專利名稱：半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，且特別涉及一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器。
背景技術(shù)：
請參考圖l，圖l所示為現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體爐管機(jī)臺結(jié)構(gòu)示意圖。圖l中所示的半 導(dǎo)體爐管機(jī)臺包括入氣口 1、排氣管2、多歧管3、內(nèi)部管4、升降機(jī)5、加熱器6和加熱電阻 絲7。半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器分為高溫、中溫、低溫三種類型，目前我們半導(dǎo)體制造所使用 的爐管機(jī)臺加熱器高溫為120(TC以上，中溫為78(TC左右，低溫為30(TC左右。目前在半導(dǎo) 體制造領(lǐng)域所使用的爐管機(jī)臺加熱器，其加熱電阻絲經(jīng)過一段時間后，由于加熱電阻絲的 變形或短路，以至整個加熱器無法繼續(xù)使用，請參考圖2，圖2所示為現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體爐 管機(jī)臺中加熱器的加熱電阻絲和支撐絕緣陶瓷布局圖。如果沒有及時發(fā)現(xiàn)加熱器的嚴(yán)重隱 患，勢必將造成嚴(yán)重的后果。分析其損壞原因，大概有以下兩種1.電阻絲熱變形后下垂過 大；2.短路造成加熱電阻絲熔斷。圖2中可以看出兩個支撐絕緣陶瓷11之間的第一電阻 絲10熱變形后下垂，容易接觸到相鄰的第二電阻絲20造成短路。爐管機(jī)臺需要進(jìn)行預(yù)防 維修檢查，如果發(fā)現(xiàn)變形嚴(yán)重將進(jìn)行更換等待。就目前情況而言每次檢查發(fā)現(xiàn)加熱器大部 分加熱絲變形都比較嚴(yán)重。 現(xiàn)在發(fā)現(xiàn)的所有故障或具有潛在隱患的加熱器，其問題都出在加熱器底部 (BOTTOM ZONE)。半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器底部功率(BOTTOM Z0NEP0WER)大于其它部分的功 率，原因在于加熱器底部容易散熱，同時在裝載時加熱器底部的熱損失比其他部分高，因此 加熱器底部的補(bǔ)償功率相比較會大，所以加熱電阻絲變形也比較大。 同時，加熱器的更換為整體更換，其包括大量管道的拆裝，電線、信號線的拆裝，互 鎖、報警信號的測試，絕緣、電流的測試，因此加熱器的更換較為困難，成本也較高。

實用新型內(nèi)容本實用新型提出一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，可提高加熱器的安全性能，延長加 熱器的使用壽命。 為了達(dá)到上述目的，本實用新型提出一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，包括多根平行 設(shè)置的電阻絲，所述每根電阻絲上設(shè)置有多個支撐絕緣陶瓷，其中，相鄰兩根電阻絲上的多 個支撐絕緣陶瓷交錯排列。 進(jìn)一步的，同根電阻絲上的多個支撐絕緣陶瓷彼此之間具有相同的距離。 進(jìn)一步的，所述支撐絕緣陶瓷與電阻絲之間具有預(yù)留延伸空間。 為了達(dá)到上述目的，本實用新型還提出一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，包括垂直安
裝的波浪形電阻絲，所述波浪形電阻絲上設(shè)置有多個支撐絕緣陶瓷，其中，所述多個支撐絕
緣陶瓷設(shè)置于波浪形電阻絲的波峰和波谷。 進(jìn)一步的，所述支撐絕緣陶瓷與電阻絲之間具有預(yù)留延伸空間。 本實用新型提出的半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，將相鄰電阻絲上的多個支撐絕緣陶瓷
3交錯排列設(shè)置，改變電阻絲的支撐布局，保證電阻絲的隔離，起到安全防護(hù)作用；將電阻絲設(shè)置為波浪形，并且在其波峰和波谷上設(shè)置多個支撐絕緣陶瓷，從而改變了電阻絲的走向，保證電阻絲的隔離，起到安全防護(hù)作用；本實用新型還在支撐絕緣陶瓷與電阻絲之間具有預(yù)留延伸空間，從而延長加熱器的使用壽命。

圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體爐管機(jī)臺結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2所示為現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器的電阻絲和支撐絕緣陶瓷布局圖。[0014] 圖3所示為本實用新型第一較佳實施例的電阻絲和支撐絕緣陶瓷的布局圖。[0015] 圖4所示為本實用新型第一較佳實施例的電阻絲和支撐絕緣陶瓷使用后的示意圖。 圖5所示為本實用新型第二較佳實施例的波浪形電阻絲和支撐絕緣陶瓷的布局圖。 圖6所示為本實用新型第二較佳實施例的電阻絲和支撐絕緣陶瓷的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施方式
