專利名稱：防靜電用具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及防靜電用具。更詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及即使是人體這樣 的復(fù)雜表面形態(tài)也能良好地密合并能有效除去其表面所帶電荷的防靜 電用具。本發(fā)明的防靜電用具在半導(dǎo)體器件、半導(dǎo)體器件搭載電路和信 息記錄設(shè)備等的操作、粉塵的處理、有機(jī)溶劑之類的化學(xué)物質(zhì)的處理等 作業(yè)中，作為用于防止作業(yè)人員帶上靜電的器具是有用的。進(jìn)而，本發(fā) 明的防靜電用具對(duì)于潔凈室之類的特別忌諱逸散粉塵的作業(yè)環(huán)境中的 硬盤驅(qū)動(dòng)器或更微細(xì)的半導(dǎo)體器件等的操作等作業(yè)而言是有用的。
背景技術(shù)：
眾所周知，人體所帶的靜電會(huì)引起各種問(wèn)題。
例如，在半導(dǎo)體器件領(lǐng)域中，人體所帶靜電在對(duì)LSI、 CMOS等半 導(dǎo)體器件、硬盤驅(qū)動(dòng)器、硬盤的磁頭等信息記錄設(shè)備放電時(shí)，存在器件 及設(shè)備被破壞的問(wèn)題。
器件及設(shè)備逐漸朝著微細(xì)化和精密化發(fā)展，進(jìn)而要求以更低電壓來(lái) 驅(qū)動(dòng)。為此，即使是微小的靜電放電程度也會(huì)使這些器件和設(shè)備遭到破 壞，成為誤操作原因的可能性增加。
此外，上述半導(dǎo)體器件、硬盤驅(qū)動(dòng)器、磁頭等通常是在潔凈室那樣 嚴(yán)格控制外部污染的場(chǎng)所中生產(chǎn)的。對(duì)這種潔凈室中使用的備品也需要 嚴(yán)格的限制。例如，對(duì)于成為產(chǎn)品誤操作的原因的塵埃，有必要將其從 備品的產(chǎn)生降低到極限。此外，即使是在火災(zāi)這樣的異常狀況下，為了 防止混入來(lái)自燃燒氣體的雜質(zhì)，也有必要從備品上根本杜絕氯之類的產(chǎn) 生危害的氣體發(fā)生的可能性。
除了上述領(lǐng)域以外，在處理由微粉構(gòu)成的粉塵的領(lǐng)域、大量處理有 機(jī)溶劑之類的揮發(fā)性物質(zhì)的領(lǐng)域中，還有可能會(huì)因靜電放電而導(dǎo)致爆 炸。如上所述，在忌諱靜電的發(fā)生和帶電的作業(yè)環(huán)境中，采用各種方法 非常小心地對(duì)靜電的發(fā)生和帶電進(jìn)行管理。例如，含導(dǎo)電纖維的導(dǎo)電性 手套、工作服的穿著、對(duì)地板面鋪滿導(dǎo)電性片材等來(lái)防止使人體帶靜電。 后者的帶電防止方法，必須進(jìn)行巨額投資。另一方面，由于前者的帶電 防止方法投資額較少，因此報(bào)道了可以在該方法中使用的各種器具。
作為這種器具，在實(shí)公平6-46080號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)和實(shí)用新 型登記第3078493號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)中公開(kāi)了腕帶型的防靜電用具， 在特開(kāi)2001-210493號(hào)公凈艮(專利文獻(xiàn)3 )和特開(kāi)2002-170696號(hào)7>凈艮 (專利文獻(xiàn)4)中公開(kāi)了手套型的防靜電用具。
實(shí)公平6-46080號(hào)公報(bào)中的腕帶型的防靜電用具由腕帶上具有的導(dǎo) 電片、和在導(dǎo)電片上具備的導(dǎo)電性按扣(snap)構(gòu)成。記載了腕帶可以 由導(dǎo)電性纖維構(gòu)成。
特開(kāi)2001-210493號(hào)公報(bào)中的手套型防靜電用具，具有將用于除去 所帶靜電的導(dǎo)電部配置成接觸手掌的方式的結(jié)構(gòu)。
實(shí)用新型登記第3078493號(hào)公報(bào)中的腕帶型的防靜電用具、特開(kāi) 2002-170696號(hào)公報(bào)中的手套型防靜電用具，由具有伸縮性的導(dǎo)電性纖 維的腕帶或手套、和在腕帶或手套上具備的導(dǎo)電性按扣構(gòu)成。此外，在 實(shí)用新型登記第3078493號(hào)公才艮、特開(kāi)2001-210493號(hào)公才艮、特開(kāi) 2002-170696號(hào)公報(bào)中記載了具有兩個(gè)端子的防靜電用具。
在上述任意公報(bào)中，都是通過(guò)將導(dǎo)電性按扣與接地布線連接，來(lái)除 去作業(yè)人員所帶的靜電。
專利文獻(xiàn)l:實(shí)公平6-46080號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:實(shí)用新型登記第3078493號(hào)>^才艮
專利文獻(xiàn)3:特開(kāi)2001-210493號(hào) >凈艮
專利文獻(xiàn)4:特開(kāi)2002-170696號(hào)7>凈艮
腕帶型的防靜電用具有編入了導(dǎo)電性纖維的帶型和金屬帶型。在作 業(yè)中往往有必要將它們纏繞在手腕上進(jìn)行固定。由于長(zhǎng)時(shí)間的固定而有
5在作業(yè)者的手腕上發(fā)生因濕熱所致的皮炎、因金屬過(guò)敏所致的皮炎、因 壓迫所致的不適、勒緊痕跡等問(wèn)題。這種問(wèn)題可以通過(guò)松綁來(lái)緩和，但 是這樣一來(lái)手腕和防靜電用具的密合性降低，防靜電性變得不充分。其 結(jié)果是，器件和設(shè)備因靜電而被破壞，存在所謂成品率降低的問(wèn)題。此 外，腕帶型的防靜電器具還有在作業(yè)中帶子松弛，因每次重新纏繞而導(dǎo) 致作業(yè)的中斷、因中斷導(dǎo)致的成品率降低的問(wèn)題。
進(jìn)而，腕帶型的防靜電用具還有在冬季那樣皮膚干燥的情況下，防 靜電不充分的問(wèn)題。人們考慮該問(wèn)題通過(guò)在手腕上涂布護(hù)手霜來(lái)防止干 燥而進(jìn)一步加強(qiáng)勒緊來(lái)解決。然而，前者的方法存在霜成分移行至產(chǎn)品 中的問(wèn)題進(jìn)而在作業(yè)人員中不受歡迎，后者的方法則存在發(fā)生皮炎或殘 留壓迫痕跡的問(wèn)題。
此外，上述課題也在特開(kāi)2001-210493號(hào)公報(bào)的手套型防靜電用具 中發(fā)生。
進(jìn)而，使用了伸縮性導(dǎo)電性纖維的腕帶或手套型的防靜電用具，雖 然較少發(fā)生上述問(wèn)題，但卻無(wú)法充分解決發(fā)生皮炎或殘留壓迫痕跡的問(wèn) 題。
