專利名稱：有機電致發(fā)光顯示屏及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機EL (Electroluminescent 電致發(fā)光)顯示屏及其制造方法。
背景技術(shù)：
有機EL顯示器的制造方法根據(jù)有機功能層的形成方法大致可分為以下兩種。一 種是通過蒸鍍形成有機功能層的方法，另一種是通過溶劑涂敷法形成有機功能層的方法。作為通過溶劑涂敷法形成有機功能層的代表性方法之一有下述方法，S卩，使用噴 墨裝置將含有有機功能材料的墨的液滴滴入顯示器基板，形成有機功能層(例如，參照專 利文獻1)。含有有機功能材料的墨涂敷在發(fā)色區(qū)域，該發(fā)色區(qū)域配置在顯示器基板上。這里， 所謂發(fā)色區(qū)域，指的是紅(R)、綠(G)、藍(B)中的任一子像素排成一列的區(qū)域。也就是說， 在顯示器基板上，沿特定的方向相互平行地配置三種發(fā)色區(qū)域(R、G、B)。發(fā)色區(qū)域可以通過隔提而按每個子像素地進行劃分，或者不進行劃分而成線狀。 在通過隔提而按每個子像素區(qū)域劃分發(fā)色區(qū)域時，隔提規(guī)定各個子像素區(qū)域，并對每個子 像素供給含有有機功能材料的墨(例如，參照專利文獻2至5)。另一方面，在不通過隔提對發(fā)色區(qū)域進行劃分時(發(fā)色區(qū)域為線狀時)，隔提規(guī)定 各個發(fā)色區(qū)域，并對每個發(fā)色區(qū)域供給含有有機功能材料的墨(例如，參照專利文獻6至 10)。然而，已知從噴墨頭所具有的噴嘴滴出的液滴的大小在每個噴嘴上存在偏差(例 如，參照專利文獻11)。另外，提出了用于下述目的的技術(shù)，S卩，通過由隔提包圍多個子像素并錯開由隔提 包圍的區(qū)域，從而使涂敷的、含有有機功能材料的墨的干燥速度相等(例如，參照專利文獻 12)。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1 (日本)特開2004-362818號公報專利文獻2 (日本)特開2004-87509號公報專利文獻3 美國專利申請公開第2002/0097363號說明書專利文獻4 美國專利申請公開第2002/0008311號說明書專利文獻5 美國專利申請公開第2004/0021413號說明書專利文獻6 美國專利第7091660號專利說明書專利文獻7 (日本)特開2007-227127號公報專利文獻8 (日本)特開2004-288403號公報專利文獻9 美國專利申請公開第2002/0041150號說明書專利文獻10 美國專利申請公開第2007/0138943號說明書專利文獻11 (曰本)特開2003-266669號公報
專利文獻12 (曰本)特開2007-115563號公報在顯示器基板上要通過噴墨裝置形成有機功能層時，如圖1所示那樣，1)相對于 基板10具有的發(fā)色區(qū)域12的長軸而將噴墨裝置的噴墨頭20配置在圖中的上部(或下部) (此時，優(yōu)選的是，配置為發(fā)色區(qū)域12的長軸與噴嘴21的排列方向垂直)、2)使噴墨頭20 與發(fā)色區(qū)域12的長軸平行地相對移動的同時、幻從噴嘴21將液滴滴入發(fā)色區(qū)域12，形成 有機功能層。以下，將這樣使噴墨頭與發(fā)色區(qū)域的長軸平行地相對移動的方法稱為“縱向涂但是，如上所述，從噴墨頭具有的噴嘴滴出的液滴的大小在每個噴嘴存在偏差，所 以在縱向涂敷了顯示器基板時，在發(fā)色區(qū)域間涂敷的墨的量產(chǎn)生偏差。例如，如圖2所示那 樣噴墨頭20具有不滴出墨的噴嘴21a時，在發(fā)色區(qū)域1 涂敷的墨的量少于在發(fā)色區(qū)域 12b涂敷的墨的量。該發(fā)色區(qū)域間的墨的量的偏差造成發(fā)色區(qū)域間的有機功能層的膜厚的 偏差。進而，發(fā)色區(qū)域間的有機功能層的膜厚的偏差造成發(fā)色區(qū)域間的亮度不均，在有機EL 顯示屏中成為所謂的“條紋不均”的原因。作為用于解決“條紋不均”的問題的方法有圖3中記載的方法。在圖3中，1)將具 有多個噴嘴的噴墨頭20配置在顯示器基板10的發(fā)色區(qū)域的長軸的側(cè)部、幻使噴墨頭20與 發(fā)色區(qū)域的長軸垂直地相對移動的同時、幻從噴嘴21將有機功能材料的液滴滴入發(fā)色區(qū) 域12，形成有機功能層。以下，將這樣使噴墨頭與發(fā)色區(qū)域的長軸垂直地相對移動的方法稱 為“橫向涂敷”。在橫向涂敷中，對1發(fā)色區(qū)域涂敷從多個噴嘴滴出的墨。圖4表示通過橫向涂敷將墨滴入發(fā)色區(qū)域12的情形。如圖4所示，在橫向涂敷中， 即使假定噴墨頭具有不滴出墨的噴嘴21a，或者具有滴出大量的墨的噴嘴21b時，在各個發(fā) 色區(qū)域12內(nèi)也能涂敷相同量的墨。但是，即使是圖3中記載的方法也存在產(chǎn)生“干燥不均”的問題。所謂“干燥不均” 指的是由于顯示屏上的墨的干燥速度的偏差而產(chǎn)生的有機功能層的狀態(tài)的不均。通常，在 發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部(以下，簡稱為“發(fā)色區(qū)域的端部”)涂敷的墨的干燥速度比在 發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部分(以下，簡稱為“發(fā)色區(qū)域的中央部”)涂敷的墨的干燥速 度快。這是因為，與發(fā)色區(qū)域的中央部的周圍相比，在發(fā)色區(qū)域的端部的周圍，溶劑蒸氣的 濃度較低。這樣的干燥速度的差造成像素間的有機功能層的狀態(tài)(例如，膜厚等)的偏差。這 樣的像素間的有機功能層的狀態(tài)的偏差成為亮度不均或發(fā)光色不均等的原因。另外，在發(fā)色區(qū)域為線狀時(例如，參照專利文獻6)，在發(fā)色區(qū)域涂敷的墨能夠在 發(fā)色區(qū)域內(nèi)移動。因此，若在發(fā)色區(qū)域的端部涂敷的墨迅速干燥，則在發(fā)色區(qū)域的中央部涂 敷的未干燥的墨被吸引到發(fā)色區(qū)域的端部，在發(fā)色區(qū)域內(nèi)形成膜厚不均勻的有機功能層。另一方面，在隔提規(guī)定每個子像素區(qū)域時(例如，參照專利文獻6)，在發(fā)色區(qū)域涂 敷的墨在發(fā)色區(qū)域內(nèi)無法移動，所以能夠防止上述的發(fā)色區(qū)域內(nèi)的有機功能層的膜厚的偏 差。但是，基板內(nèi)的溶劑蒸氣的濃度差依然發(fā)生，所以墨的干燥速度上產(chǎn)生差異，總之無法 形成在像素間具有相同的膜厚的有機功能層。為了解決這樣的由干燥不均產(chǎn)生的問題，提出了下述技術(shù)，S卩，在基板的外周 部側(cè)擴大由隔提規(guī)定的功能層形成區(qū)域，在基板的中央部側(cè)縮小該區(qū)域(例如，參照特 開2009-54395號公報、特開2009-48830號公報)。在特開2009-54395號公報和特開2009-48830號公報公開的有機EL顯示屏上，基板端部的發(fā)色區(qū)域所包含的功能層形成區(qū) 域的大小全部相同。但是，為了解決由干燥不均產(chǎn)生的問題，特開2009-54395號公報和特開 2009-48830號公報中公開的技術(shù)也并不充分。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供具有相同的膜厚的有機功能層的有機EL顯示屏和其制造 方法。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)通過將發(fā)色區(qū)域劃分為特定的區(qū)域而能夠使墨的干燥速度相等，并 通過進一步的研究而完成本發(fā)明。