專利名稱：一種恒溫拉晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電爐，具體地說是涉及用于半導(dǎo)體碲化鉍結(jié)晶、拉晶過程中 使用的恒溫爐子。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體致冷器的生產(chǎn)過程中，晶棒需要在恒溫的條件下制備，現(xiàn)有的爐子是這 樣的用電爐絲繞制在爐腔周圍，由于電阻絲閃爍，造成溫度不穩(wěn)定，而影響使用。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種溫度穩(wěn)定的拉晶爐。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的拉晶爐，包括拉晶爐本體和電阻絲，電阻絲 靠近爐腔內(nèi)部的壁，其特征是爐腔內(nèi)還具有一層不銹鋼圈。所述的不銹鋼圈外部還具有小孔。本實(shí)用新型的有益效果是具有爐腔內(nèi)部溫度恒定，不會(huì)因?yàn)殡娮杞z的閃爍出現(xiàn) 溫度變化的缺點(diǎn)；另一方面，由于具有一個(gè)不銹鋼圈，具有保護(hù)爐腔和電阻絲的的優(yōu)點(diǎn)。

圖1是本實(shí)用新型環(huán)保型恒溫拉晶爐的橫切面結(jié)構(gòu)示意圖其中；1、晶爐本體2、電阻絲掛具本體3、不銹鋼圈4、小孔
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。如圖1所示，拉晶爐，包括拉晶爐本體1和電阻絲2，電阻絲2靠近爐腔內(nèi)部的壁， 其特征是爐腔內(nèi)還具有一層不銹鋼圈3。這個(gè)不銹鋼圈靠近爐腔的壁，電爐絲在不銹鋼圈 的外部。作為一種技術(shù)方案，所述的不銹鋼圈3外部還具有小孔4。不銹鋼圈具有平衡電爐絲的閃爍的這作用，也就保持了溫度的恒定。在爐腔內(nèi)部具有碰撞、污染爐壁和爐腔的情況下，不銹鋼圈還具有保護(hù)作用。
權(quán)利要求一種恒溫拉晶爐，包括拉晶爐本體和電阻絲，電阻絲靠近爐腔內(nèi)部的壁，其特征是爐腔內(nèi)還具有一層不銹鋼圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征是所述的不銹鋼圈外部還具有小孔。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種電爐，具體地說是涉及用于半導(dǎo)體碲化鉍結(jié)晶、拉晶過程中使用的恒溫爐子。拉晶爐，包括拉晶爐本體和電阻絲，電阻絲靠近爐腔內(nèi)部的壁，其特征是爐腔內(nèi)還具有一層不銹鋼圈。所述的不銹鋼圈外部還具有小孔。它具有爐腔內(nèi)部溫度恒定，不會(huì)因?yàn)殡娮杞z的閃爍出現(xiàn)溫度變化的缺點(diǎn)；另一方面，由于具有一個(gè)不銹鋼圈，具有保護(hù)爐腔和電阻絲的的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B15/00GK201620203SQ20092029695
公開日2010年11月3日 申請(qǐng)日期2009年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月15日
發(fā)明者陳建衛(wèi), 陳建民, 陳燕青, 陳磊 申請(qǐng)人:河南鴻昌電子有限公司