此外，進(jìn)一步地，尤其是在對(duì)靜電敏感的半導(dǎo)體器件、硬盤驅(qū)動(dòng)器、 磁頭等裝置進(jìn)行處理時(shí)，希望經(jīng)常觀察到能以帶電壓非常低的狀態(tài)維持 從而防止裝置的破壞。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明，提供一種防靜電用具，具備支承部件、在所述支承 部件的至少一面?zhèn)刃纬傻膶?dǎo)電層、下端具有凸緣部且以所述凸緣部與所 述導(dǎo)電層的一面相接的方式貫穿所述支承部件的端子部、覆蓋所述凸緣 部的整個(gè)下面的覆蓋層、以及在所述覆蓋層和所述導(dǎo)電層上層疊的導(dǎo)電 性膠粘劑層。
進(jìn)而，根據(jù)本發(fā)明，提供一種防靜電用具，具備支承部件、在所 述支承部件的至少一面?zhèn)刃纬汕蚁嗷シ蛛x的兩個(gè)導(dǎo)電層、下端具有凸緣 部且以所述凸緣部與所述兩個(gè)導(dǎo)電層的一面各自相接的方式貫穿所述 支承部件的兩個(gè)端子部、覆蓋所述凸緣部的整個(gè)下面的覆蓋層、以及在所述覆蓋層和所述兩個(gè)導(dǎo)電層上層疊且相互分離的兩個(gè)導(dǎo)電性膠粘劑 層。
本發(fā)明的防靜電用具由于與皮膚直接粘帖，且以導(dǎo)電性膠粘劑所具 有的膠粘力牢固地密合，因此不受因人而異的皮膚狀態(tài)差異、因健康狀 態(tài)不同的皮膚狀態(tài)差異等所左右。此外，本發(fā)明的防靜電用具少有壓迫 感，且可以減小對(duì)作業(yè)人員的皮膚所帶來(lái)的影響，因此很少會(huì)對(duì)作業(yè)人 員帶來(lái)不適感覺(jué)。本發(fā)明的防靜電用具由于具有導(dǎo)電性膠粘劑層，因此 也不會(huì)發(fā)生金屬過(guò)敏，而且與皮膚的密合性也良好，因此可以穩(wěn)定地保 持與皮膚的電接觸。
因此，如果使用本發(fā)明的防靜電用具，則不僅可以將沒(méi)有因系緊帶 來(lái)的閉塞感的開(kāi)放的作業(yè)環(huán)境提供給作業(yè)人員，還可以在作業(yè)過(guò)程中維 持防靜電性。其結(jié)果，可以提高成品率和作業(yè)性，防止爆炸發(fā)生。
進(jìn)而，當(dāng)防靜電用具為分別具有兩個(gè)導(dǎo)電層、端子部和導(dǎo)電性膠粘
劑層的2端子型用具時(shí)，可以在對(duì)通常被稱為雙重式的兩個(gè)導(dǎo)體間的電 阻或電壓進(jìn)行檢測(cè)的監(jiān)控系統(tǒng)中使用。即，通過(guò)連續(xù)監(jiān)控電路的回路電 阻或電壓，可以檢測(cè)由接地線的斷線或與接地線的接合不良所致的電路 斷路或基準(zhǔn)值以上的帶電，因此可以更加確實(shí)可靠地維持作業(yè)中的防靜 電性。
此外，導(dǎo)電性膠粘劑層由導(dǎo)電性高分子含水凝膠形成，因此是通過(guò) 該含水凝膠進(jìn)行自身控制以使水分量達(dá)到平衡狀態(tài)，因此可以恰當(dāng)?shù)叵?除皮膚的濕熱。進(jìn)而，即使皮膚千燥，含水凝膠仍會(huì)維持一定的水分量， 因此可以抑制防靜電性能因皮膚干燥而降低。如此，通過(guò)使用含水凝膠， 可以使皮膚表面由閉塞感打開(kāi)，其結(jié)果，即使使用防靜電用具較長(zhǎng)時(shí)間， 仍具有難以發(fā)生皮膚的濕熱和皮炎之類的優(yōu)點(diǎn)。而且，不受作業(yè)環(huán)境的 影響，具有能獲得穩(wěn)定的防靜電效果的優(yōu)點(diǎn)。
進(jìn)而，構(gòu)成防靜電用具的導(dǎo)電性高分子含水凝膠，如果其硫、硅、 錫和卣素的離子濃度不足規(guī)定量，則即使?jié)崈羰覂?nèi)發(fā)生異常情況時(shí)，也 不會(huì)發(fā)生產(chǎn)生腐蝕性氣體等對(duì)器件和設(shè)備、作業(yè)人員產(chǎn)生影響的情況， 可以防止作業(yè)人員帶電。此外，本發(fā)明的防靜電用具很少逸散粉塵，可 以適用于潔凈室內(nèi)。


圖l是實(shí)施例1的防靜電用具的示意圖。
圖2是圖1中端子部的示意放大圖。
圖3是實(shí)施例2的2端子型防靜電用具的示意圖。
符號(hào)說(shuō)明
1:支承部件、la:軟質(zhì)聚乙烯層、lb:聚酯膜、2:導(dǎo)電層、3:端子部、3a:導(dǎo)電性按扣、3b:導(dǎo)電部、4:覆蓋層、5:導(dǎo)電性膠粘劑層、6:中間基材、7:非膠粘劑層、8:保護(hù)膜、3al:導(dǎo)電性按扣的凸部、3a2:導(dǎo)電性按扣的凹部、3a3:導(dǎo)電性按扣的凸緣部、3bl:導(dǎo)電部的凸部、3b2:導(dǎo)電部的凸緣部、a:未形成導(dǎo)電層的部分、b:未形成導(dǎo)電性膠粘劑層的部分
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的防靜電用具，具備支承部件、在所述支承部件的至少一面?zhèn)刃纬傻膶?dǎo)電層、下端具有凸緣部且以凸緣部與導(dǎo)電層的一面相接的方式貫穿支承部件的端子部、覆蓋凸緣部的整個(gè)下面的覆蓋層以及在覆蓋層和所述導(dǎo)電層上層疊的導(dǎo)電性膠粘劑層。
本發(fā)明的防靜電用具通過(guò)使端子部與接地布線連接，能夠借助導(dǎo)電性膠粘劑層和導(dǎo)電層將作業(yè)人員所帶的靜電有效地除去。
進(jìn)而，防靜電用具為分別具有導(dǎo)電層、端子部以及導(dǎo)電性膠粘材料層各兩個(gè)的2端子型用具時(shí)，通過(guò)與對(duì)帶電進(jìn)行監(jiān)控的系統(tǒng)連接，可以檢測(cè)到帶電異常，由此可以更加切實(shí)可靠地將靜電除去。
(支承部件)
支承部件只要是由具有適度強(qiáng)度的材料形成，就沒(méi)有特別限定，可以是導(dǎo)電性也可以是非導(dǎo)電性。此外，支承部件優(yōu)選由對(duì)皮膚表面的追隨性(柔軟性)出色的材料形成。進(jìn)而優(yōu)選由具有能耐受反復(fù)使用的強(qiáng)度的材料形成。此外，進(jìn)一步優(yōu)選由為了添加顧客的標(biāo)識(shí)、作業(yè)人員名等而容易進(jìn)行印刷的材料形成。進(jìn)而，在潔凈室內(nèi)的作業(yè)中使用時(shí)，優(yōu)選由不會(huì)因與作業(yè)人員的衣服、接地布線等的反復(fù)接觸而產(chǎn)生塵埃、對(duì)器件和設(shè)備的污染物(污染)的材料構(gòu)成。
作為這種材料，例如可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)這樣的聚酯、聚氯乙烯、聚乙烯(PE)、聚丙乙烯(PP)、尼龍這樣的聚酰胺、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物等各種樹(shù)脂、天然橡膠、異戊二烯橡膠、丁二烯橡膠、硅酮橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠等各種橡膠。進(jìn)而，支承部件可以由單層構(gòu)成，也可以由層疊體構(gòu)成。進(jìn)而，支承部件可以由發(fā)泡體或非發(fā)泡體構(gòu)成，還可以由發(fā)泡體和非發(fā)泡體的層疊體構(gòu)成。如果考慮潔凈室內(nèi)的作業(yè)，則優(yōu)選由非發(fā)泡體構(gòu)成。
