專利名稱：電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具和罩固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在電感耦合等離子處理裝置中用于對將構(gòu)成處理室頂板部分的窗構(gòu) 件的下表面覆蓋的罩進(jìn)行固定的罩固定器具和罩固定裝置。
背景技術(shù)：
在FPD (平板顯示器)的制造工序中，對FPD用的玻璃基板進(jìn)行等離子蝕刻、等離 子灰化、等離子成膜等各種等離子處理。作為進(jìn)行這樣的等離子處理的裝置，公知有能夠產(chǎn) 生高密度等離子體的電感耦合等離子(ICP)處理裝置。電感耦合等離子處理裝置包括處理室，其被氣密地保持，且能對作為被處理體的 基板進(jìn)行等離子處理；配置在處理室外部的高頻天線。處理室具有構(gòu)成處理室的頂板部分 的、由電介體等材質(zhì)構(gòu)成的窗構(gòu)件，高頻天線被配置在窗構(gòu)件的上方。在該電感耦合等離子 處理裝置中，通過對高頻天線施加高頻電力，隔著窗構(gòu)件在處理室內(nèi)形成感應(yīng)電場，利用該 感應(yīng)電場將被導(dǎo)入到處理室內(nèi)的處理氣體轉(zhuǎn)化為等離子體，使用該等離子體來對基板進(jìn)行 規(guī)定的等離子處理。在電感耦合等離子處理裝置中，在窗構(gòu)件的下表面露出到處理室中時，該窗構(gòu)件 的下表面受到等離子體造成的損傷。由于窗構(gòu)件無法容易地裝卸，因此，即使受到損傷，也 無法容易地更換或者清洗。因此，如專利文獻(xiàn)1所述，利用能夠容易地裝卸的罩覆蓋窗構(gòu)件 的下表面。由此，能夠保護(hù)窗構(gòu)件的下表面，而且，能夠容易地更換或者清洗受到損傷的罩。專利文獻(xiàn)1 日本特開2001-28299號公報如專利文獻(xiàn)1所述，以往，罩被多個螺釘固定在窗構(gòu)件的支承構(gòu)件上。更詳細(xì)地說 明，在以往的罩固定方法中，在罩的周緣部附近部分分別形成有供螺釘?shù)臈U部貫穿的多個 通孔，從罩的下表面?zhèn)葘⒙葆數(shù)臈U部插入到各通孔中，將該桿部擰入到窗構(gòu)件的支承構(gòu)件 中而對罩進(jìn)行固定。但是，在該以往的罩固定方法中產(chǎn)生了如下的問題。在處理室中進(jìn)行等離子處理時，罩的下表面被連續(xù)地暴露于等離子體中，因此，罩 的下表面的溫度上升。在罩的下表面溫度上升的過程中，在罩的下表面產(chǎn)生不均勻的溫度 分布，結(jié)果，在罩中產(chǎn)生拉伸、彎曲等微小的變形。此時，由于罩的材料(例如陶瓷)與支承 構(gòu)件的材料(例如鋁)之間的熱膨脹系數(shù)的不同，因此罩的變形量和支承構(gòu)件的變形量產(chǎn) 生差異。因此，在為了使罩的通孔附近部分完全不進(jìn)行移動而利用螺釘將罩固定于支承構(gòu) 件的情況下，對罩的通孔附近部分施加過度的應(yīng)力，罩有可能從該部分破損。因此，也考慮通過使罩的通孔直徑充分大于螺釘?shù)臈U部直徑，并且，設(shè)置罩和螺釘 能夠相對地移動的機(jī)構(gòu)，不會對罩的通孔附近部分施加過度的應(yīng)力。但盡管如此，在罩變形 時，對罩施加的應(yīng)力也易于集中在通孔附近部分，因此，易于因以通孔為起點產(chǎn)生的裂紋而 導(dǎo)致罩的破損。另外，在以往的罩固定方法中，在處理室的頂面形成有由多個螺釘?shù)念^部形成的 多個凸部。等離子處理時產(chǎn)生的副生成物易于附著在該凸部上。因此，在等離子處理過程 中，一旦附著在螺釘頭部的副生成物從螺釘?shù)念^部剝落而產(chǎn)生微粒(浮游粒子)，該微粒就有可能導(dǎo)致蝕刻不良。另外，螺釘頭部被等離子體消耗而產(chǎn)生微粒，該微粒也有可能導(dǎo)致蝕 刻不良。并且，在以往的罩固定方法中，使用多個螺釘來固定罩，因此存在罩的裝卸作業(yè)性 較差這樣的問題點。另外，應(yīng)對FPD的大型化，電感耦合等離子處理裝置的處理室也被大型 化。在具有大型的處理室的電感耦合等離子處理裝置中，有時窗構(gòu)件和罩分別由被分割成 的多個部分構(gòu)成。在這種情況下，為了固定罩而使用更多的螺釘，因此，罩的裝卸作業(yè)性進(jìn) 一步降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于該問題點而做成的，其目的在于提供一種在電感耦合等離子處理裝 置中能夠抑制用于對窗構(gòu)件的下表面進(jìn)行覆蓋的罩的破損和微粒的產(chǎn)生、而且能夠容易地 裝卸罩的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具和罩固定裝置。本發(fā)明的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具被用于電感耦合等離子處理裝 置。該電感耦合等離子處理裝置包括處理室，其具有構(gòu)成頂板部分的窗構(gòu)件，用于進(jìn)行等 離子處理；高頻天線，其被配置在上述窗構(gòu)件的上方，用于在 上述處理室內(nèi)形成感應(yīng)電場； 支承構(gòu)件，其用于支承上述窗構(gòu)件；罩，其用于對上述窗構(gòu)件的下表面進(jìn)行覆蓋。本發(fā)明的 罩固定器具用于固定上述罩。本發(fā)明的罩固定器具包括支承部，其用于對具有作為上述罩的一部分的下表面 的被支承部進(jìn)行支承；被固定部，其被固定于上述支承構(gòu)件。本發(fā)明的罩固定器具也可以還具有將上述被固定部固定于上述支承構(gòu)件的螺釘。 在這種情況下，上述螺釘?shù)念^部也可以被配置在上述支承構(gòu)件的上方，上述螺釘?shù)臈U部貫 穿上述支承構(gòu)件而與上述被固定部結(jié)合。另外，在本發(fā)明的罩固定器具中，上述支承部也可以包括上表面，其與上述被支 承部的下表面抵接；下表面，其隨著遠(yuǎn)離上述被固定部而與上述上表面的距離變小。另外，在本發(fā)明的罩固定器具中，上述被支承部的下表面也可以是上述罩的下表 面的一部分，在上述罩的下表面，以上述被支承部的下表面位于除上述被支承部之外的部 分的下表面的上方的方式形成有臺階部，上述支承部被配置在上述罩的下表面上的上述臺 階部。在這種情況下，上述支承部也可以具有與上述臺階部的臺階相等的厚度。另外，本發(fā)明的罩固定器具也可以還包括在2個罩固定器具沿水平方向相鄰地配 置時、2個罩固定器具的側(cè)部彼此嚙合的形狀的側(cè)部。另外，在本發(fā)明的罩固定器具中，上述罩也可以包括具有下表面和上表面的、構(gòu)成 罩的主要部分的罩主體，上述被支承部被配置在上述罩主體的上表面的上方，上述支承部 被配置在上述被支承部的下表面與上述罩主體的上表面之間。本發(fā)明的電感耦合等離子處理裝置的罩固定裝置用于固定上述罩，包括本發(fā)明 的罩固定器具；以及將該罩固定器具的上述被固定部固定于上述支承構(gòu)件的固定機(jī)構(gòu)。在本發(fā)明的罩固定裝置中，上述固定機(jī)構(gòu)也可以是提起上述被固定部的機(jī)構(gòu)?；?者，上述固定機(jī)構(gòu)也可以是對上述被固定部的上下方向的移動進(jìn)行限制的機(jī)構(gòu)。采用本發(fā)明，能夠使用包括用于支承罩的被支承部的支承部以及固定于支承構(gòu)件 的被固定部的罩固定器具來固定罩。由此，采用本發(fā)明，不在罩上形成用于供螺釘?shù)臈U部插入的多個通孔就能夠固定罩。結(jié)果，采用本發(fā)明，起到能夠抑制罩的破損和微粒的產(chǎn)生、而 且能夠容易地裝卸罩這樣的效果。


圖1是表示包括本發(fā)明的第1實施方式的罩固定器具的電感耦合等離子處理裝置 的剖視圖。圖2是表示圖1中的電介體壁和懸掛器的立體圖。圖3是表示圖1中的電介體壁和高頻天線的立體圖。圖4是表示圖1中的罩和罩固定器具的仰視圖。
圖5是表示圖4中的5-5所示的位置的截面的剖視圖。圖6是說明罩固定器具固定方法的一個例子的、圖4中的6-6所示的剖視圖。圖7是表示罩固定器具的固定方法的另一例子的剖視圖。圖8是表示比較例的罩的仰視圖。圖9是表示本發(fā)明的第1實施方式的第1變形例的罩和罩固定器具的剖視圖。圖10是表示本發(fā)明的第1實施方式的第2變形例的罩和罩固定器具的仰視圖。圖11是表示本發(fā)明的第1實施方式的第3變形例的罩和罩固定器具的仰視圖。圖12是表示第3變形例的罩固定器具的側(cè)部的形狀的一個例子的剖視圖。圖13是表示第3變形例的罩固定器具的側(cè)部的形狀的另一例子的立體圖。圖14是表示本發(fā)明的第1實施方式的第4變形例的罩和罩固定器具的仰視圖。圖15是表示本發(fā)明的第1實施方式的第5變形例的罩和罩固定器具的剖視圖。圖16是表示本發(fā)明的第1實施方式的第6變形例的罩和罩固定器具的仰視圖。圖17是說明第6變形例的罩和罩固定器具的、圖16中的17_17所示的剖視圖。圖18是表示罩固定器具的固定方法的另一例子的剖視圖。圖19是表示罩固定器具的固定方法的又一例子的剖視圖。圖20是表示罩固定器具的固定方法的再一例子的剖視圖。圖21是表示本發(fā)明的第2實施方式的罩固定裝置的剖視圖。圖22是表示圖21所示的罩固定裝置的另一狀態(tài)的剖視圖。圖23是表示本發(fā)明的第3實施方式的罩固定裝置的剖視圖。圖24是表示本發(fā)明的第3實施方式的變形例的罩固定裝置的剖視圖。圖25是表示本發(fā)明的第4實施方式的罩固定裝置的剖視圖。圖26是表示本發(fā)明的第4實施方式的變形例的罩固定裝置的剖視圖。圖27是表示本發(fā)明的第5實施方式的罩固定裝置的剖視圖。圖28是表示圖27中的罩固定裝置的一部分的立體圖。圖29是表示本發(fā)明的第6實施方式的罩固定裝置的剖視圖。圖30是表示本發(fā)明的第7實施方式的罩固定裝置的剖視圖。
