專利名稱:?jiǎn)尉t副室清潔桿的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種用于清潔單晶爐副室的裝置。
背景技術(shù):
提拉法晶體生長(zhǎng)方法是獲取單晶的主要方法之一。它的工作原理是,首先將原料 熔化,然后在合適的溫度下將籽晶從上面接觸到熔體的液面,然后將籽晶慢慢上拉。在晶體 上拉的同時(shí)控制熔體的溫度,熔體在籽晶下面不斷凝固,形成晶體并不斷從液面拉出。單晶 爐是目前提拉法晶體生長(zhǎng)中最重要的設(shè)備,用單晶爐來拉制晶體,單晶生長(zhǎng)速度快,容易實(shí) 現(xiàn)人工控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。 現(xiàn)有單晶爐的結(jié)構(gòu)如圖1所示,其主要由副室A和主室B組成。主室B為硅原料 的加熱反應(yīng)室,副室A內(nèi)設(shè)置有用于提升單晶的裝置,在整個(gè)單晶爐中主要起到單晶棒行 程通道的作用。拉晶過程中需要向副室A通入氬氣,氬氣攜帶著反應(yīng)的揮發(fā)物順著副室A 向下運(yùn)動(dòng),最后通過主室B的排氣管道排出。由于夾雜著揮發(fā)物的氣體不可能完全沿單晶 爐設(shè)計(jì)的方向流動(dòng),揮發(fā)物會(huì)逐漸在副室A的爐膛內(nèi)壁沉積,并有可能會(huì)掉入融硅中,造成 拉晶過程中因吃渣引起的單晶"斷棱"現(xiàn)象。所述"斷棱"是單晶拉制中長(zhǎng)晶過程被外力中 斷的俗稱,一旦斷棱,產(chǎn)品合格率大大降低。 由于單晶爐的其他部件均可在清爐過程中用酒精、無塵布等徹底清潔,基本上不 存在外部雜質(zhì),但由于副室A的高度高于地面2 5米,且整個(gè)副室A爐膛長(zhǎng)有2. 5米左右, 直徑約有30cm,在清爐的過程中很難覆蓋到,所以副室1內(nèi)壁包含雜質(zhì),成為造成單晶"斷 棱"的主要原因。
實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有單晶爐在清爐的過程中很難清潔到副室內(nèi)壁的問題,申請(qǐng)人進(jìn)行了研究 改進(jìn),提供一種單晶爐副室清潔桿,可有效對(duì)副室的爐膛內(nèi)壁進(jìn)行清潔,從而避免吃渣后單 晶斷棱現(xiàn)象的發(fā)生,提高產(chǎn)品合格率。 本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下 —種單晶爐副室清潔桿,包括桿柄以及與其一端連接的桿頭,所述桿頭由桿頭支 架以及被桿頭支架支撐的圓環(huán)組成,所述桿柄與桿頭支架連接。 其進(jìn)一步的技術(shù)方案是所述桿頭支架為十字形,所述桿柄與十字形桿頭支架的 中心固定連接。
以及,其進(jìn)一步的技術(shù)方案是所述桿柄是中空的。
本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果是 本實(shí)用新型可有效地對(duì)單晶爐副室的內(nèi)壁進(jìn)行清潔。清爐的時(shí)候,在本實(shí)用新型 的桿頭上包裹蘸取酒精的不會(huì)掉毛的絲光毛巾,人手持桿柄對(duì)副室內(nèi)壁進(jìn)行上下清潔,并 旋轉(zhuǎn)桿柄以清潔內(nèi)壁的各個(gè)角度,最后在桿頭上包裹蘸取酒精的無塵紙做最后檢查,若無 塵紙不粘灰,則確認(rèn)清潔完畢。 使用本實(shí)用新型清潔后的單晶爐可減少因吃渣引起的單晶"斷棱"情況,將產(chǎn)品合
3格率提高了數(shù)個(gè)點(diǎn)。經(jīng)過20爐的連續(xù)試驗(yàn),在其他工藝沒有改動(dòng)的情況下,產(chǎn)品平均合格 率比未清潔前提高5% ;長(zhǎng)期堅(jiān)持使用,產(chǎn)品平均合格率可提高2 3%。
圖1是現(xiàn)有單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是本實(shí)用新型的主視圖。 圖3是圖2的俯視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做進(jìn)一步說明。 圖2至圖3示出了本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例。如圖2至圖3所示,本實(shí)用新型包 括桿柄1以及與其一端連接的桿頭2,桿頭2由一個(gè)十字形支架3以及被十字形支架3支撐 的圓環(huán)4焊接組成,桿柄1與十字形支架3的中心焊接連接。所述桿柄1以及桿頭2是中 空的,不但輕便,還可節(jié)約材料,降低生產(chǎn)成本。 本實(shí)用新型成品后的規(guī)格要求如下整體高度要求達(dá)到人高舉時(shí)可達(dá)到副室1的 頂部,桿頭部圓環(huán)4的直徑要略小于副室1內(nèi)壁的直徑。 使用方法如下清爐的時(shí)候,在桿頭2的圓環(huán)4上包裹上數(shù)塊已經(jīng)蘸取酒精的不會(huì) 掉毛的絲光毛巾,人手持桿柄l對(duì)副室內(nèi)壁進(jìn)行上下清潔,并旋轉(zhuǎn)桿柄以清潔內(nèi)壁的各個(gè) 角度,最后在桿頭2的圓環(huán)4上包裹數(shù)塊已經(jīng)蘸取酒精的無塵紙做最后檢查,若無塵紙不粘 灰,則確認(rèn)清潔完畢。
權(quán)利要求一種單晶爐副室清潔桿,其特征在于包括桿柄以及與其一端連接的桿頭,所述桿頭由桿頭支架以及被桿頭支架支撐的圓環(huán)組成,所述桿柄與桿頭支架連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述單晶爐副室清潔桿,其特征在于所述桿頭支架為十字形,所述 桿柄與十字形桿頭支架的中心固定連接。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述單晶爐副室清潔桿,其特征在于所述桿柄是中空的。
專利摘要一種單晶爐副室清潔桿,包括桿柄以及與其一端連接的桿頭,所述桿頭由桿頭支架以及被桿頭支架支撐的圓環(huán)組成,所述桿柄與桿頭支架連接。所述桿頭支架為十字形,所述桿柄與十字形桿頭支架的中心固定連接。所述桿柄是中空的。本實(shí)用新型可以有效地對(duì)副室的爐膛內(nèi)壁進(jìn)行清掃,從而避免因吃渣引起單晶“斷棱”現(xiàn)象的發(fā)生,提高產(chǎn)品的合格率。
文檔編號(hào)C30B35/00GK201530876SQ20092025652
公開日2010年7月21日 申請(qǐng)日期2009年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月10日
發(fā)明者俞振明, 楊樂, 袁仲明 申請(qǐng)人:高佳太陽能股份有限公司