專利名稱：單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶爐領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置。
背景技術(shù)：
單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和 半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重 要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用 太陽能的主要功能材料。在硅單晶拉制過程中，需要用到籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置使籽晶恢復(fù)原點(diǎn)，以便于計(jì)算 單晶硅晶體的長度?，F(xiàn)有的一般的籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置，都是采用硬性的機(jī)械動(dòng)作來實(shí)現(xiàn)的， 易產(chǎn)生原點(diǎn)開關(guān)失靈、復(fù)位遲緩等問題，容易造成測量單晶硅晶體的長度不準(zhǔn)確、籽晶繩損 壞等現(xiàn)象；同時(shí)在籽晶原點(diǎn)開關(guān)的安裝過程中，還可以通過籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置調(diào)節(jié)籽晶部 件的水平度，保證籽晶部件旋轉(zhuǎn)的精度，進(jìn)而保證單晶硅晶體的品質(zhì)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置，該裝置中 的真空法蘭為可伸縮的波紋管真空法蘭，通過波紋管自身的彈性變形確保真空密封情況下 的連接和調(diào)整。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的一種單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置，包括法蘭座、真空法蘭 和支撐柱；所述法蘭座固定在單晶爐的爐頂蓋上，所述支撐柱的下端固定在爐頂蓋上，支撐 柱的上端通過調(diào)節(jié)螺桿與籽晶部件相接觸，所述調(diào)節(jié)螺桿上設(shè)有調(diào)節(jié)螺母，所述真空法蘭 為波紋管伸縮真空法蘭，真空法蘭的下端安裝在法蘭座的上端，真空法蘭的上端安裝在籽 晶部件上，所述法蘭座的側(cè)面安裝有光電傳感器。所述的光電傳感器包括一對小法蘭、一對透明玻璃、一對傳感器支架、光電開關(guān)發(fā) 射器和光電開關(guān)接收器，所述的小法蘭中心對稱安裝在法蘭座的側(cè)面上，透明玻璃安裝在 小法蘭內(nèi)，傳感器支架固定在小法蘭上，其中一個(gè)傳感器支架上安裝光電開關(guān)發(fā)射器，另一 個(gè)傳感器支架上安裝光電開關(guān)接收器。本實(shí)用新型在使用時(shí)光電開關(guān)發(fā)射器發(fā)出的光信號(hào)被籽晶夾頭遮擋后，光電開關(guān) 接受器產(chǎn)生電信號(hào)，確認(rèn)原點(diǎn)到位；通過自動(dòng)化控制，實(shí)現(xiàn)了精確的原點(diǎn)復(fù)位功能，徹底解 決了原手動(dòng)作業(yè)產(chǎn)生的原點(diǎn)復(fù)位精度低、可靠性差的問題。在本實(shí)用新型中真空法蘭采用 帶伸縮的波紋管，通過波紋管自身的彈性變形確保真空密封情況下的連接和調(diào)整，降低安 裝難度，然后再利用調(diào)節(jié)螺母，實(shí)現(xiàn)了快捷的籽晶部件水平調(diào)節(jié)，從而保證籽晶部件旋轉(zhuǎn)的 精度。

圖1為本實(shí)用新型單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。[0009]圖中1爐頂蓋、2法蘭座、3透明玻璃、4小法蘭、5傳感器支架、6真空法蘭、7支撐柱、8籽晶部件、9調(diào)節(jié)螺母、10籽晶繩、11光電開關(guān)發(fā)射器、12光電開關(guān)接受器、13籽晶夾 頭。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說明本 實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型表述的內(nèi)容 之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申 請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。