具體實施例方式第1實施方式下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。首先，參照圖1 圖4對包括本發(fā)明的第1實施方式的罩固定器具的電感耦合等離子處理裝置的構(gòu)造進(jìn)行說明。圖1 是表示電感耦合等離子處理裝置的剖視圖。圖2是表示圖1中的作為“窗構(gòu)件”的電介體 壁和懸掛器的立體圖。圖3是表示圖1中的電介體壁和高頻天線的立體圖。圖4是表示圖 1中的作為“罩”的電介體罩和作為“罩固定器具”的電介體罩固定器具的仰視圖。圖1所示的電感耦合等離子處理裝置1例如用于對FPD用的玻璃基板(以下 僅記作“基板”)S進(jìn)行等離子處理。作為FPD，能夠列舉出液晶顯示器(IXD)、電致發(fā)光 (ElectroLuminescence ；EL)顯示器、等離子顯示面板(PDP)等。電感耦合等離子處理裝置1包括天線室4和處理室5，該天線室4和處理室5是 由主體容器2以及配置在該主體容器2內(nèi)且將主體容器2內(nèi)的空間劃分為上下2個空間的 作為“窗構(gòu)件”電介體壁6構(gòu)成的。天線 室4劃分出主體容器2內(nèi)的電介體壁6的上側(cè)空 間，處理室5劃分出主體容器2內(nèi)的電介體壁6的下側(cè)空間。因而，電介體壁6構(gòu)成天線室 4的底部，并構(gòu)成處理室5的頂板部分。處理室5被氣密地保持，在處理室5中對基板進(jìn)行 等離子處理。主體容器2是具有上部、底部和4個側(cè)部的方筒形狀的容器。另外，主體容器2也 可以是具有上部、底部和筒狀部的圓筒形狀的容器。作為主體容器2的材料，可采用鋁、鋁 合金等導(dǎo)電性材料。在將鋁用作主體容器2的材料的情況下，為了不從主體容器2的內(nèi)壁 面產(chǎn)生污染物，對主體容器2的內(nèi)壁面實施鋁陽極化處理。另外，主體容器2接地。電介體壁6形成具有大致正方形形狀的上表面、底面和4個側(cè)面的大致長方體形 狀。電介體壁6的厚度例如為30mm。電介體壁6由電介體材料形成。作為電介體壁6的材 料，例如可采用Al2O3等陶瓷、石英。作為一個例子，電介體壁6被分割成4個部分。S卩，電 介體壁6具有第1部分壁6A、第2部分壁6B、第3部分壁6C及第4部分壁6D。另外，電介 體壁6也可以不被分割成4個部分。電感耦合等離子處理裝置1還包括作為支承電介體壁6的支承構(gòu)件的支承架7和 支承梁16。支承架7被安裝在主體容器2的側(cè)壁上。如圖2所示，支承梁16呈十字形狀。 電介體壁6的4個部分壁6A、6B、6C、6D被支承架7和支承梁16支承。電感耦合等離子處理裝置1還包括圓筒形狀的懸掛器8A和圓柱形狀的懸掛器8B、 8C、8D、8E，該懸掛器8A、8B、8C、8D、8E分別具有與主體容器2的頂板部分連接的上端部。支 承梁16在其上表面的中央部分(十字交叉部分)連接于懸掛器8A的下端部。另外，支承 梁16在其上表面的中央部分和十字的4個頂端部分的中間的4處連接于懸掛器8B、8C、8D、 8E的下端部。這樣，支承梁16被配置成利用5個懸掛器8A 8E自主體容器2的頂板部分 垂下，在主體容器2內(nèi)部的上下方向的大致中央位置維持水平狀態(tài)。雖未圖示，但在支承梁16中形成有用于供給后述的處理氣體的氣體流路、以及用 于放出被供給到該氣體流路中的處理氣體的多個開口部。作為支承梁16的材料，可采用導(dǎo) 電性材料。作為該導(dǎo)電性材料，優(yōu)選采用鋁等金屬材料。在將鋁用作支承梁16的材料的情 況下，為了不從表面產(chǎn)生污染物，對支承梁16的內(nèi)外表面實施鋁陽極化處理。電感耦合等離子處理裝置1還包括高頻天線(以下簡記作天線)13，該高頻天線 13被配置在天線室4的內(nèi)部、即處理室5的外部且被配置在電介體壁6的上方。如圖3所 示，天線13形成大致正方形的俯視呈方形螺旋形狀。天線13被配置在電介體壁6的上表 面上。在主體容器2的外部設(shè)置有匹配器14和高頻電源15。天線13的一端通過匹配器14連接于高頻電源15。天線13的另一端連接于主體容器2的內(nèi)壁，通過主體容器2接地。電感耦合等離子處理裝置1還包括對電介體壁6的下表面進(jìn)行覆蓋的作為“罩”的 電介體罩12。電介體罩12形成具有大致正方形形狀的上表面和底面、4個側(cè)面的板狀。電 介體罩12由電介體材料形成。作為電介體罩12的材料，例如可采用Al2O3等陶瓷、石英。作為一個例子，電介體罩12與電介體壁6同樣地被分割成4個部分。S卩，如圖4所 示，電介體罩12具有第1部分罩12A、第2部分罩12B、第3部分罩12C及第4部分罩12D。 第1 第4部分罩12A、12B、12C、12D分別對電介體壁6的第1 第4部分壁6A、6B、6C、6D 的下表面進(jìn)行覆蓋。另外，電介體罩12也可以不被分割成4個部分。如圖4所示，電感耦合等離子處理裝置1還包括用于固定電介體罩12的、作為本 實施方式的“罩固定器具”的電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4。之后詳細(xì)說 明，電介體罩12被電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4固定。另外，雖未圖示，但 在電介體罩12上形成有與支承梁16的開口部相對應(yīng)的多個開口部。在對基板S進(jìn)行等離子處理時，自高頻電源15向天線13供給感應(yīng)電場形成用的 高頻電力(例如13. 56MHz的高頻電力)。由此，能夠利用天線13在處理室5內(nèi)形成感應(yīng)電 場。該感應(yīng)電場將后述的處理氣體轉(zhuǎn)化為等離子體。在主體容器2的外部還設(shè)置有氣體供給裝置20。氣體供給裝置20通過插入到懸 掛器8A的中空部中的氣體供給管21連接于支承梁16的氣體流路。氣體供給裝置20用于 供給等離子處理所采用的處理氣體。在進(jìn)行等離子處理時，處理氣體通過氣體供給管21、支 承梁16內(nèi)的氣體流路、開口部以及電介體罩12的開口部被供給到處理室5內(nèi)。作為處理 氣體，例如可采用SF6氣體。電感耦合等離子處理裝置1還包括基座22、絕緣體框24、支柱25、波紋管26和閘 閥27。支柱25與設(shè)置在主體容器2下方的未圖示的升降裝置相連接，通過形成在主體容 器2底部的開口部而突出到處理室5內(nèi)。另外，支柱25具有中空部。絕緣體框24設(shè)置在 支柱25上。該絕緣體框24形成上部開口的箱狀。在絕緣體框24的底部形成有與支柱25 的中空部連續(xù)的開口部。波紋管26圍著支柱25，氣密地連接于絕緣體框24和主體容器2 的底部內(nèi)壁。由此，能夠維持處理室5的氣密性。基座22收容在絕緣體框24內(nèi)。基座22具有用于載置基板S的載置面22k。載 置面22A與電介體罩12相對。作為基座22的材料，例如可采用鋁等導(dǎo)電性材料。在將鋁 用作基座22的材料的情況下，為了不從表面產(chǎn)生污染物，對基座22的表面實施鋁陽極化處理。在主體容器2的外部還設(shè)置有匹配器28和高頻電源29。基座22通過貫穿于絕緣 體框24的開口部和支柱25的中空部的通電棒連接于匹配器28，并且，通過該匹配器28連 接于高頻電源29。在對基板S進(jìn)行等離子處理時，自高頻電源29向基座22供給偏壓用的 高頻電力(例如380kHz的高頻電力)。該高頻電力用于將等離子體中的離子有效地引入到 載置在基座22上的基板S。閘閥27設(shè)置于主體容器2的側(cè)壁。閘閥27具有開閉功能，在關(guān)閉狀態(tài)下維持處 理室5的氣密性，并且，在打開狀態(tài)下能夠在處理室5與外部之間輸送基板S。在主體容器2的外部還設(shè)置有真 空裝置30。真空裝置30經(jīng)由與主體容器2的底 部連接的排氣管31連接于處理室5。在對基板S進(jìn)行等離子處理時，真空裝置30排出處理室5內(nèi)的空氣，將處理室5內(nèi)維持在真空氣氛。接著，參照圖4 圖6詳細(xì)說明本實施方式的電介體罩固定器具。圖4表示電介 體罩12和電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4。圖5是表示圖4中的5_5所示的 位置的截面的剖視圖。圖6是表示圖4中的6-6所示的位置的截面的剖視圖。在圖4中， 圓標(biāo)記表示螺釘。如上所述，電介體罩12具有第1 第4部分罩12A 12D。在圖4中，第1部分罩 12A被配置在整個電介體罩12的配置區(qū)域中的左上區(qū)域，第2部分罩12B被配置在整個電 介體罩12的配置區(qū)域中的右上區(qū)域，第3部分罩12C被配置在整個電介體罩12的配置 區(qū) 域中的左下區(qū)域，第4部分罩12D被配置在整個電介體罩12的配置區(qū)域中的右下區(qū)域。在電介體罩12的中央部，在第1 第4部分罩12A、12B、12C、12D中分別形成有在 將它們合在一起時成為十字形狀的開口部的L字形的缺口部12Aa、12Ba、12Ca、12Da。從處理室5側(cè)看到的電介體罩固定器具18A的形狀是比在電介體罩12的中央部 由缺口部12Aa、12Ba、12Ca、12Da形成的十字形狀的開口部稍大的十字形狀。而且，電介體 罩固定器具18A被配置成覆蓋電介體罩12的十字形狀的開口部。另外，在電介體罩固定器 具18A上也可以形成有與支承梁16的開口部相對應(yīng)的開口部。從處理室5側(cè)看到的電介體罩固定器具18B1 18B4的形狀均為長方形。電介體 罩固定器具18B1在其與支承架7之間夾著第1和第3部分罩12A、12C的各自一邊來支承 第1和第3部分罩12A、12C。另外，電介體罩固定器具18B2在其與支承架7之間夾著第2 和第4部分罩12B、12D的各自一邊來支承第2及第4部分罩12B、12D。另外，電介體罩固定 器具18B3在其與支承架7之間夾著第1和第2部分罩12A、12B的各自一邊來支承第1和 第2部分罩12A、12B。另外，電介體罩固定器具18B 4在其與支承架7之間夾著第3和第4 部分罩12C、12D的各自一邊地將其支承。之后詳細(xì)說明，電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4均包括1個以上支 承部和1個被固定部。支承部是被配置在作為電介體罩12的一部分的被支承部的下側(cè)來 支承該被支承部的部分。電介體罩12具有與電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4 所包括的所有支承部相同數(shù)量的被支承部。以下，以電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4為代表而詳細(xì)說明圖6所 示的電介體罩固定器具18A的構(gòu)造和作用。如圖6所示，電介體罩固定器具18A包括支承 第1部分罩12A的一部分的第1支承部18A1、支承第2部分罩12B的一部分的第2支承部 18A2以及被固定部18A3。雖未圖示，但電介體罩固定器具18A還包括支承第3部分罩12C 的一部分的第3支承部以及支承第4部分罩12D的一部分的第4支承部。第1和第2支承 部18A1、18A2被配置成連接于被固定部18A3，并且自被固定部18A3向側(cè)方延伸。第3和第 4支承部也與第1和第2支承部18A1U8A2相同。另一方面，第1部分罩12A具有被支承部12A1。被支承部12A1具有下表面12Ala 以及與該下表面12Ala連續(xù)的側(cè)端12Alb。側(cè)端12Alb也是缺口部12Aa的端緣。被支承 部12A1的上表面與支承梁16和第1部分壁6A中的至少一個的下表面抵接。在圖6所示 的例子中，被支承部12A1的上表面與支承梁16和第1部分壁6A這兩者的下表面抵接，但 被支承部12A1的上表面也可以抵接于支承梁16和第1部分壁6A中的僅一個的下表面。同樣，第2部分罩12B具有被支承部12B1。被支承部12B1具有下表面12Bla以及與該下表面12Bla連續(xù)的側(cè)端12Blb。被支承部12B1的上表面與支承梁16和第2部分 壁6B中的至少一個的下表面抵接。在圖6所示的例子中，被支承部12B1的上表面與支承 梁16和第2部分壁6B這兩者的下表面抵接，但被支承部12B1的上表面也可以抵接于支承 梁16和第2部分壁6B中的僅一個的下表面。第3和第4部分罩12C、12D也分別具有與上述被支承部12A1、12B1同樣的被支承