從強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，支承部件優(yōu)選含有由PET形成的層。進(jìn)而，從強(qiáng)度和柔軟性的觀點(diǎn)出發(fā)，支承部件更優(yōu)選是由PET形成的層和由PE或尼龍形成的層的層疊體。在PE和尼龍的柔軟性高于PET時(shí)，能夠容易地在由PET形成的層上膠粘層疊，因此具有容易制造層疊體的優(yōu)點(diǎn)。
支承部件的厚度若是能確保強(qiáng)度和柔軟性在所需范圍，則沒(méi)有特別限定。例如，可以i殳定在4~600nm的范圍，也可以i殳為10 600nm、50~600pin、 50~500|im的范圍。此外，為了獲得柔軟性，可以在上述范圍中減小厚度例如為30 150pm。
例如，在支承部件為由PET形成的層和由PE形成的層的層疊體的情況下，當(dāng)將由PET形成的層的厚度設(shè)為1時(shí)，從兼具強(qiáng)度和柔軟性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選由PE形成的層的厚度為2 4。層疊體的厚度可以在4~600pm的范圍進(jìn)4亍i殳定。
進(jìn)而，優(yōu)選對(duì)支承部件實(shí)施防靜電處理。通過(guò)實(shí)施防靜電處理，可以防止塵埃吸附在支承部件上，由此可以獲得適合在潔凈室內(nèi)使用的防靜電用具。對(duì)防靜電處理沒(méi)有特別限定，可以應(yīng)用效果持續(xù)的公知處理。
(導(dǎo)電層)
支承部件具有一面和另一面。在支承部件的至少一面設(shè)置導(dǎo)電層。
根據(jù)用途不同，也可以在一面和另一面這兩面^:置導(dǎo)電層。
在支承部件的至少一面設(shè)置的導(dǎo)電層，若是可以借助導(dǎo)電性膠粘劑層將作業(yè)人員所帶的電荷(靜電)除去，則對(duì)其材料和構(gòu)成沒(méi)有特別限定。這里，所謂導(dǎo)電，是指通過(guò)采用數(shù)字萬(wàn)用表(愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試公司制
R6441A)測(cè)定具有2xl(T5Scm。以上的導(dǎo)電率。
作為導(dǎo)電層，可以舉出由銀、鎳、鉬等金屬粒子、這些金屬(例如氯化銀)的化合物粒子、炭黑、石墨等碳的粒子與粘結(jié)樹(shù)脂形成的層、由上述金屬或金屬化合物覆蓋而得到的樹(shù)脂膜、銀、鎳、鋁、不銹鋼等金屬箔、不銹鋼纖維之類的金屬進(jìn)行層壓而得到的纖維(以下稱金屬纖維)得到的無(wú)紡布或織布等。
由粒子和粘結(jié)樹(shù)脂形成的導(dǎo)電層，可以通過(guò)將含有粒子和粘結(jié)樹(shù)脂的導(dǎo)電性糊膏(例如碳墨)涂布在支承部件上并干燥而形成。作為涂布法，可以適當(dāng)?shù)厥褂冒敉坑∷⒎ā⒔z網(wǎng)印刷法、苯胺印刷法、凹版印刷法等印刷法，噴涂法，浸漬法等。在采用印刷法時(shí)，可以容易地形成所需圖案。此外，干燥后的導(dǎo)電層優(yōu)選厚度在2 35nm的范圍，更優(yōu)選厚度在5~15pm的范圍。通過(guò)設(shè)在該范圍，可以得到導(dǎo)電性和對(duì)皮膚的追隨性進(jìn)一步得到保證的導(dǎo)電層。
在導(dǎo)電層中使用金屬箔時(shí)，其厚度可以設(shè)為3~35pm。
由金屬纖維得到的織布，可以容易地保持其自身的變形性和柔軟性，其結(jié)果是可以在不對(duì)作業(yè)人員增加不適感的情況下，使防靜電用具與表面為曲面的皮膚接觸。
(端子部)
端子部在下端具有凸緣部。該凸緣部具有將端子部固定于支承部件的作用以及連接接地布線的作用。為了發(fā)揮前者的作用，凸緣部可以位于導(dǎo)電層側(cè)而貫穿支承部件。
端子部?jī)?yōu)選具有具有凸部、與凸部相對(duì)應(yīng)的凹部以及在凸部下端的凸緣部的導(dǎo)電性按扣，和具有與導(dǎo)電性按扣的凹部嵌合經(jīng)鉚接而能夠?qū)?dǎo)電性按扣卡定的凸部以及在凸部下端的凸緣部的導(dǎo)電部。若具有這種結(jié)構(gòu)，則可以更加牢固地將端子部固定在支承部件上。
導(dǎo)電性按扣以及導(dǎo)電部，只要具有導(dǎo)電性，可以由任何材料形成。但從滿足強(qiáng)度、耐腐蝕性等所需特性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用難腐蝕性金
屬。具體而言，可以4吏用SUS304、 SUS316、SUS316L等奧氏體系、SUS410等馬氏體系、SUS430等鐵素體系等不銹鋼，它們難以產(chǎn)生灰塵，用于反復(fù)進(jìn)行按扣的穿脫的強(qiáng)度也出色。在這些不銹鋼中，SUS316L從反復(fù)使用時(shí)能夠維持耐久性的角度出發(fā)最為出色，因而優(yōu)選。
關(guān)于導(dǎo)電性按扣的凸部，為了易于與接地布線連接，優(yōu)選具有1.5~4.0mm的高度。此外，凹部是與凸部相對(duì)應(yīng)的形狀，若是能夠通過(guò)嵌入以下說(shuō)明的導(dǎo)電部的凸部而進(jìn)行卡定，則對(duì)其形狀沒(méi)有特別限定。
進(jìn)而，凸緣部?jī)?yōu)選其厚度和寬度為能夠至少固定導(dǎo)電性按扣的程度。此外，在使用上述這樣的金屬時(shí)，凸緣部的厚度可以減小到0.1 0.4mm左右。通過(guò)將厚度設(shè)為O.lmm以上，容易確保凸緣部的強(qiáng)度而成型為正確的形狀。此外，還可以抑制不耐受鉚接時(shí)的沖擊而發(fā)生變形、或者被破壞的危險(xiǎn)。此外，通過(guò)將凸緣部的厚度設(shè)為0.4mm以下，容易成型，并且能夠防止與凸緣部相對(duì)應(yīng)的高地平面差在導(dǎo)電性膠粘劑層的表面發(fā)生。因此，可以抑制接觸不良以及給使用者帶來(lái)的不適感。
進(jìn)而，該凸緣部的寬度優(yōu)選調(diào)節(jié)成使導(dǎo)電性按扣的底面的寬度達(dá)到5 15mm。
接著，關(guān)于導(dǎo)電部的凸部，只要是能夠通過(guò)將其嵌入到導(dǎo)電性按扣的凹部而將兩者卡定，就對(duì)其高度和形狀沒(méi)有特別限定。此外，導(dǎo)電部的凸緣部的厚度由于與上述導(dǎo)電性按扣凸緣部同樣的理由，優(yōu)選其厚度為0.1 0.4mm。此外，關(guān)于凸緣部的寬度，只要能將導(dǎo)電部固定就沒(méi)有特別限定。從更加牢固地進(jìn)行固定的觀點(diǎn)出發(fā)，導(dǎo)電部的凸緣部的寬度優(yōu)選與導(dǎo)電性按扣的凸緣部的寬度為同等程度或者比其更寬。
