專利名稱：一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，尤其是安裝在一個平面支架上的多個等離子體噴口向外噴射等離子體束流的系統(tǒng)。
背景技術：
常壓等離子體技術是在近年才迅速發(fā)展起來的、并已得到廣泛應用的新技術，它可應用于(1)表面清洗(例如清洗表面生化污染、表面有機污染)。( 材料表面的改性。表面消毒和滅菌等等。在傳統(tǒng)上，常壓等離子體一般是采用高頻高壓放電，電源輸出電壓高，所產(chǎn)生的等離子體是絲狀放電，不能產(chǎn)生輝光放電，不適合對敏感材料的表面處理等；另外，常壓輝光等離子體噴槍一般所采用的電源是13. 56MHz，該種電源體積大，價格高，不便用于多個發(fā)生器束流放電，從而限制了常規(guī)射頻等離子體噴槍的應用范圍，更不適合對大面積材料表面處理的要求。本發(fā)明介紹了一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，是采用多個放電單元的集成，每個放電管對應一個供電電源，每個電源的放電頻率是6. 78MHz，該射頻電源功耗僅為十幾瓦到幾十瓦，結(jié)構(gòu)簡單，更易于安裝，和多個等離子體放電管構(gòu)成了一種新型的多噴頭的等離子體發(fā)生器。

發(fā)明內(nèi)容
為了達到上述目的，本發(fā)明公開了一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為多個等離子體噴管是安裝在一個平面支架上，多個噴管的噴口構(gòu)成一個水平面，其中每個等離子體噴管是由一個包覆金屬管電極的石英管以及石英管噴口外的一個圓環(huán)電極構(gòu)成，石英管所包覆的管電極的一端是在石英管內(nèi)，另一端是在管外，一個射頻電源分別與石英管中的內(nèi)電極和其外電極連接，石英管所包覆的金屬管電極與一個進氣管連接，進氣管的另一端是通過氣體減壓閥與氣瓶連接，當氣體通過石英管所包覆的金屬管電極的端部時電離生成等離子體，并由石英管的噴口噴出。所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為每個等離子體噴管是安裝在一個平面支架上，多個噴管的噴口在同一個水平面上。所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為每個等離子體噴管是由一個包覆金屬管電極的石英管以及石英管噴口外的一個圓環(huán)電極構(gòu)成，石英管所包覆的金屬管端部離石英管的噴口的距離范圍是3-10毫米， 石英管噴口外的金屬圓環(huán)電極是包覆在石英管外接近噴口處。所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為每個石英管的內(nèi)外電極分別與一個射頻電源連接，射頻電源的頻率是 6. 78MHz，功率范圍是10-30W。
所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為石英管所包覆的金屬管電極與一個進氣管連接，進氣管的另一端是通過氣體減壓閥與氣瓶連接，氣體是采用氬氣。所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為在氣體通過石英管所包覆的金屬管電極噴口位置時被電離形成等離子體，并形成向外噴射的等離子體束流。本發(fā)明提供一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，與其它類型等離子體發(fā)生器比較， 其優(yōu)點是(1)，多個單元射頻等離子體發(fā)生器集成可以產(chǎn)生較大面積的輝光放電；(2)，設備易于安裝，適合對大面積熱敏感材料的表面處理。本發(fā)明的主要用途是對平面熱敏感材料的表面改性、表面清洗等表面處理。
具體實施例方式

圖1為本發(fā)明實施例一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。圖2為本發(fā)明實施例一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器俯視結(jié)構(gòu)圖。圖3為本發(fā)明實施例單個等離子體發(fā)生器結(jié)構(gòu)剖視示意圖。請參閱圖1、圖2和圖3，多個等離子體噴管103是安裝在一個平面100支架上，多個噴管103的噴口是在同一個水平面，其中每個等離子體噴管103是由石英管構(gòu)成，在石英管103內(nèi)包覆一個金屬管電極105，在石英管103的端部外設有一個圓環(huán)電極104，石英管 103的內(nèi)外電極105和104分別通過連接電纜102與一個射頻電源101的兩個輸出端連接； 金屬管電極105在石英管外的另一端與一個進氣管109連接，進氣管109的另一端是通過氣體減壓閥108與氣瓶107連接，當氣體通過石英管103所包覆的金屬管電極105端部時電離生成等離子體106，該等離子體106由石英管103的噴口噴出。平面支架100是材料絕緣材料，例如用工程塑料或有機玻璃等制成；金屬電極管 105是用不銹鋼管制成，圓環(huán)電極104可以用鋁或銅加工制成。射頻電源的頻率是6. 78MHz, 功率范圍是10-30W。上面參考附圖結(jié)合具體的實施例對本發(fā)明進行了描述，然而，需要說明的是，對于本領域的技術人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以對上述實施例做出許多改變和修改，這些改變和修改都落在本發(fā)明的權(quán)利要求限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.本發(fā)明公開了一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為多個等離子體噴管是安裝在一個平面支架上，多個噴管的噴口構(gòu)成一個水平面，其中每個等離子體噴管是由一個包覆金屬管電極的石英管以及石英管噴口外的一個圓環(huán)電極構(gòu)成，石英管所包覆的管電極的一端是在石英管內(nèi)，另一端是在管外，一個射頻電源分別與石英管中的內(nèi)電極和其外電極連接，石英管所包覆的金屬管電極與一個進氣管連接，進氣管的另一端是通過氣體減壓閥與氣瓶連接，當氣體通過石英管所包覆的金屬管電極的端部時電離生成等離子體，并由石英管的噴口噴出。
2.如權(quán)利要求1所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為每個等離子體噴管是安裝在一個平面支架上，多個噴管的噴口在同一個水平面上。
3.如權(quán)利要求1所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為每個等離子體噴管是由一個包覆金屬管電極的石英管以及石英管噴口外的一個圓環(huán)電極構(gòu)成，石英管所包覆的金屬管端部離石英管的噴口的距離范圍是 3-10毫米，石英管噴口外的金屬圓環(huán)電極是包覆在石英管外接近噴口處。
4.如權(quán)利要求1所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為每個石英管的內(nèi)外電極分別與一個射頻電源連接，射頻電源的頻率是6. 78MHz，功率范圍是10-30W。
5.如權(quán)利要求1所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為石英管所包覆的金屬管電極與一個進氣管連接，進氣管的另一端是通過氣體減壓閥與氣瓶連接，氣體是采用氬氣。
6.如權(quán)利要求1所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為在氣體通過石英管所包覆的金屬管電極噴口位置時被電離形成等離子體，并形成向外噴射的等離子體束流。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個射頻電源和多個等離子體噴管等，其特征為多個等離子體噴管是安裝在一個平面支架上，多個噴管的噴口構(gòu)成一個水平面，其中每個等離子體噴管是由一個包覆金屬管電極的石英管以及石英管噴口外的一個圓環(huán)電極構(gòu)成，石英管所包覆的管電極的一端是在石英管內(nèi)，另一端是在管外，一個射頻電源分別與石英管中的內(nèi)電極和其外電極連接，石英管所包覆的金屬管電極與一個進氣管連接，進氣管的另一端是通過氣體減壓閥與氣瓶連接，當氣體通過石英管所包覆的金屬管電極的端部時電離生成等離子體，并由石英管的噴口噴出。該系統(tǒng)可以用于對較大面積熱敏感材料的表面處理。
文檔編號H05H1/30GK102244970SQ20101016955
公開日2011年11月16日 申請日期2010年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月12日
發(fā)明者王守國 申請人:中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心