專利名稱：：有機el器件的制作方法有機EL器件
背景技術(shù)：
：1.發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及有機電致發(fā)光(以下簡寫為有機EL)器件的結(jié)構(gòu)，所述器件用于有機EL顯示器，該有機EL顯示器能顯示出多種顏色，并且表現(xiàn)出高精確度和極佳的可見性；所述器件還用于彩色液晶顯示器的背光裝置和其它照明設(shè)備。2.相關(guān)技術(shù)說明具有其中有機化合物以薄膜的形式層疊的結(jié)構(gòu)的有機EL器件是顯示器設(shè)備中使用的發(fā)光器件的一個常見例子。有機EL器件是自生的薄膜發(fā)光器件，由于它們具有極佳的性質(zhì)如低驅(qū)動電壓、高分辨率和大視角，所以人們進行了許多研究，以實現(xiàn)它們的實際應(yīng)用。到目前為止，在EL器件領(lǐng)域已經(jīng)進行了許多以提高發(fā)光效率為重點的研究。眾所周知，降低EL器件發(fā)光效率的一個因素是由發(fā)光層產(chǎn)生的光至少有一半損失了，因為它們被攔截在器件中或透明基板中(AdvancedMaterials,第6巻，第491頁，1994)。為了使被攔截在透明基板中的光能夠發(fā)射到外部而提高發(fā)光效率，一種廣為人知的方法是使用微型諧振器結(jié)構(gòu)(AppliedPhysicsLetters，第64巻，第2486頁，1994)。而且，應(yīng)用該原理的有機EL器件已有介紹(例如，日本專利申請?zhí)卦S公開第H6-283271號和日本專利2,830,474)。當使用微型諧振器結(jié)構(gòu)時，由發(fā)光層發(fā)射的光子隨后定向地向外輸出，從而能夠減小被攔截在透明基板中的光的比例。另外，使用微型諧振器結(jié)構(gòu)產(chǎn)生更尖銳的光子能量分布(即發(fā)射光譜)，能夠?qū)⒎逯得芏忍岣邘妆吨翈资?；從而增強了發(fā)光層產(chǎn)生的發(fā)光強度和單色化效果。發(fā)明概述但是，當將這種微型諧振器EL器件應(yīng)用于彩色顯示器時，必須對構(gòu)成諧振器的一對鏡子之間的光學間隙進行調(diào)整，使得各子像素群分別對應(yīng)于紅(R)、藍(B)和綠(G)顏色，結(jié)果導致制造過程變得復雜。另外，為了通過對三種顏色都引入微型諧振器結(jié)構(gòu)從而同時增強三種顏色(RGB)，需要較大的空穴長度(在半透明反射層和反射電極之間的層的總膜厚度)，而這種膜厚度是不實際的。在此情況中，隨著總膜厚度增加，還產(chǎn)生由于膜厚度的細微變化而容易造成顏色偏移的問題。本發(fā)明的有機EL器件是包括多個獨立的發(fā)光元件的有機EL器件，所述發(fā)光元件含有依次層疊在基板上的透明電極、具有至少一個發(fā)光層的有機EL層和反射電極，它們構(gòu)成第一、第二和第三發(fā)光色子像素，其中構(gòu)成第一發(fā)光色子像素和第二發(fā)光色子像素的發(fā)光元件還具有位于透明基板和透明電極之間的半透明反射層，該半透明反射層被構(gòu)造成在與反射電極之間對該發(fā)光色的光起著光諧振器的作用，其中構(gòu)成第三發(fā)光色子像素的發(fā)光元件還具有位于透明基板和透明電極之間的色轉(zhuǎn)換層。在此，所述第一發(fā)光色可以是藍色；第二發(fā)光色可以是紅色；第三發(fā)光色可以是綠色。或者，第一發(fā)光色可以是藍色，第二發(fā)光色可以是綠色；第三發(fā)光色可以是紅色。通過上述結(jié)構(gòu)，即在三種發(fā)光色中僅對第一發(fā)光色和第二發(fā)光色使用諧振器結(jié)構(gòu)而對余下的第三發(fā)光色使用顏色轉(zhuǎn)化層，能夠提高各發(fā)光色的亮度，得到高效率的發(fā)射。因為采用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)就不需要為各發(fā)光色子像素群調(diào)整諧振器結(jié)構(gòu)的空穴長度，而且不需要不切實際的大空穴長度，所以本發(fā)明的結(jié)構(gòu)可通過簡化的方法制造，并且還防止了由于膜厚度的變化造成的顏色的偏移。對于高效率是關(guān)鍵因素的顯示器，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)對于制造其中的有機EL器件是有效的。