本發(fā)明的第一方面是有關(guān)以下所示的有機EL顯示屏。[1]、有機EL顯示屏包括基板，其具有沿特定的方向而配置為各個的長軸平行的 多個發(fā)色區(qū)域；隔提，其形成在所述基板上，且在各個所述發(fā)色區(qū)域內(nèi)規(guī)定沿所述發(fā)色區(qū)域 的長軸排成一列的多個涂敷區(qū)域；以及像素電極，其排列在所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部，且具有與 所述發(fā)色區(qū)域的長軸平行的長軸，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長 軸方向的端部的所述涂敷區(qū)域大于位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂 敷區(qū)域。[2]、如[1]所述的有機EL顯示屏，所述涂敷區(qū)域的大小為從所述發(fā)色區(qū)域的長軸 方向的端部朝向所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部廣義單調(diào)減少。[3]、如[1]或[2]所述的有機EL顯示屏，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，排列在位于 所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量多于排列在位 于所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量。W]、如[1]或[2]所述的有機EL顯示屏，排列在各個所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部的所述 像素電極的數(shù)量相同。[5]、如[1]至[4]中任一個所述的有機EL顯示屏，位于所述特定的方向上的基板 端部的所述發(fā)色區(qū)域所包含的所述涂敷區(qū)域的平均面積大于位于所述特定的方向上的基 板中央部的所述發(fā)色區(qū)域所包含的所述涂敷區(qū)域的平均面積。W]、如[1]至[5]中任一個所述的有機EL顯示屏，位于所述特定的方向上的基板 端部且位于所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂敷區(qū)域大于位于所述特定的方向 上的基板中央部且位于所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂敷區(qū)域。本發(fā)明的第二方面有關(guān)以下所示的有機EL顯示屏的制造方法。[7]、有機EL顯示屏的制造方法包括以下步驟準備TFT(薄膜晶體管)基板，所 述TFT基板具有基板，其具有沿特定的方向而配置為相互的長軸平行的多個發(fā)色區(qū)域；隔 提，其形成在所述基板上，且在各個所述發(fā)色區(qū)域內(nèi)規(guī)定沿所述發(fā)色區(qū)域的長軸排成一列 的多個涂敷區(qū)域；以及像素電極，其排列在所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部，且具有與所述發(fā)色區(qū)域的 長軸平行的長軸；在所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的側(cè)部且所述基板的所述發(fā)色區(qū)域以外的區(qū) 域上配置噴墨頭，所述噴墨頭具有以規(guī)定的間距線狀地排列的兩個以上的噴嘴而且供給含 有有機功能材料的墨；以及使所述噴墨頭與所述發(fā)色區(qū)域的長軸垂直地相對移動，并從所 述噴嘴將所述墨滴入所述涂敷區(qū)域來進行涂敷，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的所述涂敷區(qū)域大于位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂敷區(qū)域。
[8]1有機EL顯示屏的制造方法包括以下步驟準備TFT基板，所述TFT基板具有基板，其具有沿特定的方向而配置為相互的長軸平行的多個發(fā)色區(qū)域；隔堤，其形成在所述基板上，且在各個所述發(fā)色區(qū)域內(nèi)規(guī)定沿所述發(fā)色區(qū)域的長軸排成一列的多個涂敷區(qū)域；以及像素電極，其排列在所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部，且具有與所述發(fā)色區(qū)域的長軸平行的長軸；在所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的側(cè)部且所述基板的所述發(fā)色區(qū)域以外的區(qū)域上配置噴墨頭，該噴墨頭具有以規(guī)定的間距線狀地排列的兩個以上的噴嘴而且供給含有有機功能材料的墨；從所述噴嘴將規(guī)定量的所述墨滴入所述基板的發(fā)色區(qū)域以外的區(qū)域，確定所述噴嘴中的不滴出墨的噴嘴的位置和數(shù)量；將與不滴出所述墨的噴嘴相鄰的噴嘴滴出的所述墨的量設(shè)定得多于所述規(guī)定量；以及使所述噴墨頭與所述發(fā)色區(qū)域的長軸垂直地相對移動，并從所述噴嘴將所述墨滴入所述涂敷區(qū)域來進行涂敷，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的所述涂敷區(qū)域大于位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央的所述涂敷區(qū)域。
根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示器的制造方法，能夠形成在像素間具有相同的膜厚的有機功能層，制造無發(fā)光不均的有機EL顯示屏。
另外，根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示屏的制造方法，即使在噴墨頭具有一定數(shù)量的不滴出墨噴嘴的情況下，也能夠向涂敷區(qū)域提供所需量的墨，提高成品率。


圖l是表示通過縱向涂敷制造的有機EL顯示屏的的制造方法的圖。
圖2是表示通過縱向涂敷制造的有機EL顯示屏的的制造方法的圖。
圖3是表示通過橫向涂敷制造的有機EL顯示屏的的制造方法的圖。
圖5是表示本發(fā)明的有機EL顯示屏的的制造方法的圖。
圖6是表示本發(fā)明的有機EL顯示屏的的制造方法的圖。
圖7是表示本發(fā)明的有機EL顯示屏的的制造方法的圖。
圖8是表示本發(fā)明的有機EL顯示屏的的制造方法的圖。
圖9是表示本發(fā)明的有機EL顯示屏的的制造方法的圖。
圖lo是本發(fā)明的有機EL顯示屏的平面圖。
圖11是本發(fā)明的有機EL顯示屏的剖面圖。
圖12是本發(fā)明的有機EL顯示屏的剖面圖。
圖13是實施方式l的有機EL顯示屏的平面圖。
圖14是實施方式2的有機EL顯示屏的平面圖。
圖15是實施方式3的有機EL顯示屏的平面圖。
圖16是實施方式3的有機EL顯示屏的部分放大圖。
圖17A一圖17C是實施方式3的有機EL顯示屏的剖面圖。
附圖標記的說明
lo基板
11隔提
12發(fā)光區(qū)域
20噴墨頭
21噴嘴
100、200、300TFT 基板
101基板
103發(fā)色區(qū)域
105涂敷區(qū)域
107隔提
109像素電極
111有機功能層
150噴墨頭
151噴嘴