部。 第1支承部18A1具有下表面以及與被支承部12A1的下表面12Ala抵接的上表 面。第2支承部18A2具有下表面以及與被支承部12B1的下表面12Bla抵接的上表面。同 樣，第3支承部具有下表面以及與第3部分罩12C的被支承部的下表面抵接的上表面，第4 支承部具有下表面以及與第4部分罩12D的被支承部的下表面抵接的上表面。第1 第4 支承部的各下表面成為隨著遠(yuǎn)離被固定部18A3而與各支承部的上表面的距離變小的錐形 面。從處理室5側(cè)看到的被固定部18A3的形狀是與電介體罩12的十字形狀開口部的 形狀相等、或者比其稍小一些的形狀。被固定部18A3的一部分被插入到電介體罩12的十 字形狀開口部內(nèi)。該被固定部18A3的一部分被配置在被支承部12A 1的側(cè)端12Alb、被支 承部12B1的側(cè)端12Blb、第3支承部的側(cè)端及第4支承部的側(cè)端的側(cè)方。被固定部18A3以其與作為支承構(gòu)件的支承梁16之間的位置關(guān)系不發(fā)生變化的方 式被固定。具體地講，被固定部18A3如下這樣固定于支承梁16。首先，被固定部18A3的上 表面抵接于支承梁16的下表面。電介體罩固定器具18A還包括用于將被固定部18A3固定 于支承梁16的多個螺釘。該螺釘?shù)臄?shù)量例如圖4所示地為8個。圖6表示其中2個螺釘 19A1、19A2。在圖6所示的例子中，螺釘19A1、19A2的頭部被配置在被固定部18A3的下方， 螺釘19A1、19A2的桿部貫穿被固定部18A3而與支承梁16相結(jié)合。除螺釘19A1、19A2之外 的螺釘也與螺釘19A1、19A2相同。圖7是表示電介體罩固定器具18A的固定方法的另一例子的剖視圖。在該例子 中，螺釘19A1、19A2的頭部被配置在支承梁16的上方，螺釘19A1、19A2的桿部貫穿支承梁 16而與被固定部18A3相結(jié)合。除螺釘19A1、19A2之外的螺釘也與螺釘19A1、19A2相同。通過將被固定部18A3固定于支承梁16，第1支承部18A1在其與支承梁16和第 1部分壁6A中的至少一個之間夾著被支承部12A1來支承被支承部12A1，第2支承部18A2 在其與支承梁16和第2部分壁6B中的至少一個之間夾著被支承部12B1來支承被支承部 12B1。同樣，第3支承部在其與支承梁16和第3部分壁6C中的至少一個之間夾著第3部 分罩12C的被支承部來支承第3部分罩12C的被支承部，第4支承部在其與支承梁16和第 4部分壁6D中的至少一個之間夾著第4部分罩12D的被支承部來支承第4部分罩12D的被 支承部。電介體罩固定器具18B1 18B4分別包括1個支承部和1個被固定部。電介體罩 固定器具18B1 18B4的各支承部的形狀與電介體罩固定器具18A的各支承部的形狀相 同。電介體罩固定器具18B1 18B4分別被配置在處于與支承部相對應(yīng)的位置的電介體罩 12的被支承部的下側(cè)。電介體罩固定器具18B1 18B4的各被固定部使用多個螺釘(例 如圖4所示那樣為2個螺釘)固定于作為支承構(gòu)件的支承架7。由此，電介體罩固定器具 18B1 18B4的各支承部分別在其與支承架7和電介體壁6中的至少一個之間夾著處于與支承部相對應(yīng)的位置的電介體罩12的被支承部來支承電介體罩12的被支承部。如圖4所示，第1部分罩12A被電介體罩固定器具18A、18B1、18B3固定。第2部 分罩12B被電介體罩固定器具18A、18B2、18B3固定。第3部分罩12C被電介體罩固定器具 18A、18B1、18B4固定。第4部分罩12D被電介體罩固定器具18A、18B2、18B4固定。像以上說明的那樣，本實施方式的電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4 均包括支承部(例如圖6中的18A1、18A2)和被固定部(例如圖6中的18A3)；上述支承部 與后述的被支承部(例如圖6中的12A1、12B1)的下表面抵接，在上述支承部與支承構(gòu)件 (支承梁16、支承架7)和電介體壁6中的至少一個之間夾著被支承部地支承被支承部，上 述被支承部是電介體罩12的一部分，具有下表面以及與該下表面連續(xù)的側(cè)端；上述被固定 部連接于該支承部，其一部分被配置在被支承部的側(cè)端的側(cè)方，以其與支承構(gòu)件的位置關(guān) 系不發(fā)生變化的方式被固定。電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4的各支承部與支承構(gòu)件和電介體 壁6中的至少一個起到在它們之間夾著對應(yīng)的電介體罩12的被支承部而固定電介體罩12 的夾具的作用。采用本實施方式，不在電介體罩12上形成用于供螺釘?shù)臈U部貫穿的多個通孔就 能夠固定電介體罩12。因此，采用本實施方式，能夠防止在電介體罩12上形成了多個通孔 的情況下、因?qū)ν赘浇糠质┘舆^度的應(yīng)力而導(dǎo)致電介體罩12破損。另外，在本實施方式中，通過電介體罩固定器具的支承部的上表面抵接于電介體 罩12的被支承部的下表面，能夠支承并固定電介體罩12。因此，采用本實施方式，在電介體 罩12中難以產(chǎn)生局部的應(yīng)力集中。從這方面來看，采用本實施方式，也可防止電介體罩12 的破損。在本實施方式中，不是使用多個螺釘而將電介體罩12直接固定于支承構(gòu)件，而是 使用多個螺釘將電介體罩固定器具的被固定部固定于支承構(gòu)件。采用本實施方式，與使用 多個螺釘將電介體罩12直接固定于支承構(gòu)件的情況相比，能夠減少使用的螺釘根數(shù)。與圖 8所示的比較例進(jìn)行比較并進(jìn)行說明。圖8是表示比較例的電介體罩的仰視圖。在圖8中，圓標(biāo)記表示螺釘。在比較例 中，電介體罩222與本實施方式的電介體罩12同樣地具有被分割而成的4個部分罩222A、 222B、222C、222D。這4個部分罩222k 222D分別被12個螺釘直接固定于支承構(gòu)件。因 而，整個電介體罩222被48個螺釘固定于支承構(gòu)件。這樣，在比較例中，由于電介體罩222 被許多個螺釘固定，因此，更換或者清洗電介體罩222時電介體罩222的裝卸作業(yè)性較差。相對于此，在本實施方式中，如圖4所示，電介體罩12利用被總計16個螺釘固定 的5個電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4間接地固定于支承構(gòu)件。因此，采用 本實施方式，與圖8所示 的比較例相比，能夠大幅度減少使用的螺釘根數(shù)，結(jié)果，能夠容易 地裝卸電介體罩12。另外，采用本實施方式，如圖6所示，即使在以螺釘?shù)念^部露出到處理室5內(nèi)的方 式固定電介體罩固定器具的被固定部的情況下，與圖8所示的比較例相比，螺釘根數(shù)也大 幅度減少，因此，露出到處理室5內(nèi)的螺釘頭部的數(shù)量也大幅度減少。因此，采用本實施方 式，能夠抑制附著于螺釘頭部的副生成物從螺釘?shù)念^部剝落而產(chǎn)生微粒、或者螺釘頭部被 等離子體消耗而產(chǎn)生微粒。另外，在本實施方式中，如圖7所示，在以螺釘?shù)念^部不露出到處理室5內(nèi)的方式固定電介體罩固定器具的被固定部的情況下，完全不會因螺釘?shù)念^部而 產(chǎn)生微粒。但是，在電介體罩固定器具的支承部的厚度在任意部位都恒定的情況下，在支承 部的下表面與側(cè)面之間形成有露出到處理室5內(nèi)的直角的角部。副生成物易于附著在該角 部上。因此，在這種情況下，易于因角部而產(chǎn)生微粒。相對于此，在本實施方式中，電介體罩 固定器具的支承部的下表面成為隨著遠(yuǎn)離被支承部而與支承部上表面的距離變小的錐形 面。在這種情況下，與支承部的厚度在任意部位都恒定的情況相比，露出到處理室5內(nèi)的支 承部的面接近平滑的面。因此，采用本實施方式，能夠抑制因電介體罩固定器具的支承部而 產(chǎn)生微粒。變形例 下面，對本實施方式的電介體罩和電介體罩固定器具的第1 第6變形例進(jìn)行說 明。圖9是表示第1變形例的電介體罩和電介體罩固定器具的剖視圖。圖9表示與圖7相 對應(yīng)的截面。第1變形例的電介體罩12替代圖7中的第1部分罩12A、第2部分罩12B而 具有圖9所示的第1部分罩32A、第2部分罩32B。第1部分罩32A具有被支承部32A1。被支承部32A1具有下表面32Ala以及與該 下表面32Ala連續(xù)的側(cè)端32Alb。被支承部32A1的下表面是第1部分罩32A的下表面的一 部分，在第1部分罩32A的下表面，以被支承部32A1的下表面位于除被支承部32A1之外的 部分的下表面上方的方式形成有臺階部。同樣，第2部分罩32B具有被支承部32B1。被支承部32B1具有下表面32Bla以及 與該下表面32Bla連續(xù)的側(cè)端32Blb。第1變形例的電介體罩固定器具38A用于替代圖7所示的電介體罩固定器具18A。 電介體罩固定器具38A具有第1支承部38A1、第2支承部38A2、被固定部38A3、未圖示的第 3和第4支承部。第1支承部38A1被配置在第1部分罩32A的下表面上的上述臺階部，第1支承部 38A1的上表面抵接于被支承部32A1的下表面32Ala。第1支承部38A1具有與上述臺階部 的臺階相等的厚度。因此，在第1支承部38A1的下表面與第1部分罩32A上的除被支承部 32A1之外的部分的下表面之間沒有臺階。同樣，第2支承部38A2被配置在第2部分罩32B的下表面上的上述臺階部，第2 支承部38A2的上表面抵接于被支承部32B1的下表面32Bla。被固定部38A3與圖7中的被固定部18A3同樣地被包括螺釘19A1、19A2在內(nèi)的8 個螺釘固定于支承梁16。雖未圖示，但在第1變形例中，電介體罩固定器具38A的第3和第4支承部與它們 所對應(yīng)的被支承部之間的關(guān)系以及其他電介體罩固定器具的支承部與它們所對應(yīng)的被支 承部之間的關(guān)系，同上述支承部38A1和被支承部32A1之間的關(guān)系相同。采用第1變形例，在電介體罩固定器具的支承部的下表面與電介體罩12的除被支 承部之外的部分的下表面之間不產(chǎn)生臺階。因此，能夠抑制因電介體罩固定器具的支承部 而產(chǎn)生微粒。