為了更了解本實用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實施例并配合所附圖說明如下。[0019] 本實用新型提出一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，可提高加熱器的安全性能，延長加熱器的使用壽命。 請參考圖3，圖3所示為本實用新型第一較佳實施例的電阻絲和支撐絕緣陶瓷的布局圖。本實用新型提出一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，包括多根平行設(shè)置的電阻絲ioo，所述每根電阻絲100上設(shè)置有多個支撐絕緣陶瓷200，同根電阻絲100上的多個支撐絕緣陶瓷200彼此之間具有相同的距離，其中，相鄰兩根電阻絲100上的多個支撐絕緣陶瓷200交錯排列。 如圖3中所示的第一電阻絲110具有第一支撐絕緣陶瓷211和第二支撐絕緣陶瓷212，第二電阻絲120具有第三支撐絕緣陶瓷221。其中第一電阻絲IIO和第二電阻絲120彼此相鄰，所述第一支撐絕緣陶瓷211、第二支撐絕緣陶瓷212和第三支撐絕緣陶瓷221交錯排列，第三支撐絕緣陶瓷221位于第一支撐絕緣陶瓷211和第二支撐絕緣陶瓷212中間位置的第二電阻絲120上，其余的多個支撐絕緣陶瓷200按照上述規(guī)則排列。[0022] 再參考圖4，圖4所示為本實用新型第一較佳實施例的電阻絲和支撐絕緣陶瓷使用后的示意圖。第一支撐絕緣陶瓷211和第二支撐絕緣陶瓷212之間的第一電阻絲110受熱變形后下垂，接觸到第二電阻絲120上的第三支撐絕緣陶瓷221，從而不會因為下垂后的第一電阻絲110接觸到相鄰的第二電阻絲120造成短路。 再請參考圖5，圖5所示為本實用新型第二較佳實施例的波浪形電阻絲和支撐絕緣陶瓷的布局圖。本實用新型還提出一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，包括垂直安裝的波浪形電阻絲300，所述波浪形電阻絲300上設(shè)置有多個支撐絕緣陶瓷400，其中，所述多個支撐絕緣陶瓷400設(shè)置于波浪形電阻絲300的波峰和波谷。圖5所示的波浪形電阻絲300的波峰具有第四支撐絕緣陶瓷410，所述波浪形電阻絲300的波谷具有第五支撐絕緣陶瓷420。具有這種結(jié)構(gòu)的波浪形電阻絲300在受熱變形后下垂由支撐絕緣陶瓷400支撐，因此不會有短路問題的困擾。 再請參考圖6，圖6所示為本實用新型第二較佳實施例的電阻絲和支撐絕緣陶瓷的結(jié)構(gòu)圖。參見圖6右側(cè)的沿A-A'方向的截面圖，所述支撐絕緣陶瓷400與波浪形電阻絲300之間具有預(yù)留延伸空間500。當(dāng)波浪形電阻絲300受熱變形后被預(yù)留延伸空間500容置，而不會破壞支撐絕緣陶瓷400，從而延長加熱器的使用壽命。所述第一較佳實施例的電阻絲和支撐絕緣陶瓷同樣具有這種結(jié)構(gòu)，這里不再復(fù)述。 綜上所述，本實用新型第一實施例提出的半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，將相鄰電阻絲上的多個支撐絕緣陶瓷交錯排列設(shè)置，改變電阻絲的支撐布局，保證電阻絲的隔離，起到安全防護(hù)作用；本實用新型第二實施例中，將電阻絲設(shè)置為波浪形，并且在其波峰和波谷上設(shè)置多個支撐絕緣陶瓷，從而改變了電阻絲的走向，保證電阻絲的隔離，起到安全防護(hù)作用；本實用新型還在支撐絕緣陶瓷與電阻絲之間具有預(yù)留延伸空間，從而延長加熱器的使用壽命。 雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型。本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾。因此，本實用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，其特征在于，包括多根平行設(shè)置的電阻絲，所述每根電阻絲上設(shè)置有多個支撐絕緣陶瓷，其中，相鄰兩根電阻絲上的多個支撐絕緣陶瓷交錯排列。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，其特征在于，同根電阻絲上的多個 支撐絕緣陶瓷彼此之間具有相同的距離。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，其特征在于，所述支撐絕緣陶瓷與 電阻絲之間具有預(yù)留延伸空間。
4. 一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，其特征在于，包括垂直安裝的波浪形電阻絲，所述波浪 形電阻絲上設(shè)置有多個支撐絕緣陶瓷，其中，所述多個支撐絕緣陶瓷設(shè)置于波浪形電阻絲 的波峰和波谷。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，其特征在于，所述支撐絕緣陶瓷與 電阻絲之間具有預(yù)留延伸空間。
專利摘要本實用新型提出一種半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，包括多根平行設(shè)置的電阻絲，所述每根電阻絲上設(shè)置有多個支撐絕緣陶瓷，其中，相鄰兩根電阻絲上的多個支撐絕緣陶瓷交錯排列。本實用新型提出的半導(dǎo)體爐管機(jī)臺加熱器，可提高加熱器的安全性能，延長加熱器的使用壽命。
文檔編號H05B3/64GK201533421SQ20092020992
公開日2010年7月21日 申請日期2009年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月22日
發(fā)明者王剛 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司