上述導(dǎo)電性按扣和導(dǎo)電部?jī)?yōu)選如下進(jìn)行配置。首先，導(dǎo)電性按扣的凸緣部，以凸部的下端位于支承部件的表面?zhèn)鹊姆绞脚渲?，?dǎo)電部的凸緣部以位于導(dǎo)電層上的方式配置。進(jìn)而，通過(guò)在其凹部中使導(dǎo)電部的凸部貫穿支承部件而嵌入到導(dǎo)電性按扣的凹部中，由此導(dǎo)電性按扣被卡定。其結(jié)果，導(dǎo)電性按扣的凸緣部陷入支承部件中，而與支承部件壓合。
ii通過(guò)如此來(lái)壓合，支承部件起到密封圏(packing)的作用而能夠?qū)?dǎo)電性按扣和導(dǎo)電部固定，由此防止水分等從導(dǎo)電性按扣的凸緣部滲透到支承部件中。此外，即使是由于導(dǎo)電部陷入導(dǎo)電性按扣時(shí)發(fā)生錯(cuò)位而使得導(dǎo)電性按扣或?qū)щ姴康耐咕壊堪l(fā)生上浮，也會(huì)由于導(dǎo)電性按扣陷入支承部件中，而能夠維持凸緣部與支承部件的接觸。因此，可以防止因上浮所導(dǎo)致的水分向支承部件的侵入。
另外，端子部對(duì)于一個(gè)導(dǎo)電層而言并不限于一個(gè)，為了進(jìn)一步防止帶電，可以在任意位置配置兩個(gè)以上。
(覆蓋層)
通過(guò)用覆蓋層覆蓋凸緣部的整個(gè)下面，可以更牢固地固定端子部，更有效地防止端子部的腐蝕。該覆蓋層的固定方法可以舉出例如在覆蓋層的單面設(shè)置膠粘層并使膠粘層與端子部的凸緣部和導(dǎo)電層接觸的方法。
覆蓋層優(yōu)選是由吸水性和含水性小的材料形成的層。作為這種層，可以舉出由聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴、PET樹(shù)脂那樣的聚酯、尼龍、聚氨酯、玻璃紙等合成樹(shù)脂膜形成的層。覆蓋層的導(dǎo)電性膠粘劑層側(cè)的面可以通過(guò)賦予極性而進(jìn)4亍親水化處理，也可以進(jìn)4亍粗面化處理、非透水處理。若是進(jìn)行親水化處理或粗面化處理，可以提高覆蓋層和導(dǎo)電性膠粘劑層的粘合性。
進(jìn)而，覆蓋層可以通過(guò)將含非透水性樹(shù)脂的溶液涂布在凸緣部上而形成?？梢詫?duì)采用該涂布法而形成的覆蓋層賦予所謂高柔軟性的特點(diǎn)。
此外，優(yōu)選使用具有在端子部與接地布線連接時(shí)能夠耐受對(duì)覆蓋層所施加的應(yīng)力的程度的機(jī)械強(qiáng)度的材料。作為這種材料，可以舉出高密度聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴、PET樹(shù)脂之類的聚酯等。
覆蓋層具有至少覆蓋凸緣部的形狀即可。此外，為了減小覆蓋層引起的端子部和導(dǎo)電性膠粘劑層的非導(dǎo)通部分，優(yōu)選具有與凸緣部的下面形狀相對(duì)應(yīng)的形狀。例如，當(dāng)凸緣部下面為圓形時(shí)，覆蓋層優(yōu)選具有圓形。進(jìn)而，覆蓋層的面積優(yōu)選比凸緣部的面積大150~600%,更優(yōu)選大200 500%。進(jìn)而，覆蓋層可以具有用于將其固定于端子部下端的膠粘劑層。作為膠粘劑層，可以舉出由丙烯酸系膠粘劑、橡膠系膠粘劑等公知膠粘劑形成的層。
(導(dǎo)電性膠粘劑層)
在覆蓋層和導(dǎo)電層上層疊有導(dǎo)電性膠粘劑層。只要導(dǎo)電性膠粘劑層具有導(dǎo)電性且對(duì)皮膚表面能夠良好密合，則可以采用膠粘帶、膠粘封、膠粘凝膠等形成的層。此外，作為導(dǎo)電性膠粘劑層，只要使具有導(dǎo)電性且對(duì)皮膚的刺激性小而且具有充分膠粘力的材料形成的層，則沒(méi)有特別限定?？梢赃m當(dāng)使用例如使聚丙烯酸鈉、聚丙烯酸酯、聚丙烯酰胺等聚
丙烯酸衍生物、聚乙烯吡咯烷酮、聚-N-乙烯乙酰胺等聚-N-乙烯乙酰胺衍生物、聚氨酯等聚合骨架體含有水、電解質(zhì)等而得到的導(dǎo)電性膠粘凝膠等。具體而言，優(yōu)選使用以下這樣的膠粘凝膠(具有膠粘性的導(dǎo)電性高分子含水凝膠)。即，可以使用含有經(jīng)交聯(lián)的合成高分子18 30重量%、水12-30重量％、多元醇25~65重量％和電解質(zhì)0~13重量％的導(dǎo)電性高分子含水凝膠。在凝膠中所含的12-30重量％的水相當(dāng)于凝膠的飽和吸水量的3~50%。該導(dǎo)電性高分子含水凝膠具有如下性質(zhì)，即，將凝膠浸漬于20。C的水中IO分鐘時(shí)的膠粘力降低為浸漬前膠粘力的50%以下。
作為構(gòu)成經(jīng)交聯(lián)的合成高分子的聚合性單體，可以舉出式CH^CR1-CONR2r3[式中，W表示氫原子或甲基，R2和R3分別表示氫原子或低級(jí)烷基]表示的丙烯酰胺或者曱基丙烯酰胺系化合物、以及式CH尸CR1-COOI^[Ri和R2分別具有與上述同樣的意思l表示的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯系化合物、以及乙烯基吡咯烷酮。
這里，作為112和RS的低級(jí)烷基，可以舉出甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基等碳原子數(shù)1 6的直鏈狀或支鏈狀的低級(jí)烷基。
除此之外，還可以使用(曱基)丙烯酸、乙烯基羧酸、烯丙基胺、乙烯基苯甲酸、乙烯基吡啶、叔丁基丙烯酰胺磺酸、甲基丙烯酰乙酯(另夕夕ij 口^Ol/工于^)、三甲基氯化銨或二甲基氨基丙基(曱基)丙烯酰胺、六亞甲基二異氰酸酯這樣的多官能異氰酸酯、環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷等環(huán)氧烷、聚乙二醇、聚丙二醇等多元醇等的離子性聚合性單體。
在使用離子性聚合性單體時(shí)，為了防止生成凝聚體，優(yōu)選合用非離 子性的單體。作為非離子性的單體，可以舉出(曱基)丙烯酸乙二醇酯、 (甲基)丙烯酸聚乙二醇酯、(甲基)丙烯酸丙二醇酯、(甲基)丙烯酸 聚丙二醇酯、(曱基)丙烯酸丙三醇酯、(甲基)丙烯酸聚丙三醇酯等丙
烯酸酯，(曱基)丙烯酰胺、N-甲基(曱基)丙烯酰胺、N-乙基(甲基) 丙烯酰胺、N-丁基(曱基)丙烯酰胺、N，N-二甲基(曱基)丙烯酰胺、 N-羥曱基丙烯酰胺、雙丙酮丙烯酰胺等N取代(曱基)丙烯酰胺，N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基甲酰胺、N-乙烯基乙酰胺等N-乙烯基酰胺 衍生物等。這些單體可以使用一種或者組合多種使用。
作為與聚合性單體一起使用的交聯(lián)性單體，可以舉出N，N，-亞曱基 雙丙烯酰胺、N,N，-亞曱基雙甲基丙烯酰胺、N，N，-二亞乙基雙丙烯酰胺、 N,N，-亞乙基雙曱基丙烯酰胺、1， 2-二丙烯酰胺乙二醇、二(三或聚) 丙烯酸酯、二 (三或聚)甲基丙烯酸酯等。