第1變形例中的電介體罩固定器具的其他構(gòu)造、作用及效果與圖7所示的電 介體罩固定器具相同。圖10是與圖4對應(yīng)的圖，是表示第2變形例的電介體罩和電介體罩固定器具的仰視圖。第2變形例的電介體罩固定器具48B1、48B2、48B3、48B4、48B5、48B6、48B7、48B8、 48C1、48C2、48C3、48C4用于替代圖4所示的電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4。電介體罩固定器具48B1、48B5在其與支承架7之間夾著第1部分罩12A的2邊來 支承第1部分罩12A。電介體罩固定器具48B2、48B7在其與支承架7之間夾著第3部分罩 12C的2邊來支承第3部分罩12C。電介體罩固定器具48B3、48B6在其與支承架7之間夾 著第2部分罩12B的2邊來支承第2部分罩12B。電介體罩固定器具48B4、48B8在其與支 承架7之間夾著第4部分罩12D的2邊來支承第4部分罩12D。電介體罩固定器具48C1沿著第1部分罩12A與第3部分罩12C之間的邊界配置， 用于支承部分罩12A、12C的一邊。電介體罩固定器具48C2沿著第2部分罩12B與第4部 分罩12D之間的邊界配置，用于支承部分罩12B、12D的一邊。電介體罩固定器具48C3沿著 第1部分罩12A與第2部分罩12B之間的邊界配置，用于支承部分罩12A、12B的一邊。電 介體罩固定器具48C4沿著第3部分罩12C與第4部分罩12D之間的邊界配置，用于支承部 分罩12C、12D的一邊。雖未圖示，但電介體罩固定器具48B1 48B8固定于支承架7，電介體罩固定器具 48C1 48C4固定于支承梁16。也可以在電介體罩固定器具48C1 48C4上形成有與支承 梁16的開口部相對應(yīng)的開口部。 第1部分罩12A被電介體罩固定器具48B1、48B5、48C1、48C3固定。第2部分罩 12B被電介體罩固定器具48B3、48B6、48C2、48C3固定。第3部分罩12C被電介體罩固定器 具48B2、48B7、48C1、48C4固定。第4部分罩12D被電介體罩固定器具48B4、48B8、48C2、48C4 固定。第2變形例的電介體罩固定器具的其他構(gòu)造、作用及效果與圖6或圖7所示的電 介體罩固定器具相同。圖11是與圖4對應(yīng)的圖，是表示第3變形例的電介體罩和電介體罩固定器具的仰 視圖。第 3 變形例的電介體罩固定器具 58A、58B1、58B2、58B3、58B4、58B5、58B6、58B7、58B8、 58C1、58C2、58C3、58C4、58D1、58D2、58D3、58D4、58E1、58E2、58E3、58E4 用于替代圖 4 所示的 電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4。從處理室5側(cè)看到的電介體罩固定器具58A的形狀為十字形狀。從處理室5側(cè)看 到的電介體罩固定器具58B1 58B8、58C1 58C4的形狀均為長方形。從處理室5側(cè)看到 的電介體罩固定器具58D1 58D4的形狀均為L字形狀。從處理室5側(cè)看到的電介體罩固 定器具58E1 58E4的形狀均為T字形狀。電介體罩固定器具58A以覆蓋電介體罩12的中央部的十字形狀開口部的方式配 置。另外，也可以在電介體罩固定器具58A上形成與支承梁16的開口部相對應(yīng)的開口部。電介體罩固定器具58B1 58B8、58C1 58C4分別配置在與圖10所示的電介體 罩固定器具48B1 48B8、48C1 48C4相同的位置，對電介體罩12的下表面的一部分進(jìn)行 支承。電介體罩固定器具58D1以將電介體罩固定器具58B1、58B5連結(jié)起來的方式配置。 電介體罩固定器具58D2以將電介體罩固定器具58B3、58B6連結(jié)起來的方式配置。電介體罩 固定器具58D3以將電介體罩固定器具58B2、58B7連結(jié)起來的方式配置。電介體罩固定器具 58D4以將電介體罩固定器具58B4、58B8連結(jié)起來的方式配置。電介體罩固定器具58D1 58D4分別對電介體罩12的下表面的一部分進(jìn)行支承。電介體罩固定器具58E1以將電介體罩固定器具58B1、58B2、58C1連結(jié)起來的方式 配置。電介體罩固定器具58E2以將電介體罩固定器具58B3、58B4、58C2連結(jié)起來的方式配 置。電介體罩固定器具58E3以將電介體罩固定器具58B5、58B6、58C3連結(jié)起來的方式配置。 電介體罩固定器具58E4以將電介體罩固定器具58B7、58B8、58C4連結(jié)起來的方式配置。電 介體罩固定器具58E1 58E4分別對電介體罩12的下表面的一部分進(jìn)行支承。雖未圖示，但電介體罩固定器具58A、58C1 58C4被固定于支承梁16，電介體罩固 定器具58B1 58B8、58D1 58D4被固定于支承架7、電介體罩固定器具58E1 58E4被固 定于支承架7和支承梁16。也可以在電介體罩固定器具58C1 58C4上形成有與支承梁 16的開口部相對應(yīng)的開口部。在第3變形例中，在水平方向上相鄰地配置的2個電介體罩固定器具相連接。各 電介體罩固定器具包括在2個電介體罩固定器具在水平方向上相鄰地配置時、2個電介體 罩固定器具的側(cè)部相互嚙合的形狀的側(cè)部。圖12表示電介體罩固定器具58A、58C2的互相嚙合的側(cè)部的形狀的一個例子。圖 12表示圖11中的12-12所示的位置上的2個電介體罩固定器具的截面。在該例子中，電介 體罩固定器具58A、58C2的各自側(cè)部分別具有上下相鄰的凸部和凹部。在電介體罩固定器 具58A和電介體罩固定器具58C2中，凸部與凹部的位置關(guān)系互相相反。于是，電介體罩固 定器具58A的凸部進(jìn)入到電介體罩固定器具58C2的凹部，電介體罩固定器具58C2的凸部 進(jìn)入到電介體罩固定器具58A的凹部，從而電介體罩固定器具58A、58C2的側(cè)部相互嚙合。圖13表示電介體罩固定器具58A、58C2的互相嚙合的側(cè)部形狀的另一例子。在該 例子中，與圖12所示的例子同樣，電介體罩固定器具58A、58C2的各自側(cè)部分別具有上下相 鄰的凸部和凹部。在該例子中，電介體罩固定器具58C2的凸部包括在水平方向上相鄰的凸 部分和凹部分，電介體罩固定器具58A的凹部包括與電介體罩固定器具58C2的凸部中的凸 部分和凹部分相嚙合的凹部分和凸部分。在第3變形例中，其他相鄰的2個電介體罩固定器具的連接部分的構(gòu)造也與圖12 或圖13相同。在第3變形例中，從處理室5側(cè)來看，電介體罩12的下表面的整個外緣和相鄰的 2個部分罩的下表面相互間的整個邊界被多個電介體罩固定器具覆蓋。因此，采用該第3 變形例，從處理室5側(cè)來看，能夠完全覆蓋在電 介體罩12的外周部與支承架7之間產(chǎn)生的 間隙、在相鄰的2個部分罩之間產(chǎn)生的間隙。由此，能夠抑制等離子體進(jìn)入到上述間隙。結(jié) 果，能夠抑制由于等離子體進(jìn)入到上述間隙而支承梁16、支承架7產(chǎn)生損傷、異常放電。特 別是，各電介體罩固定器具包括在2個電介體罩固定器具在水平方向上相鄰地配置時、2個 電介體罩固定器具的側(cè)部相互嚙合的形狀的側(cè)部，因此，能夠顯著地發(fā)揮該效果。第3變形例的電介體罩固定器具的其他構(gòu)造、作用及效果與圖6或圖7所示的電 介體罩固定器具相同。圖14是與圖4對應(yīng)的圖，是表示第4變形例的電介體罩和電介體罩固定器具的仰 視圖。第4變形例的電介體罩72替代圖4所示的電介體罩12。電介體罩72未被分割成4 個。第4變形例的電介體罩固定器具78B1、78B2、78B3、78B4用于替代圖4所示的電介體罩固定器具18A、18B1、18B2、18B3、18B4。電介體罩固定器具78B1、78B2、78B3、78B4分別 沿著電介體罩72下表面的各邊的中央部分配置，用于支承電介體罩72的各邊。從處理室 5側(cè)看到的電介體罩固定器具78B1、78B2、78B3、78B4的形狀均為長方形。第4變形例的電介體罩固定器具的其他構(gòu)造、作用及效果與圖6或圖7所示的電 介體罩固定器具相同。圖15是表示第5變形例的電介體罩和電介體罩固定器具的剖視圖。圖15表示與 圖6或圖7相對應(yīng)的截面(其中，螺釘19A1、19A2省略圖示)。在第5變形例中，支承梁16A 的形狀與圖6或圖7中的支承梁16不同。具體地講，支承梁16A在其下端具有凸部16A1。
電介體罩固定器具79A用于替代圖6或圖7所示的電介體罩固定器具18A。電介 體罩固定器具79A具有支承第1部分罩12A的一部分的第1支承部79A1、支承第2部分罩 12B的一部分的第2支承部79A2、被固定部79A3、未圖示的第3和第4支承部。第1和第2 支承部79A1、79A2連接于被固定部79A3，并且，被配置成自被固定部79A3向側(cè)方延伸。第 3和第4支承部也與第1和第2支承部79A1、79A2相同。在第5變形例中，按照支承梁16A 的凸部16A1的形狀而使被固定部79A3的厚度(高度)形成得小于圖6或圖7所示的電介 體罩固定器具的厚度(高度)。電介體罩12的第1部分罩12A和第2部分罩12B是與圖6或圖7相同的構(gòu)造，具 有被支承部12A1、12B1。未圖示的第3和第4部分罩12C、12D也分別具有與上述相同的被 支承部。第1支承部79A1具有下表面以及與被支承部12A1的下表面12Ala抵接的上表 面。第2支承部79A2具有下表面以及與被支承部12B1的下表面12Bla抵接的上表面。同 樣，第3支承部具有下表面以及與第3部分罩12C的被支承部的下表面抵接的上表面，第4 支承部具有下表面以及與第4部分罩12D的被支承部的下表面抵接的上表面。第1 第4 支承部的各下表面成為隨著遠(yuǎn)離被固定部79A3而與各支承部的上表面的距離變小的錐形 面。如第5變形例所示，本發(fā)明的電介體罩固定器具能夠根據(jù)作為支承構(gòu)件的支承梁 16、支承架7的形狀而形成為各種形狀。第5變形例的電介體罩固定器具的其他構(gòu)造、作用及效果與圖6或圖7所示的電 介體罩固定器具相同。圖16是與圖4對應(yīng)的圖，是表示第6變形例的電介體罩和電介體罩固定器具的仰 視圖。圖17是表示第6變形例的電介體罩和電介體罩固定器具的剖視圖。第6變形例的 電介體罩80用于替代圖4所示的電介體罩12。電介體罩80與電介體壁6同樣地被分割 成4個部分。S卩，如圖16所示，電介體罩80具有第1部分罩80A、第2部分罩80B、第3部 分罩80C及第1部分罩80D。第1 第4部分罩80A、80B、80C、80D分別對電介體壁6的第 1 第4部分壁6A、6B、6C、6D的下表面進(jìn)行覆蓋。另外，電介體罩80也可以不被分割成4 個部分。在圖16中，第1部分罩80A被配置在整個電介體罩80的配置區(qū)域中的左上區(qū)域， 第2部分罩80B被配置在整個電介體罩80的配置區(qū)域中的右上區(qū)域，第3部分罩80C被配 置在整個電介體罩80的配置區(qū)域中的左下區(qū)域，第4部分罩80D被配置在整個電介體罩80 的配置區(qū)域中的右下區(qū)域。
