專利名稱：硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置的制作方法
技術領域：
硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置魷綱本實用新型屬于一種硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置。 冑辦*單晶硅爐主要用于生產(chǎn)硅半導體材料，單晶硅爐包括硅半導體材料生長合成的 主爐室、位于主爐室上端的硅籽晶提升結構和電控自動系統(tǒng)。單晶硅爐的硅籽晶提 升結構采用軟軸，軟軸為鋼絲繩,穿過箱體的傳動軸內的花鍵軸上設有繞絲輪，繞絲 輪和軸接在箱體內的壓套輪相交,與兩輪相交點對應箱體的壓蓋上設有帶阻尼套的 進線口，鋼絲繩一端接在繞絲輪上，另一端穿過帶阻尼套的進線口連接位于主爐室 內的重錘，電機通過減速箱帶動傳動軸轉動。重錘則用于提升爐中鉗鍋內高溫熔化 的硅晶并使其向上逐漸結晶形成柱狀硅晶體。硅晶質量很大程度上取決于爐膛的真 空度和清潔度,為保持爐膛的清潔度通常應使爐膛密封或盡量少的接觸空氣。對生 長的硅晶體要求實時監(jiān)控其重量，是控制硅晶體合格率的有效保證。但傳統(tǒng)的監(jiān)控 硅晶體重量的方法是單晶硅爐外用目測方式通過測量其直徑進行推算，十分不準 確，不能達到實時監(jiān)控其重量的要求，從而使生產(chǎn)出的硅晶體質量很差,造成產(chǎn)品 正品率低。 糊鴨本實用新型的目的是設計一種硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置，能對生長的 硅晶體的重量進行實時監(jiān)控，使對硅晶測重時仍保持爐膛的高溫和抽真空狀態(tài)，可 大幅度提高硅晶體合格率和質量，達到理想的使用效果。為此，本實用新型采用在繞 絲輪上端，或側邊設有稱重輪，稱重輪通過稱重傳感器的傳感頭與位于繞線箱體上 端的稱重罩連接，鋼絲繩一端繞過稱重輪上端后向下與重錘上端連接，鋼絲繩另一 端固定在繞絲輪上；在繞絲輪上端，或側邊設有稱重輪，稱重輪與位于繞線箱體上 端的稱重罩軸接，稱重傳感器的傳感頭位于繞線箱體與稱重罩之間，.鋼絲繩一端繞 過稱重輪上端后向下與重錘上端連接，鋼絲繩另一端固定在繞絲輪上。上述結構達. 到了本實用新型的目的。本實用新型的優(yōu)點是能對生長的硅晶體的重量進行實時監(jiān)控，使對硅晶測重時 仍保持爐膛的高溫和抽真空狀態(tài)，可大幅度提高硅晶體合格率和質量，達到理想的 使用效果。本實用新型使產(chǎn)品正品率達到的.9%,降低制作成本30%。且結構簡單， 制作使用成本低，維修和使用簡便效果好。國綱圖是本實用新型的結構示意圖具體實施力案如圖所示， 一種硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置，主要由繞線箱體2、提拉托 板l、繞絲輪3、鋼絲繩8、重錘9和晶體10所組成。在繞絲輪上端，或側邊設有稱重 輪6,稱重輪通過稱重傳感器的傳感頭5與位于繞線箱體上端的稱重罩4連接，即稱 重輪軸接在稱重傳感器的傳感頭的下端，可通過一軸座軸接。鋼絲繩一端gg過稱重 輪上端后向下與重錘上端連接，重錘下端仍用于提升爐中鉗鍋內高溫烙化的硅晶并 使其向上逐漸結晶形成柱狀硅晶體IO。鋼絲繩另一端固定在繞絲輪上。顯然，也可釆用所述的稱重輪位于繞絲輪的側上邊。所述的繞線箱體下端為 開口箱體。所述的稱重輪側邊與稱重罩之間設有壓絲輪7，壓絲輪的作用是使鋼絲 繩運行平穩(wěn)。所述的繞線箱體上端為開口箱體。使用時，電機通過減速箱帶動傳動軸轉動繞絲輪，鋼絲繩一端接在繞絲輪上， 另一端繞過稱重輪上端后向下穿過稱重輪與壓絲輪之間和帶阻尼套的進線口連接 位于主爐室內的重錘，重錘則用于提升爐中鉗鍋內高溫熔化的硅晶并使其向上逐漸 結晶形成柱狀硅晶體。