適于獲得上述交聯(lián)而成的合成高分子的交聯(lián)性單體的使用比例，因 聚合性單體和交聯(lián)性單體的種類而異，但通常相對(duì)于聚合性單體為
0.1-3.5重量％，更優(yōu)選0.15-2.0重量％。
導(dǎo)電性高分子含水凝膠中所含的已交聯(lián)的合成高分子的組成比例， 優(yōu)選為18-30重量％,更優(yōu)選18~25重量％。
在已交聯(lián)的合成高分子的比例少于18重量％時(shí)，使用這種合成高分 子制作凝膠時(shí)，高分子主鏈在凝膠中所占的比例降低，可能無(wú)法獲得韌 性強(qiáng)度足夠的凝膠。為此，有時(shí)難以將凝聚體的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)中封入的水分 維持在穩(wěn)定的狀態(tài)。另一方面，在已交聯(lián)的合成高分子的比例大于30 重量％時(shí)，得到凝膠強(qiáng)度大且韌性強(qiáng)度大的凝膠。但是，有時(shí)凝聚體的 網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)會(huì)過(guò)于致密，有時(shí)可以封入網(wǎng)眼中的水分的絕對(duì)量會(huì)減少。
導(dǎo)電性高分子含水凝膠中所含的水分，相對(duì)于凝膠整體為12~30重 量％,更優(yōu)選16~30重量％。在凝膠中的水分含量小于12重量％時(shí)， 有時(shí)無(wú)法得到導(dǎo)電性良好的凝膠。在凝膠中的水分含量大于30重量％ 時(shí)，水在網(wǎng)眼中難以穩(wěn)定存在，容易變得干燥。對(duì)于該導(dǎo)電性高分子含水凝膠而言，相對(duì)于凝膠的總重量含有
12-30重量％的水時(shí)，該水分的量相當(dāng)于凝膠的飽和吸水量的3~50%即 可。
對(duì)于凝膠中所含的12-30重量％的水分不足飽和吸水量的3%的凝 膠而言，凝膠與7JC接觸時(shí)迅速地吸水而溶脹，而且高分子網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)松弛， 多元醇等中的內(nèi)容成分有時(shí)會(huì)洗脫。此時(shí)，凝膠的組成發(fā)生變化，凝膠 的強(qiáng)度和膠粘力有時(shí)會(huì)降低，再使用次數(shù)有時(shí)會(huì)減少。
此外，對(duì)于凝膠中所含的12-30重量％的水分超過(guò)飽和吸水量的 50%的凝膠而言，凝膠自身的強(qiáng)度高，但是膠粘性差，此時(shí)，脆性增加， 可能會(huì)因拉伸或壓縮而導(dǎo)致斷裂和破壞。
作為凝膠中所含的多元醇，可以舉出山梨糖醇、乙二醇、丙三醇等。 這些多元醇優(yōu)選在凝膠中的含量為25~65重量％,更優(yōu)選35-60重量％。
凝膠中所含的多元醇的含量小于25重量％時(shí)，有時(shí)無(wú)法得到足夠的 膠粘力。另一方面，多元醇的含量超過(guò)65重量％時(shí)，多元醇會(huì)在凝膠 的表面滲出，有時(shí)會(huì)導(dǎo)致膠粘力的降低。
凝膠中也可以含有電解質(zhì)。作為電解質(zhì)，可以舉出鋰、鈉、鉀等堿 金屬、鎂、鈣等堿土金屬的卣化物、碳酸、硫酸、磷酸等的無(wú)機(jī)酸鹽、 有機(jī)酸鹽、銨鹽、以及咪唑鑰系；吡啶鑰系；脂環(huán)式胺系；脂肪族胺系； 脂肪族鱗系等離子性液體等。由于在潔凈室內(nèi)，硫、硅、錫、卣素的離 子會(huì)對(duì)器件和設(shè)備的制造成品率產(chǎn)生較壞影響，因此優(yōu)選導(dǎo)電性高分子 含水凝膠中的硫、硅以及錫元素、卣化物的離子濃度的總計(jì)在小于 1000ppm的范圍而基本上不含有。為了實(shí)現(xiàn)上述濃度，優(yōu)選不使用電解 質(zhì)，或者在使用時(shí)從銨鹽、有機(jī)酸鹽、離子性液體等不含硫、硅、錫、 卣化物的電解質(zhì)中選擇。電解質(zhì)優(yōu)選在凝膠中含量為0~13重量％，更 優(yōu)選0~6重量％。
電解質(zhì)的含量大于13重量％時(shí)，由于與水的含量的關(guān)系，有時(shí)超過(guò) 電離限度達(dá)到過(guò)飽和狀態(tài)就變得浪費(fèi)了 。
作為上述導(dǎo)電性高分子含水凝膠的制造方法的一例，首先分別計(jì)量 聚合性單體、交聯(lián)性單體、多元醇以及電解質(zhì)，在它們的混合物中加入規(guī)定量的水并攪拌，制成均勻的單體配合液。向其中適當(dāng)加入聚合引發(fā) 劑，按照常規(guī)方法使其發(fā)生聚合反應(yīng)，由此可以得到導(dǎo)電性高分子含水 凝膠。
另外，根據(jù)需要還可以在導(dǎo)電性高分子含水凝膠中適當(dāng)添加防腐劑、 殺菌劑、穩(wěn)定化劑、香料、表面活性劑、著色劑等。
導(dǎo)電性膠粘劑層優(yōu)選電阻率在5xl02~lxl06Qcm的范圍，更優(yōu)選電 阻率在lxl04~lxl06Qcm的范圍。若電阻率在該范圍，則可以更加有效 地除去所帶的靜電，可以提供滿足IEC (國(guó)際電工委員會(huì))標(biāo)準(zhǔn)的防靜 電用具。
進(jìn)而，導(dǎo)電性膠粘劑層有效通過(guò)按照垂直剝離試驗(yàn)的使用了 SUS板 對(duì)的試驗(yàn)，具有的膠粘力在5 50N的范圍，更優(yōu)選膠粘力在10 35N的 范圍。此外，導(dǎo)電性膠粘劑層優(yōu)選具有3 300 112的面積。由于具有上 述范圍的膠粘力和面積，因此可以使防靜電用具對(duì)皮膚的膠粘力大于端
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外，由于面積在上述范圍，因此可以防止導(dǎo)電性膠粘劑層的破碎以及破 爛(可以提高耐久性)，可以反復(fù)使用防靜電用具。此外，即使考慮因 作業(yè)人員的汗液所致的膠粘性的降低，也可以確保足夠的膠粘性。另外，
在考慮貼附到手腕上時(shí)，面積的上限優(yōu)選是300cm2。
此外，導(dǎo)電性膠粘劑層可以包含由PET樹(shù)脂、聚乙烯、聚丙烯、尼 龍、聚氨酯、玻璃紙等制成的無(wú)紡布或織布作為中間基材。導(dǎo)電性高分 子含水凝膠由于容易破碎因此加工性不高，存在可以反復(fù)貼附的強(qiáng)度不 足的情況。在這種情況下，通過(guò)使用中間基材，可以提高加工性，可以 對(duì)導(dǎo)電性膠粘劑層賦予可以反復(fù)貼附的強(qiáng)度。
(防靜電用具的平面形狀)
對(duì)防靜電用具的平面形狀沒(méi)有特別限定，但是可以采用適應(yīng)貼附部 位形狀的形狀。例如可以舉出圓、橢圓、多角形(三角、四角等)、葫 蘆形、酒壺形、不定型等形狀。在平面形狀中，在存在角時(shí)，角優(yōu)選是 被弄圓的。在這些平面形狀中，優(yōu)選與衣服等接觸時(shí)難以剝離的橢圓、 葫,形、酒壺形。進(jìn)而，為了貼附在手腕或腳腕等彎曲面上，優(yōu)選俯視