在電介體罩80的中央部，在第1 第4部分罩80A、80B、80C、80D上分別形成有在 將它們合在一起時成為圓形的開口部的弧形的缺口部80Aa、80Ba、80Ca、80Da。從處理室5側(cè)看到的電介體罩固定器具8IA的形狀是比在電介體罩80的中央部由缺口部80Aa、80Ba、80Ca、80Da形成的圓形的開口部稍大的圓形形狀。而且，電介體罩固 定器具81A被配置成覆蓋電介體罩80的圓形的開口部。從處理室5側(cè)看到的電介體罩固定器具81B1 81B4電介體罩固定器具81B1在其 與支承架7之間夾著第1和第3部分罩80A、80C的各自一邊來支承第1和第3部分罩80A、 80Co另外，電介體罩固定器具81B2在其與支承架7之間夾著第2和第4部分罩80B、80D的 各自一邊來支承第2和第4部分罩80B、80D。另外，電介體罩固定器具81B3在其與支承架 7之間夾著第1和第2部分罩80A、80B的各自一邊來支承第1和第2部分罩80A、80B。另 夕卜，電介體罩固定器具81B4在其與支承架7之間夾著第3和第4部分罩80C、80D的各自一 邊來支承第3和第4部分罩80C、80D。電介體罩固定器具81A、81B1、81B2、81B3、81B4均包括1個以上支承部和1個被固 定部。支承部是被配置在作為電介體罩80的一部分的被支承部的下側(cè)并用于支承該被支 承部的部分。電介體罩80具有與電介體罩固定器具81A、81B1、81B2、81B3、81B4所包括的 所有支承部相對應(yīng)的被支承部。接著，詳細(xì)說明電介體罩固定器具81A的構(gòu)造和作用。如圖17所示，電介體罩固定 器具81A包括被固定部81A3以及對第1部分罩80A和第2部分罩80B的一部分進(jìn)行支承 的支承部81A1。雖未圖示，但電介體罩固定器具81A的支承部81A1呈環(huán)狀，也對第3部分 罩80C的一部分和第4部分罩80D的一部分進(jìn)行支承。支承部81A1連接于被固定部81A3， 并且，被配置成圍著被固定部81A3并向被固定部81A3的側(cè)方延伸。另一方面，第1部分罩80A具有被支承部80A1。被支承部80A1具有下表面80Ala 以及與該下表面SOAla連續(xù)的側(cè)端80Alb。側(cè)端SOAlb也是缺口部SOAa的端緣。被支承部 80A1的上表面與支承梁16B和第1部分壁6A中的至少一個的下表面抵接。在圖17所示的 例子中，被支承部80A1的上表面與支承梁16B和第1部分壁6A這兩者的下表面抵接，但被 支承部80A1的上表面也可以抵接于支承梁16B和第1部分壁6A中的僅一個的下表面。同 樣，第2部分罩80B具有被支承部80B1。被支承部80B1具有下表面SOBla以及與該下表面 SOBla連續(xù)的側(cè)端SOBlb。被支承部80B1的上表面與支承梁16B和第2部分壁6B中的至 少一個的下表面抵接。在圖17所示的例子中，被支承部80B1的上表面與支承梁16B和第2 部分壁6B這兩者的下表面抵接，但被支承部80B1的上表面也可以抵接于支承梁16B和第 2部分壁6B中的僅一個的下表面。第3和第4部分罩80C、80D也分別具有與上述第1部分罩80A和第2部分罩80B 的被支承部80A1、80B1同樣的被支承部。電介體罩固定器具81A的支承部81A1具有下表面以及與被支承部80A1的下表面 SOAla抵接的上表面。支承部81A1的下表面成為隨著遠(yuǎn)離被固定部81A3 (即，隨著朝向支 承部81A1的周緣部)而與支承部81A1的上表面的距離變小的錐形面。從處理室5看到的 被固定部81A3的形狀是比電介體罩80的圓形開口部的形狀稍小的圓形形狀。被固定部 81 A3的一部分被插入到電介體罩80的圓形開口部內(nèi)。該被固定部81A3的一部分被配置在 被支承部80A1的側(cè)端80Alb、被支承部80B1的側(cè)端80Blb、第3支承部的側(cè)端及第4支承部的側(cè)端的側(cè)方。電介體罩固定器具81A的被固定部81A3以其與作為支承構(gòu)件的支承梁16B的 位置關(guān)系不發(fā)生變化的方式被固定。具體地講，被固定部81A3如下所述那樣固定于支承 梁16B。首先，支承梁16B具有凹部16B1，在該凹部16B1的內(nèi)周形成有螺紋槽(或者螺紋 牙)16B2。另外，被固定部81A3的上部具有突出成圓柱狀的凸部81A3a，在該凸部81A3a 的外周形成有螺紋牙(或者螺紋槽)81A3b。于是，電介體罩固定器具81A通過將被固定部 81A3的凸部81A3a擰入支承梁16B的凹部16B1中而固定于支承梁16B。這樣，第6變形例 的電介體罩固定器具81A不采用螺釘?shù)攘硗鈽?gòu)件的固定部件就能夠固定于支承梁16B，因 此，能夠削減零件件數(shù)，并且也能夠解決自露出到等離子體的螺釘?shù)念^部產(chǎn)生微粒這樣的 問題。第6變形例的電介體罩固定器具81A的其他構(gòu)造、作用及效果與圖6或圖7所示 的電介體罩固定器具相同。接著，參照圖18 20說明本實施方式的電介體罩固定器具的固定方法的又一例 子。在此，以圖6或圖7所示的電介體罩固定器具18A為例進(jìn)行說明，但以下說明的固定方 法也能夠適用于上述變形例中列舉的其他電介體罩固定器具。 圖18表示電介體罩固定器具18A的固定方法的一個例子。在該例子中，中間構(gòu)件 201a、201b分別介于電介體罩固定器具18A的第1支承部18A1與第1部分罩12A的被支 承部12A1之間、以及電介體罩固定器具18A的第2支承部18A2與第2部分罩12B的被支 承部12B1之間。S卩，電介體罩固定器具18A夾著中間構(gòu)件201a、201b而間接地對電介體罩 12(第1部分罩12A、第2部分罩12B)進(jìn)行固定。電介體罩固定器具18A例如與圖6或圖 7同樣地采用螺釘19A1、19A2(在此省略圖示)來固定。中間構(gòu)件201a被第1支承部18A1 和被支承部12A1夾持，中間構(gòu)件201b被夾持在第2支承部18A2與被支承部12B1之間。在 未圖示的第3部分罩12C與第3支承部之間、第4部分罩12D與第4支承部之間也分別具 有與上述相同的中間構(gòu)件，但這些中間構(gòu)件也可以是一體件。圖19表示電介體罩固定器具18A的固定方法的又一例子。在該例子中，中間構(gòu)件 202介于電介體罩固定器具18A的被固定部18A3與支承梁16之間。S卩，支承梁16夾著中 間構(gòu)件202而間接地將電介體罩12(第1部分罩12A、第2部分罩12B)夾在支承梁16與 電介體罩固定器具18A之間。電介體罩固定器具18A例如與圖6或圖7同樣地采用螺釘 19A1、19A2(在此省略圖示)來固定。中間構(gòu)件202的上表面與支承梁16的下端接觸。中 間構(gòu)件202的下表面與第1部分罩12A的被支承部12A1的上表面、第2部分罩12B的被支 承部12B1的上表面及電介體罩固定器具18A的被固定部18A3的上表面接觸。圖20表示電介體罩固定器具18A的固定方法的再一例子。在該例子中，中間構(gòu)件 203a、203b分別介于電介體罩固定器具18A(被固定部18A3和第1支承部18A1)與第1部 分罩32A的被支承部32A1之間、以及電介體罩固定器具18A (被固定部18A3和第2支承部 18A2)與第2部分罩32B的被支承部32B1之間。S卩，電介體罩固定器具18A夾著中間構(gòu)件 203a、203b而間接地對電介體罩12(第1部分罩32A、第2部分罩32B)進(jìn)行固定。第1部分罩32A和第2部分罩32B具有與上述第1變形例(圖9)相同的形狀。 艮口，第1部分罩32A具有被支承部32A1，該被支承部32A1具有下表面32Ala以及與該下表 面32Ala連續(xù)的側(cè)端32Alb。被支承部32A1的下表面是第1部分罩32A的下表面的一部分，在第1部分罩32A的下表面，以被支承部32A1的下表面位于除被支承部32A1之外的部 分的下表面的上方的方式形成有臺階部。中間構(gòu)件203a形成與該臺階部嚙合的形狀。同樣，第2部分罩32B具有被支承部32B1，被支承部32B1具有下表面32Bla以及 與該下表面32Bla連續(xù)的側(cè)端32Blb。被支承部32B1的下表面是第2部分罩32B的下表面 的一部分，在第2部分罩32B的下表面，以被支承部32B1的下表面位于除被支承部32B1之 外的部分的下表面的上方的方式形成有臺階部。中間構(gòu)件203b形成與該臺階部嚙合的形 狀。電介體罩固定器具18A例如與圖6或圖7同樣地采用螺釘19A1、19A2 (在此省略 圖示)來固定。中間構(gòu)件203a被第1支承部18A1和被支承部32A1夾持，中間構(gòu)件203b 被夾持在第2支承部18A2和被支承部32B1之間。在未圖示的第3部分罩與第3支承部之間、第4部分罩與第4支承部之間也分別 具有與上述相同的中間構(gòu)件，但這些中間構(gòu)件也可以是一體件。圖18、19、20所示的中間構(gòu)件201a、201b、202、203a、203b例如能夠由具有抗等離 子性的陶瓷等材質(zhì)構(gòu)成。通過插入中間構(gòu)件201a、201b、202、203a、203b，即使電介體罩12 的尺寸變化，也不會改變電介體罩固定器具18A自身的尺寸、形狀 ，能夠利用電介體罩固定 器具18A可靠地固定。例如，即使在作為第1部分罩(12A、32A)和第2部分罩(12B、32B)而 采用其厚度較薄、面方向上的長度比圖6、圖7短的材料的情況下，通過插入中間構(gòu)件201a、 201b、202、203a、203b，也能夠不在第1部分罩(12A、32A)、第2部分罩(12B、32B)與電介體 罩固定器具18A之間產(chǎn)生間隙、游隙地進(jìn)行固定。另外，中間構(gòu)件201a、201b、202、203a、203b例如也可以由氟樹脂、硅膠等彈性材