具體實施例方式1、關(guān)于本發(fā)明的有機EL顯示屏的制造方法本發(fā)明的有機EL顯示屏的制造方法包括1)第一步驟，準備形成有機功能層之前 的TFT基板；以及幻第二步驟，通過噴墨在TFT基板涂敷含有有機功能材料的墨，形成有機 功能層。1)關(guān)于第一步驟在第一步驟中，準備形成有機功能層之前的TFT基板(參照圖13)。本發(fā)明的特征 在于在第一步驟準備的TFT基板的構(gòu)造。以下，詳細地說明在第一步驟準備的TFT基板的 構(gòu)造。在第一步驟準備的TFT基板包括基板、形成在基板上的隔提、矩陣狀配置在基板 上的多個像素電極以及與各個像素電極連接的薄膜晶體管(TFT)。各個像素電極具有長軸 和短軸。另外，在各個像素電極上也可以形成由過渡金屬的氧化物構(gòu)成的空穴輸入層。作 為過渡金屬的氧化物的例子包括鎢氧化物(WOx)、鉬氧化物(MoOx)、釩氧化物(VOx)、以及 這些氧化物的組合等?；寰哂醒靥囟ǖ姆较蚨渲脼橄嗷サ拈L軸平行的發(fā)色區(qū)域。這里，所謂發(fā)色區(qū) 域指的是紅(R)、綠(G)、藍⑶中的任一子像素排成一列的區(qū)域(參照圖13的103)。也就 是說，在本發(fā)明中，沿特定的方向而相互平行地配置三種發(fā)色區(qū)域(R、G、B)。例如，在紅色 發(fā)色區(qū)域的旁邊配置綠色發(fā)色區(qū)域，在綠色發(fā)色區(qū)域的旁邊配置藍色發(fā)色區(qū)域，在藍色發(fā) 色區(qū)域的旁邊配置紅色發(fā)色區(qū)域。如上所述，發(fā)色區(qū)域具有長軸，并且發(fā)色區(qū)域的長軸與上 述的像素電極的長軸平行。在本發(fā)明中，其特征在于發(fā)色區(qū)域具有后述的排成一列的多個 涂敷區(qū)域。隔提是用于規(guī)定涂敷墨的區(qū)域的絕緣性的部件，所述墨含有有機功能材料。隔提 形成在基板上。如果加工較容易且具有絕緣性，則并不特別限定隔提的材料。隔提將發(fā)色區(qū)域劃分為多個涂敷區(qū)域。也就是說，隔提規(guī)定涂敷區(qū)域。在本發(fā)明中，所謂“涂敷區(qū)域”指的是涂敷含有有機功能材料的區(qū)域。有機功能材料至少含有有機發(fā) 光材料，也可以含有空穴輸入層的材料或空穴輸送層的材料等。隔提規(guī)定涂敷區(qū)域，以使1 發(fā)色區(qū)域中多個涂敷區(qū)域沿發(fā)色區(qū)域的長軸排成一列。在1涂敷區(qū)域內(nèi)排列1或2個以上的像素電極。在涂敷區(qū)域具有2個以上的像素 電極時，像素電極在涂敷區(qū)域內(nèi)沿發(fā)色區(qū)域的長軸排成一列。在本發(fā)明中，其特征在于涂敷區(qū)域的位置和涂敷區(qū)域的大小之間的關(guān)系。具體而 言，各個涂敷區(qū)域的大小因各個涂敷區(qū)域的位置而不同。以下，更詳細地說明TFT基板中的 涂敷區(qū)域的位置和涂敷區(qū)域的大小之間的關(guān)系。(i)關(guān)于發(fā)色區(qū)域內(nèi)的涂敷區(qū)域的位置和涂敷區(qū)域的大小之間的關(guān)系如上所述，發(fā)色區(qū)域具有沿發(fā)色區(qū)域的長軸而排成一列的多個涂敷區(qū)域。在本發(fā) 明中，在所有的發(fā)色區(qū)域中，位于各個發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的涂敷區(qū)域(以下稱為 “端部涂敷區(qū)域”)大于位于各個發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的涂敷區(qū)域(以下稱為“中 央部涂敷區(qū)域”)(參照圖13、圖14、圖15)。這里所謂中央部涂敷區(qū)域指的是位于發(fā)色區(qū)域 的長軸方向的中央的、含有像素電極的涂敷區(qū)域。為了使端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域，例如使端部涂敷區(qū)域的長度比中央部 涂敷區(qū)域的長度長即可。此時，排列在端部涂敷區(qū)域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量多于排列在 中央部涂敷區(qū)域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量(參照圖13)。這里所謂“涂敷區(qū)域的長度”指的 是發(fā)色區(qū)域的長軸方向的涂敷區(qū)域的長度。另外，使各個涂敷區(qū)域的長度相同，例如也可以通過使端部涂敷區(qū)域的寬度大于 中央部涂敷區(qū)域的寬度，而使端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域(參照圖14)。此時，排列 在各個涂敷區(qū)域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量相同。這里所謂“涂敷區(qū)域的寬度”指的是與發(fā) 色區(qū)域的長軸垂直的方向上的涂敷區(qū)域的長度。另外，也使規(guī)定端部涂敷區(qū)域的隔提高于規(guī)定中央部涂敷區(qū)域的隔提，或使規(guī)定 端部涂敷區(qū)域的隔提的錐角小于規(guī)定中央部涂敷區(qū)域的隔提的錐角，由此使端部涂敷區(qū)域 的容積大于中央部涂敷區(qū)域的容積(參照圖16和圖17)。優(yōu)選的是，涂敷區(qū)域的大小為從發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部朝向發(fā)色區(qū)域的長軸 方向的中央部廣義單調(diào)減少。這里所謂“從發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部朝向發(fā)色區(qū)域的長 軸方向的中央部廣義單調(diào)減少”指的是從端部涂敷區(qū)域直至中央部涂敷區(qū)域為止涂敷區(qū)域 的面積至少不增加。這樣，通過使端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域，能夠在發(fā)色區(qū)域內(nèi)使后述的墨 的干燥速度相等，并能夠形成在發(fā)色區(qū)域內(nèi)具有相同的膜厚的有機功能層。在后述的第二 步驟的說明中，詳細地說明通過使端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域而能夠使墨的干燥速
度相等的理由。(ii)關(guān)于基板內(nèi)的發(fā)色區(qū)域的位置和該發(fā)色區(qū)域具有的涂敷區(qū)域的大小之間的 關(guān)系如上所述，在TFT基板中，為了使發(fā)色區(qū)域內(nèi)有機功能層的膜厚相同，在發(fā)色區(qū)域 內(nèi)調(diào)節(jié)涂敷區(qū)域的大小。在本發(fā)明中，還可以在每個發(fā)色區(qū)域調(diào)節(jié)涂敷區(qū)域的大小。通過 在每個發(fā)色區(qū)域調(diào)節(jié)涂敷區(qū)域的大小，能夠使發(fā)色區(qū)域間墨的干燥速度相等，并能夠使發(fā) 色區(qū)域間有機功能層的膜厚相同。也就是說，優(yōu)選的是，本發(fā)明的有機EL顯示屏的、位于特定的方向上的基板端部的發(fā)色區(qū)域(以下稱為“端部發(fā)色區(qū)域”，參照圖13、圖14、圖15的 103X)所包含的涂敷區(qū)域的平均面積大于位于所述特定的方向上的基板中央部的發(fā)色區(qū)域 (以下稱為“中央部發(fā)色區(qū)域”，參照圖13、圖14、圖15的103Y)所包含的涂敷區(qū)域的平均 面積。為了使端部發(fā)色區(qū)域所包含的涂敷區(qū)域的平均面積大于中央部發(fā)色區(qū)域所包含 的涂敷區(qū)域的平均面積，例如，也可以使端部發(fā)色區(qū)域具有的涂敷區(qū)域的數(shù)量少于中央部 發(fā)色區(qū)域具有的涂敷區(qū)域的數(shù)量(參照圖13、圖15)。