi)的鋼襯套。
42. 如權(quán)利要求39至41中的任意一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)接板，其中所述板由鋁制成。
43. 如權(quán)利要求39至42中的任意一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)接板，其中所述板適合利用所述彈性凸 起而被壓裝為與所述焊球貼裝機(jī)相接合。
44. 如權(quán)利要求41至43中的任意一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)接板，其中所述襯套包括居中設(shè)置的 孔，所述孔被成形為與自所述焊球貼裝機(jī)的凸起相對(duì)應(yīng)的尺寸。
45. 如權(quán)利要求39至44中的任意一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)接板，其中所述拾取頭是焊球拾取頭或 焊劑拾取頭中的一種。
全文摘要
一種用于將焊球陣列安裝至集成電路的多塊基板的設(shè)備，包括用于在裝載位置接收第一基板的第一板；所述第一板適合用于從基板裝載位置橫向地平移至焊劑接收位置；所述第一板還適合用于從基板裝載位置旋轉(zhuǎn)180°，以使第一板處于焊球接收位置，并將焊球安裝至第一板。
文檔編號(hào)H05K3/34GK101743480SQ200780050270
公開(kāi)日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2007年11月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月22日
發(fā)明者安松隆, 林鎳盛, 白德祥 申請(qǐng)人:洛科企業(yè)有限公司