料構(gòu)成。在這種情況下，即使電介體罩12因熱量而產(chǎn)生伸縮、應(yīng)變等變形，也能夠吸收該變 形，因此，能夠防止電介體罩12的破損，并且，不會產(chǎn)生間隙、游隙，能夠可靠地維持由電介 體罩固定器具18A固定電介體罩12的狀態(tài)。如上所述，通過插入中間構(gòu)件，能夠利用電介體罩固定器具18A可靠地固定電介 體罩12，因此，也能夠防止在處理室5中產(chǎn)生的等離子體自電介體罩12的固定部位進(jìn)入而 對支承梁16造成損傷、或者發(fā)生異常放電。圖18、19、20所示的電介體罩固定器具的其他 構(gòu)造、作用及效果與圖6或圖7所示的電介體罩固定器具相同。第2實施方式接著，參照圖21和圖22說明作為本發(fā)明的第2實施方式的“罩固定裝置”的電介 體罩固定裝置。圖21是表示本實施方式的電介體罩固定裝置的剖視圖。圖22是表示圖21 所示的電介體罩固定裝置的另一狀態(tài)的剖視圖。本實施方式的電感耦合等離子處理裝置替代第1實施方式的支承梁16而具有支 承梁86，替代第1實施方式的電介體罩12而具有電介體罩82，替代第1實施方式的電介 體罩固定器具18A而具有作為“罩固定裝置”的電介體罩固定裝置87A。另外，以下詳細(xì)說 明電介體罩固定裝置87A，但在本實施方式中，替代第1實施方式中的除電介體罩固定器具 18A之外的電介體罩固定器具，而設(shè)有與電介體罩固定裝置87A相同的電介體罩固定裝置。在支承梁86上形成有從上表面貫穿到下表面的1個通孔。通孔包括從支承梁86 的上表面到下表面按順序配置的內(nèi)周部86a、86b、86c、86d。內(nèi)周部86a、86c的內(nèi)徑大致相 等。內(nèi)周部86b、86d的內(nèi)徑大致相等且大于內(nèi)周部86a、86c的內(nèi)徑。在相鄰的2個內(nèi)周部的邊界位置形成有將2個內(nèi)周部連結(jié)起來的環(huán)狀的臺階形成面。電介體罩82與第1實施方式的電介體罩12同樣地被分割成4個部分。S卩，電介 體罩82具有第1部分罩82A、第2部分罩82B、未圖示的第3和第4部分罩。第1部分罩82A具有被支承部82A1。被支承部82A1具有下表面以及與該下表面 連續(xù)的側(cè)端。被支承部82A1的下表面是第1部分罩82A的下表面的一部分，在第1部分罩 82A的下表面，以被支承部82A1的下表面位于除被支承部82A1之外的部分的下表面的上方 的方式形成有臺階部。同樣，第2部分罩82B具有被支承部82B1。電介體罩固定裝置87A包括電介體罩固定器具88A和固定機(jī)構(gòu)90。電介體罩固 定器具88A與圖9所示的電介體罩固定器具38A同樣地具有第1支承部88A1、第2支承部 88A2、被固定部88A3、未圖示的第3和第4支承部。第1支承部88A1被配置在第1部分罩82A的下表面上的上述臺階部，第1支承部 88A1的上表面抵接于被支承部82A1的下表面。第1支承部88A1具有與上述臺階部的臺階 相等的厚度。因此，在第1支承部88A1的下表面與第1部分罩82A中的除被支承部82A1 之外的部分的下表面之間沒有臺階。同樣，第2支承部88A2的上表面抵接于被支承部82B1 的下表面。第3支承部與第3部分罩的被支承部之間的關(guān)系以及第4支承部與第4部分罩的 被支承部之間的關(guān)系同上述第1支承部88A1與第1部分罩82A的被支承部82A1之間的關(guān) 系相同。被固定部88A3的一部分被配置在第1 第4部分罩的被支承部的側(cè)端的側(cè)方。電介體罩固定器具88A的各支承部分別在其與支承梁86和電介體壁6中的至少 一個之間夾著位于與支承部相對應(yīng)的位置的電介體罩82的被支承部來支承電介體罩82的 被支承部。另外，圖21和圖22表示電介體罩固定器具88A的支承部88A1、88A2分別在其 與支承梁86之間夾著被支承部82A1、82B1來支承被支承部82A1、82B1的例子。但是，支承 部88A1、88A2也可以分別在其與電介體壁6之間或者與支承梁86和電介體壁6這兩者之 間夾著被支承部82A1、82B1來支承被支承部82A1、82B1。另外，被固定部88A3具有配置在電介體罩82的上表面的上方的鉤89。鉤89被收 容在內(nèi)周部86d內(nèi)。鉤89形成其上端附近的一部分的內(nèi)徑小于其他部分的內(nèi)徑的大致圓 筒形狀。鉤89的上端附近的一部分成為后述的卡合構(gòu)件94的一部分所卡合的卡合部。固定機(jī)構(gòu)90是以使電介體罩固定器具88A的被固定部88A3與支承梁86的位置 關(guān)系不發(fā)生變化的方式將電介體罩固定器具88A的被固定部88A3固定的機(jī)構(gòu)。在本實施 方式中，特別是，固定機(jī)構(gòu)90是使用氣缸提起被固定部88A3的機(jī)構(gòu)。固定機(jī)構(gòu)90具有構(gòu)成氣缸的桿91和缸體92。缸體92直接或借助其他構(gòu)件固定 于主體容器2。固定機(jī)構(gòu)90還具有彈簧93和卡合構(gòu)件94。固定機(jī)構(gòu)90的一部分被插入 到支承梁86的通孔內(nèi)。桿91包括收容在缸體92內(nèi)的第1部分91a、自該第1部分91a朝向下方依次連 接的第2部分91b、第3部分91c、第4部分91d、第5部分91e及第6部分91f。第1 第 5部分91a 91e均具有圓柱形狀。第6部分91f具有圓錐形狀。第2部分91b貫穿缸體92的底部，被插入到內(nèi)周部86a。第2部分91b的外徑小 于第1部分91a的外徑。第3部分91c被配置在內(nèi)周部86c內(nèi)。第3部分91c的外徑大于 第2部分91b的外徑，且小于內(nèi)周部86a、86c的內(nèi)徑。
第4部分91d被配置在內(nèi)周部86b內(nèi)。第4部分91d的外徑小于第3部分91c的 外徑。第5部分91e被插入到內(nèi)周部86c與鉤89的卡合部內(nèi)，其下端部位于卡合部的下方。 第5部分91e的外徑小于第4部分9Id的外徑。第6部分91f被收容在鉤89內(nèi)。第6部分91f 的底面直徑大于第5部分91e的 外徑，且小于鉤89的卡合部的內(nèi)徑。在缸體92的內(nèi)部，由缸體92的內(nèi)壁和第1部分91a的上表面形成空間。在缸體 92上連接有用于向上述空間供給空氣、且自該空間排出空氣的配管95。彈簧93在內(nèi)周部86d內(nèi)被配置在桿91的第3部分91c與內(nèi)周部86b、86c的邊界 中的臺階形成面之間。第4部分91d在彈簧93的內(nèi)側(cè)能夠上下移動地配置。桿91被彈簧 向上方施加作用力?？ê蠘?gòu)件94具有凸緣94a、連接于該凸緣94a下端的多個(例如3個)平板部 94b、以及分別從各平板部94b的下端部突出到外側(cè)的多個卡合部94c。在凸緣94a中形成 有從上表面貫穿到下表面的1個通孔。在該通孔中插入有第5部分91e。凸緣94a的外徑 與內(nèi)周部86c的內(nèi)徑大致相等。凸緣94a的向上方的移動被彈簧93或者支承梁86限制。 平板部94b具有撓性。平板部94b的下端部與第6部分91f接觸。接著，說明本實施方式的電介體罩固定裝置87A的作用。圖21表示固定機(jī)構(gòu)90 未將電介體罩固定器具88A的被固定部88A3固定的狀態(tài)，圖22表示固定機(jī)構(gòu)90對電介體 罩固定器具88A的被固定部88A3進(jìn)行固定的狀態(tài)。圖21所示的狀態(tài)是通過自配管95向缸體92的內(nèi)部空間供給空氣來實現(xiàn)的。在 該狀態(tài)下，桿91位于可動范圍的下端。在該狀態(tài)下，卡合構(gòu)件94的多個平板部94b的下端 部未展開，多個卡合部94c未卡合于鉤89的卡合部。因而，在該狀態(tài)下，電介體罩固定器具 88A未固定于支承梁86，能夠拆卸電介體罩固定器具88A和電介體罩82。停止自配管95向缸體92的內(nèi)部空間供給空氣，自缸體92的內(nèi)部空間排出空氣 時，轉(zhuǎn)移到圖22所示的狀態(tài)。此時，桿91被彈簧93的作用力推向上方，卡合構(gòu)件94的多 個平板部94b的下端部利用第6部分91f向外側(cè)展開。結(jié)果，多個卡合部94c卡合于鉤89 的卡合部，通過提起被固定部88A3，電介體罩固定器具88A以其與支承梁86的位置關(guān)系不 發(fā)生變化的方式固定于支承梁86。由此，電介體罩82被電介體罩固定器具88A固定。像以上說明的那樣，在本實施方式中，通過由固定機(jī)構(gòu)90提起電介體罩固定器具 88A的被固定部88A3，將被固定部88A3以其與支承構(gòu)件(支承梁86)的位置關(guān)系不發(fā)生變 化的方式固定。因此，采用本實施方式，電介體罩固定器具88A和電介體罩82的裝卸作業(yè) 變得容易。另外，在本實施方式中，固定機(jī)構(gòu)90的桿91被彈簧93向上方施加作用力。因此， 采用本實施方式，即使在電介體罩82的裝卸作業(yè)中發(fā)生自缸體92漏氣的故障的情況下，電 介體罩固定器具88A和電介體罩82也不會落下。本實施方式的其他構(gòu)造、作用及效果與第1實施方式相同。第3實施方式接著，說明作為本發(fā)明的第3實施方式的“罩固定裝置”的電介體罩固定裝置。圖 23是表示本實施方式的電介體罩固定裝置的剖視圖。本實施方式的電感耦合等離子處理 裝置替代第2實施方式的支承梁86而具有支承梁96，替代第2實施方式的電介體罩82而具有電介體罩112，替代第2實施方式的電介體罩固定裝置87A而具有電介體罩固定裝置 120。另外，以下詳細(xì)說明電介體罩固定裝置120，但在本實施方式中，替代第2實施方式中 的除電介體罩固定裝置87A之外的電介體罩固定裝置，而設(shè)有與電介體罩固定裝置120相 同的電介體罩固定裝置。在支承梁96中形成有從上表面貫穿到下表面的1個通孔96a。電介體罩112與 第1實施方式的電介體罩12同樣地被分割成4個部分。S卩，電介體罩112具有第1部分罩 112A、第2部分罩112B、未圖示的第3及第4部分罩。第1部分罩112A具有被支承部112A1。被支承部112A1具有下表面以及與該下表 面連續(xù)的側(cè)端。被支承部112A1的下表面是第1部分罩112A的下表面的一部分，在第1部 分罩112A的下表面，以被支承部112A1的下表面位于除被支承部112A1之外的部分的下表 面的上方的方式形成有臺階部。同樣，第2部分罩112B具有被支承部112B1。電介體罩固定裝置120包括作為電介體罩固定器具的桿121以及作為固定機(jī)構(gòu)的 缸體122。桿121和缸體122構(gòu)成氣缸。缸體122被配置在支承梁96的上方，直接或借助 其他構(gòu)件固定于主體容器2。桿121被插入到通孔96a中。桿121具有上端部被收容在缸體122內(nèi)的軸狀的被固定部121a、分別自被固定部 121a的下端部向側(cè)方延伸的第1支承部121bl、第2支承部121b2、未圖示的第3及第4支承部。第1支承部121bl被配置在第1部分罩112A的下表面上的上述臺階部，第1支承 部121bl的上表面抵接于被支承部112A1的下表面。第1支承部121bl具有與上述臺階部 的臺階相等的厚度。因此，在第1支承部121bl的下表面與第1部分罩112A中的除被支承 部112A1之外的部分的下表面之間沒有臺階。同樣，第2支承部121b2的上表面抵接于被 支承部112B1的下表面。第3支承部與第3部分罩的被支承部之間的關(guān)系以及第4支承部與第4部分罩的 被支承部之間的關(guān)系同上述第1支承部121bl與第1部分罩112A的被支承部112A1之間 的關(guān)系相同。被固定部121a的一部分被配置在第1 第4部分罩的被支承部的側(cè)端的側(cè)方。上述各支承部分別在其與支承梁96和電介體壁6中的至少一個之間夾著位于與 支承部相對應(yīng)的位置的電介體罩112的被支承部來支承電介體罩112。另外，圖23表示支 承部121bl、121b2分別在其與支承梁96之間夾著被支承部112A1、112B1來支承被支承部 112A1U12B1的例子。但是，支承部121bl、121b2也可以分別在其與電介體壁6之間或者 與支承梁96和電介體壁6這兩者之間夾著被支承部112A1、112B1來支承被支承部112A1、 112B1。在缸體122上連接有配管123、124。在自配管124向缸體122內(nèi)供給空氣、自配管 123排氣時，桿121移動到可動范圍的上端。相反，在自配管123向缸體122內(nèi)供給空氣、自 配管124排氣時，桿121移動到可動范圍的下端。在本實施方式的電介體罩固定裝置120中，使桿121移動到可動范圍的上端時，通 過提起被固定部121a，支承部121bl、121b2的上表面分別抵接于被支承部112A1、112B1的 下表面。由此，作為電介體罩固定器具的桿121以其與支承梁96的位置關(guān)系不發(fā)生變化的 方式固定于支承梁96。由此，電介體罩112被桿121固定。