另外，優(yōu)選的是，端部發(fā)色區(qū)域的中央部涂敷區(qū)域也大于中央部發(fā)色區(qū)域的中央 部涂敷區(qū)域(參照圖13、圖14、圖15)。這樣，使端部發(fā)色區(qū)域所包含的涂敷區(qū)域的平均面積大于中央部涂敷區(qū)域所包含 的涂敷區(qū)域的平均面積，由此能夠使發(fā)色區(qū)域間墨的干燥速度相等，并能夠使發(fā)色區(qū)域間 有機功能層的膜厚相同。在后述的第二步驟的說明中，詳細地說明其效果。2)關(guān)于第二步驟在第二步驟中，在準備了的TFT基板上通過噴墨來涂敷含有有機功能材料的墨 (以下簡稱為“墨”)，形成有機功能層。通過噴墨來涂敷墨時，使具有多個滴出墨的噴嘴的噴墨頭對TFT基板相對移動即 可。雖然有使噴墨頭相對于上述的發(fā)色區(qū)域的長軸平行移動的方法(縱向涂敷)和使其相 對于發(fā)色區(qū)域的長軸垂直移動的方法(橫向涂敷)，但優(yōu)選后者。這是因為，在橫向涂敷時， 從多個噴嘴向一個涂敷區(qū)域滴入墨而進行涂敷，由此能夠防止因每個噴嘴的滴出量的差造 成有機功能層的膜厚不均(參照圖4)。以下，使用

通過“橫向涂敷”對TFT基板涂敷墨的方法。第二步驟還包括i)在發(fā)色區(qū)域的長軸的側(cè)部且基板的發(fā)色區(qū)域以外的區(qū)域上 配置具有多個噴嘴的噴墨頭的步驟(圖5)、ii)從噴嘴向基板的發(fā)色區(qū)域以外的區(qū)域滴出 墨，確定噴墨頭所具有的噴嘴中的、不滴出墨的噴嘴的位置和數(shù)量的步驟、iii)將與不滴出 墨的噴嘴相鄰的噴嘴滴出的所述墨的量設(shè)定得多于通常的量的步驟、以及iv)使噴墨頭與 發(fā)色區(qū)域的長軸垂直地相對移動，從噴嘴將墨滴入涂敷區(qū)域，進行涂敷的步驟(圖6、圖7、 圖8、圖9、圖10)。圖5表示步驟i)后的狀態(tài)。在步驟i)中，在準備了的TFT基板100的發(fā)色區(qū)域 103的長軸的側(cè)部且基板101的發(fā)色區(qū)域103以外的區(qū)域上配置噴墨頭。更具體而言，在多 個發(fā)色區(qū)域103中的、最邊端的發(fā)色區(qū)域103X的長軸的側(cè)部配置噴墨頭150。也可以是所 配置的噴墨頭150的噴嘴151的排列方向與發(fā)色區(qū)域103的長軸平行(參照圖5)。如圖5所示，在配置在噴墨頭150的噴嘴151(151-1 151_n)中從處于一端的噴 嘴151-1至處于另一端的噴嘴151-n為止的距離優(yōu)選與基板101的發(fā)色區(qū)域103的長軸方 向的長度相同或為其以上的長度。這是因為，能夠同時對發(fā)色區(qū)域103具有的所有涂敷區(qū) 域105涂敷墨。另外，相對于發(fā)色區(qū)域103的長軸方向，噴墨頭150的噴嘴151的排列方向 傾斜時，“從噴嘴151-1至噴嘴151-n為止的距離的發(fā)色區(qū)域的長軸方向上的分量”優(yōu)選與 發(fā)色區(qū)域103的長軸方向的長度相同或為其以上的長度。線狀地排列在噴墨頭150上的噴嘴151間的間距(pitch)優(yōu)選為10 μ m 50 μ m， 例如優(yōu)選約為20μπι。這是為了，使從噴嘴151滴出的墨在落入地點相互連結(jié)。另外，從噴嘴151滴出的液滴的每一滴的量優(yōu)選為Ipl 15pl，例如優(yōu)選為3pl。向噴墨頭供給含有有機功能材料的墨。在本發(fā)明中，有機功能材料優(yōu)選含有高分 子有機發(fā)光材料。適當?shù)剡x擇高分子有機發(fā)光材料，以從發(fā)色區(qū)域產(chǎn)生期望的顏色(R，G， B)。在步驟ii)中，從噴嘴151向基板101的發(fā)色區(qū)域103以外的區(qū)域滴入規(guī)定量的 墨，確定噴墨頭150所包含的噴嘴151中的、不滴出墨的噴嘴(以下稱為“不滴出墨噴嘴”) 的位置和數(shù)量。在確定不滴出墨噴嘴的位置和數(shù)量時，用攝像機觀察從噴嘴滴出而落入基 板上的墨，確認是否從任何噴嘴都滴出了墨即可。在確定出的不滴出墨噴嘴的數(shù)量在一定數(shù)量以上時，不轉(zhuǎn)移到步驟iii)而洗凈 噴墨頭的噴嘴。例如，在不滴出墨噴嘴的比例為全體噴嘴的2%以上時，通過吹掃、擦拭等洗 凈噴墨頭的噴嘴，在洗凈后，再次返回到步驟ii)。另一方面，在步驟ii)確認出不滴出墨噴 嘴的比例在2%以下時，轉(zhuǎn)移到步驟iii)。在噴墨裝置中，有時由于噴頭滴出面變干或墨凝集，噴嘴的滴出口堵塞。在噴嘴的 滴出口堵塞時，需要進行洗凈噴墨頭等處理而使工作效率降低。另外，即使洗凈了噴墨頭， 也難以完全地消除噴嘴的堵塞。因此，實際上要求使用含有一定數(shù)量的不滴出墨噴嘴的噴 墨頭來涂敷墨。在步驟iii)中，將在步驟ii)確定了位置的不滴出墨噴嘴的兩側(cè)的噴嘴滴出的墨 的量設(shè)定得多于在步驟ii)滴出的“規(guī)定量”的墨。具體而言，將不滴出墨噴嘴的兩側(cè)的噴 嘴滴出液滴的間隔(滴出1液滴后至滴出下一液滴為止的時間)設(shè)定為通常間隔的2/3。 通過將噴嘴滴出液滴的間隔設(shè)定為通常間隔的2/3，使噴嘴在一定時間內(nèi)滴出的液滴的量 為通常的噴嘴滴出的液滴的量的1. 5倍。通過使不滴出墨噴嘴的兩側(cè)的噴嘴滴出的墨的量 分別為1.5倍，能夠填補因不滴出墨噴嘴造成的墨的不足。這樣，通過步驟ii)和步驟iii)，即使在噴墨頭具有一定數(shù)量的不滴出墨噴嘴時， 也能夠進行調(diào)整，以將所需量的墨供給到涂敷區(qū)域內(nèi)。由此，能夠防止在步驟iv)產(chǎn)生未涂 敷墨的區(qū)域，提高成品率。圖6、圖7、圖8以及圖9表示進行步驟iv)的情形。在步驟iv)中，使噴墨頭150 在與TFT基板100的發(fā)色區(qū)域103的長軸垂直的方向上，相對于TFT基板100相對移動(圖 6)。在使噴墨頭150相對于TFT基板100相對移動時，可以使噴墨頭150移動，也可以移送 TFT基板100，并且也可以使雙方都移動。若噴墨頭150的相對移動的結(jié)果為噴墨頭150的 噴嘴151到達一發(fā)色區(qū)域103，則從噴嘴151滴出墨的液滴。發(fā)色區(qū)域103具有由隔提107規(guī)定的多個涂敷區(qū)域105，由此滴出的墨的液滴落入 涂敷區(qū)域105來進行涂敷。所涂敷的墨量為每1個子像素100 500pl。從一個噴嘴以通 常規(guī)定的間隔滴出多個液滴，由此供給所需量的墨。圖7是表示噴嘴151向涂敷區(qū)域105滴出液滴的情形的示意圖。如圖7所示，對 涂敷區(qū)域105由多個噴嘴151滴入墨而進行涂敷。圖7所示的噴嘴151a為不滴出墨的不滴出墨噴嘴。如上所述，通過步驟iii)，不 滴出墨噴嘴151a的兩側(cè)的噴嘴151b為了補充不滴出墨噴嘴造成的墨不足，調(diào)整為滴出比 通常多的墨。在圖7中，通常的噴嘴151滴入涂敷區(qū)域105的液滴的數(shù)量為四滴，但不滴出 墨噴嘴151a的兩側(cè)的噴嘴151b滴出的液滴的數(shù)量為六滴。