附圖簡要說明圖1顯示了本發(fā)明的有機EL發(fā)光器件的一個例子；圖2顯示了本發(fā)明的有機EL發(fā)光器件的另一個例子；圖3是顯示實施例l和對比例1的有機EL發(fā)光元件的發(fā)射光譜的圖。優(yōu)選實施方式的說明將參考圖1描述本發(fā)明的有機EL器件。圖1中的有機EL器件包括多個位于透明基板IO上的獨立的發(fā)光元件，其中這些發(fā)光元件由透明電極70、有機EL層80和反射電極90構(gòu)成，該多個獨立的發(fā)光元件構(gòu)成第一發(fā)光色子像素、第二發(fā)光色子像素和第三發(fā)光色子像素。圖l顯示了其中第一發(fā)光色是藍色、第二發(fā)光色是紅色和第三發(fā)光色是綠色的情況。在構(gòu)成第一發(fā)光色(B)子像素和第二發(fā)光色(R)子像素的發(fā)光元件中的透明基板10和透明電極70之間設(shè)置半透明反射層60。半透明反射層60被構(gòu)造成在與反射電極之間對相關(guān)發(fā)光色(第一發(fā)光色和第二發(fā)光色)的光起著光諧振器的作用另一方面，在構(gòu)成第三發(fā)光色(G)子像素的發(fā)光元件中的透明基板10和透明電極70之間設(shè)置色轉(zhuǎn)換層30(G)。色轉(zhuǎn)換層30是吸收一部分由有機EL層80產(chǎn)生的光和發(fā)射相關(guān)發(fā)光色(第三發(fā)光色)的光的層。圖1中顯示的其它層(濾色層20、平坦化層40和鈍化層50)是根據(jù)任選的原則采用的層，但是它們的設(shè)置是所有利的。本發(fā)明的透明基板IO可由無機材料如玻璃或聚合物材料形成，所述聚合物材料例如纖維素酯、聚酰胺、聚碳酸酯、聚酯、聚苯乙烯、聚烯烴、聚砜、聚醚砜、聚醚酮、聚醚酰亞胺、聚氧乙烯、降冰片烯樹脂等。當使用聚合物材料時，透明基板IO可以是剛性或柔性的。光學透明的定義是指對于可見光的透光率至少為80%，優(yōu)選至少為86%?？墒褂肐TO、氧化鉍、氧化銦、IZO、氧化鋅、鋅-鋁氧化物、鋅-鎵氧化物或向上述氧化物中添加了F或Sb之類的摻雜劑的透明導電金屬氧化物形成透明電極70。所述透明電極可通過氣相沉積、濺射或化學氣相沉積(CVD)形成，優(yōu)選通過濺射形成?？墒褂酶叻瓷浣饘?例如Al、Ag、Mo、W、Ni、Cr)、無定形合金(例如，NiP、NiB、CrP、CrB)或微晶合金(例如，NiAl)，通過干法如氣相沉積或濺射形成反射電極90。所述反射電極90的反射率優(yōu)選至少為50%，更優(yōu)選至少為80%。所述有機EL層80具有一種結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)含有至少一個發(fā)光層，根據(jù)任選的原則在該層中設(shè)置空穴注入層、空穴輸送層、電子輸送層和/或電子注入層。具體地，有機EL器件包括如下所述的層結(jié)構(gòu)(陽極和陰極可以是反射電極或透明電極)。(1)陽極/有機發(fā)光層/陰極(2)陽極/正空穴注入層/有機發(fā)光層/陰極(3)陽極/有機發(fā)光層/電子注入層/陰極(4)陽極/正空穴注入層/有機發(fā)光層/電子注入層/陰極(5)陽極/正空穴輸送層/有機發(fā)光層/電子注入層/陰極(6)陽極/正空穴注入層/正空穴輸送層/有機發(fā)光層/電子注入層/陰極(7)陽極/正空穴注入層/正空穴輸送層/有機發(fā)光層/電子輸送層/電子注入層/陰極使用已知的材料作為構(gòu)成有機EL層中各層的材料。另外，可使用相關(guān)領(lǐng)域中已知的任何方法如氣相沉積形成有機EL層中所含的各層。在本發(fā)明中，優(yōu)選通過向發(fā)光層中引入至少兩種摻雜劑來拓寬光發(fā)射光譜的寬度。更優(yōu)選向發(fā)光層中引入在第一發(fā)光色范圍內(nèi)發(fā)射的摻雜劑和在第二發(fā)光色范圍內(nèi)發(fā)射的摻雜劑。例如，就圖l的結(jié)構(gòu)而言，優(yōu)選引入在藍色范圍內(nèi)發(fā)射的摻雜劑和在紅色范圍內(nèi)發(fā)射的摻雜劑。本發(fā)明的有機EL器件具有多個獨立的受控制的發(fā)光元件。