專利名稱：一種單晶硅生長爐的加熱系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)拉單晶所使用的加熱系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，在現(xiàn)有單晶硅加工過程中，用到的化料設(shè)備就是晶體生長爐，晶體 生長爐包括爐體、爐蓋、坩堝、導(dǎo)流簡、加熱系統(tǒng)，坩堝位于爐體內(nèi)部，加熱 系統(tǒng)中有加熱器，加熱器通過螺栓固定在電極柱上。
拉單晶所使用加熱系統(tǒng)中的加熱器是非常重要的石墨件，加熱器的安裝是 由電極螺栓直接固定到電極柱上，而電極螺栓直接裸露在爐膛中，在拉制單晶 過程中由于硅液蒸發(fā)以及滴落在電極螺栓與加熱器上，流到電極螺栓與加熱器 縫隙之間，經(jīng)常出現(xiàn)電極螺栓與加熱器粘連現(xiàn)象，拆卸時極易損壞加熱器電極 腳，使加熱器整個報廢。
實用新型內(nèi)容
本實用新型需要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠防止螺栓與加熱器粘連的 單晶硅生長爐的加熱系統(tǒng)。
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的單晶硅生長爐的加熱系統(tǒng)，包括加熱 器、電極柱，加熱器包括加熱器本體和電極腳，螺栓將電極腳固定到電極柱上， 在螺栓和電極腳上配裝有密封罩，密封罩將螺栓與電極腳整體包裹。
作為本實用新型的改進，密封罩與加熱器本體上的接觸部位保持密閉。
作為本實用新型的進一步改進，密封罩的內(nèi)腔形狀與螺栓和電極腳的形狀 相配。
由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型所取得的技術(shù)進步在于 由于密封罩將電極螺栓與電極腳整體包裹，當硅液蒸發(fā)以及滴落在電極螺 栓與加熱器上時，就會由密封罩擋住；密封罩與加熱器的接觸部分保持密封，硅液就不會從密封罩與加熱器之間的縫隙中流進去。防止了電極螺栓與加熱器 粘連現(xiàn)象的發(fā)生。
由于密封罩可遮住部分加熱器的連接部分，硅液從上面流下，就會從密封 罩的下方滴落下來。

圖l是本實用新型單晶硅生長爐改進前的結(jié)構(gòu)剖視圖。
圖2是本實用新型單晶硅生長爐改進后的加熱系統(tǒng)的剖視圖。 圖3是本實用新型單晶硅生長爐改進后的加熱系統(tǒng)的密封罩的主視圖。 圖4為本實用新型單晶硅生長爐改進后的加熱系統(tǒng)的密封罩的左視圖。 圖5為本實用新型單晶硅生長爐改進后的加熱系統(tǒng)的密封罩的俯視圖。 其中1、加熱器2、電極3、螺栓4、密封罩具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型做進一步詳細說明
由圖1至圖5可知，本實用新型的單晶硅生長爐的加熱系統(tǒng)，包括加熱器1、 電極柱2、螺栓3,加熱器包括加熱器本體和電極腳，螺栓3將電極腳固定到電 極柱2上，在螺栓3和電極腳上配裝有密封罩4,密封罩4將螺栓3與電極腳整 體包裹，密封罩4與加熱器本體上的接觸部位保持密閉，密封罩4的內(nèi)腔形狀 與螺栓端部和電極腳形狀相配。
工作時，硅液從上方流下來時，不會流進螺栓與力口熱器本體之間縫隙，也 不能直接流到螺栓和電極腳的聯(lián)接部位，從而防止螺栓與加熱器電極腳的粘連。
權(quán)利要求1、一種單晶硅生長爐的加熱系統(tǒng)，包括加熱器(1)、電極柱(2)，加熱器(1)包括加熱器本體和電極腳，螺栓(3)將電極腳固定到電極柱(2)上，其特征在于在螺栓(3)和電極腳上配裝有密封罩(4)，密封罩(4)將螺栓(3)與電極腳整體包裹。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶硅生長爐的加熱系統(tǒng)，其特征在于所述密 封罩(4)與加熱器本體上的接觸部位保持密閉。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l或2所述的單晶硅生長爐的加熱系統(tǒng)，其特征在于所 述密封罩(4)的內(nèi)腔形狀與螺栓(3)和電極腳的形狀相配。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶硅生長爐的加熱系統(tǒng)，包括加熱器1、電極柱2，加熱器1包括加熱器本體和電極腳，螺栓3將電極腳固定到電極柱2上，在螺栓3和電極腳上配裝有密封罩4，密封罩4將螺栓3與電極腳整體包裹，密封罩4與加熱器本體上的接觸部位保持密閉，密封罩4的內(nèi)腔形狀與螺栓端部和電極腳形狀相配。硅液從上方流下來時，不會流進螺栓3與加熱器本體之間縫隙，也不能直接流到螺栓3和電極腳的聯(lián)接部位，從而防止螺檢3與加熱器電極腳的粘連，使加熱器1延長使用壽命。
文檔編號C30B15/18GK201362755SQ20092010183
公開日2009年12月16日 申請日期2009年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月10日
發(fā)明者張浩強, 楊立輝, 顏玉峰 申請人:寧晉松宮電子材料有限公司