這樣，將不滴出墨噴嘴的兩側(cè)的噴嘴滴出的液滴的量設(shè)定為1.5倍，由此即使在 噴墨頭包含不滴出墨噴嘴的情況下，也能夠?qū)⑺枇康哪稳胨械淖酉袼亍Ｓ袝r從噴墨頭150的噴嘴151滴出的液滴的量在每個噴嘴分別不同，但通過如本 發(fā)明那樣使噴墨頭與發(fā)色區(qū)域的長軸垂直地相對移動，能夠使發(fā)光區(qū)域間的墨的量相等。 因此，即使從噴嘴151滴出的液滴量存在差異，在發(fā)光區(qū)域間涂敷膜的膜厚也相同。對一個發(fā)色區(qū)域103的各個涂敷區(qū)域105滴完墨后，再使噴墨頭150相對移動，使 噴墨頭150移動到應(yīng)滴入墨的液滴的下一發(fā)色區(qū)域103 (參照圖8和圖9)。通常，由于R的 墨、G的墨以及B的墨分別以不同的掃描進行涂敷，所以每隔三個線區(qū)域地滴入墨的液滴。 若噴墨頭150到達所期望的發(fā)色區(qū)域103，則再次滴出墨的液滴并使液滴落入發(fā)色區(qū)域103 的各個涂敷區(qū)域105。進而，以同樣的方法涂敷其他顏色的墨，涂敷R、G、B的所有的墨反復(fù) 進行上述動作，對所有的涂敷區(qū)域105涂敷墨，并使涂敷了的墨干燥，由此形成有機功能層 111(參照圖10)。如上所述，在本發(fā)明中，端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域，所以能夠使涂敷在涂 敷區(qū)域的墨的干燥速度在發(fā)色區(qū)域內(nèi)相等，并能夠形成在發(fā)色區(qū)域內(nèi)具有相同膜厚的有機 功能層。以下，說明端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域和使墨的干燥速度相等之間的關(guān) 系。圖11是圖10所示的TFT基板的AA線處的剖面圖。另外，圖11中的箭頭表示墨 的蒸發(fā)速度。箭頭越粗表示墨的蒸發(fā)速度越快。如圖11所示，在發(fā)色區(qū)域103的兩端的周圍，溶劑蒸氣的濃度較低，所以墨的蒸發(fā) 速度較快。另一方面，在發(fā)色區(qū)域的中央的周圍，溶劑蒸氣的濃度較高，所以蒸發(fā)速度較慢。另一方面，在本發(fā)明中，端部涂敷區(qū)域105X大于中央部涂敷區(qū)域105Y。也就是說， 涂敷在端部涂敷區(qū)域105X的墨的量多于涂敷在中央部涂敷區(qū)域105Y的墨的量。因此，即使 在發(fā)色區(qū)域103的端部墨的蒸發(fā)速度較快，由于涂敷在端部涂敷區(qū)域105X的墨的量較多， 所以直至涂敷在端部涂敷區(qū)域105X的墨全部干燥為止比較耗費時間。另一方面，在發(fā)色區(qū) 域103的中央部，蒸發(fā)速度較慢，但由于涂敷在中央部涂敷區(qū)域105Y的墨的量較少，所以直 至涂敷在中央部涂敷區(qū)域105Y的墨全部干燥為止相對不耗費時間。這樣，通過使端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域，能夠使端部涂敷區(qū)域的干燥速 度和中央部涂敷區(qū)域的干燥速度相等，并能夠使發(fā)色區(qū)域內(nèi)有機功能層的膜厚相同。另外，在本發(fā)明中，端部發(fā)色區(qū)域103X所包含的涂敷區(qū)域的平均面積也大于中央 部發(fā)色區(qū)域103Y所包含的涂敷區(qū)域的平均面積，所以能夠使涂敷在涂敷區(qū)域的墨的干燥 速度在發(fā)色區(qū)域間相等，并能夠形成在發(fā)色區(qū)域間具有相同的膜厚的有機功能層。圖12是圖10所示的TFT基板的BB線處的剖面圖。另外，圖12中的箭頭表示墨 的蒸發(fā)速度。箭頭越粗表示墨的蒸發(fā)速度越快。如圖12所示，在端部發(fā)色區(qū)域103X的周圍，溶劑蒸氣的濃度較低，所以墨的蒸發(fā) 速度較快。另一方面，在中央部發(fā)色區(qū)域103Y的周圍，溶劑蒸氣的濃度較高，所以蒸發(fā)速度 較慢。另一方面，在本發(fā)明中，端部發(fā)色區(qū)域103X所包含的涂敷區(qū)域105的平均面積大 于中央部發(fā)色區(qū)域103Y所包含的涂敷區(qū)域105的平均面積(參照圖10)。因此，即使在端部發(fā)色區(qū)域103X的周圍，墨的蒸發(fā)速度較快，直至涂敷在端部發(fā)色區(qū)域103X所包含的涂敷 區(qū)域105的墨全部干燥為止也比較耗費時間。另一方面，在中央部發(fā)色區(qū)域103Y的周圍， 蒸發(fā)速度較慢，但直至涂敷在中央部發(fā)色區(qū)域103Y所包含的涂敷區(qū)域105的墨全部干燥為 止相對不耗費時間。這樣，通過使端部發(fā)色區(qū)域所包含的涂敷區(qū)域的平均面積大于中央部發(fā)色區(qū)域所 包含的涂敷區(qū)域的平均面積，能夠使端部發(fā)色區(qū)域的干燥速度與中央部發(fā)色區(qū)域的干燥速 度相等，并能夠獲得在發(fā)色區(qū)域間具有相同的膜厚的有機功能層。由此，能夠制造無發(fā)光不 均的有機EL顯示屏。另外，用隔提將發(fā)色區(qū)域劃分為多個涂敷區(qū)域，由此能夠提高成品率。在有機EL 顯示器的制造過程中，有時在形成有機功能層之前，灰塵附著在發(fā)色區(qū)域內(nèi)。在沒有將發(fā)色 區(qū)域規(guī)定為多個涂敷區(qū)域的情況下，所涂敷的墨被灰塵吸引，在發(fā)色區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生未形成有 機功能層的區(qū)域。另一方面，若如本發(fā)明那樣通過隔提將發(fā)色區(qū)域規(guī)定為多個涂敷區(qū)域，則由規(guī)定 涂敷區(qū)域的隔提來阻止所涂敷的墨被灰塵吸引。由此，即使灰塵附著在發(fā)色區(qū)域內(nèi)，也難以 在涂敷區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生未形成有機功能層的區(qū)域，從而提高成品率。在有機功能層包含空穴輸入層的情況下，在形成有機發(fā)光層之前，也可以與上述 的形成方法同樣，通過噴墨來涂敷含有空穴輸入層的材料即PED0T-PSS的墨，形成空穴輸入層。另外，在形成空穴輸入層之后且形成有機發(fā)光層之前，也可以與上述的形成方法 同樣通過噴墨來涂敷含有聚苯胺類的材料的墨，形成空穴輸送層。在形成了有機電致EL層后，層疊電子輸入輸送層、對向電極等，還配置密封膜或 玻璃基板等來制造顯示器。這樣根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示器的制造方法，能夠形成在像素間具有相同的膜 厚的有機功能層，制造無發(fā)光不均的有機EL顯示屏。另外，根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示屏的 制造方法，即使在噴墨頭具有一定數(shù)量的不滴出墨噴嘴的情況下，也能夠向涂敷區(qū)域提供 所需量的墨，提高成品率。2、關(guān)于本發(fā)明的有機EL顯示屏本發(fā)明的有機EL顯示屏包括基板、形成在基板上的隔提以及矩陣狀配置在基板 上的多個像素電極。各個像素電極具有長軸和短軸。像素電極是配置在基板上的導(dǎo)電性部件。像素電極通常作用為陽極，但也可以作 用為陰極。另外，在各個像素電極上也可以形成由過渡金屬的氧化物構(gòu)成的空穴輸入層。作 為過渡金屬的氧化物的例子包括鎢氧化物(WOx)、鉬氧化物(MoOx)、釩氧化物(VOx)、以及 這些氧化物的組合等?？梢栽诿總€子像素形成由過渡金屬的氧化物構(gòu)成的空穴輸入層，也可以由多個子 像素共用一個空穴輸入層。優(yōu)選的是，在每個子像素形成由過渡金屬的氧化物構(gòu)成的空穴 輸入層?；逡部梢园ㄟB接到像素電極的薄膜晶體管(TFT)?；寰哂醒靥囟ǖ姆较蚨渲脼橄嗷サ拈L軸平行的發(fā)色區(qū)域。發(fā)色區(qū)域具有長 軸，并且發(fā)色區(qū)域的長軸與上述的像素電極的長軸平行。
根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示屏是底部發(fā)光型還是頂部發(fā)光型，基板的材料不同。例 如，在為底部發(fā)光型時，要求基板具有絕緣性且是透明的。因此在為底部發(fā)光型時，基板的 材料是玻璃或透明樹脂等即可。另一方面，在為頂部發(fā)光型時，并不需要基板是透明的。因 此，在為頂部發(fā)光型時，基板的材料只要具有絕緣性可以是任何材料。隔提將發(fā)色區(qū)域劃分為多個涂敷區(qū)域。也就是說，隔提規(guī)定涂敷區(qū)域。隔提規(guī)定 涂敷區(qū)域，以使在1發(fā)色區(qū)域中多個涂敷區(qū)域沿發(fā)色區(qū)域的長軸線狀排列。隔提的材料例 如為聚酰亞胺等絕緣樹脂。隔提的高度(隔提的底面與隔提的上表面之間的距離)優(yōu)選為
