專利名稱：可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及晶體生長熱場結(jié)構(gòu)，特別是一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩
堝蓋板。
背景技術(shù)：
在晶體生長中，溫度梯度的控制十分重要；控制坩堝中固液界面的溫度梯度更是生長出優(yōu)質(zhì)晶體材料的關(guān)鍵。不同的晶體材料不同的生長方法，對固液界面的要求不同；固液界面的梯度成為生長出優(yōu)質(zhì)晶體的關(guān)鍵技術(shù)，傳統(tǒng)等厚開孔的坩堝蓋板設(shè)計不能提供合適的溫場(參見圖l和圖2)。

實用新型內(nèi)容本實用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種通過改變坩堝蓋板來調(diào)節(jié)固液界面的梯度，并得到晶體生長所需要的高溫和溫度分布，從而提高了晶體尺寸和質(zhì)量的一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板。 本實用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn) —種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要用于晶體生長用坩堝上的坩堝蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內(nèi)壁在沿中心點處向外延伸，每個同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度。 所述坩堝蓋板的材料是高熔點金屬或合金，或者是高熔點陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料中任意的組合。 所述中心點到邊緣之間連線除等厚外，呈線性、非線性、球面、非球面、橢圓、波浪形。 本實用新型的有益效果是將坩堝蓋板內(nèi)側(cè)面制成非等厚，改變了熱輻射、熱對流和熱傳導(dǎo)，使得固液界面的溫度分布到達工藝的要求，提高了晶體的尺寸和質(zhì)量。

圖1是傳統(tǒng)坩堝和坩堝蓋板結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1的俯視圖； 圖3是本實用新型坩堝蓋板一種實施例示意圖； 圖4是圖3的俯視圖； 圖5是本實用新型坩堝蓋板另一種實施例示意圖； 圖6是圖5的俯視圖。
具體實施方式為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本實用新型。[0016] 如圖3、4所示，結(jié)合圖l可知，一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要用于晶體生長用坩堝1上的坩堝蓋板2，坩堝蓋板2由高熔點金屬或合金，或者是高熔點陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料中任意的組合制成。在沿坩堝蓋板2內(nèi)壁的中心點處向外延伸，每個同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度，形成階梯狀21的臺面。[0017] 如圖5、6所示，在沿坩堝蓋板2內(nèi)壁的中心點處向外延伸，同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度，形成直線性22的臺面。 以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要用于晶體生長用坩堝上的坩堝蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內(nèi)壁在沿中心點處向外延伸，每個同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，其特征在于所述坩 堝蓋板的材料是高熔點金屬或合金，或者是高熔點陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料 中任意的組合。
專利摘要一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，涉及晶體生長熱場結(jié)構(gòu)，主要用于晶體生長用坩堝上的坩堝蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內(nèi)壁在沿中心點處向外延伸，每個同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度。有益效果是將坩堝蓋板內(nèi)側(cè)面制成非等厚，改變了熱輻射、熱對流和熱傳導(dǎo)，使得固液界面的溫度分布到達工藝的要求，提高了晶體的尺寸和質(zhì)量。
文檔編號C30B11/00GK201538827SQ20092021023
公開日2010年8月4日 申請日期2009年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月27日
發(fā)明者黃小衛(wèi) 申請人:上海元亮光電科技有限公司