16時(shí)在防靜電用具的多處具有左右對(duì)稱的中間變細(xì)形狀。 (其他)
防靜電用具還可以具備用于保護(hù)使用前的導(dǎo)電性膠粘劑層的保護(hù) 膜。對(duì)保護(hù)膜沒(méi)有特別限定，可以使用膠粘劑用的公知保護(hù)膜。
進(jìn)而，在將防靜電用具貼附到皮膚上時(shí)或者剝離時(shí)，由于手指與導(dǎo) 電性膠粘劑層接觸，膠粘劑有時(shí)會(huì)附著在手指上。附著的膠粘劑會(huì)附著 于器件或設(shè)備上，其結(jié)果是可能會(huì)使成品率降低。為了抑制這種膠粘劑 的附著，優(yōu)選在導(dǎo)電層的一部分設(shè)置非膠粘劑層。非膠粘劑層可以使用 沒(méi)有膠粘性的任何材料形成的層。非膠粘劑層可以具有絕緣性，也可以 具有導(dǎo)電性。非膠粘劑層優(yōu)選位于防靜電用具的縱向的單側(cè)或雙側(cè)。通 過(guò)設(shè)置非膠粘劑層，可以防止膠粘劑附著在手指上。此外，在將使用后 的用具貼附在保管用臺(tái)紙上時(shí)，還具有可以用雙手對(duì)位，容易貼附的優(yōu) 點(diǎn)。
(2端子型的防靜電用具)
2端子型的防靜電用具，除了具有導(dǎo)電層、端子部和導(dǎo)電性膠粘劑 層分別為兩個(gè)以外，均可以使用上述的防靜電用具的構(gòu)成。
一組的導(dǎo)電性膠粘劑層和導(dǎo)電層，與另 一組的導(dǎo)電性膠粘劑層和導(dǎo) 電層相互分離。這種分離若是兩組具有電絕緣性，則對(duì)其結(jié)構(gòu)沒(méi)有特別 限定。兩組的分離可以借助空間來(lái)進(jìn)行，也可以借助絕緣部件來(lái)進(jìn)行。 前者具有可以廉價(jià)地提供防靜電用具的優(yōu)點(diǎn)，后者具有能夠比前者更可 靠地確保兩組的絕緣性的優(yōu)點(diǎn)。在借助空間進(jìn)行分離時(shí)，優(yōu)選以即使導(dǎo)
分開(kāi)。具體而言，優(yōu)選兩組分開(kāi)為導(dǎo)電性膠粘劑層厚度的兩倍以上。此 外，兩組分開(kāi)的距離上限是用具的防靜電性不受阻礙的程度，例如為導(dǎo) 電性膠粘劑層的厚度的300倍以下。將兩組分離的空間或絕緣部件的形 狀可以是直線狀也可以是曲線狀，還可以是直線和/或曲線的組合。
關(guān)于構(gòu)成兩組的端子部的位置，只要是能保持兩組的絕緣性，就沒(méi) 有特別限定。如果考慮到與導(dǎo)電性按扣的連接，則優(yōu)選在盡可能接近的 位置設(shè)置端子部。例如，可以是在俯^L時(shí)在用具的縱向和橫向并列地設(shè)置端子部。
(監(jiān)控方法)
對(duì)使用本發(fā)明的防靜電用具的帶電狀態(tài)的監(jiān)控方法沒(méi)有特別限定， 可以使用任何公知方法。例如，可以舉出采用具有帶電量檢測(cè)傳感器、 放大器、運(yùn)算部、接地部、警報(bào)器等元件組成的電路的監(jiān)控器的方法。 例如，可以由帶電量檢測(cè)傳感器檢測(cè)帶電量，將檢測(cè)信號(hào)用放大器放大 后送到運(yùn)算部，在運(yùn)算部中檢測(cè)到帶電異常時(shí)由警報(bào)器發(fā)出警告。此夕卜， 帶電還可以借助接地部向外部逃逸。
實(shí)施例
實(shí)施例1
圖1 (a) ~ (c)和圖2中示出實(shí)施例1的防靜電用具的示意圖。圖 1 (a)是實(shí)施例1的防靜電用具的俯視示意圖，圖1 (b)是實(shí)施例1 的防靜電用具的后視示意圖，圖1 (c)是實(shí)施例1的防靜電用具的I-I 線的剖視示意圖，圖2是圖1 (c)的端子部的放大示意圖。此外，在圖 1 (a) ~ (c)和圖2中，參考符號(hào)l為支承部件，la為軟質(zhì)聚乙烯層， lb為聚酯膜，2為導(dǎo)電層，3為端子部，3a為導(dǎo)電性按扣，3b為導(dǎo)電 部，4為覆蓋層，5為導(dǎo)電性膠粘劑層，6為中間基材，7為非膠粘劑層， 8為保護(hù)膜，3al為導(dǎo)電性按扣的凸部，3a2為導(dǎo)電性按扣的凹部，3a3 為導(dǎo)電性按扣的凸緣部，3bl為導(dǎo)電部的凸部，3b2為導(dǎo)電部的凸緣部。
如圖1 (a)和圖1 (b)所示，防靜電用具是角部帶有圓弧的形狀， 具有在縱向上形成有成為捏手部的凸部的葫,形的平面形狀。此外，如 圖1 (c)所示，在捏手部層疊有非膠粘劑層。
圖示的防靜電用具以以下方式形成。
首先，在厚50nm的聚酯膜lb上，膠粘層壓厚度為100pm的軟質(zhì) 聚乙烯層la，由此得到支承部件l。得到的支承部件l具備所需的表面 平滑性、強(qiáng)度以及柔軟性。此外，支承部件1為難以產(chǎn)生塵埃的結(jié)構(gòu)。
然后，釆用絲網(wǎng)印刷法在聚酯膜lb上涂布碳墨并使其干燥，得到厚 lOpm的導(dǎo)電層2。進(jìn)而，將具有由SUS316L形成的凸部3al、凹部3a2和凸緣部3a3 的導(dǎo)電性按扣3a以凸緣部3a3在下的方式設(shè)置在支承部件的表面。接 著，自導(dǎo)電層2側(cè)開(kāi)始，使具有由SUS316L形成的凸部3bl和凸緣部 3b2的導(dǎo)電部3b以其凸部3bl貫穿支承部件，并且自導(dǎo)電性按扣3a的 凸緣部3a3側(cè)使其嵌入導(dǎo)電性按扣3a的凹部3a2中(鉚接)，由此將兩 者卡定(參照?qǐng)D2)。另外，導(dǎo)電性按扣3a的高為3mm、厚為0.3mm， 下面具有直徑10mm的圓形凸緣部。導(dǎo)電部3b的高為4.2mm，下面具 有為直徑10mm的圓形且厚度為0.3mm的凸緣部。
接著，在導(dǎo)電部3b的凸緣部3b2下面貼附了直徑15mm的聚酯樹(shù) 脂制絕緣帶作為覆蓋層4。
此外，在導(dǎo)電層2上的一個(gè)端部通過(guò)貼附厚度lOO[rni的聚酯樹(shù)脂制 絕緣帶，由此形成了成為捏手部的非膠粘劑層7 (圖1 (b)和l (c))。
之后，將導(dǎo)電性膠粘劑層(積水化成品工業(yè)公司制Technogel，電阻 率Ixl05r2cm) 5以非膠粘劑層7露出的方式貼附在導(dǎo)電層2側(cè)，其中 上述導(dǎo)電性膠粘劑層由20重量％的丙烯酸系樹(shù)脂交聯(lián)體、18重量％的 離子交換水、61.85重量％的丙三醇、0.15重量％的防腐劑形成，是包 含尼龍制織布作為中間基材6的導(dǎo)電性高分子含水凝膠制導(dǎo)電性膠粘劑 層。
另外，上述導(dǎo)電性高分子含水凝膠中的硫、硅和錫元素與囟化物(卣 化物、溴化物)的離子的濃度總計(jì)為41.2ppm。該濃度的測(cè)定是通過(guò)熒 光X射線分析法和離子色謙法來(lái)進(jìn)行的。具體而言，按照測(cè)定對(duì)象，用 以下方法來(lái)測(cè)定。