0.Ιμ 2μ ，特別優(yōu)選為0. 8μπ 1. 2μπ 。在隔提的高度為2 μ m以上時，后述的對向 電極有可能被隔提切斷。另外，在隔提的高度為0.8μπ 以下時，涂敷在由隔提規(guī)定的區(qū)域 內(nèi)的墨有可能從隔提漏出。另外，隔提優(yōu)選為正錐狀(參照圖17)。另外，也可以使規(guī)定端部涂敷區(qū)域的隔提高于規(guī)定中央部涂敷區(qū)域的隔提，或調(diào) 節(jié)為規(guī)定端部涂敷區(qū)域的隔提的錐角小于規(guī)定中央部涂敷區(qū)域的隔提的錐角，由此使端部 涂敷區(qū)域的容積大于中央部涂敷區(qū)域的容積(參照實施方式3)。在1涂敷區(qū)域內(nèi)排列1或2以上的像素電極。在涂敷區(qū)域具有2個以上的像素電 極時，像素電極在涂敷區(qū)域內(nèi)沿發(fā)色區(qū)域的長軸排成一列。像素電極的長軸優(yōu)選為220 390 μ m，像素電極的短軸優(yōu)選為70 125 μ m。根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示屏是底部發(fā)光型還是頂部發(fā)光型，像素電極的材料不 同。在為底部發(fā)光型時，由于要求像素電極為透明電極，所以作為像素電極的材料的例子包 括ITO (氧化銦錫)、IZO (氧化銦鋅),ZnO(氧化鋅)等。在為頂部發(fā)光型時，要求像素電極具有光反射性，所以作為像素電極的材料的例 子包括含有銀的合金更具體而言為銀-鈀-銅合金(也稱為APC)或銀-釕-金合金(也 稱為ARA)、MoCr (鉬鉻)、NiCr (鎳鉻)、鋁-釹合金(也稱為Al-Nd)等。本發(fā)明的有機EL顯示屏的特征在于涂敷區(qū)域的位置和涂敷區(qū)域的大小之間的關(guān) 系。以下，說明有機EL顯示屏中的涂敷區(qū)域的位置和涂敷區(qū)域的大小之間的關(guān)系。(1)關(guān)于發(fā)色區(qū)域內(nèi)的涂敷區(qū)域的位置和涂敷區(qū)域的大小之間的關(guān)系在本發(fā)明的有機EL顯示屏內(nèi)，在所有的發(fā)色區(qū)域中，端部涂敷區(qū)域大于中央部涂 敷區(qū)域。涂敷區(qū)域的大小優(yōu)選為從端部涂敷區(qū)域至中央部涂敷區(qū)域為止廣義地單調(diào)減少。 為了使端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域，例如也可以使端部涂敷區(qū)域的長度比中央部涂 敷區(qū)域的長度長。此時，排列在端部涂敷區(qū)域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量多于排列在中央部 涂敷區(qū)域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量(參照圖13)。例如，在某個發(fā)色區(qū)域中，使一方的端部 涂敷區(qū)域所包含的像素電極的數(shù)量為該發(fā)色區(qū)域具有的像素電極的總數(shù)的0. 5 15%，使 中央部涂敷區(qū)域所包含的像素電極的數(shù)量為該發(fā)色區(qū)域具有的像素電極的總數(shù)的0. 2
1.5%即可。端部涂敷區(qū)域和中央部涂敷區(qū)域具有的像素電極的具體數(shù)量因有機EL顯示屏的 大小等而變動，但例如在為20英寸(1366X768像素)的有機EL顯示屏?xí)r，可以使端部涂 敷區(qū)域具有的像素電極的數(shù)量為5 100，使中央部涂敷區(qū)域具有的像素電極的數(shù)量為2 10。另外，也可以使各個涂敷區(qū)域的長度相同，使端部涂敷區(qū)域的寬度大于中央部涂 敷區(qū)域的寬度，由此使端部涂敷區(qū)域大于中央部涂敷區(qū)域(參照圖14)。例如，將端部涂敷區(qū)域的寬度設(shè)為60 90 μ m,并將中央部涂敷區(qū)域的寬度設(shè)為50 70 μ m即可。此時，各 個涂敷區(qū)域具有的像素電極的數(shù)量相同(參照圖14)。(2)關(guān)于基板內(nèi)的發(fā)色區(qū)域的位置和該發(fā)色區(qū)域具有的涂敷區(qū)域的大小之間的關(guān) 系在本發(fā)明的有機EL顯示屏中優(yōu)選的是，端部發(fā)色區(qū)域所包含的涂敷區(qū)域的平均 面積大于中央部涂敷區(qū)域所包含的涂敷區(qū)域的平均面積。為了使端部發(fā)色區(qū)域所包含的涂敷區(qū)域的平均面積大于中央部發(fā)色區(qū)域所包含 的涂敷區(qū)域的平均面積，例如，也可以使端部發(fā)色區(qū)域具有的涂敷區(qū)域的數(shù)量少于中央部 發(fā)色區(qū)域具有的涂敷區(qū)域的數(shù)量(參照圖13)。另外，優(yōu)選的是，端部發(fā)色區(qū)域的中央部涂敷區(qū)域也大于中央部發(fā)色區(qū)域的中央 部涂敷區(qū)域(參照圖13、圖14)。這樣，使涂敷區(qū)域的大小根據(jù)涂敷區(qū)域的位置而不同，由此能夠使涂敷在基板上 的各個涂敷區(qū)域的墨的干燥速度相等，并能夠獲得在像素間具有相同的膜厚的有機功能層 的有機EL顯示屏。有機功能層配置在像素電極上。有機功能層至少包含有機發(fā)光層，其為在由隔提 規(guī)定的涂敷區(qū)域內(nèi)通過涂敷法形成的層。有機功能層所包含的有機發(fā)光層含有有機發(fā)光材料。有機發(fā)光材料既可以為低 分子有機發(fā)光材料，也可以為高分子有機發(fā)光材料，但優(yōu)選為高分子有機發(fā)光材料。這 是因為，含有高分子有機發(fā)光材料的有機發(fā)光層容易通過涂敷法形成。作為高分子有 機發(fā)光材料的例子包括聚亞乙基苯(polyphenylenevinylene)以及其衍生物、聚乙 炔(Poly acetylene)以及其衍生物、聚苯(Poly phenylene)以及其衍生物、聚對亞乙 基苯(Poly para phenyleneethylene)以及其衍生物、聚 3_ 己基噻吩(Poly 3-hexyl thiophene(P3HT))以及其衍生物、聚芴(polyf luorene (PF))以及其衍生物等。有機功能層還可以包含空穴輸入層和空穴輸送層等。在有機功能層包含空穴輸入層時，作為空穴輸入層的材料的例子包括摻雜了聚乙 烯磺酸的聚(3、4_亞乙基二氧噻吩)(稱為PED0T-PSQ或其衍生物(共聚物等)。另外，空穴輸送層具有阻斷電子被輸送到空穴輸入層的作用，并具有將空穴高效 率地運送到有機功能層的作用。在像素電極(或空穴輸入層)和有機功能層之間配置空穴 輸送層。作為空穴輸送層的材料的例子包括聚苯胺等?？昭ㄝ斔蛯拥暮穸韧ǔ？蔀镮Onm 以上且IOOnm以下，可約為40nm。本發(fā)明的有機EL顯示屏在有機功能層上具有對向電極。對向電極是配置在有機 功能層上的導(dǎo)電部件。對向電極通常作用為陰極，但也可以作用為陽極。根據(jù)有機EL顯示 屏是底部發(fā)光型還是頂部發(fā)光型，對向電極的材料不同。在為頂部發(fā)光型時需要對向電極 是透明的，所以作為對向電極的材料的例子包括ITO或IZO等。另一方面，在為底部發(fā)光型時，不需要對向電極是透明的，只要對向電極的材料具 有絕緣性，就可以是任何材料。對向電極形成在配置于各個子像素區(qū)域的有機功能層上即 可，但也可以橫跨所有的發(fā)色區(qū)域而形成對向電極。在本發(fā)明的有機EL顯示屏還可以在形成了對向電極的面上設(shè)置覆蓋材料來進行 密封。通過覆蓋材料，抑制水分或氧的侵入。