例如，為了形成具有多個無源矩陣驅(qū)動的發(fā)光元件的有機EL器件，透明電極70和反射電極90都是由多個條紋狀的子電極形成的，并且構(gòu)成透明電極70的條紋狀子電極的延伸方向設(shè)置為與構(gòu)成反射電極90的條紋狀子電極的延伸方向交叉(優(yōu)選正交)。為了形成包括多個子電極的透明電極70，可以使用絕緣金屬氧化物(例如Ti02、Zr02、AlCg或絕緣金屬氮化物(例如A1N、SiN)在多個子電極之間的空隙中形成絕緣膜。在構(gòu)成第一發(fā)光色子像素的發(fā)光元件和構(gòu)成第二發(fā)光色子像素的發(fā)光元件中設(shè)置半透明反射層60;該半透明反射層60位于透明基板10和透明電極70之間，優(yōu)選與透明電極70的一側(cè)接觸，其另一側(cè)為有機EL層80。該半透明反射層60的目的是通過將由有機EL層80產(chǎn)生的光的一部分向反射電極90發(fā)射而形成光學諧振器結(jié)構(gòu)。圖l所示的結(jié)構(gòu)顯示了一個例子，其中已經(jīng)為形成藍色(第一發(fā)光色)子像素的發(fā)光元件和形成紅色(第二發(fā)光色)子像素的發(fā)光元件提供了半透明反射層。所述半透明反射層60的反射率優(yōu)選為10-50%，更優(yōu)選為20-30%?？墒褂肁g或Al之類的材料形成半透明反射層60。為了使用這些材料實現(xiàn)上述反射率，優(yōu)選半透明反射層60的膜厚度為5-20納米，更優(yōu)選膜厚度為10-15納米。如下所述，通過在形成光學諧振器結(jié)構(gòu)的一對鏡子(即半透明反射層60和反射電極90)之間建立光學間隙，得到在對應(yīng)于第一發(fā)光色和第二發(fā)光色的兩個波長范圍內(nèi)的光的諧振。因此，設(shè)第一發(fā)光色和第二發(fā)光色的光的光譜中的峰值波長分別表示為、(納米)和12(納米)，O(弧度)表示在半透明反射層60和反射電極90表面上反射產(chǎn)生的反射光的相移，在反射電極90和半透明反射層60之間形成同時滿足以下方程式(I)和(II)的光學間隙L(納米)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>該光學間隙L是位于反射電極90和半透明反射層60之間的各層(即透明電極70和有機EL層80)的實際膜厚度(納米)和折射率的乘積之和。當?shù)谝话l(fā)光色是藍色，第二發(fā)光色是紅色時，、設(shè)定在440-490納米的范圍內(nèi)，、設(shè)定在600-650納米的范圍內(nèi)，調(diào)整光間隙L，以滿足上述方程式(I)和(II)。、優(yōu)選設(shè)定為引入發(fā)光層的藍色摻雜劑的峰值發(fā)射波長，12優(yōu)選設(shè)定為引入發(fā)光層的紅色摻雜劑的峰值發(fā)射波長。雖然也依賴于使用的材料，但是在當前情況中，例如，通過使有機EL層80的實際膜厚度約為200納米和使透明電極70的實際膜厚度(在此情況中由IZO形成)約為200納米，可以得到滿足方程式(I)和(II)的光學間隙L。另一方面，當?shù)谝话l(fā)光色是藍色，第二發(fā)光色是綠色時，^設(shè)定在440-490納米的范圍內(nèi)，^設(shè)定在500-590納米的范圍內(nèi)，調(diào)整光間隙L，以滿足上述方程式(I)和(II)。、優(yōu)選設(shè)定為引入發(fā)光層的藍色摻雜劑的峰值發(fā)射波長，^優(yōu)選設(shè)定為引入發(fā)光層的綠色摻雜劑的峰值發(fā)射波長。雖然也依賴于使用的材料，但是在當前情況中，例如，通過使有機EL層80的實際膜厚度約為265納米和使透明電極70的實際膜厚度(在此情況中由IZO形成)約為400納米，可以得到滿足方程式(I)和(II)的光學間隙L。如上所述調(diào)整光學間隙L，通過窄化第一和第二發(fā)光色的發(fā)射光譜的帶寬和提高方向性，可以增強提高本發(fā)明的有機EL發(fā)光器件的輸出效率的作用。另外，通過在形成第三發(fā)光色子像素的發(fā)光元件中不使用諧振器結(jié)構(gòu)而使用色轉(zhuǎn)換層30，可以提高本發(fā)明的有機EL發(fā)光器件的發(fā)光效率。圖1所示的結(jié)構(gòu)顯示了在綠色(第三發(fā)光色)子像素的位置已經(jīng)設(shè)置了綠色轉(zhuǎn)換層30G的例子。色轉(zhuǎn)換層30是包含基質(zhì)樹脂和一種顏色轉(zhuǎn)換染料或多種顏色轉(zhuǎn)換染料的層。