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一種籽晶夾持裝置的制作方法

文檔序號(hào):8035369閱讀:314來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):一種籽晶夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域的一種直拉法硅單晶生長(zhǎng)用的籽晶夾持裝置。
背景技術(shù)
硅單晶作為一種半導(dǎo)體材料,主要用于光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域,大部分半導(dǎo)體硅單晶 都是采用CZ直拉法生產(chǎn)。CZ直拉法是利用旋轉(zhuǎn)籽晶從盛有硅熔體的坩堝中提拉制備單晶 的一種方法,它是通過(guò)發(fā)熱體對(duì)承載固態(tài)多晶硅原料部分加熱,待其熔化完成,固液界面穩(wěn) 定后,將夾持器夾持的柱狀籽晶浸入溶液,通過(guò)旋轉(zhuǎn)使熔體中的硅原子順著籽晶硅原子結(jié) 構(gòu)進(jìn)行有規(guī)則的排列,形成單晶體后緩慢提升,熔體中的硅原子沿著已經(jīng)生長(zhǎng)好的單晶體 繼續(xù)結(jié)晶,并延續(xù)其規(guī)則的原子結(jié)構(gòu)排列周而復(fù)始的生長(zhǎng),最后形成所需要的硅晶棒。采用直拉法生長(zhǎng)單晶時(shí),籽晶必須很好的安裝在籽晶夾具中,通過(guò)籽晶夾具與上 提拉機(jī)構(gòu)相連接,才能進(jìn)行正常的單晶生長(zhǎng)。目前,國(guó)內(nèi)大多數(shù)單晶企業(yè)都是采用直筒式的 單晶夾持具,即夾持體下部鉆一盲孔,在盲孔段設(shè)置一斜銷(xiāo)孔用于固定具有開(kāi)口槽的柱狀 籽晶,這種籽晶夾持器具有成本較低、裝卸方便的優(yōu)點(diǎn),但是缺點(diǎn)也很突出,夾持器上端的 插銷(xiāo)孔與鋼絲繩插銷(xiāo)連接,在高溫下容易變形,造成夾持器取出困難并且容易損壞鋼絲繩 接頭,造成人力和備件浪費(fèi)。為更廣泛推廣單晶硅應(yīng)用、降低生產(chǎn)成本,延長(zhǎng)鋼絲繩使用壽 命的問(wèn)題,已成為單晶生產(chǎn)企業(yè)的要求。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于提供籽晶夾持裝置,用于解決傳統(tǒng)籽晶夾持裝置中鋼 絲繩插銷(xiāo)接頭斷裂不能重復(fù)使用的問(wèn)題。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種籽晶夾持裝置,包括夾持主體和鋼絲繩,其中在鋼絲繩上添加了鎖緊構(gòu)件, 鋼絲繩通過(guò)連接件與夾持主體連接?!N籽晶夾持裝置,其中所述的鎖緊構(gòu)件由主鎖緊件和輔助鎖緊件構(gòu)成,主鎖緊 件位于輔助鎖緊件之上。一種籽晶夾持裝置,其中所述的主鎖緊件用于鋼絲繩的主鎖緊,輔助鎖緊件用于 鋼絲繩的輔助鎖緊,兩部分均通過(guò)螺絲擰緊,與鋼絲繩接觸的鎖緊件表面進(jìn)行粗糙處理。一種籽晶夾持裝置,其中所述的連接件有滑輪件和凸型件構(gòu)成。一種籽晶夾持裝置,其中所述的凸型件上端設(shè)有上通孔,下端設(shè)有下通孔。一種籽晶夾持裝置,其中所述的滑輪件通過(guò)凸型件上端的上通孔連接凸型件,夾 持主體通過(guò)凸型件下端的下通孔連接凸型件。一種籽晶夾持裝置,其中所述的鋼絲繩沒(méi)有插銷(xiāo)接頭,是通過(guò)滑輪件和凸型件與 夾持主體相連接,因此鋼絲繩斷裂后還可以重復(fù)利用。本實(shí)用新型的工作原理以及優(yōu)點(diǎn)現(xiàn)有技術(shù)中的鋼絲繩是通過(guò)單線(xiàn)連接,所有的 重量均由單一鋼絲繩承擔(dān),而鋼絲繩與重錘連接處處于高溫區(qū),受熱輻射較高,因此在拉晶過(guò)程中容易在受力狀態(tài)下發(fā)生損壞。本實(shí)用新型主要是通過(guò)改變臨近高溫區(qū)的鋼絲繩連接 形式來(lái)改變鋼絲繩的受力情況,即采用滑輪構(gòu)件,使得高溫區(qū)鋼絲繩受力減半來(lái)保護(hù)鋼絲 繩。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于通過(guò)增加滑輪件,鋼絲繩的受力狀況得到了改變;另外由于鋼絲 繩沒(méi)有插銷(xiāo)接頭,而是通過(guò)滑輪件和凸型件與夾持主體相連接,因此鋼絲繩即便斷裂后任