以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。(實施方式1)在本實施方式中說明，在所有的發(fā)色區(qū)域中，端部涂敷區(qū)域的長度(發(fā)色區(qū)域的 長軸方向的長度)比中央部涂敷區(qū)域的長度長的例子。也就是說，在實施方式1中說明，端 部涂敷區(qū)域具有的像素電極的數(shù)量多于中央部涂敷區(qū)域具有的像素電極的數(shù)量的例子。圖13是從本實施方式的有機EL顯示屏中除去對向電極后的顯示屏(TFT基板)。 另外，圖13也是從圖10的顯示屏(TFT基板)中除去有機功能層111后的顯示屏。如圖13所示，本實施方式的TFT基板100包括基板101、隔提107以及像素電極 109。基板101具有沿X方向排列的、相互平行的發(fā)色區(qū)域103。隔提107將發(fā)色區(qū)域103劃分為多個涂敷區(qū)域105。也就是說，隔提107規(guī)定涂敷 區(qū)域105。涂敷區(qū)域105在發(fā)色區(qū)域103內(nèi)，沿發(fā)色區(qū)域103的長軸排成一列。在涂敷區(qū)域105內(nèi)排列像素電極109。涂敷區(qū)域105具有的像素電極的數(shù)量根據(jù) 涂敷區(qū)域105的位置而不同。例如，在中央部發(fā)色區(qū)域103Y中，端部涂敷區(qū)域105X具有四 個像素電極109。另一方面，中央部涂敷區(qū)域105Y具有一個像素電極109。另外，也可以在 中央部涂敷區(qū)域105Y和端部涂敷區(qū)域105X之間，排列多個與端部涂敷區(qū)域105X相同大小 (具有四個像素電極)的涂敷區(qū)域105。此時，在一個發(fā)色區(qū)域103中，兩個端部涂敷區(qū)域 105X以及與端部涂敷區(qū)域105X相同大小(具有四個像素電極)的多個涂敷區(qū)域105所包 含的像素電極109的總數(shù)為該發(fā)色區(qū)域103具有的像素電極109的總數(shù)的50 95%，中央 部涂敷區(qū)域105Y所包含的像素電極109的數(shù)量為該發(fā)色區(qū)域103具有的像素電極109的 總數(shù)的10%以下。另外，端部發(fā)色區(qū)域103X的端部涂敷區(qū)域105X具有五個像素電極，端部發(fā)色區(qū)域 103X的中央部涂敷區(qū)域105Y具有三個涂敷區(qū)域。因此，端部發(fā)色區(qū)域103X所包含的涂敷 區(qū)域105的平均面積大于中央部發(fā)色區(qū)域103Y所包含的涂敷區(qū)域105的平均面積。這樣，在本實施方式中，使涂敷區(qū)域的大小根據(jù)涂敷區(qū)域的位置而不同，由此能夠 使涂敷在基板上的各個涂敷區(qū)域的墨的干燥速度相等，并能夠獲得在像素間具有相同的膜 厚的有機功能層的有機EL顯示屏。(實施方式2)在實施方式1中說明了端部涂敷區(qū)域的長度比中央部涂敷區(qū)域的長度長的例子。 在實施方式2中說明，在所有的發(fā)色區(qū)域中，各個涂敷區(qū)域的長度相同，端部涂敷區(qū)域的寬 度大于中央部涂敷區(qū)域的寬度的例子。也就是說，在實施方式2中說明各個涂敷區(qū)域具有 的像素電極的數(shù)量相同的例子。圖14是從本實施方式的有機EL顯示屏中除去對向電極和有機功能層后的顯示屏 (TFT基板)。如圖14所示，本實施方式的TFT基板200包括基板101、隔提107以及像素電極 109?；?01具有沿X方向排列的、相互平行的發(fā)色區(qū)域103。隔提107將發(fā)色區(qū)域103劃分為多個涂敷區(qū)域105。也就是說，隔提107規(guī)定涂敷 區(qū)域105。涂敷區(qū)域105在發(fā)色區(qū)域103內(nèi)，沿發(fā)色區(qū)域103的長軸線狀排列。
涂敷區(qū)域105的大小根據(jù)涂敷區(qū)域105的位置而不同。例如，端部涂敷區(qū)域105X 的寬度和面積大于中央部涂敷區(qū)域105Y的寬度和面積。另外，端部發(fā)色區(qū)域103X的端部 涂敷區(qū)域105X的寬度和面積大于端部發(fā)色區(qū)域103X的中央部涂敷區(qū)域105Y的寬度和面 積。另外，端部發(fā)色區(qū)域103X具有五個面積最大的涂敷區(qū)域103，但中央部發(fā)色區(qū)域 103Y僅具有四個面積最大的涂敷區(qū)域103。另外，端部發(fā)色區(qū)域103X具有的中央部涂敷 區(qū)域105Y也大于中央部發(fā)色區(qū)域103Y具有的中央部涂敷區(qū)域105Y。因此，端部發(fā)色區(qū)域 103X所包含的涂敷區(qū)域105的平均面積大于中央部發(fā)色區(qū)域103Y所包含的涂敷區(qū)域105 的平均面積。在本實施方式中將涂敷區(qū)域105所包含的像素電極109的數(shù)量作為一個例子進行 了說明，但涂敷區(qū)域105所包含的像素電極的數(shù)量也可以是2個以上。這樣，在本實施方式中，使涂敷區(qū)域的大小根據(jù)涂敷區(qū)域的位置而不同，由此能夠 使涂敷在基板上的各個涂敷區(qū)域的墨的干燥速度相等，并能夠獲得在像素間具有相同的膜 厚的有機功能層的有機EL顯示屏。(實施方式3)在實施方式3中說明，根據(jù)在有機EL顯示屏上的位置，隔提的錐角不同的本發(fā)明 的有機EL顯示屏。圖15是從實施方式3的有機EL顯示屏300中除去對向電極和有機功能層后的顯 示屏(TFT基板)的平面圖。圖16是圖15的四邊形α包圍的區(qū)域的放大圖。圖17Α是圖16所示的有機EL顯示屏300的AA線處的剖面圖。也就是說，圖17Α 表示用于規(guī)定中央部涂敷區(qū)域105Υ的隔提107的剖面圖。圖17Β是圖16所示的有機EL 顯示屏300的BB線處的剖面圖。圖17C是圖16所示的有機EL顯示屏300的CC線處的剖 面圖。也就是說，圖17C表示用于規(guī)定端部涂敷區(qū)域105Χ的隔提107的剖面圖。除了根據(jù)在有機EL顯示屏上的位置，隔提的錐角不同以外，實施方式3的有機EL 顯示屏300與實施方式1的有機EL顯示屏100相同。對與實施方式1的有機EL顯示屏 100相同的構(gòu)成部件標注相同附圖標記，并省略其說明。如圖17Α至圖17C所示，在本實施方式中，具有正錐形的隔提107。另外，本實施方式的特征在于隔提107的錐角θ是變化的。具體而言，規(guī)定中央 部涂敷區(qū)域105Υ的隔提107的錐角θ較大(參照圖17Α)，規(guī)定端部涂敷區(qū)域105Χ的隔提 107的錐角θ較小(參照圖17C)。優(yōu)選的是，隔提107的錐角沿發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中 心部朝向發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部逐漸變小(參照圖17Α 圖17C)。為了調(diào)節(jié)隔提107的錐角，在通過光刻法形成隔提時適當?shù)剡x擇多階掩膜(灰階 掩膜或半色調(diào)掩膜)的濃淡即可。例如，將正型的光致抗蝕劑作為隔提的材料，通過越是發(fā) 色區(qū)域的長軸方向的端部透光度越增加的掩膜，對光致抗蝕劑進行曝光，并進行圖案化即 可。這樣減小用于規(guī)定隔提的端部涂敷區(qū)域的隔提的錐角，增大用于規(guī)定中央部涂敷 區(qū)域的隔提的錐角，由此能夠進一步增大端部涂敷區(qū)域的容積。因此，能夠增加在端部涂敷 區(qū)域涂敷的墨的量，并能夠使涂敷到各個涂敷區(qū)域的墨的干燥速度相等。本申請主張基于2008年8月四日提交的特愿第2008-222552號的優(yōu)先權(quán)。該申請說明書中所記載的內(nèi)容，全部被本申請說明書引用。工業(yè)實用性根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示器的制造方法，能夠形成在像素間具有相同的膜厚的 有機功能層，制造無發(fā)光不均的有機EL顯示屏。另外，根據(jù)本發(fā)明的有機EL顯示屏的制造 方法，即使在噴墨頭具有一定數(shù)量的不滴出墨噴嘴的情況下，也能夠向涂敷區(qū)域提供所需 量的墨，提高成品率。