當?shù)谌l(fā)光色是綠色時，所述顏色轉(zhuǎn)換染料是吸收由發(fā)光層產(chǎn)生的藍色范圍的光和發(fā)射綠色范圍的光的染料?？捎糜诖饲闆r的顏色轉(zhuǎn)換染料包括例如香豆素染料，例如3-(2，-苯并噻唑基)-7-二乙基氨基香豆素(香豆素6)、3-(2，-苯并咪唑基)-7-二乙基氨基香豆素(香豆素7)、3-(2，-N-甲基苯并咪唑基)-7-二乙基氨基香豆素(香豆素30)和2,3,5，6-lH,4H-四氫-8-三氟甲基喹諾定(quinolidine)(9,9a，l-gh)香豆素(香豆素153);堿性黃51，其是香豆素染料家族中的染料；以及萘二甲酰亞胺染料，例如溶劑黃ll和溶劑黃116。當?shù)谌l(fā)光色是紅色時，所述顏色轉(zhuǎn)換染料是吸收由發(fā)光層產(chǎn)生的藍色-綠色范圍的光和發(fā)射紅色范圍的光的染料，優(yōu)選是吸收由發(fā)光層產(chǎn)生的藍色范圍的光和發(fā)射紅色范圍的光的染料?？捎糜诖饲闆r的顏色轉(zhuǎn)換染料包括例如若丹明染料，例如若丹明B、若丹明6G、若丹明3B、若丹明101、若丹明110、磺基若丹明、堿性紫11和堿性紅2;花青染料；吡啶染料，例如高氯酸l-乙基-2-[4-(對-二甲基氨基苯基)-l，3-丁二烯基]吡啶鹽(口比啶1);和噁嗪染料。另外，可通過與吸收上述藍色范圍的光且發(fā)射綠色范圍的光的染料一起使用，來提高顏色轉(zhuǎn)換效率。用于該色轉(zhuǎn)換層30的基質(zhì)樹脂包括熱塑性樹脂和由光固化和光熱雙重固化樹脂得到的固化產(chǎn)品(光刻膠)。如圖2所示，還可任選地在形成第二發(fā)光色子像素的發(fā)光元件中設(shè)置發(fā)射第二發(fā)光色的色轉(zhuǎn)換層30。圖2所示的結(jié)構(gòu)顯示了在第二發(fā)光色(紅色)子像素的位置己經(jīng)設(shè)置了紅色轉(zhuǎn)換層30R的例子。可以任選地在本發(fā)朋的有機EL發(fā)光器件中，在與特定發(fā)光色子像素相適應(yīng)且與透明基板IO接觸的位置，設(shè)置對應(yīng)于特定發(fā)光色的濾色層20。圖1的結(jié)構(gòu)顯示了己經(jīng)在第一至第三發(fā)光色(藍色、紅色和綠色)子像素的相應(yīng)位置設(shè)置了對應(yīng)于發(fā)光色(藍色、紅色和綠色)的濾色層20(B,R,G)的例子。所述濾色層20的目的是通過僅僅使在規(guī)定波長范圍內(nèi)的光通過、阻止任何其它波長范圍內(nèi)的光通過而提高透過的光的色純度。可使用平板顯示器領(lǐng)域中已知的方法和常用的材料來形成濾色層20。還可以任選地在本發(fā)明的有機EL發(fā)光器件中設(shè)置平坦化層40;該平坦化層40覆蓋透明基板10上的濾色層20(當該層存在時)和色轉(zhuǎn)換層30。平坦化層40是使表面平坦化的層，用以消除導致透明電極70和反射電極卯之間短路的不規(guī)則結(jié)構(gòu)。平坦化層40可由單層構(gòu)成，或者由多種材料以層疊結(jié)構(gòu)構(gòu)成。用于形成平坦化層40的材料包括酰亞胺改性的有機硅樹脂；包含無機金屬化合物(例如TiO,A1203，Si02)在例如丙烯酸類樹脂、聚酰亞胺樹脂、有機硅樹脂等中形成的分散體的材料；含有活性乙烯基的丙烯酸酯單體/低聚物/聚合物樹脂；光刻膠樹脂；含氟樹脂；和可光固化的樹脂和/或熱固性樹脂，例如環(huán)氧樹脂、環(huán)氧改性的丙烯酸酯樹脂等。使用這些材料形成平坦化層40的方法不受特別限制。例如，可通過常規(guī)方法，如干法(例如濺射、氣相沉積、CVD等)和濕法(旋涂、輥涂、澆注等)進行該操作。當平坦化層40位于色轉(zhuǎn)換層30和透明電極70之間時，可以任選地在本發(fā)明的有機EL發(fā)光器件的平坦化層40上設(shè)置鈍化層50。該鈍化層50可以有效地防止氧、低分子量組分和水分從下面的色轉(zhuǎn)換層30、下面的濾色層20(當該層存在時)和下面的鈍化層40滲出，從而有效地防止這些物質(zhì)減小有機EL層80的官能度。例如，可以使用以下材料形成鈍化層50:金屬氧化物，例如SiOx、A10x、TiOx、TaO、ZnOx等；金屬氮化物，例如SiNx等；或者金屬氧氮化物，例如SiNxOy等。