可重復(fù)利用。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記夾持主體1、鋼絲繩2、主鎖緊件3、輔助鎖緊件4、滑輪件5、凸型件6、上 通孔7、下通孔8。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1、一種籽晶夾持裝置,包括夾持主體1和鋼絲繩2,其中在鋼絲繩2上添 加了鎖緊構(gòu)件,鋼絲繩2通過(guò)連接件與夾持主體2連接。實(shí)施例2、一種籽晶夾持裝置,其中所述的鎖緊構(gòu)件由主鎖緊件3和輔助鎖緊件4 構(gòu)成,主鎖緊件3位于輔助鎖緊件4之上。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例3、一種籽晶夾持裝置,其中所述的主鎖緊件3用于鋼絲繩2的主鎖緊,輔 助鎖緊件4用于鋼絲繩2的輔助鎖緊,兩部分均通過(guò)螺絲擰緊,與鋼絲繩接觸的鎖緊件表面 進(jìn)行粗糙處理,其余同實(shí)施例1或2中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例4、一種籽晶夾持裝置,其中所述的連接件由滑輪件5和凸型件6構(gòu)成,其 余同實(shí)施例1-3中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例5、一種籽晶夾持裝置,其中所述的凸型件6上端設(shè)有上通孔7,下端設(shè)有 下通孔8,其余同實(shí)施例1-4中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例6、一種籽晶夾持裝置,其中所述的滑輪件5通過(guò)凸型件6上端的上通孔 7連接凸型件6,夾持主體2通過(guò)凸型件6下端的下通孔8連接凸型件2,其余同實(shí)施例1-5 中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例7、一種籽晶夾持裝置,其中所述的鋼絲繩2沒(méi)有插銷(xiāo)接頭,是通過(guò)滑輪件 5和凸型件6與夾持主體1相連接,因此鋼絲繩2斷裂后還可以重復(fù)利用,其余同實(shí)施例1-6 中的任意一種實(shí)施例。
權(quán)利要求1.一種籽晶夾持裝置,包括夾持主體(1)和鋼絲繩(2),其特征在于在鋼絲繩(2)上 添加了鎖緊構(gòu)件,鋼絲繩(2)通過(guò)連接件與夾持主體(1)連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種籽晶夾持裝置,其特征在于所述的鎖緊構(gòu)件由主鎖緊件 (3)和輔助鎖緊件(4)構(gòu)成,主鎖緊件(3)位于輔助鎖緊件(4)之上。
3.如權(quán)利要求1所述的一種籽晶夾持裝置,其特征在于所述的連接件由滑輪件(5) 和凸型件(6)構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求4所述的一種籽晶夾持裝置,其特征在于所述的凸型件(6)上端設(shè)有 上通孔(7),下端設(shè)有下通孔(8)。
5.如權(quán)利要求5所述的一種籽晶夾持裝置,其特征在于所述的滑輪件(5)通過(guò)凸型 件(6)上端的上通孔(7)連接凸型件(6),夾持主體(2)通過(guò)凸型件(6)下端的下通孔(8) 連接凸型件(2)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域的一種直拉法硅單晶生長(zhǎng)用的籽晶夾持裝置,本實(shí)用新型包括夾持主體和鋼絲繩,其中在鋼絲繩上添加了鎖緊構(gòu)件,鋼絲繩通過(guò)連接件與夾持主體連接。所述的鎖緊構(gòu)件由主鎖緊件和輔助鎖緊件構(gòu)成,主鎖緊件位于輔助鎖緊件之上。所述的主鎖緊件用于鋼絲繩的主鎖緊,輔助鎖緊件用于鋼絲繩的輔助鎖緊,兩部分均通過(guò)螺絲擰緊,與鋼絲繩接觸的鎖緊件表面進(jìn)行粗糙處理。一種籽晶夾持裝置,其中所述的連接件有滑輪件和凸型件構(gòu)成。通過(guò)本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的鋼絲繩鎖緊構(gòu)件,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低廉,安裝調(diào)試方便,在無(wú)需對(duì)原有夾持主體改變的情況下使得斷裂的鋼絲繩能夠重復(fù)利用,有效提高了鋼絲繩的利用率,降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C30B15/32GK201778146SQ20102029175
公開(kāi)日2011年3月30日 申請(qǐng)日期2010年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月13日
發(fā)明者傅志斌, 趙能偉, 鄒攀 申請(qǐng)人:江西賽維Ldk太陽(yáng)能高科技有限公司
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