<硫、珪、錫>
使用熒光X射線分析裝置(Rigaku公司制RIX-2100 ),以分析直徑 10mm(])對(duì)成為試樣的防靜電用具的各部件進(jìn)行階次(order)分析，由 此對(duì)上述元素進(jìn)行定量。此外，當(dāng)防靜電用具具備含有大量水分的導(dǎo)電 性膠粘劑層時(shí)，將導(dǎo)電性膠粘劑層用聚丙烯膜保護(hù)后進(jìn)行階次分析。
<卣化物>
19用燃燒管式空氣法使試樣燃燒，用3%過(guò)氧化氫水吸收產(chǎn)生的氣體。 通過(guò)離子色鐠法對(duì)吸收液中的卣化物離子進(jìn)行測(cè)定。
接著，在導(dǎo)電性膠粘劑層5上貼附保護(hù)膜8，進(jìn)而，剪裁成圖l(a) 和1 (b)所示的形狀，得到實(shí)施例1的防靜電用具。所得的防靜電用 具的導(dǎo)電性膠粘劑層的面積是30cm2 (總面積的95%)。
(評(píng)價(jià))
(1) 得到的防靜電用具的自不銹鋼板的抗拉強(qiáng)度為35.5N (自皮膚 的抗拉強(qiáng)度的測(cè)定不均會(huì)增大，但作為參考值是13 28N)。此外，至接 地布線從導(dǎo)電性按扣脫落為止的抗拉強(qiáng)度是6N。從該結(jié)果可知，關(guān)于 該防靜電用具，接地布線會(huì)在由皮膚剝下之前脫落。
另外，就抗拉強(qiáng)度而言，是在SUS304不銹鋼板上貼附實(shí)施例的圖 1 (a)所示的防靜電用具的凝膠面，在約10秒后用專門夾具夾入防靜 電用具的按扣部，用Tensilon ( Orientec公司制RTE-210型)以 300mm/min的速度在垂直方向進(jìn)行拉伸時(shí)的最大強(qiáng)度。
(2) 包括防靜電用具在內(nèi)的人體電阻值的初始值是1.5MQ，即使 在反復(fù)穿脫200次之后仍為1.5MQ。
另外，電阻值如下測(cè)定。將防靜電用具貼附到手腕上，IO秒后將市 售的Ground Cord ( 3M公司制2310 )和端子部連接。電阻值是用手指 觸碰腕帶測(cè)試儀(3M公司制747)來(lái)測(cè)定的。穿脫是通過(guò)在測(cè)定后將 防靜電用具剝下，五分鐘后再次貼附在相同位置而進(jìn)行的。
(3) 對(duì)于人體帶電壓而言，通過(guò)直到穿脫次數(shù)200次為止的測(cè)定， 確認(rèn)了維持在0V。
另外，人體帶電壓通過(guò)JIS L1023中的方法來(lái)測(cè)定，具體而言，將 靜電測(cè)定器(西西帝(Shishido)靜電氣公司制DS3)的傳感器設(shè)置在 人體帶電測(cè)定用荷極板上測(cè)定。貼附時(shí)間和穿脫的測(cè)定條件與上述電阻 值的測(cè)定同樣。
(4) 確認(rèn)了逸散粉塵在未使用或者反復(fù)貼附皮膚200次后，O.lnm 以上的粒子為5 17個(gè)/立方英尺(約28.3升)。另外，逸散粉塵的測(cè)定根據(jù)JISB9921中的方法來(lái)測(cè)定。具體而言， 顆粒計(jì)數(shù)器(Transtech公司制Model 2100 )，雙手持試樣的兩端一分鐘 (相當(dāng)于l立方英尺量)，交替每次約50mm向?qū)ο笠苿?dòng)(反復(fù)折曲)， 通過(guò)從設(shè)備吸引口吸引產(chǎn)生的塵埃來(lái)測(cè)定。
實(shí)施例2
圖3(a) (e)中示出實(shí)施例2的2端子型的防靜電用具的示意圖。 圖3 (a)是實(shí)施例2的防靜電用具的俯視示意圖，圖3 (b)是表示實(shí) 施例1的防靜電用具的導(dǎo)電層的配置的圖。圖3 (b)中斜線部是導(dǎo)電 層，在中央附近存在S字形的未形成導(dǎo)電層的部分a。圖3(c)表示層 疊了覆蓋層和非膠粘劑層的狀態(tài)的圖。圖3 (d)表示層疊了導(dǎo)電性膠 粘劑層的狀態(tài)的圖。圖3(d)中，存在未形成導(dǎo)電性膠粘劑層的部分b。 圖3 (e)是實(shí)施例2中的防靜電用具的I-I線的剖視示意圖。實(shí)施例2 的防靜電用具的端子部具有圖2的放大圖所示的結(jié)構(gòu)。此外，圖3(a) ~ (e)中的參照符號(hào)所示的部件與圖1 (a) ~ (c)中的參考符號(hào)所示的 部件為相同種類。
如圖3(a) (d)中所示，防靜電用具是角部帶有適度圓弧的形狀， 具有在縱向的一方形成了成為捏手部的凸部的酒壺形的平面形狀。此 外，如圖3 (c)和(d)所示，捏手部層疊有非膠粘劑層7。
圖示的防靜電用具如下形成。
首先在厚50jxm的聚酯膜lb上，膠粘層壓厚度100jAm的軟質(zhì)聚乙 烯層la，由此得到支承部件l。得到的支承部件l具備所需的表面平滑 性、強(qiáng)度以及柔軟性。此外，支承部件1為難以產(chǎn)生塵埃的結(jié)構(gòu)。
然后，采用絲網(wǎng)印刷法在聚酯膜lb上涂布碳墨并使其干燥，得到厚 10nm的相互分離的兩個(gè)導(dǎo)電層2。兩個(gè)導(dǎo)電層的間距是5mm。
進(jìn)而，具有由SUS316L形成的凸部3al、凹部3a2和邊緣部3a3的 導(dǎo)電性按扣3a，以邊緣部3a3在下的方式在支承部件的表面，分別在兩 個(gè)導(dǎo)電層2上各設(shè)置一個(gè)。接著，自導(dǎo)電層2側(cè)開(kāi)始，使具有由SUS316L 形成的凸部3bl和凸緣部3b2的導(dǎo)電部3b以其凸部3bl貫穿支承部件， 并且自導(dǎo)電性按扣3a的凸緣部3a3側(cè)使其嵌入導(dǎo)電性按扣3a的凹部3a2中(鉚接)，由此將兩者卡定(參照?qǐng)D2)。另外，導(dǎo)電性按扣3a的 高為3mm、厚為0.3mm,下面具有直徑10mm的圓形凸緣部。導(dǎo)電部 3b的高為4.2mm，下面具有為直徑10mm的圓形且厚度為0.3mm的凸 緣部。
接著，在導(dǎo)電部3b的凸緣部3b2下面以覆蓋凸緣部3b2和未形成 導(dǎo)電層的部分整體的方式，貼附了寬15mm的聚酯樹(shù)脂制絕緣帶作為覆 蓋層4。
此外，在作為捏手部的導(dǎo)電層2上的部分貼附厚度lOOfim的聚酯樹(shù) 脂制絕緣帶，形成了非膠粘劑層7 (圖3 (c)和3 (d))。
之后，將導(dǎo)電性膠粘劑層(積水化成品工業(yè)公司制Technogel，電阻 率lxl04Qcm) 5以非膠粘劑層7露出、在覆蓋層4的中央部分離的方 式粘帖在兩個(gè)導(dǎo)電層2的每層上，且每個(gè)導(dǎo)電層2上各貼附一層，其中 上述導(dǎo)電性膠粘劑層由20重量％的丙烯酸系樹(shù)脂交聯(lián)體、18重量％的 離子交換水、61.85重量％的丙三醇、0.15重量％的防腐劑形成，是包 含尼龍制織布作為中間基材6的導(dǎo)電性高分子含水凝膠制導(dǎo)電性膠粘劑 層。
另夕卜，上述導(dǎo)電性高分子含水凝膠中的硫、硅和錫元素與卣化物(鹵 化物、溴化物)的離子的濃度總計(jì)為6.8ppm。該濃度的測(cè)定與實(shí)施例1 同樣，按照熒光X射線分析法和離子色譜法來(lái)進(jìn)行。