實施例實施例1制造具有圖2所示結(jié)構(gòu)的有機EL器件。首先將0.7毫米厚的玻璃透明基板IO在純水中超聲清潔，然后干燥，再用UV/臭氧清潔。通過旋涂法在經(jīng)過清潔的玻璃基板上涂布彩色馬賽克CK7800(ColorMosaicCK-7800)(富士膜電子材料有限公司(FujifilmElectronicsMaterialsCo.,Ltd.),使用照相平版印刷布圖，形成包括多個以0.11毫米的間距排列的條紋狀區(qū)域(寬度=0.03毫米，膜厚度=1微米)的黑色基質(zhì)(未示出)。在包含黑色基質(zhì)的透明基板10上涂布彩色馬賽克CB-7001(ColorMosaicCB-7001)(富士膜電子材料有限公司(FujifilmElectronicsMaterialsCo.,Ltd.),使用照相平版印刷布圖，形成包括多個沿第一方向延伸且以0.33毫米的間距排列的條紋狀區(qū)域(寬度=0.1毫米，膜厚度=1微米)的藍色濾色層20B。然后施涂彩色馬賽克CG-7001(ColorMosaicCG-7001)(富士膜電子材料有限公司(FujifilmElectronicsMaterialsCo.,Ltd.),使用照相平版印刷布圖，形成包括多個沿第一方向延伸且以0.33毫米的間距排列的條紋狀區(qū)域(寬度=0.1毫米，膜厚度二1微米)的綠色濾色層20G。然后施涂彩色馬賽克CR-7001(ColorMosaicCR-7001)(富士膜電子材料有限公司(FujifilmElectronicsMaterialsCo.，Ltd.),使用照相平版印刷布圖，形成包括多個沿第一方向延伸且以0.33毫米的間距排列的條紋狀區(qū)域(寬度=0.1毫米，膜厚度二1微米)的紅色濾色層20R。然后將香豆素6(0.9重量份)溶解在作為溶劑的120重量份的丙二醇單乙基乙酸酯(PGMEA)中。通過加入IOO重量份V259PA/P5可光聚合的樹脂組合物(日本鋼鐵化學公司(NipponSteelChemicalCo.,Ltd.))進行溶解，可以得到涂料溶液。將該涂料溶液通過旋涂法涂布在基板上，通過照相平版印刷布圖，在綠色濾色層20G上得到綠色轉(zhuǎn)換層30G。該綠色轉(zhuǎn)換層30G包括多個沿第一方向延伸的條紋狀區(qū)域(寬度=0.1毫米，膜厚度=5微米)；該多個條紋狀區(qū)域以0.33毫米的間距排列。然后溶解香豆素6(0.5重量份)、若丹明6G(0.3質(zhì)量份)和堿性紫11(0.3質(zhì)量份)，再加入IOO重量份V259PA/P5，進行溶解，得到涂料溶液。將該涂料溶液通過旋涂法涂布在透明基板上，通過照相平版印刷布圖，在紅色濾色層20R上得到紅色轉(zhuǎn)換層30R。該紅色轉(zhuǎn)換層30R包括多個沿第一方向延伸的條紋狀區(qū)域(寬度=0.1毫米，膜厚度=5微米)；該多個條紋狀區(qū)域以0.33毫米的間距排列。將V259PA/P5涂布在己經(jīng)涂布了濾色層20和色轉(zhuǎn)換層30的透明基板10上；然后暴露于高壓汞燈的光照下，形成膜厚度為8微米的平坦化層。此時，濾色層20和色轉(zhuǎn)換層30的條紋形狀沒有發(fā)生任何變化，平坦化層40的上表面是平坦的。使用平行平板等離子體CVD工具在平坦化層40上形成包含膜厚度為300納米的SiN膜的鈍化層50。氣氛為50sccmSiH4氣體和200sccmN2氣體。使用的RF功率為150瓦，使用的基板級溫為6(TC。通過濺射(DC磁控管)在鈍化層50的上表面上形成膜厚度為12納米的銀合金膜(APC-TR，來自富樂亞金屬公司(FuruyaMetal))。通過旋涂法在銀合金膜上形成膜厚度為1.3微米的光刻膠(TFR-1250，來自東京應(yīng)化公司(TokyoOhkaKogyoCo.，Ltd.))，然后在80。C的干凈烘箱中干燥15分鐘。然后使光刻膠通過光掩模暴露于高壓汞燈的紫外光下，用顯影溶液(NMD-3，來自東京應(yīng)化公司(TokyoOhkaKogyoCo.,Ltd.))進行顯影，從而在銀合金膜上產(chǎn)生光刻膠圖案。使用的光掩模在對應(yīng)于藍色濾色層20B和紅色濾色層20R的位置具有條紋狀不透光區(qū)域(寬度=0.094毫米)。然后使用銀的蝕刻溶液(SEA2，來自關(guān)東化學公司(KantoChemicalCo.,Inc.))蝕刻銀合金膜，接著使用光刻膠脫模溶液(脫模劑106,來自東京應(yīng)化公司(TokyoOhkaKogyoCo.,Ltd.))