權(quán)利要求
1.有機電致發(fā)光顯示屏，包括基板，其具有沿特定的方向而配置為相互的長軸平行的多個發(fā)色區(qū)域；隔提，其形成在所述基板上，且在各個所述發(fā)色區(qū)域內(nèi)規(guī)定沿所述發(fā)色區(qū)域的長軸排 成一列的多個涂敷區(qū)域；以及像素電極，其排列在所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部，且具有與所述發(fā)色區(qū)域的長軸平行的長軸，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的所述涂敷區(qū)域 大于位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂敷區(qū)域。
2.如權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示屏，所述涂敷區(qū)域的大小為從所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部朝向所述發(fā)色區(qū)域的長軸 方向的中央部廣義單調(diào)減少。
3.如權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示屏，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，排列在位于所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的所述涂敷區(qū) 域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量多于排列在位于所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂 敷區(qū)域的內(nèi)部的像素電極的數(shù)量。
4.如權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示屏，排列在各個所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部的所述像素電極的數(shù)量相同。
5.如權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示屏，位于所述特定的方向上的基板端部的所述發(fā)色區(qū)域所包含的所述涂敷區(qū)域的平均面 積大于位于所述特定的方向上的基板中央部的所述發(fā)色區(qū)域所包含的所述涂敷區(qū)域的平 均面積。
6.如權(quán)利要求5所述的有機電致發(fā)光顯示屏，位于所述特定的方向上的基板端部且位于所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述 涂敷區(qū)域大于位于所述特定的方向上的基板中央部且位于所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中 央部的所述涂敷區(qū)域。
7.有機電致發(fā)光顯示屏的制造方法，包括以下步驟準備薄膜晶體管基板，所述薄膜晶體管基板具有基板，其具有沿特定的方向而配置為 相互的長軸平行的多個發(fā)色區(qū)域；隔提，其形成在所述基板上，且在各個所述發(fā)色區(qū)域內(nèi)規(guī) 定沿所述發(fā)色區(qū)域的長軸排成一列的多個涂敷區(qū)域；以及像素電極，其排列在所述涂敷區(qū) 域的內(nèi)部，且具有與所述發(fā)色區(qū)域的長軸平行的長軸；在所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的側(cè)部且所述基板的所述發(fā)色區(qū)域以外的區(qū)域上配置噴 墨頭，所述噴墨頭具有以規(guī)定的間距線狀地排列的兩個以上的噴嘴而且供給含有有機功能 材料的墨；以及使所述噴墨頭與所述發(fā)色區(qū)域的長軸垂直地相對移動，并從所述噴嘴將所述墨滴入所 述涂敷區(qū)域來進行涂敷，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的所述涂敷區(qū)域 大于位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂敷區(qū)域。
8.有機電致發(fā)光顯示屏的制造方法，包括以下步驟準備薄膜晶體管基板，所述薄膜晶體管基板具有基板，其具有沿特定的方向而配置為 相互的長軸平行的多個發(fā)色區(qū)域；隔提，其形成在所述基板上，且在各個所述發(fā)色區(qū)域內(nèi)規(guī)定沿所述發(fā)色區(qū)域的長軸排成一列的多個涂敷區(qū)域；以及像素電極，其排列在所述涂敷區(qū) 域的內(nèi)部，且具有與所述發(fā)色區(qū)域的長軸平行的長軸；在所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的側(cè)部且所述基板的所述發(fā)色區(qū)域以外的區(qū)域上配置噴 墨頭，所述噴墨頭具有以規(guī)定的間距線狀地排列的兩個以上的噴嘴而且供給含有有機功能 材料的墨；從所述噴嘴將規(guī)定量的所述墨滴入所述基板的發(fā)色區(qū)域以外的區(qū)域，確定所述噴嘴中 的不滴出墨的噴嘴的位置和數(shù)量；將與不滴出所述墨的噴嘴相鄰的噴嘴滴出的所述墨的量設(shè)定得多于所述規(guī)定量；以及 使所述噴墨頭與所述發(fā)色區(qū)域的長軸垂直地相對移動，并從所述噴嘴將所述墨滴入所 述涂敷區(qū)域來進行涂敷，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的所述涂敷區(qū)域 大于位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂敷區(qū)域。
全文摘要
公開了有機EL顯示屏，其包括基板，其具有沿特定的方向而配置為相互的長軸平行的多個發(fā)色區(qū)域；隔堤，其形成在所述基板上，且在各個所述發(fā)色區(qū)域內(nèi)規(guī)定沿所述發(fā)色區(qū)域的長軸排成一列的多個涂敷區(qū)域；以及像素電極，其排列在所述涂敷區(qū)域的內(nèi)部，且具有與所述發(fā)色區(qū)域的長軸的方向平行的長軸，在所有的所述發(fā)色區(qū)域中，位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的端部的涂敷區(qū)域大于位于各個所述發(fā)色區(qū)域的長軸方向的中央部的所述涂敷區(qū)域。
文檔編號H05B33/22GK102067727SQ20098010058
公開日2011年5月18日 申請日期2009年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月29日
發(fā)明者吉田英博, 奧本健二, 山室景成 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社