另外，在使桿121移動到可動范圍的下端時，支承部121bl、121b2的上表面分別遠(yuǎn) 離被支承部112A1、112B1的下表面，解除電介體罩112的固定。圖24是表示本實施方式的變形例的電介體罩固定裝置130的剖視圖。該變形例 的電介體罩固定裝置130替代圖23中的桿121和缸體122而包括作為電介體罩固定器具 的齒條131以及作為固定機(jī)構(gòu)的小齒輪132。齒條131包括被插入到通孔96a中的軸狀 的被固定部131a ；分別自被固定部131a的下端部向側(cè)方延伸的第1支承部131bl、第2支 承部131b2、未圖示的第3及第4支承部。第1 第4支承部的形狀和作用與圖23所示的 桿121的第1 第4支承部相同。小齒輪132被配置在支承梁96的上方，其直接或者借助 其他構(gòu)件能夠相對于主體容器2旋轉(zhuǎn)地安裝在主體容器2上。被固定部131a的一部分被 配置在支承梁96的上方，在該一部分的側(cè)面形成有供小齒輪132嚙合的齒131c。在圖24所示的變形例的電介體罩固定裝置130中，通過使小齒輪132旋轉(zhuǎn)而齒條 131沿上下方向移動，由此，能夠與圖23所示的電介體罩固定裝置120同樣地解除電介體罩 112的固定。本實施方式的其他構(gòu)造、作用及效果與第2實施方式相同。第4實施方式接著，說明作為本發(fā)明的第4實施方式的“罩固定裝置”的電介體罩固定裝置。圖 25是表示本實施方式的電介體罩固定裝置的剖視圖。本實施方式的電感耦合等離子處理裝 置替代第3實施方式的電介體罩固定裝置120而具有電介體罩固定裝置135。電介體罩固定裝置135包括電介體罩固定器具148以及固定機(jī)構(gòu)140。電介體罩 固定器具148具有軸狀的被固定部148a、分別自被固定部148a的下端部向側(cè)方延伸的第1 支承部148bl、第2支承部148b2、未圖示的第3及第4支承部。第1 第4支承部的形狀 和作用與圖23所示的桿121的第1 第4支承部相同。被固定部148a被插入到通孔96a 中。被固定部148a的一部分被配置在支承梁96的上方，在該一部分形成有沿水平方向貫 穿的孔148c。電介體罩固定裝置135還包括罩149，該罩149被安裝在支承梁96上，用于 對配置在支承梁96上方的被固定部148a的一部分進(jìn)行覆蓋。固定機(jī)構(gòu)140是對被固定部148a的上下方向的移動進(jìn)行限制的機(jī)構(gòu)。該固定機(jī) 構(gòu)140具有桿141和缸體142。桿141和缸體142構(gòu)成氣缸。缸體142例如被固定于電介 體壁6。桿141沿水平方向配置，能夠貫穿罩149而插入到孔148c中。在缸體142上連接有配管143、144。在自配管144向缸體142內(nèi)供給空氣、自配管 143排氣時，桿141突出而插入到孔148c中。由此，被固定部148a的上下方向的移動被限 制，電介體罩112被電介體罩固定器具148固定。相反，在自配管143向缸體142內(nèi)供給空 氣、自配管144排氣時，桿141自孔148c退出。由此，被固定部148a能夠沿上下方向移動， 解除電介體罩112的固定。圖26是表示本實施方式的變形例的電介體罩固定裝置136的剖視圖。該變形例 的電介體罩固定裝置136替代圖25中固定機(jī)構(gòu)140而具有固定機(jī)構(gòu)150。固定機(jī)構(gòu)150具 有替代桿141的齒條151以及使該齒條151沿水平方向移動的小齒輪152。齒條151沿水 平方向配置，能夠貫穿罩149而插入到孔148c中。在該變形例中，通過使小齒輪152旋轉(zhuǎn)而齒條151沿水平方向移動，由此，能夠與 圖25所示的電介體罩固定裝置135同樣地解除電介體罩112的固定。
本實施方式的其他構(gòu)造、作用及效果與第3實施方式相同。第5實施方式接著，說明作為本發(fā)明的第5實施方式的“罩固定裝置”的電介體罩固定裝置。圖 27是表示本實施方式的電介體罩固定裝置的剖視圖。圖28是表示圖27中的電介體罩固定 裝置的一部分的立體圖。本實施方式的電感耦合等離子處理裝置替代第2實施方式的支承梁86而具有支 承梁186，替代第2實施方式的電介體罩82而具有電介體罩182，替代第2實施方式的電介 體罩固定裝置87A而具有電介體罩固定裝置187A。在支承梁186中形成有從上表面貫穿到下表面的1個通孔。通孔包括從支承梁86 的上表面到下表面按順序配置的內(nèi)周部186a、186b。內(nèi)周部186b的內(nèi)徑大于內(nèi)周部186a 的內(nèi)徑。電介體罩182與第2實施方式的電介體罩82同樣地被分割成4個部分。S卩，電介 體罩182具有第1部分罩182A、第2部分罩182B、未圖示的第3及第4部分罩。第1部分罩182A具有被支承部182A1。被支承部182A1具有下表面以及與該下表 面連續(xù)的側(cè)端。被支承部182A1的下表面是第1部分罩182A的下表面的一部分，在第1部 分罩182A的下表面，以被支承部182A1的下表面位于除被支承部182A1之外的部分的下表 面的上方的方式形成有臺階部。同樣，第2部分罩182B具有被支承部182B1。電介體罩固定裝置187A包括電介體罩固定器具188A和固定機(jī)構(gòu)190。電介體罩 固定器具188A與第2實施方式的電介體罩固定器具88A同樣地具有第1支承部188A1、第 2支承部188A2、被固定部188A3、未圖示的第3及第4支承部。第1 第4支承部的形狀和 作用與第2實施方式相同。被固定部188A3具有配置在罩182上表面的上方的鉤189。鉤189被收容在內(nèi)周 部186b內(nèi)。在鉤189上，從其上表面到內(nèi)部形成有俯視的形狀為長方形的狹縫189a。在鉤 189的內(nèi)部，在上述狹縫189a的下方還形成有與狹縫189a連續(xù)的空洞部189b。俯視的空 洞部189b的形狀是具有與狹縫189a的長度尺寸相等的直徑的圓形。在狹縫189a與空洞 部189b的邊界位置形成有將狹縫189a和空洞部189b連結(jié)起來的臺階形成面。固定機(jī)構(gòu)190具有保持架191、電動機(jī)192、將電動機(jī)192的旋轉(zhuǎn)軸與保持架191 連結(jié)起來的連接器193。如圖28所示，保持架191具有桿部191b、與該桿部191b的上端連 接的圓板部191a、與桿部191b的下端連接的鍵部191c。圓板部191a被配置在支承梁186 上表面的上方，連接于連接器193。桿部191b被插入到內(nèi)周部186a和狹縫189a中。鍵部 191c具有能夠通過狹縫189a的尺寸的長方體形狀。鍵部191c能夠旋轉(zhuǎn)地收容在空洞部 189b內(nèi)。另外，鍵部191c的上下方向尺寸與空洞部189b的上下方向尺寸大致相等。在本實施方式的電介體罩固定裝置187A中，使電動機(jī)192的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，保持 架191的鍵部191c在空洞部189b內(nèi)旋轉(zhuǎn)。在使鍵部191c停止在除能夠通過狹縫189a的 位置之外的位置時，鍵部191c的上表面抵接于將狹縫189a和空洞部189b連結(jié)起來的臺階 形成面而使電介體罩固定器具188A固定，由此，電介體罩182被電介體罩固定器具188A固 定。在使鍵部191c停止在能夠通過狹縫189a的位置時，鍵部191c通過狹縫189a，從 而，電介體罩固定器具188A能夠移動到下方。由此，電介體罩182的固定被解除。
本實施方式的其他構(gòu)造、作用及效果與第2實施方式相同。第6實施方式 接著，說明作為本發(fā)明的第6實施方式的“罩固定裝置”的電介體罩固定裝置。圖 29是表示本實施方式的電介體罩固定裝置的剖視圖。本實施方式的電感耦合等離子處理裝 置替代第2實施方式的電介體罩82而具有電介體罩162，替代第2實施方式的電介體罩固 定裝置87A而具有電介體罩固定裝置290。電介體罩162既可以被分割成多個部分，也可以 不被分割。電介體罩固定裝置290的構(gòu)造與第2實施方式的固定機(jī)構(gòu)90相同。因此，對電 介體罩固定裝置290的構(gòu)成要件標(biāo)注與固定機(jī)構(gòu)90的構(gòu)成要件相同的附圖標(biāo)記。電介體罩162包括罩主體162A和鉤162B，該罩主體162A具有上表面和下表面， 用于構(gòu)成電介體罩162的主要部分，該鉤162B被安裝在該罩主體162A的上表面。鉤162B 被收容在支承梁86的內(nèi)周部86d內(nèi)。鉤162B形成其上端附近的一部分的內(nèi)徑小于其他部 分的內(nèi)徑的大致圓筒形狀。鉤162B的上端附近的一部分成為供卡合構(gòu)件94的多個卡合部 94c卡合的卡合部162B1?？ê喜?62B1與本發(fā)明的電介體罩的被支承部相對應(yīng)。因而，在 本實施方式中，作為被支承部的卡合部162B1被配置在罩主體162A的上表面的上方。卡合 部162B1具有下表面以及與該下表面連續(xù)的側(cè)端(卡合部162B1的內(nèi)周側(cè)的端部)。在電介體罩固定裝置290中，桿91的第6部分91f和卡合構(gòu)件94的卡合部94c 被收容在鉤162B內(nèi)?？ê蠘?gòu)件94與本發(fā)明的電介體罩固定器具相對應(yīng)，除卡合構(gòu)件94之 外的電介體罩固定裝置290的構(gòu)成要件與提起作為電介體罩固定器具的卡合構(gòu)件94的、本 發(fā)明的固定機(jī)構(gòu)相對應(yīng)。