剝離光刻膠圖案，在對應(yīng)于藍色濾色層20B和紅色濾色層20R的位置產(chǎn)生包含圖案化的銀合金的半透明反射層60。然后通過DC濺射形成膜厚度為220納米的IZO膜。在以下條件下形成IZO膜濺射氣體二Ar，壓力為0.3帕；靶Mn20rlO。/。ZnO;施加功率=100瓦。在此方法中膜的形成速率為0.33納米/秒。然后進行照相平版印刷布圖，干燥(15(TC)和紫外處理(汞燈，室溫和150°C)，在對應(yīng)于各顏色的濾色層20的位置產(chǎn)生包含多個沿第一方向延伸的條紋狀子電極(寬度=0.094毫米，間距=0.11毫米，膜厚度=100納米)的透明電極70(陽極)。然后將裝配了透明電極70的疊層結(jié)構(gòu)安裝在耐熱的氣相沉積設(shè)備中，通過在不破壞真空的情況下依次成膜而形成總膜厚度為226.8納米的包含空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層和電子輸送層的有機EL層80。在成膜過程中，真空室的壓力下降至1X10^帕?？昭ㄗ⑷雽幼鳛?，4，，4，，-三[(3場甲基苯基)苯基氨基]三苯基胺(m-MTDATA)和2,3，5,6-四氟-7，7,8，8-四氰基喹啉并二甲垸(F4-TCNQ)的共氣相沉積膜(膜厚度二177納米)形成，其中m-MTDATA:F4-TCNQ=100:2，該組分比例是基于膜的厚度。N，N，-二(l-萘基)-N，N，-二苯基聯(lián)苯基-4,4，-二胺(ct-NPD)以10.7納米的膜厚度作為空穴輸送層疊加。通過層疊4,4，-二(2,2-二苯基乙烯基)聯(lián)苯(DPVBi)、藍色摻雜劑BD-102(來自日本出光(Idemitsu))和紅色摻雜劑RD-001(來自日本出光(Idemitsu))的共氣相沉積膜形成發(fā)光層，其中DPVBi:BD-102:RD-001=100:3:0.15,該組分比例是基于膜厚度。三(8-羥基喹啉)鋁絡(luò)合物(Alq3)以22.4納米的膜厚度作為電子輸送層疊加。為了本發(fā)明的目的，"組分比例基于膜厚度"是指在各組分本身發(fā)生氣相沉積時，以產(chǎn)生的膜厚度給出的比例。然后，在不破壞真空的情況下，使用產(chǎn)生了沿與第一方向正交的第二方向延伸的條紋圖案(寬度二0.3毫米，間距二0.33毫米)的掩模，沉積LiF(膜厚度=1納米)/Al(膜厚度=100納米)，形成包含多個條紋狀子電極的反射電極90。將如上所述得到的疊層結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到手套箱的干燥氮氣氣氛中(濕氣濃度不超過10ppm)，使用涂布了吸氣劑的密封玻璃和紫外固化粘合劑(都未顯示)密封得到有機EL器件。另外，使用上述相同步驟，通過直接在透明基板IO上依次層疊半透明反射層60、透明電極70、有機EL層80和反射電極90，制造用于測量有機EL發(fā)射光譜的器件。通過誘導所得到的用于測量有機EL發(fā)射光譜的器件中所有的發(fā)光元件發(fā)射來測量發(fā)射光譜。結(jié)果示于圖3中。實施例2重復實施例1的步驟，制造具有圖1所示結(jié)構(gòu)的有機EL器件，但是在此情況中不產(chǎn)生紅色轉(zhuǎn)換層30R。實施例3重復實施例1的步驟，在透明基板10上形成濾色層20(R，G,B)、色轉(zhuǎn)換層30(R,G)、平坦化層40和鈍化層50。然后，使用與實施例l相同的條件，在對應(yīng)于藍色和綠色濾色層20(B,G)的位置形成半透明反射層60。然后使用與實施例1相同的條件，形成包含IZO的透明電極70(膜厚度二220納米)。然后，將裝配了透明電極70的疊層結(jié)構(gòu)安裝在耐熱的氣相沉積設(shè)備中，通過在不破壞真空的情況下依次成膜而形成總膜厚度為225納米的包含空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層和電子輸送層的有機EL層80。在成膜過程中，真空室的壓力下降至1X10's帕?？昭ㄗ⑷雽幼鳛閙-MTDATA和F4-TCNQ的共氣相沉積膜(膜厚度=180納米)形成，其中m-MTDATA:F4-TCNQ=100:2，該組分比例是基于膜的厚度。a-NPD以10納米的膜厚度作為空穴輸送層疊加。