稱重傳感器的傳感頭將稱重輪上的載荷重量信號通過傳導線 傳導至稱重傳感器并進行顯示，可對生長的硅晶體的重量進行實時監(jiān)控，對硅晶測 重時仍保持爐膛的高溫和抽真空狀態(tài)，可大幅度提高硅晶體合格率和質量，達到理 想的使用效果。本實用新型的稱重傳感器為已有技術，故不再累述。顯然，本實用新型也可采用稱重傳感器的傳感頭位置變化實現(xiàn)本實用新型的 目的，例如將稱重傳感器的傳感頭位置從稱重輪與稱重罩之間移至稱重罩與繞線箱 體之間即在繞絲輪上端，或側邊設有稱重輪，稱重輪與位于繞線箱體上端的稱重 罩軸接，稱重傳感器的傳感頭51位于繞線箱體與稱重罩之間，鋼絲繩一端繞過稱重 輪上端后向下與重錘上端連接，鋼絲繩另一端固定在繞絲輪上。稱重時，稱重輪上 的載荷重量先傳至稱重罩后傳至稱重傳感器的傳感頭，進而通過傳導線傳導至稱重 傳感器并進行顯示，也可對生長的硅晶體的重量進行實時監(jiān)控。故不再累述。總之，本實用新型能對生長的硅晶體的重量進行實時監(jiān)控，使對硅晶測重時仍 保持爐膛的高溫和抽真空狀態(tài)，可大幅度提高硅晶體合格率和質量,達到理想的使 用效果。
權利要求1、一種硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置，主要由繞線箱體、提拉托板、繞絲輪、鋼絲繩、重錘和晶體所組成，其特征在于在繞絲輪上端，或側邊設有稱重輪，稱重輪通過稱重傳感器的傳感頭與位于繞線箱體上端的稱重罩連接，鋼絲繩一端繞過稱重輪上端后向下與重錘上端連接，鋼絲繩另一端固定在繞絲輪上；在繞絲輪上端，或側邊設有稱重輪，稱重輪與位于繞線箱體上端的稱重罩軸接，稱重傳感器的傳感頭位于繞線箱體與稱重罩之間，鋼絲繩一端繞過稱重輪上端后向下與重錘上端連接，鋼絲繩另一端固定在繞絲輪上。
2、 按權利要求l所述的硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置，其特征在于所述的 稱重輪位于繞絲輪的側上邊。
3、 按權利要求l所述的硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置，其特征在于所述 的繞線箱體下端為開口箱體。
4、 按權利耍求l所述的硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置，其特征在于所述 的稱重輪側邊與稱重罩之間設有壓絲輪。
5、 按權利要求l所述的硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置，其特征在于所述 的繞線箱體上端為開口箱體。
專利摘要本實用新型屬于一種硅單晶爐生長晶體實時稱重裝置，采用在繞絲輪上端，或側邊設有稱重輪，稱重輪通過稱重傳感器的傳感頭與位于繞線箱體上端的稱重罩連接，鋼絲繩一端繞過稱重輪上端后向下與重錘上端連接，鋼絲繩另一端固定在繞絲輪上；或在繞絲輪上端，或側邊設有稱重輪，稱重輪與位于繞線箱體上端的稱重罩軸接，稱重傳感器的傳感頭位于繞線箱體與稱重罩之間，鋼絲繩一端繞過稱重輪上端后向下與重錘上端連接，鋼絲繩另一端固定在繞絲輪上。本實用新型能對生長的硅晶體的重量進行實時監(jiān)控，使對硅晶測重時仍保持爐膛的高溫和抽真空狀態(tài)，可大幅度提高硅晶體合格率和質量，達到理想的使用效果。
文檔編號C30B15/20GK201217711SQ20082010936
公開日2009年4月8日 申請日期2008年7月22日 優(yōu)先權日2008年7月22日
發(fā)明者馮玉生, 張志新, 靜 袁 申請人:北京京運通硅材料設備有限公司