另外，卡合部94c與本發(fā)明的支承部相對應(yīng)，卡合構(gòu)件94中的除 卡合部94c之外的部分與本發(fā)明的被固定部相對應(yīng)。作為支承部的卡合部94c被配置在作 為被支承部的卡合部162B1的下表面與罩主體162A的上表面之間。構(gòu)成被固定部的平板 部94b的一部分被配置在卡合部162B1的側(cè)端的側(cè)方。在本實施方式中，在自配管95向缸體92的內(nèi)部空間供給空氣時，桿91位于可動 范圍的下端。在該狀態(tài)下，卡合構(gòu)件94的多個平板部94b的下端部未展開，多個卡合部94c 未卡合于鉤162B的卡合部162B1。因而，在該狀態(tài)下，作為電介體罩固定器具的卡合構(gòu)件 94未固定于支承梁86，能夠拆卸電介體罩162。停止自配管95向缸體92的內(nèi)部空間供給空氣、自缸體92的內(nèi)部空間排出空氣 時，桿91被彈簧93的作用力推向上方，卡合構(gòu)件94的多個平板部94b的下端部被第6部 分91f向外側(cè)展開。結(jié)果，多個卡合部94c卡合于鉤162B的卡合部162B1，作為電介體罩 固定器具的卡合構(gòu)件94以其與支承梁86的位置關(guān)系不發(fā)生變化的方式固定于支承梁86。 由此，電介體罩162以其與支承梁86的位置關(guān)系不發(fā)生變化的方式被固定。本實施方式的 其他構(gòu)造、作用及效果與第2實施方式相同。第7實施方式接著，說明作為本發(fā)明的第7實施方式的“罩固定裝置”的電介體罩固定裝置。圖 30是表示本實施方式的電介體罩固定裝置的剖視圖。本實施方式的電感耦合等離子處理裝 置替代第5實施方式的電介體罩182而具有電介體罩382，替代第5實施方式的電介體罩固 定裝置187A而具有電介體罩固定裝置390。電介體罩382既可以被分割成多個部分，也可 以不被分割。電介體罩固定裝置390的構(gòu)造與第5實施方式的固定機(jī)構(gòu)190相同。因此， 對電介體罩固定裝置390的構(gòu)成要件標(biāo)注與固定機(jī)構(gòu)190的構(gòu)成要件相同的附圖標(biāo)記。
電介體罩382包括罩主體382A和鉤382B，該罩主體382A具有上表面和下表面，用 于構(gòu)成電介體罩382的主要部分，該鉤382B被安裝在該罩主體382A的上表面。鉤382B被 收容在支承梁186的內(nèi)周部186b內(nèi)。鉤382B形成其上端附近的一部分的內(nèi)徑小于其他部 分的內(nèi)徑的大致圓筒形狀。鉤382B的構(gòu)造與第5實施方式的鉤189相同。S卩，在鉤382B中，從其上表面到 內(nèi)部形成有俯視的形狀為長方形的狹縫382Ba。在鉤382B的內(nèi)部，在上述狹縫382Ba的下 方還形成有與狹縫382Ba連續(xù)的空洞部382Bb。俯視的空洞部382Bb的形狀是具有與狹縫 382Ba的長度尺寸相等的直徑的圓形。在狹縫382Ba與空洞部382Bb的邊界位置形成有將 狹縫382Ba和空洞部382Bb連結(jié)起來的臺階形成面。 另外，鉤382B具有形成在狹縫382Ba的周邊的被支承部382B1。因而，在本實施方 式中，被支承部382B1被配置在罩主體382A的上表面的上方。被支承部382B1具有下表面 以及與該下表面連續(xù)的側(cè)端(狹縫382Ba的端部)。在電介體罩固定裝置390的保持架191中，桿部191b被插入到內(nèi)周部186a和狹 縫382Ba中。鍵部191c具有能夠通過狹縫382Ba那樣的尺寸的長方體形狀。鍵部191c能 夠旋轉(zhuǎn)地收容在空洞部382Bb內(nèi)。另外，鍵部191c的上下方向尺寸與空洞部382Bb的上下 方向尺寸大致相等。保持架191與本發(fā)明的電介體罩固定器具相對應(yīng)，除保持架191之外的電介體罩 固定裝置390的構(gòu)成要件與本發(fā)明的固定機(jī)構(gòu)相對應(yīng)。保持架191的鍵部191c包括能夠 抵接于被支承部382B1的下表面的2個支承部191cl、191c2。保持架191中的、除支承部 191cl、191c2之外的部分與本發(fā)明的被固定部相對應(yīng)。支承部191cl、191c2被配置在被支 承部382B1的下表面與罩主體382A的上表面之間。構(gòu)成被固定部的桿部191b的一部分被 配置在被支承部382B1的側(cè)端的側(cè)方。在本實施方式的電介體罩固定裝置390中，使電動機(jī)192的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，保持架 191的鍵部191c在空洞部382Bb內(nèi)旋轉(zhuǎn)。在使鍵部191c停止在除能夠通過狹縫382Ba的 位置之外的位置時，支承部191cl、191c2的上表面抵接于被支承部382B1的下表面而電介 體罩382被固定。在使鍵部191c停止在能夠通過狹縫382Ba的位置時，鍵部191c通過狹縫382Ba， 從而，電介體罩382能夠移動到下方。由此，解除電介體罩382的固定。本實施方式的其他構(gòu)造、作用及效果與第5實施方式相同。另外，本發(fā)明并不限于上述各實施方式，能夠進(jìn)行各種變更。例如，在本發(fā)明中，對 罩固定器具進(jìn)行固定的部件并不限于各實施方式所示的部件。
權(quán)利要求
一種電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具，該電感耦合等離子處理裝置包括處理室，其具有構(gòu)成頂板部分的窗構(gòu)件，用于進(jìn)行等離子處理；高頻天線，其被配置在上述窗構(gòu)件的上方，用于在上述處理室內(nèi)形成感應(yīng)電場；支承構(gòu)件，其用于支承上述窗構(gòu)件；罩，用于覆蓋上述窗構(gòu)件的下表面，上述罩固定器具用于上述電感耦合等離子處理裝置，用于固定上述罩，其特征在于，包括支承部，其用于對具有作為上述罩的一部分的下表面的被支承部進(jìn)行支承；被固定部，其被固定于上述支承構(gòu)件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具，其特征在于， 上述電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具還具有用于將上述被固定部固定于上述支承構(gòu)件的螺釘。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具，其特征在于，上述螺釘?shù)念^部被配置在上述支承構(gòu)件的上方，上述螺釘?shù)臈U部貫穿上述支承構(gòu)件而 與上述被固定部相結(jié)合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具，其特 征在于，上述支承部包括抵接于上述被支承部的下表面的上表面；隨著遠(yuǎn)離上述被固定部而 與上述上表面的距離變小的下表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具，其特 征在于，上述被支承部的下表面是上述罩的下表面的一部分，在上述罩的下表面，以上述被支 承部的下表面位于除上述被支承部之外的部分的下表面的上方的方式形成有臺階部； 上述支承部被配置在上述罩的下表面上的上述臺階部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具，其特征在于， 上述支承部具有與上述臺階部的臺階相等的厚度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具，其特征在于， 上述電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具還包括如下形狀的側(cè)部在2個罩固定器具沿水平方向相鄰地配置時、2個罩固定器具的側(cè)部相互嚙合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具，其特征在于， 上述罩包括罩主體，該罩主體具有下表面和上表面，構(gòu)成罩的主要部分，上述被支承部被配置在上述罩主體的上表面的上方；上述支承部被配置在上述被支承部的下表面與上述罩主體的上表面之間。
9.一種電感耦合等離子處理裝置的罩固定裝置，該電感耦合等離子處理裝置包括處 理室，其具有構(gòu)成頂板部分的窗構(gòu)件，用于進(jìn)行等離子處理；高頻天線，其被配置在上述窗 構(gòu)件的上方，用于在上述處理室內(nèi)形成感應(yīng)電場；支承構(gòu)件，用于支承上述窗構(gòu)件；罩，用 于覆蓋上述窗構(gòu)件的下表面，上述罩固定裝置用于上述電感耦合等離子處理裝置，用于固 定上述罩，其特征在于，上述電感耦合等離子處理裝置的罩固定裝置包括權(quán)利要求1或8所述的罩固定器具； 將上述罩固定器具的上述被固定部固定于上述支承構(gòu)件的固定機(jī)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定裝置，其特征在于， 上述固定機(jī)構(gòu)是提起上述被固定部的機(jī)構(gòu)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電感耦合等離子處理裝置的罩固定裝置，其特征在于， 上述固定機(jī)構(gòu)是對上述被固定部的上下方向的移動進(jìn)行限制的機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電感耦合等離子處理裝置的罩固定器具和罩固定裝置。在電感耦合等離子處理裝置中抑制覆蓋窗構(gòu)件的下表面的罩的破損和微粒的產(chǎn)生，而且能夠容易地裝卸罩。電感耦合等離子處理裝置的電介體罩包括具有下表面以及與該下表面連續(xù)的側(cè)端的被支承部。電介體罩固定器具包括支承部，其與電介體罩的被支承部的下表面抵接，以被支承部夾在其與作為支承電介體壁的支承構(gòu)件的支承梁和電介體壁中的至少一個之間的方式支承被支承部；被固定部，其與該支承部相連接，其一部分被配置在被支承部的側(cè)端的側(cè)方，以其與支承梁的位置關(guān)系不發(fā)生變化的方式被固定。
文檔編號H05H1/46GK101848596SQ20101014115
公開日2010年9月29日 申請日期2010年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月25日
發(fā)明者佐藤亮, 天野健次, 齊藤均 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社