通過層疊DPVBi、綠色摻雜劑GD-206(來自日本出光(Idemitsu))和紅色摻雜劑RD-001(來自日本出光(Idemitsu))的共氣相沉積膜形成發(fā)光層，其中DPVBi:GD-206:RD-001=100:3:0.15，該組分比例是基于膜的厚度。Alq3以20納米的膜厚度作為電子輸送層疊加。然后按照與實施例1相同的條件進行形成反射電極90和密封的步驟，得到有機EL器件。對比例1重復實施例l的步驟，在透明基板10上形成濾色層20(R，G,B)、色轉(zhuǎn)換層30(R,G)、平坦化層40和鈍化層50。然后，使用與實施例l相同的條件，在鈍化層50上直接形成透明電極70。然后，將裝配了透明電極70的疊層結(jié)構(gòu)安裝在耐熱的氣相沉積設(shè)備中，通過在不破壞真空的情況下依次成膜而形成總膜厚度為140.3納米的包含空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層和電子輸送層的有機EL層80。在成膜過程中，真空室的壓力下降至1X10-s帕。空穴注入層作為m-MTDATA和F4-TCNQ的共氣相沉積膜(膜厚度=95.5納米)形成，其中m-MTDATA:F4-TCNQ=100:2，該組分比例是基于膜的厚度。a-NPD以IO納米的膜厚度作為空穴輸送層疊加。通過層疊DPVBi、藍色摻雜劑BD-102(來自日本出光(Idemitsu))和紅色摻雜劑RD-001(來自日本出光(Idemitsu))的共氣相沉積膜形成發(fā)光層，其中DPVBi:BD-102:RD-001=100:3:0.15，該組分比例是基于膜的厚度。Al屮以19.9納米的膜厚度作為電子輸送層疊加。然后，按照與實施例l相同的條件進行形成反射電極90和密封的步驟，得到有機EL器件。得到的有機EL器件與實施例1的有機EL器件的不同之處在于，前者中不存在半透明反射層60，且兩者包含有機EL層80的層的膜厚度不同。另外，使用上述相同的步驟，通過直接在透明基板IO上依次層疊透明電極70、有機EL層80和反射電極90，制造用于測量有機EL發(fā)射光譜的器件。通過誘導所得到的用于測量有機EL發(fā)射光譜的器件中所有的發(fā)光元件發(fā)射來測量發(fā)射光譜。結(jié)果示于圖3中。對比例2按照實施例1所述制造有機EL器件，不同的是，在此情況中，僅在對應(yīng)于藍色濾色層20B的位置設(shè)置半透明反射層60。評價圖3顯示了實施例1和對比例1中制造的用于測量發(fā)射光譜的器件的發(fā)射光譜。缺少半透明反射層60的對比例1的器件的發(fā)射光譜顯示了三個峰，可推測它們是由發(fā)光層中的基質(zhì)分子和兩種摻雜劑的發(fā)射產(chǎn)生的；這些峰中的每一峰都較寬。另一方面，對透明電極和有機EL層的層厚度進行了優(yōu)化且具有半透明反射層60的實施例1的器件在藍色區(qū)域和紅色區(qū)域出現(xiàn)兩個峰，這些峰是尖銳的(特別是藍色區(qū)域的峰)。由這些結(jié)果可以理解，實施例1的器件中形成的諧振器結(jié)構(gòu)可以有效地增強發(fā)光元件產(chǎn)生的藍色區(qū)域和紅色區(qū)域的光。使用實施例和對比例的含有濾色層20的有機EL器件，在電流密度為0.1安培/厘米2的通電過程中測量所有發(fā)光元件的電流效率(全部可見光范圍)和亮度比。結(jié)果示于表l中。亮度比是使用對比例l器件的亮度作為參比得到的相對比率。實施例2的有機EL器件的亮度和電流效率是對比例1的有機EL器件的1.2倍。發(fā)明人認為，這是由于諧振器結(jié)構(gòu)使藍色和紅色子像素中的藍光和紅光增強，并且綠色轉(zhuǎn)換層30G使藍色組分在綠色子像素處發(fā)生顏色轉(zhuǎn)換，從而導致綠光強度增加。實施例3的有機EL器件的亮度和電流效率是對比例1的有機EL器件的1.14倍。發(fā)明人認為，這是由于諧振器結(jié)構(gòu)使藍色和紅色子像素中的藍光和綠光增強，并且紅色轉(zhuǎn)換層30R使藍色組分在紅色子像素處發(fā)生顏色轉(zhuǎn)換，從而導致紅光強度增加。實施例1的有機EL器件的亮度和電流效率是實施例2的有機EL器件的1.08倍。發(fā)明人認為，這是由于紅色子像素中存在的諧振器結(jié)構(gòu)帶來了增強作用，并且藍色組分的顏色轉(zhuǎn)換導致紅光強度額外增加。實施例1的有機EL器件的亮度和電流效率是對比例2的有機EL器件的1.24倍。