接著，在導(dǎo)電性膠粘劑層5上貼附保護(hù)膜8，進(jìn)而剪裁成如圖3(a) 和3 (b)所示的形狀，得到實(shí)施例1的防靜電用具。所得的防靜電用 具的導(dǎo)電性膠粘劑層的面積是36cm2 (總面積的93%)。
(評(píng)價(jià))
(1)對(duì)于得到的防靜電用具而言，其自 一個(gè)端子的不銹鋼板的抗拉 強(qiáng)度為37.5N (自皮膚的抗拉強(qiáng)度的測(cè)定不均會(huì)增大，但作為參考值是 13~28N)。此外，至接地布線從導(dǎo)電性按扣脫落為止的抗拉強(qiáng)度是6N。 從該結(jié)果可知，就該防靜電用具而言，接地布線會(huì)在由皮膚剝下之前脫 落。另外，抗拉強(qiáng)度與實(shí)施例1同樣地測(cè)定。
(2) 包括防靜電用具在內(nèi)的人體電阻值的初始值是1.3MQ，即使 在反復(fù)穿脫200次之后仍為1.3MQ。
另外，電阻值與實(shí)施例1同樣地測(cè)定。
(3) 對(duì)于人體帶電壓而言，通過(guò)直到穿脫次數(shù)200次為止的測(cè)定， 確認(rèn)了維持在OV。另外，人體帶電壓與實(shí)施例1同樣地測(cè)定。
(4) 確認(rèn)了逸散粉塵在未使用或者反復(fù)貼附皮膚200次后，O.lnm 以上的粒子為5 18個(gè)/立方英尺(約28.3m3 )。
另外，逸散粉塵與實(shí)施例1同樣地測(cè)定。
權(quán)利要求
1、一種防靜電用具，其中，具備支承部件、在所述支承部件的至少一面?zhèn)刃纬傻膶?dǎo)電層、下端具有凸緣部且以所述凸緣部與所述導(dǎo)電層的一面相接的方式貫穿所述支承部件的端子部、覆蓋所述凸緣部的整個(gè)下面的覆蓋層、以及在所述覆蓋層和所述導(dǎo)電層上層疊的導(dǎo)電性膠粘劑層。
2、 一種防靜電用具，其中，具備支承部件、在所述支承部件的至少一面?zhèn)刃纬汕蚁嗷シ蛛x的兩個(gè)導(dǎo)電層、下端具有凸緣部且以所述凸緣部與所述兩個(gè)導(dǎo)電層的每個(gè)的一面分別相接的方式貫穿所述支承部件的兩個(gè)端子部、覆蓋所述凸緣部的整個(gè)下面的覆蓋層、以及在所述覆蓋層和所述兩個(gè)導(dǎo)電層上層疊且相互分離的兩個(gè)導(dǎo)電性膠粘劑層。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的防靜電用具，其中，所述導(dǎo)電性膠粘劑層是由導(dǎo)電性高分子含水凝膠形成的層。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的防靜電用具，其中，所述導(dǎo)電性膠粘劑層的表面積、為3~300cm2。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的防靜電用具，其中，所述導(dǎo)電性膠粘劑層是由基本上不含硫、硅和錫元素與鹵化物的離子且它們的濃度小于1000ppm的導(dǎo)電性高分子含水凝膠形成的層。
6、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的防靜電用具，其中，所述防靜電用具根據(jù)JIS B9921的測(cè)定法得到的O.lpm以上的塵埃的量為100個(gè)/立方英尺(約28.3升)以內(nèi)。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的防靜電用具，其中，所述端子部由導(dǎo)電性按扣和導(dǎo)電部構(gòu)成，所述導(dǎo)電性按扣具有凸部、與凸部相對(duì)應(yīng)的凹部以及在凸部下端的凸緣部，所述導(dǎo)電部具有與所述導(dǎo)電性按扣的凹部嵌合且通過(guò)鉚接而能將導(dǎo)電性按扣卡定的凸部以及在凸部下端的凸緣部。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的防靜電用具，其中，所述防靜電用具是用于防止作業(yè)人員在對(duì)半導(dǎo)體器件、半導(dǎo)體器件搭載電路、信息記錄設(shè)備、粉塵及化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行處理作業(yè)時(shí)帶上靜電的用具。
9、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的防靜電用具，其中，所述支承體由選自聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、尼龍、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、天然橡膠、異戊二烯橡膠、丁二烯橡膠、硅酮橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠中的材料形成，具有對(duì)粘附面的追隨性。
10、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的防靜電用具，其中，所述導(dǎo)電性膠粘劑層的電阻率在5xl02~lxl06ncm的范圍。
11、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的防靜電用具，其中，所述兩個(gè)導(dǎo)電層分開(kāi)的距離為導(dǎo)電性層厚度的2倍以上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種即使是人體這樣的復(fù)雜表面形態(tài)，也能良好地密合并能有效除去其表面所帶電荷的防靜電用具。腕帶型的防靜電用具因長(zhǎng)時(shí)間固定而有在作業(yè)者的手腕上發(fā)生因濕熱所致的皮炎、因金屬過(guò)敏所致的皮炎、因壓迫所致的不適、勒緊痕跡等問(wèn)題。其提供能確保與皮膚持續(xù)密合的防靜電用具，其具備支承部件、在所述支承部件的至少一面?zhèn)刃纬傻膶?dǎo)電層、下端具有凸緣部且以所述凸緣部與所述導(dǎo)電層的一面相接的方式貫穿所述支承部件的端子部、覆蓋所述凸緣部的整個(gè)下面的覆蓋層以及在所述覆蓋層和所述導(dǎo)電層上層疊的導(dǎo)電性膠粘劑層，該用具與皮膚直接貼附，因?qū)щ娦阅z粘劑所具有的膠粘力而牢固地密合，因此不受因人而異的皮膚狀態(tài)差異、因健康狀態(tài)不同的皮膚狀態(tài)差異等所左右。
文檔編號(hào)H05F3/02GK101690416SQ20088002311
公開(kāi)日2010年3月31日 申請(qǐng)日期2008年7月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月27日
發(fā)明者吉川和宏, 西哲也 申請(qǐng)人:積水化成品工業(yè)株式會(huì)社