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硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置的制作方法

文檔序號(hào):8149494閱讀:300來源:國知局
專利名稱:硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種硅晶片生產(chǎn)設(shè)備,特別是一種硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置。
背景技術(shù)
目前的硅晶片裝片都要通過人工裝入籃具內(nèi),這樣既容易對(duì)硅晶片造成人為污 染,又增加工人的勞動(dòng)強(qiáng)度,無法提高生產(chǎn)效率。為了使硅晶片的裝片能自動(dòng)化,為此需要 有將籃具能自動(dòng)提升并一一將硅晶片插入的裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而提供一種生產(chǎn)效率高、不需人工 操作,能自動(dòng)提升并一一將硅晶片插入籃具內(nèi)的硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置。為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的一種硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置,它包括 底座和籃具托盤,其特征是在底座上固定有伺服電機(jī),伺服電機(jī)的輸出連接有螺桿,螺桿與 托盤固定架內(nèi)的內(nèi)螺紋螺母連接,籃具托盤與托盤固定架固定,在籃具托盤上所置的籃具 的插片處設(shè)有插片信號(hào)感應(yīng)傳感器,插片信號(hào)感應(yīng)傳感器的感應(yīng)信號(hào)與伺服電機(jī)的信號(hào)控 制連接。本實(shí)用新型得到的一種硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置,使用時(shí),將籃具置于籃具托盤 內(nèi),每自動(dòng)插入一片硅晶片,插片信號(hào)感應(yīng)傳感器都將感應(yīng)到一次插片動(dòng)作,然后傳遞給伺 服電機(jī),伺服電機(jī)走動(dòng)確定的位置帶動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)確定的旋轉(zhuǎn)角度,從而帶動(dòng)籃具托盤隨托 盤固定架的上升而上升,最終按設(shè)定的高度提升硅晶片插入的籃具,將下一將插入使用的 籃具格對(duì)準(zhǔn)下一步自動(dòng)插入的硅晶片,完成自動(dòng)提升并一一將硅晶片插入籃具內(nèi)的目的。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1結(jié)構(gòu)示意圖。其中底座1、伺服電機(jī)2、托盤固定架3、螺桿4、籃具托盤5、籃具6、籃具格7、內(nèi) 螺紋螺母8、插片信號(hào)感應(yīng)傳感器9。
具體實(shí)施方式
下面通過實(shí)施例結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。實(shí)施例如圖1所示,本實(shí)施例描述的一種硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置,它包括底座1和籃具 托盤5,在底座1上固定有伺服電機(jī)2,伺服電機(jī)2的輸出連接有螺桿4,螺桿4與托盤固定 架3內(nèi)的內(nèi)螺紋螺母8連接,籃具托盤5與托盤固定架3固定。在籃具托盤5上所置的籃 具6的插片處設(shè)有插片信號(hào)感應(yīng)傳感器9,插片信號(hào)感應(yīng)傳感器9的感應(yīng)信號(hào)與伺服電機(jī)2 的信號(hào)控制連接。 使用時(shí),將籃具6置于籃具托盤5內(nèi),每自動(dòng)插入一片硅晶片,插片信號(hào)感應(yīng)傳感器9都將感應(yīng)到一次插片動(dòng)作,然后傳遞給伺服電機(jī)2,伺服電機(jī)2走動(dòng)確定的位置帶動(dòng)螺 桿4轉(zhuǎn)動(dòng)確定的旋轉(zhuǎn)角度,從而帶動(dòng)籃具托盤5隨托盤固定架3的上升而上升,最終按設(shè)定 的高度提升硅晶片插入的籃具6,將下一將插入使用的籃具格7對(duì)準(zhǔn)下一步自動(dòng)插入的硅 晶片,完成自動(dòng)提升并一一將硅晶片插入籃具6內(nèi)的目的。
權(quán)利要求一種硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置,它包括底座(1)和籃具托盤(5),其特征是在底座(1)上固定有伺服電機(jī)(2),伺服電機(jī)(2)的輸出連接有螺桿(4),螺桿(4)與托盤固定架(3)內(nèi)的內(nèi)螺紋螺母(8)連接,籃具托盤(5)與托盤固定架(3)固定,在籃具托盤(5)上所置的籃具(6)的插片處設(shè)有插片信號(hào)感應(yīng)傳感器(9),插片信號(hào)感應(yīng)傳感器(9)的感應(yīng)信號(hào)與伺服電機(jī)(2)的信號(hào)控制連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅晶片裝片自動(dòng)提升裝置,它包括底座和籃具托盤,其特征是在底座上固定有伺服電機(jī),伺服電機(jī)的輸出連接有螺桿,螺桿與托盤固定架內(nèi)的內(nèi)螺紋螺母連接,籃具托盤與托盤固定架固定,在籃具托盤上所置的籃具的插片處設(shè)有插片信號(hào)感應(yīng)傳感器,插片信號(hào)感應(yīng)傳感器的感應(yīng)信號(hào)與伺服電機(jī)的信號(hào)控制連接。使用時(shí),將籃具置于籃具托盤內(nèi),每自動(dòng)插入一片硅晶片,插片信號(hào)感應(yīng)傳感器都將感應(yīng)到一次插片動(dòng)作,然后傳遞給伺服電機(jī),伺服電機(jī)帶動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)從而帶動(dòng)籃具托盤上升,最終按設(shè)定的高度提升硅晶片插入的籃具,使之將下一將插入使用的籃具格對(duì)準(zhǔn)下一步自動(dòng)插入的硅晶片,完成自動(dòng)提升并一一將硅晶片插入籃具內(nèi)的目的。
文檔編號(hào)C30B29/06GK201770801SQ201020233709
公開日2011年3月23日 申請(qǐng)日期2010年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月23日
發(fā)明者沈漢明 申請(qǐng)人:浙江百力達(dá)太陽能有限公司
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