發(fā)明人認為，這是由于在紅色子像素中存在的諧振器結(jié)構(gòu)對藍光有增強作用，該作用是紅色轉(zhuǎn)換層30R提供的，藍色組分借助該紅色轉(zhuǎn)換層30R發(fā)生顏色轉(zhuǎn)換，對提高紅光的強度起到重要作用。表1器件性質(zhì)<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>對比例3通過重復實施例l的步驟，在透明基板10上形成濾色層20(R,G，B)、色轉(zhuǎn)換層30(R,G)、平坦化層40和鈍化層50。然后，使用與實施例l相同的條件，在對應(yīng)于所有顏色的濾色層20的位置形成半透明反射層60。然后，使用與實施例1相同的條件，形成膜厚度為220納米的包含IZO的透明電極70。然后，將裝配了透明電極70的疊層結(jié)構(gòu)安裝在耐熱的氣相沉積設(shè)備中，通過在不破壞真空的情況下依次成膜而形成總膜厚度為279納米的包含空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層和電子輸送層的有機EL層80。在成膜過程中，真空室的壓力下降至lX10—s帕?？昭ㄗ⑷雽幼鳛閙-MTDATA和F4-TCNQ的共氣相沉積膜(膜厚度=229納米)形成，其中m-MTDATA:F4-TCNQ=100:2，該組分比例是基于膜的厚度。a-NPD以10納米的膜厚度作為空穴輸送層疊加。通過層疊DPVBi、藍色摻雜劑BD-102(來自日本出光(Idemitsu))和紅色摻雜劑RD-001(來自日本出光(Idemitsu))的共氣相沉積膜形成發(fā)光層，其中DPVBi:BD-102:RD-001=100:3:0.15，該組分比例是基于膜的厚度。Alq3以20納米的膜厚度作為電子輸送層疊加。然后，按照與實施例l相同的條件進行形成反射電極90和密封的步驟，得到有機EL器件。得到的有機EL器件與實施例1的有機EL器件的不同之處在于，通過改變半透明反射層60的設(shè)置和有機EL層的膜厚度，對全部三種發(fā)光色(藍色、綠色和紅色)都提供了諧振器結(jié)構(gòu)。該對比有機EL器件的驅(qū)動電壓比實施例1的有機EL器件的驅(qū)動電壓高，結(jié)果該對比有機EL器件的功率消耗也高于實施例1的器件。據(jù)推測，導致該結(jié)果的原因是，為了實現(xiàn)對所有發(fā)光色提供諧振器結(jié)構(gòu)，必須增加有機EL層80的膜厚度。權(quán)利要求1.一種有機EL發(fā)光器件，其包括多個獨立的發(fā)光元件，所述發(fā)光元件包括按照順序?qū)盈B在透明基板上的透明電極、具有至少一個發(fā)光層的有機EL層和反射電極，且所述發(fā)光元件構(gòu)成第一、第二和第三發(fā)光色子像素，其中構(gòu)成第一發(fā)光色子像素和第二發(fā)光色子像素的發(fā)光元件還具有位于透明基板和透明電極之間的半透明反射層，該半透明反射層被構(gòu)造成在與反射電極之間對該發(fā)光色的光起著光諧振器的作用，其中所述構(gòu)成第三發(fā)光色子像素的發(fā)光元件還具有位于透明基板和透明電極之間的色轉(zhuǎn)換層。2.如權(quán)利要求1所述的有機EL發(fā)光器件，其特征在于，所述第一發(fā)光色是藍色，所述第二發(fā)光色是紅色，所述第三發(fā)光色是綠色。3.如權(quán)利要求1所述的有機EL發(fā)光器件，其特征在于，所述第一發(fā)光色是藍色，所述第二發(fā)光色是綠色，所述第三發(fā)光色是紅色。全文摘要本發(fā)明提供一種高效率有機EL器件，該器件可通過簡單的方法制造，能夠防止由于膜厚度的變化造成的顏色偏移。該有機EL發(fā)光器件包含多個獨立的發(fā)光元件，其中構(gòu)成第一發(fā)光色子像素和第二發(fā)光色子像素的發(fā)光元件在透明基板和透明電極之間還具有半透明反射層，該半透明反射層被構(gòu)造成在與反射電極之間對該發(fā)光色的光起著光諧振器的作用，而構(gòu)成第三發(fā)光色子像素的發(fā)光元件還在透明基板和透明電極之間具有色轉(zhuǎn)換層。文檔編號H05B33/22GK101267698SQ20081008254公開日2008年9月17日申請日期2008年2月26日優(yōu)先權(quán)日2007年3月14日發(fā)明者仲俉祐子,寺尾豐,川口剛司,河村幸則,濱敏夫申請人:富士電機控股株式會社