如圖1所示，一種單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置，包括法蘭座2、真空法蘭6和支撐柱 7 ；所述法蘭座2固定在單晶爐的爐頂蓋1上，所述支撐柱7的下端固定在爐頂蓋1上，支撐 柱7的上端通過調(diào)節(jié)螺桿與籽晶部件8相接觸，所述調(diào)節(jié)螺桿上設(shè)有調(diào)節(jié)螺母9，通過調(diào)整 支撐柱7上的調(diào)節(jié)螺母9來調(diào)整籽晶部件8的水平；所述法蘭座2的側(cè)面安裝有光電傳感 器，精確測量原點(diǎn)位置，所述真空法蘭6為波紋管伸縮真空法蘭，真空法蘭6通過自身的彈 性變形實(shí)現(xiàn)確保真空密封情況下的連接和調(diào)整，降低安裝難度，真空法蘭6的下端安裝在 法蘭座2的上端，真空法蘭6的上端安裝在籽晶部件8上。本實(shí)用新型還可以進(jìn)一步描述為，所述的光電傳感器包括一對小法蘭4、一對透明 玻璃3、一對傳感器支架5、光電開關(guān)發(fā)射器11和光電開關(guān)接收器12，所述的小法蘭4中心 對稱安裝在法蘭座2的側(cè)面上，透明玻璃3安裝在小法蘭4內(nèi)，傳感器支架5固定在小法蘭 4上，其中一個(gè)傳感器支架5上安裝光電開關(guān)發(fā)射器11，另一個(gè)傳感器支架5上安裝光電開 關(guān)接收器12。工作時(shí)籽晶夾頭13夾住籽晶繩10移動(dòng)，當(dāng)光電開關(guān)發(fā)射器11發(fā)出的光信號(hào) 被籽晶夾頭13遮擋后，光電開關(guān)接受器12產(chǎn)生電信號(hào)，確認(rèn)原點(diǎn)到位。
權(quán)利要求一種單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置，包括法蘭座、真空法蘭和支撐柱；所述法蘭座固定在單晶爐的爐頂蓋上，所述支撐柱的下端固定在爐頂蓋上，支撐柱的上端通過調(diào)節(jié)螺桿與籽晶部件相接觸，所述調(diào)節(jié)螺桿上設(shè)有調(diào)節(jié)螺母，其特征是所述真空法蘭為波紋管伸縮真空法蘭，真空法蘭的下端安裝在法蘭座的上端，真空法蘭的上端安裝在籽晶部件上，所述法蘭座的側(cè)面安裝有光電傳感器。
2.如權(quán)利要求1所述的單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置，其特征是所述的光電傳感器包括 一對小法蘭、一對透明玻璃、一對傳感器支架、光電開關(guān)發(fā)射器和光電開關(guān)接收器，所述的 小法蘭中心對稱安裝在法蘭座的側(cè)面上，透明玻璃安裝在小法蘭內(nèi)，傳感器支架固定在小 法蘭上，其中一個(gè)傳感器支架上安裝光電開關(guān)發(fā)射器，另一個(gè)傳感器支架上安裝光電開關(guān) 接收器。
專利摘要本實(shí)用新型涉及單晶爐領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)。一種單晶爐籽晶原點(diǎn)開關(guān)裝置，包括法蘭座、真空法蘭和支撐柱；所述法蘭座固定在單晶爐的爐頂蓋上，所述支撐柱的下端固定在爐頂蓋上，支撐柱的上端通過調(diào)節(jié)螺桿與籽晶部件相接觸，所述調(diào)節(jié)螺桿上設(shè)有調(diào)節(jié)螺母，所述真空法蘭為波紋管伸縮真空法蘭，真空法蘭的下端安裝在法蘭座的上端，真空法蘭的上端安裝在籽晶部件上，所述法蘭座的側(cè)面安裝有光電傳感器。本實(shí)用新型通過光電傳感器確認(rèn)原點(diǎn)到位，實(shí)現(xiàn)了精確的原點(diǎn)復(fù)位功能，徹底解決了原手動(dòng)作業(yè)產(chǎn)生的復(fù)點(diǎn)復(fù)位精度低、可靠性差的問題，通過波紋管自身的彈性變形確保真空密封情況下連接調(diào)整，降低安裝難度，實(shí)現(xiàn)了快捷的籽晶部件水平調(diào)節(jié)。
文檔編號(hào)C30B15/00GK201648564SQ20102024275
公開日2010年11月24日 申請日期2010年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者周凱忠 申請人:寧夏日晶電子科技有限公司