專利名稱：臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種冷卻結(jié)構(gòu)，具體地說是涉及一種適用于臥式多晶硅還原爐的 爐體冷卻結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的多晶硅還原反應(yīng)爐通常都是采用立式還原爐，常用有18對棒，9對棒，它們 的直徑都小于1600mm，爐體冷卻的換熱方式通常都是夾套換熱，通常采用以水為換熱介質(zhì) 的簡單水冷冷卻結(jié)構(gòu)。中國專利申請?zhí)?00810204124. 6公開了一種新型臥式多晶硅還原 爐，其相比傳統(tǒng)立式多晶硅還原爐具有容易擴大生產(chǎn)規(guī)模，縮短生產(chǎn)周期，節(jié)約生產(chǎn)成本， 提高成品率和生產(chǎn)效率的優(yōu)點。然而，由于臥式多晶硅還原爐的爐體的中心軸線沿水平方 向置放，其結(jié)構(gòu)和工作方式與傳統(tǒng)的立式多晶硅還原爐都有較大的差別，使現(xiàn)有還原爐爐 體冷卻結(jié)構(gòu)無法達到較好的冷卻效果，因此亟需設(shè)計一種適合臥式多晶硅還原爐的爐體冷 卻結(jié)構(gòu)。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種適用于臥式多晶硅還原爐的爐體冷卻結(jié)構(gòu)，采用 噴淋蛇管和螺旋油槽對還原爐的爐體進行充分換熱，解決了還原爐爐體溫度一致、流量平 衡的問題，從而有效提高多晶硅還原爐的反應(yīng)質(zhì)量和沉積速率。本實用新型的技術(shù)方案是提供一種臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)，包括位于爐體頂部的導(dǎo)熱油入口，與 所述導(dǎo)熱油入口相連接的導(dǎo)熱油緩沖管，與所述導(dǎo)熱油緩沖管相連接的環(huán)繞在還原爐內(nèi)筒 外的噴淋蛇管，平行開設(shè)于所述噴淋蛇管兩側(cè)的螺旋油槽，與所述螺旋油槽出口相連接的 導(dǎo)熱油出口。進一步，所述導(dǎo)熱油出口設(shè)置于還原爐爐體底部。所述噴淋蛇管環(huán)繞在還原爐內(nèi) 筒外的每一圈上都設(shè)有入口，各入口分別與所述導(dǎo)熱油緩沖管相連接。本實用新型的有益效果是如上述的結(jié)構(gòu)，本實用新型臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)通過環(huán)繞在還原爐內(nèi) 筒外的噴淋蛇管進行均勻噴淋，噴淋后的導(dǎo)熱油再由螺旋油槽收集并進行進一步換熱。使 還原爐的換熱均勻充分，解決了還原爐爐體溫度一致、流量平衡的問題，達到更好的冷卻效 果，從而有效提高多晶硅還原爐的反應(yīng)質(zhì)量和沉積速率。

圖1是本實用新型臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖和實施例進一步說明本實用新型的結(jié)構(gòu)特征。[0011]圖1是本實用新型臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示， 本實用新型臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)，它包括，位于爐體1頂部的導(dǎo)熱油入口 2，與 所述導(dǎo)熱油入口 2相連接的導(dǎo)熱油緩沖管3，與所述導(dǎo)熱油緩沖管3相連接的環(huán)繞在還原爐 內(nèi)筒外的噴淋蛇管4，平行開設(shè)于所述噴淋蛇管4兩側(cè)的螺旋油槽5，與所述螺旋油槽5出 口相連接的導(dǎo)熱油出口 6。在本實施例中，所述導(dǎo)熱油出口 6設(shè)置于還原爐爐體1底部。為了達到更好的噴 淋換熱效果，所述噴淋蛇管4環(huán)繞在還原爐內(nèi)筒外的每一圈上都設(shè)有入口，各入口分別與 所述導(dǎo)熱油緩沖管3相連接。還原爐工作時，導(dǎo)熱油通過導(dǎo)熱油入口 2進入導(dǎo)熱油緩沖管3中，通過導(dǎo)熱油緩沖 管3將導(dǎo)熱油送至噴淋蛇管4每一圈上的入口，噴淋蛇管4將導(dǎo)熱油噴向還原爐內(nèi)筒進行 冷卻，噴向還原爐內(nèi)筒上的導(dǎo)熱油經(jīng)過初步換熱后再由平行開設(shè)于噴淋蛇管4兩側(cè)的螺旋 油槽5收集，進行進一步充分換熱后由導(dǎo)熱油出口 6排出，并進行循環(huán)利用。
權(quán)利要求1.臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)，其特征是，包括位于爐體頂部的導(dǎo)熱油入口，與所 述導(dǎo)熱油入口相連接的導(dǎo)熱油緩沖管，與所述導(dǎo)熱油緩沖管相連接的環(huán)繞在還原爐內(nèi)筒外 的噴淋蛇管，平行開設(shè)于所述噴淋蛇管兩側(cè)的螺旋油槽，與所述螺旋油槽出口相連接的導(dǎo) 熱油出口。
2.如權(quán)利要求1所述的臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)，其特征是，所述導(dǎo)熱油出口 設(shè)置于還原爐爐體底部。
3.如權(quán)利要求1所述的臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)，其特征是，所述噴淋蛇管環(huán) 繞在還原爐內(nèi)筒外的每一圈上都設(shè)有入口，各入口分別與所述導(dǎo)熱油緩沖管相連接。
專利摘要臥式多晶硅還原爐爐體冷卻結(jié)構(gòu)，包括位于爐體頂部的導(dǎo)熱油入口，與所述導(dǎo)熱油入口相連接的導(dǎo)熱油緩沖管，與所述導(dǎo)熱油緩沖管相連接的環(huán)繞在還原爐內(nèi)筒外的噴淋蛇管，平行開設(shè)于所述噴淋蛇管兩側(cè)的螺旋油槽，與所述螺旋油槽出口相連接的導(dǎo)熱油出口。本實用新型中，導(dǎo)熱油通過環(huán)繞在還原爐內(nèi)筒外的噴淋蛇管進行均勻噴淋，再由螺旋油槽收集并進行進一步換熱，使還原爐的換熱均勻充分，解決了還原爐爐體溫度一致、流量平衡的問題，達到更好的冷卻效果，從而有效提高多晶硅還原爐的反應(yīng)質(zhì)量和沉積速率。
文檔編號C30B29/06GK201924104SQ201020213150
公開日2011年8月10日 申請日期2010年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月3日
發(fā)明者袁建中 申請人:袁建中